JP2012253263A - Semiconductor chip and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor chip which performs wire bonding connection, capable of reducing damage to a semiconductor part below an electrode pad during wire bonding, and reducing damage to wire due to displacement of the wire.SOLUTION: There is provided a semiconductor chip comprising: an electrode pad 14 provided on one surface 12 of a semiconductor part 11; a bump 15 connected by being stacked on the electrode pad 14 and formed of a conductive material projecting above the one surface 12 of the semiconductor part 11; and an electrically insulating protective film 16 provided on the one surface 12 of the semiconductor part 11 and configured to seal the electrode pad 14 and the bump 15. A tip surface 15a of the bump 15 is exposed from the protective film 16, and the protective film 16 and the tip surface 15a of the bump 15 form a continuous plane.

Description

本発明は、ワイヤボンディング接続が行われる半導体チップ、および、そのような半導体チップの製造方法に関する。   The present invention relates to a semiconductor chip to which wire bonding connection is performed, and a method for manufacturing such a semiconductor chip.

一般に、この種の半導体チップとしては、シリコンなどの半導体よりなる半導体部と、この半導体部の一面上に設けられたアルミ等よりなるワイヤボンディング用の電極パッドとを備えるものが提案されている。   In general, as this type of semiconductor chip, a semiconductor chip having a semiconductor part made of a semiconductor such as silicon and an electrode pad for wire bonding made of aluminum or the like provided on one surface of the semiconductor part has been proposed.

ここで、一般には、直接電極パッドにワイヤを当てて超音波振動などを行いながら、荷重を加えることにより、ワイヤボンディングを行うが、このワイヤボンディングによる荷重が、電極パッドの下の半導体部に印加され、ダメージを与える恐れがある。   Here, in general, wire bonding is performed by applying a load while directly applying a wire to the electrode pad and performing ultrasonic vibration, etc. The load by this wire bonding is applied to the semiconductor part under the electrode pad. May cause damage.

このような問題に対して、従来では、電極パッド上にさらに衝撃吸収材としてのバンプを形成し、このバンプにワイヤボンディングを打つことで、バンプによって電極パッドおよびその下の半導体部に加わる衝撃を緩和させるようにしたものが提案されている（特許文献１参照）。   Conventionally, a bump as an impact absorbing material is further formed on the electrode pad to deal with such a problem, and wire bonding is applied to the bump, so that the impact applied to the electrode pad and the semiconductor portion below the bump by the bump is applied. What has been made to ease is proposed (refer to patent documents 1).

特開２００１−３０８１３９号公報JP 2001-308139 A

しかしながら、上記特許文献１に記載のものでは、バンプは、その周囲の保護膜よりも突出し、また、保護膜との間に隙間を有するものとなっており、これらの突出や隙間によりバンプと保護膜との間に段差が存在する。   However, in the thing of the said patent document 1, a bump protrudes rather than the surrounding protective film, and also has a clearance gap between protective films, These bumps and a gap protect it with a bump. There is a step between the film.

そのため、ワイヤボンディング時にワイヤが位置ずれし、バンプからはみ出して当該段差上に位置したときには、ワイヤが当該段差に沿って変形し、クラック等を生じる可能性がある。   Therefore, when the wire is displaced during wire bonding and protrudes from the bump and is positioned on the step, the wire may be deformed along the step to generate a crack or the like.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ワイヤボンディング接続が行われる半導体チップにおいて、ワイヤボンディング時における電極パッド下の半導体部へのダメージの低減、および、ワイヤの位置ずれによる当該ワイヤのダメージの低減を図ることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems. In a semiconductor chip to which wire bonding connection is performed, the wire is reduced due to a reduction in damage to a semiconductor portion under an electrode pad at the time of wire bonding, and a wire misalignment. The purpose is to reduce the damage.

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、半導体よりなる半導体部（１１）と、前記半導体部（１１）の一面（１２）上に設けられたワイヤボンディング用の電極パッド（１４）とを備える半導体チップにおいて、
電極パッド（１４）上に積層されて接続され、半導体部（１１）の一面（１２）上に突出する導電性材料よりなるバンプ（１５）と、
半導体部（１１）の一面（１２）上に設けられ、電極パッド（１４）およびバンプ（１５）を封止する電気絶縁性の保護膜（１６）と、を備え、
バンプ（１５）の先端面（１５ａ）は保護膜（１６）より露出するとともに、保護膜（１６）とバンプ（１５）の先端面（１５ａ）とは連続した同一平面を構成しており、
バンプ（１５）の先端面（１５ａ）にワイヤボンディングがなされるようになっていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a semiconductor part (11) made of a semiconductor and an electrode pad (14) for wire bonding provided on one surface (12) of the semiconductor part (11). In a semiconductor chip comprising:
A bump (15) made of a conductive material that is stacked on and connected to the electrode pad (14) and protrudes on one surface (12) of the semiconductor portion (11);
An electrically insulating protective film (16) provided on one surface (12) of the semiconductor portion (11) and sealing the electrode pad (14) and the bump (15);
The front end surface (15a) of the bump (15) is exposed from the protective film (16), and the protective film (16) and the front end surface (15a) of the bump (15) constitute a continuous and same plane.
It is characterized in that wire bonding is performed on the front end surface (15a) of the bump (15).

それによれば、バンプ（１５）を介して電極パッド（１４）にワイヤボンディングすることになるから、電極パッド（１４）上のバンプ（１５）がワイヤボンディング時の衝撃を緩和する。   According to this, since wire bonding is performed to the electrode pad (14) via the bump (15), the bump (15) on the electrode pad (14) alleviates the impact during wire bonding.

また、保護膜（１６）とバンプ（１５）の先端面（１５ａ）とが、連続した同一平面を構成することで、バンプ（１５）の先端面（１５ａ）とその周囲の保護膜（１６）との間には、段差が無いものとなるから、ワイヤボンディングの位置ずれが生じてバンプ（１５）の先端面（１５ａ）からワイヤ（４０）がはみ出しても、従来のような段差によるワイヤの変形が防止される。   Further, the protective film (16) and the front end surface (15a) of the bump (15) constitute a continuous and identical plane, whereby the front end surface (15a) of the bump (15) and the surrounding protective film (16). Since there is no step between the wire and the wire (40) protruding from the tip surface (15a) of the bump (15) due to the position of wire bonding, Deformation is prevented.

よって、本発明によれば、ワイヤボンディング時における電極パッド（１４）下の半導体部（１１）へのダメージの低減、および、ワイヤ（４０）の位置ずれによる当該ワイヤのダメージの低減が図れる。   Therefore, according to the present invention, it is possible to reduce damage to the semiconductor portion (11) under the electrode pad (14) during wire bonding, and to reduce damage to the wire due to misalignment of the wire (40).

また、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の半導体チップにおいて、バンプ（１５）の先端面（１５ａ）上には、当該先端面（１５ａ）よりも広いサイズの金属箔（１８）が、当該先端面（１５ａ）から保護膜（１６）上まではみ出した状態で積層されていることを特徴とする。   Further, in the invention according to claim 2, in the semiconductor chip according to claim 1, a metal foil (18 having a size larger than the tip surface (15a) is formed on the tip surface (15a) of the bump (15). ) Are stacked so as to protrude from the tip surface (15a) to the top of the protective film (16).

それによれば、ワイヤボンディングの位置ずれが生じてバンプ（１５）の先端面（１５ａ）からワイヤ（４０）がはみ出しても、金属箔（１８）は当該先端面（１５ａ）からはみ出す広いものであるから、適切にワイヤボンディングが行え、また、金属箔（１８）として、バンプ（１５）よりもワイヤボンディング性に優れたものを用いることができ、ワイヤボンディングの信頼性向上が期待できる。   According to this, even if the position of wire bonding occurs and the wire (40) protrudes from the tip surface (15a) of the bump (15), the metal foil (18) is wide enough to protrude from the tip surface (15a). Therefore, wire bonding can be appropriately performed, and a metal foil (18) having a wire bonding property superior to that of the bump (15) can be used, and an improvement in wire bonding reliability can be expected.

また、請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の半導体チップにおいて、バンプ（１５）は半導体部（１１）よりも軟らかい材料よりなるものであることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the semiconductor chip of the first or second aspect, the bump (15) is made of a material softer than the semiconductor portion (11).

それによれば、バンプ（１５）によるワイヤボンディング時の衝撃緩和の点で好ましい。   According to that, it is preferable at the point of the impact relaxation at the time of wire bonding by a bump (15).

また、請求項４に記載の発明では、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の半導体チップにおいて、保護膜（１６）は、半導体部（１１）の一面（１２）に直接接触して設けられていることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the semiconductor chip according to any one of the first to third aspects, the protective film (16) is in direct contact with one surface (12) of the semiconductor portion (11). It is provided.

本発明のように、保護膜（１６）を、半導体部（１１）の一面（１２）に直接接触して設けたものにすることで、保護膜（１６）に、半導体チップ（１０）における従来の表面保護膜の役割を持たせてもよい。   As in the present invention, the protective film (16) is provided in direct contact with one surface (12) of the semiconductor portion (11), so that the protective film (16) has the conventional structure in the semiconductor chip (10). The surface protective film may be provided.

請求項５に記載の発明では、半導体よりなる半導体部（１１）と、
半導体部（１１）の一面（１２）上に設けられたワイヤボンディング用の電極パッド（１４）と、
電極パッド（１４）上に積層されて接続され、半導体部（１１）の一面（１２）上に突出する導電性材料よりなるバンプ（１５）と、
半導体部（１１）の一面（１２）上に設けられ、電極パッド（１４）およびバンプ（１５）を封止する電気絶縁性の保護膜（１６）と、を備え、
バンプ（１５）の先端面（１５ａ）は保護膜（１６）より露出するとともに、保護膜（１６）とバンプ（１５）の先端面（１５ａ）とは連続した同一平面を構成している半導体チップの製造方法であって、
電極パッド（１４）が設けられた半導体部（１１）と、保護膜（１６）の素材として電極パッド（１４）に対応した位置にバンプ（１５）に対応した形状をなす貫通穴（６１）を有する樹脂よりなるシート（６０）と、を用意する用意工程と、
シート（６０）の貫通穴（６１）に、導電性ペースト（７０）を充填する充填工程と、
導電性ペースト（７０）を電極パッド（１４）に接触させつつ、シート（６０）を半導体部（１１）の一面（１２）上に積層する積層工程と、
その後、シート（６０）と半導体部（１１）とを加熱および加圧することにより導電性ペースト（７０）を焼成してバンプ（１５）を形成するとともに、シート（６０）を半導体部（１１）の一面（１２）に貼り付けて保護膜（１６）を形成する加熱加圧工程とを備えることを特徴とする。 In invention of Claim 5, the semiconductor part (11) which consists of semiconductors,
An electrode pad (14) for wire bonding provided on one surface (12) of the semiconductor part (11);
A bump (15) made of a conductive material that is stacked on and connected to the electrode pad (14) and protrudes on one surface (12) of the semiconductor portion (11);
An electrically insulating protective film (16) provided on one surface (12) of the semiconductor portion (11) and sealing the electrode pad (14) and the bump (15);
The front end surface (15a) of the bump (15) is exposed from the protective film (16), and the protective film (16) and the front end surface (15a) of the bump (15) constitute a continuous and same plane. A manufacturing method of
The semiconductor part (11) provided with the electrode pad (14), and a through hole (61) having a shape corresponding to the bump (15) at a position corresponding to the electrode pad (14) as a material of the protective film (16). A preparation step of preparing a sheet (60) made of a resin having
A filling step of filling the through hole (61) of the sheet (60) with the conductive paste (70);
A laminating step of laminating the sheet (60) on one surface (12) of the semiconductor portion (11) while bringing the conductive paste (70) into contact with the electrode pad (14);
Thereafter, the conductive paste (70) is baked by heating and pressurizing the sheet (60) and the semiconductor part (11) to form bumps (15), and the sheet (60) is formed on the semiconductor part (11). And a heating and pressurizing step of forming a protective film (16) on the one surface (12).

それによれば、上記したような半導体部（１１）と、電極パッド（１４）と、バンプ（１５）と、保護膜（１６）と、を備え、保護膜（１６）より露出するバンプ（１５）の先端面（１５ａ）と保護膜（１６）とが連続した同一平面を構成している半導体チップ（１０）を適切に製造できる。また、保護膜（１６）とバンプ（１５）とを素材の段階で一括して組み付けできるから、工程の簡素化が期待できる。   According to this, the bump (15) including the semiconductor part (11), the electrode pad (14), the bump (15), and the protective film (16) as described above, and exposed from the protective film (16). The semiconductor chip (10) in which the front end surface (15a) and the protective film (16) form the same continuous plane can be manufactured appropriately. Further, since the protective film (16) and the bump (15) can be assembled together at the material stage, simplification of the process can be expected.

また、請求項６に記載の発明では、請求項５に記載の半導体チップの製造方法において、保護膜（１６）となる前記シート（６０）は熱硬化性樹脂よりなるものであり、バンプ（１５）となる導電性ペースト（７０）の硬化温度がシート（６０）の硬化温度よりも低いことを特徴とする。   In the invention according to claim 6, in the method for manufacturing a semiconductor chip according to claim 5, the sheet (60) to be the protective film (16) is made of a thermosetting resin, and the bump (15 The curing temperature of the conductive paste (70) to be) is lower than the curing temperature of the sheet (60).

それによれば、加熱加圧工程では、導電性ペースト（７０）が硬化した後、シート（６０）が硬化するから、シート（６０）の硬化時の収縮変形によるバンプ（１５）の位置ずれを防止できる。   According to this, in the heating and pressing step, since the sheet (60) is cured after the conductive paste (70) is cured, the displacement of the bump (15) due to contraction deformation at the time of curing of the sheet (60) is prevented. it can.

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明の第１実施形態に係る半導体チップを示す図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）中の上視概略平面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the semiconductor chip concerning 1st Embodiment of this invention, (a) is a schematic sectional drawing, (b) is a top view schematic plan view in (a). 図１中の半導体チップを含むモールドパッケージの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the mold package containing the semiconductor chip in FIG. 第１実施形態に係る半導体チップにおけるバンプおよび保護膜の形成工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the formation process of the bump and protective film in the semiconductor chip which concerns on 1st Embodiment. 従来の一般的な半導体チップにワイヤボンディングを行う場合を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the case where wire bonding is performed to a conventional general semiconductor chip. 第１実施形態の半導体チップについてワイヤボンディングを行う場合を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the case where wire bonding is performed about the semiconductor chip of 1st Embodiment. 第１実施形態における保護膜の構成のバリエーションを示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the variation of the structure of the protective film in 1st Embodiment. 本発明の第２実施形態に係る半導体チップの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the semiconductor chip which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係る半導体チップの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the semiconductor chip which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係る半導体チップの応用例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the application example of the semiconductor chip which concerns on 4th Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings in order to simplify the description.

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る半導体チップ１０を示す図であり、（ａ）は概略断面図、（ｂ）は（ａ）中の上視概略平面図である。また、図２は、図１中の半導体チップ１０を含むモールドパッケージ１の概略断面構成を示す図である。 (First embodiment)
1A and 1B are diagrams showing a semiconductor chip 10 according to a first embodiment of the present invention, wherein FIG. 1A is a schematic cross-sectional view, and FIG. 1B is a top schematic plan view in FIG. FIG. 2 is a diagram showing a schematic cross-sectional configuration of the mold package 1 including the semiconductor chip 10 in FIG.

本実施形態の半導体チップ１０は、半導体よりなりベースとなる半導体部１１と、半導体部１１の一面１２上に設けられたワイヤボンディング用の電極パッド１４とを備えている。半導体部１１は、シリコン半導体などの半導体よりなる板状をなすもので、ここでは、一方の板面１２を一面１２、他方の板面１３を他面１３とする典型的な矩形板状をなしている。   The semiconductor chip 10 of the present embodiment includes a semiconductor portion 11 made of a semiconductor and serving as a base, and an electrode pad 14 for wire bonding provided on one surface 12 of the semiconductor portion 11. The semiconductor portion 11 has a plate shape made of a semiconductor such as a silicon semiconductor. Here, the semiconductor portion 11 has a typical rectangular plate shape in which one plate surface 12 is one surface 12 and the other plate surface 13 is the other surface 13. ing.

この半導体部１１には、一般的な半導体プロセスにより形成されたトランジスタ素子などが形成され、たとえばＩＣチップを構成している。電極パッド１４は、一般的なアルミニウムなどよりなるもので、スパッタや蒸着などにより形成されたものである。ここでは、図１に示されるように、電極パッド１４は、平面矩形のものであり、複数個の電極パッド１４が半導体部１１の一面１２の周辺部に環状に配置されている。   In the semiconductor portion 11, transistor elements formed by a general semiconductor process are formed, for example, constituting an IC chip. The electrode pad 14 is made of general aluminum or the like, and is formed by sputtering or vapor deposition. Here, as shown in FIG. 1, the electrode pad 14 has a planar rectangular shape, and a plurality of electrode pads 14 are annularly arranged on the periphery of the one surface 12 of the semiconductor portion 11.

そして、半導体チップ１０においては、導電性材料よりなるバンプ１５が、各電極パッド１４上に積層されており、半導体部１１の一面１２上に突出している。ここで、バンプ１５と電極パッド１４とは直接接触して電気的に接続されている。   In the semiconductor chip 10, bumps 15 made of a conductive material are stacked on each electrode pad 14 and protrude on the one surface 12 of the semiconductor portion 11. Here, the bump 15 and the electrode pad 14 are in direct contact and electrically connected.

このバンプ１５は、ＳｎＡｇ（銀スズ合金）やＣｕ（銅）などの導電性材料よりなるものであり、これらの導電性材料よりなるペーストを焼成してなるものである。また、バンプ１５は半導体部１１よりも軟らかい材料よりなるものであることが望ましい。具体的には、バンプ１５を構成する上記導電性材料は、半導体部１１を構成するＳｉなどの半導体材料よりも軟らかいものである。   The bumps 15 are made of a conductive material such as SnAg (silver tin alloy) or Cu (copper), and are formed by baking a paste made of these conductive materials. The bump 15 is preferably made of a material softer than the semiconductor portion 11. Specifically, the conductive material constituting the bump 15 is softer than a semiconductor material such as Si constituting the semiconductor portion 11.

また、バンプ１５は、柱状のものであればよいが、ここでは図１に示されるように、軸方向の断面が根元である電極パッド１４側の部位から、電極パッド１４の上方に向かって細くなる台形をなす円柱形状である。   The bumps 15 may be columnar, but here, as shown in FIG. 1, the bumps 15 narrow from the portion on the electrode pad 14 side where the axial cross-section is the base toward the upper side of the electrode pad 14. It is a cylindrical shape that forms a trapezoid.

そして、半導体チップ１０は、半導体部１１の一面１２上に、電極パッド１４およびバンプ１５を封止する電気絶縁性の保護膜１６を備えている。ここで、図１に示されるように、バンプ１５の先端面１５ａは保護膜１６の上面１６ａにて保護膜１６より露出しており、保護膜１６とバンプ１５の先端面１５ａとは連続した同一平面を構成している。   The semiconductor chip 10 includes an electrically insulating protective film 16 that seals the electrode pads 14 and the bumps 15 on the one surface 12 of the semiconductor portion 11. Here, as shown in FIG. 1, the front end surface 15a of the bump 15 is exposed from the protective film 16 on the upper surface 16a of the protective film 16, and the protective film 16 and the front end surface 15a of the bump 15 are continuous and identical. It constitutes a plane.

つまり、バンプ１５の先端面１５ａとその周囲の保護膜１６の上面１６ａとは、半導体部１１の一面１２の高さが実質同一であって隙間なく連続してつながった同一平面、いわゆる面一（ツライチ）とされている。   In other words, the front end surface 15a of the bump 15 and the upper surface 16a of the protective film 16 surrounding the bump 15 are the same plane where the height of the one surface 12 of the semiconductor portion 11 is substantially the same and connected continuously without a gap, so-called flush ( Tsuraichi).

さらに言えば、保護膜１６はバンプ１５の側面に接触して隙間なく封止しており、保護膜１６の厚さは、半導体部１１の一面１２上における電極パッド１４およびバンプ１５の高さの合計分と実質同一とされている。以下、これら両面１５ａ、１６ａの連続した同一平面構成を、単に、「同一平面構成」ということにする。   Furthermore, the protective film 16 is in contact with the side surface of the bump 15 and sealed without a gap, and the thickness of the protective film 16 is the height of the electrode pad 14 and the bump 15 on the one surface 12 of the semiconductor portion 11. It is essentially the same as the total. Hereinafter, the continuous same plane configuration of the both surfaces 15a and 16a is simply referred to as “same plane configuration”.

そして、本実施形態では、この保護膜１６より露出するバンプ１５の先端面１５ａに、ワイヤボンディングがなされるようになっている。具体的には、たとえば半導体チップ１０を配線基板やリードフレームなどに搭載し、この半導体チップ１０のバンプ１５と、外部のリードあるいは他の基板やチップとの間でワイヤボンディングを行う。   In this embodiment, wire bonding is performed on the front end surface 15 a of the bump 15 exposed from the protective film 16. Specifically, for example, the semiconductor chip 10 is mounted on a wiring board or a lead frame, and wire bonding is performed between the bumps 15 of the semiconductor chip 10 and external leads or other substrates or chips.

本実施形態では、この半導体チップ１０を用いて、図２に示されるようなモールドパッケージ１を構成している。このモールドパッケージ１においては、半導体チップ１０は、他面１２側にて、はんだや接着剤などのダイマウント材３０を介してリードフレームアイランド部２０に搭載され固定されている。   In the present embodiment, a mold package 1 as shown in FIG. 2 is configured using this semiconductor chip 10. In the mold package 1, the semiconductor chip 10 is mounted and fixed to the lead frame island part 20 via a die mount material 30 such as solder or adhesive on the other surface 12 side.

半導体チップ１０の外側には、リードフレームリード部２１が配置されており、半導体チップ１０におけるバンプ１５の上面１５ａとリードフレームリード部２１との間でワイヤボンディングが行われ、これら両部間が金やアルミなどよりなるボンディングワイヤ４０により結線されて、電気的に接続されている。   A lead frame lead portion 21 is disposed outside the semiconductor chip 10, and wire bonding is performed between the upper surface 15 a of the bump 15 and the lead frame lead portion 21 in the semiconductor chip 10. They are connected by a bonding wire 40 made of aluminum or aluminum and are electrically connected.

そして、これらリードフレーム、半導体チップ１０、ボンディングワイヤ４０が、エポキシ樹脂等よりなるモールド樹脂５０で封止されてモールドパッケージ１を構成している。ここで、リードフレームリード部２１の一部がモールド樹脂５０より露出して外部との電気接続部とされている。このように、本実施形態のモールドパッケージ１は、ＳＯＰやＱＦＰなど一般的なパッケージ形態に準じている。   The lead frame, the semiconductor chip 10 and the bonding wire 40 are sealed with a mold resin 50 made of an epoxy resin or the like to constitute the mold package 1. Here, a part of the lead frame lead part 21 is exposed from the mold resin 50 to be an electrical connection part to the outside. Thus, the mold package 1 of the present embodiment conforms to a general package form such as SOP and QFP.

次に、本実施形態の半導体チップ１０の製造方法について、図３を参照して述べる。図３は、本半導体チップ１０におけるバンプ１５および保護膜１６の形成工程を示す工程図である。図３では、各ワークの概略断面構成を示している。   Next, a method for manufacturing the semiconductor chip 10 of this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a process diagram showing a process of forming the bump 15 and the protective film 16 in the semiconductor chip 10. FIG. 3 shows a schematic cross-sectional configuration of each workpiece.

まず、半導体プロセスにより、一面１２に電極パッド１４が設けられた半導体部１１を用意するとともに、一方で、図３（ａ）に示されるように、保護膜１６の素材として樹脂よりなるシート６０を用意する（用意工程）。なお、この半導体部１１は、１個のチップ単位のものでもよいが、通常はウェハ状態のものである。   First, a semiconductor part 11 having an electrode pad 14 provided on one surface 12 is prepared by a semiconductor process. On the other hand, as shown in FIG. 3A, a sheet 60 made of resin is used as a material for the protective film 16. Prepare (preparation process). The semiconductor unit 11 may be one chip unit, but is usually in a wafer state.

このシート６０は、電極パッド１４に対応した位置にバンプ１５に対応した形状をなす貫通穴６１を有するもので、貫通穴６１は、シート６０の厚さ方向に貫通し、シート６０の一面６０ａからこれと反対側の他面６０ｂに向かって広がる丸穴形状とされている。ここで、シート６０の一面６０ａは、上記同一平面構成を形成する保護膜１６の上面１６ａとなる面である。   The sheet 60 has a through hole 61 having a shape corresponding to the bump 15 at a position corresponding to the electrode pad 14, and the through hole 61 penetrates in the thickness direction of the sheet 60 and extends from one surface 60 a of the sheet 60. It is made into the round hole shape extended toward the other surface 60b on the opposite side. Here, the one surface 60a of the sheet 60 is a surface to be the upper surface 16a of the protective film 16 forming the same planar configuration.

このようなシート６０は、液晶ポリマーやポリイミドなどの熱可塑性樹脂や、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂であって半硬化状態いわゆるＢステージ状態のものよりなる。そして、貫通穴６１は、たとえばレーザ加工や型成形などにより形成される。また、ここでは、シート６０の一面６０ａには、平板形状をなす銅やアルミなどの金属フィルム６２が貼り付けられ、これにより貫通穴６１の一方を塞いでいる。   Such a sheet 60 is made of a thermoplastic resin such as a liquid crystal polymer or polyimide, or a thermosetting resin such as an epoxy resin, and is in a semi-cured state or a so-called B-stage state. The through hole 61 is formed by, for example, laser processing or mold forming. In addition, here, a flat metal film 62 such as copper or aluminum is attached to the one surface 60 a of the sheet 60, thereby closing one of the through holes 61.

次に、図３（ｂ）に示されるように、シート６０の貫通穴６１に、バンプ１５の素材である導電性ペースト７０を充填する（充填工程）。導電性ペースト７０としては、上記したＳｎＡｇやＣｕなどの金属を含む金属ペーストなどが用いられる。   Next, as illustrated in FIG. 3B, the conductive paste 70 that is the material of the bump 15 is filled into the through hole 61 of the sheet 60 (filling step). As the conductive paste 70, the above-described metal paste containing a metal such as SnAg or Cu is used.

ここでは、シート６０の他面６０ｂ側から、スキージＫを用いた印刷法により、導電性ペースト７０を充填している。それにより、当該充填後において、シート６０の両面６０ａ、６０ｂにて当該面６０ａ、６０ｂと導電性ペースト７０とが同一平面となるようにしている。   Here, the conductive paste 70 is filled from the other surface 60 b side of the sheet 60 by a printing method using a squeegee K. Thereby, after the filling, the surfaces 60 a and 60 b and the conductive paste 70 are flush with each other on both surfaces 60 a and 60 b of the sheet 60.

次に、図３（ｃ）に示されるように、導電性ペースト７０を電極パッド１４に接触させつつ、シート６０を半導体部１１の一面１２上に積層する（積層工程）。具体的には、導電性ペースト７０が充填されたシート６０の他面６０ｂを、半導体部１１の一面１２に対向させ、導電性ペースト７０と電極パッド１４とが正対するように位置合わせを行い、シート６０を半導体部１１に重ねる。   Next, as illustrated in FIG. 3C, the sheet 60 is laminated on the one surface 12 of the semiconductor portion 11 while bringing the conductive paste 70 into contact with the electrode pad 14 (lamination process). Specifically, the other surface 60b of the sheet 60 filled with the conductive paste 70 is opposed to the one surface 12 of the semiconductor portion 11, and the conductive paste 70 and the electrode pad 14 are aligned so as to face each other. The sheet 60 is overlaid on the semiconductor unit 11.

その後、積層されたシート６０と半導体部１１とを加熱および加圧することにより導電性ペースト７０を焼成し、焼結体としてのバンプ１５を形成するとともに、シート６０を半導体部１１の一面１２に貼り付けて保護膜１６を形成する（加熱加圧工程）。この加熱加圧は、一般的な熱プレス装置により行える。   Thereafter, the conductive sheet 70 is fired by heating and pressurizing the laminated sheet 60 and the semiconductor part 11 to form bumps 15 as a sintered body, and the sheet 60 is attached to one surface 12 of the semiconductor part 11. Then, the protective film 16 is formed (heating and pressing step). This heating and pressing can be performed by a general hot press apparatus.

ここで、バンプ１５と電極パッド１４とは、上記焼成による接合力により接続される。また、シート６０が熱可塑性樹脂の場合は、熱圧着による貼り付けが行われ、Ｂステージの熱硬化性樹脂の場合には、その熱硬化の接合力による貼り付けが行われる。   Here, the bump 15 and the electrode pad 14 are connected by the bonding force by the firing. Further, when the sheet 60 is a thermoplastic resin, it is attached by thermocompression bonding, and when it is a B-stage thermosetting resin, it is attached by the thermosetting bonding force.

次に、図３（ｄ）に示されるように、半導体部１１に貼り付けられたシート６０すなわち保護膜１６から金属フィルム６２を剥離またはエッチング等により除去する。その後は、ウェハ状態の半導体部１１および保護膜１６を、ダイシングカットなどによって、１個のチップ単位に分割することにより、本実施形態の半導体チップ１０ができあがる。   Next, as shown in FIG. 3D, the metal film 62 is removed from the sheet 60 attached to the semiconductor portion 11, that is, the protective film 16 by peeling or etching. Thereafter, the semiconductor portion 10 and the protective film 16 in the wafer state are divided into one chip unit by dicing cut or the like, whereby the semiconductor chip 10 of this embodiment is completed.

このように、図３に示される製造方法によれば、上記したような半導体部１１と、電極パッド１４と、バンプ１５と、保護膜１６と、を備え、上記同一平面構成とされている半導体チップ１０を適切に製造できる。また、保護膜１６とバンプ１５とを素材の段階で一括して組み付けできるから、保護膜１６とバンプ１５とを別々に半導体部１１に形成する場合に比べて、工程が簡素化する。   As described above, according to the manufacturing method shown in FIG. 3, the semiconductor including the semiconductor portion 11, the electrode pad 14, the bump 15, and the protective film 16 as described above and having the same planar configuration. The chip 10 can be manufactured appropriately. In addition, since the protective film 16 and the bump 15 can be assembled together at the material stage, the process is simplified compared to the case where the protective film 16 and the bump 15 are separately formed on the semiconductor portion 11.

そして、この製造された半導体チップ１０は、リードフレームアイランド部２０にダイマウント材３０を介して固定され、リードフレームリード部２１との間でワイヤボンディングを行った後、トランスファーモールド法などによるモールド樹脂５０の封止を行うことにより、上記図２のモールドパッケージ１として提供される。   Then, the manufactured semiconductor chip 10 is fixed to the lead frame island part 20 via the die mount material 30, and after wire bonding with the lead frame lead part 21, a mold resin by a transfer molding method or the like is used. By sealing 50, it is provided as the mold package 1 of FIG.

ところで、本実施形態によれば、バンプ１５を介して電極パッド１４にワイヤボンディングすることになるから、電極パッド１４上のバンプ１５がワイヤボンディング時の衝撃を緩和する。   By the way, according to this embodiment, since the wire bonding is performed to the electrode pad 14 via the bump 15, the bump 15 on the electrode pad 14 alleviates the impact during the wire bonding.

また、保護膜１６とバンプ１５の先端面１５ａとが、連続した同一平面を構成すること、つまり、上記同一平面構成を採用することで、バンプ１５の先端面１５ａとその周囲の保護膜１６との間には、段差が無いものとなるから、ワイヤボンディングの位置ずれが生じたり、ワイヤボールのサイズが大きすぎたりすることにより、バンプ１５の先端面１５ａから保護膜１６へワイヤ４０がはみ出しても、従来のような段差によるワイヤの変形が防止される。   Further, the protective film 16 and the tip surface 15a of the bump 15 constitute a continuous and identical plane, that is, the same plane configuration is adopted, so that the tip surface 15a of the bump 15 and the surrounding protective film 16 are arranged. Since there is no step between them, the position of wire bonding shifts or the size of the wire ball is too large, so that the wire 40 protrudes from the tip surface 15a of the bump 15 to the protective film 16. However, the deformation of the wire due to the level difference as in the prior art is prevented.

本実施形態では、図２に示されるように、ワイヤ４０のボール部分がバンプ１５の先端面１５ａから保護膜１６へはみ出しているが、ワイヤ４０は正常な形状を維持しており、接合信頼性は確保されている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the ball portion of the wire 40 protrudes from the front end surface 15 a of the bump 15 to the protective film 16, but the wire 40 maintains a normal shape and has a bonding reliability. Is secured.

よって、本実施形態によれば、ワイヤボンディング時における電極パッド１４下の半導体部１１へのダメージの低減、および、ワイヤ４０の位置ずれによる当該ワイヤ４０のダメージの低減が図れる。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to reduce damage to the semiconductor portion 11 below the electrode pad 14 during wire bonding, and to reduce damage to the wire 40 due to misalignment of the wire 40.

ここで、上記同一平面構成による効果について、図４、図５を参照して、さらに詳述する。図４は、従来の一般的な半導体チップにワイヤボンディングを行う場合を示す概略断面図、図５は、本実施形態の半導体チップについてワイヤボンディングを行う場合を示す概略断面図であり、図４、図５のそれぞれにおいて、（ａ）は一次ボンディングの場合、（ｂ）は二次ボンディングの場合を示す。   Here, the effect of the same plane configuration will be described in more detail with reference to FIGS. 4 is a schematic cross-sectional view showing a case where wire bonding is performed on a conventional general semiconductor chip, and FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a case where wire bonding is performed on the semiconductor chip of the present embodiment. In each of FIG. 5, (a) shows the case of primary bonding, and (b) shows the case of secondary bonding.

ここで、一般に、一次ボンディングはボールボンディングであり、二次ボンディングはステッチボンディングであるが、たとえば半導体チップ１０とリードフレームリード部２１との間や、異なる半導体チップ１０間において、一方を一次、他方を二次としてワイヤボンディングを行うことが可能である。   Here, in general, primary bonding is ball bonding and secondary bonding is stitch bonding. For example, between the semiconductor chip 10 and the lead frame lead portion 21 or between different semiconductor chips 10, one is primary and the other is bonding. As a secondary, wire bonding can be performed.

図４に示されるように、従来一般の半導体チップの場合、電極パッド１４の周囲には、半導体部１１の一面１２を被覆して保護する表面保護膜１７ａ、１７ｂが設けられている。一般には、この表面保護膜１７ａ、１７ｂは、ＳｉＮなどよりなる下側の膜１７ａとポリイミドなどよりなる上側の膜１７ｂとの積層膜とされる。   As shown in FIG. 4, in the case of a conventional general semiconductor chip, surface protective films 17 a and 17 b that cover and protect one surface 12 of the semiconductor portion 11 are provided around the electrode pad 14. In general, the surface protective films 17a and 17b are laminated films of a lower film 17a made of SiN or the like and an upper film 17b made of polyimide or the like.

そのため、従来一般の半導体チップでは、電極パッド１４と表面保護膜１７ａ、１７ｂとの間に段差が生じ、電極パッド１４が表面保護膜１７ａ、１７ｂからへこんだ状態となっている。   Therefore, in the conventional general semiconductor chip, a step is generated between the electrode pad 14 and the surface protective films 17a and 17b, and the electrode pad 14 is indented from the surface protective films 17a and 17b.

そして、図４に示されるように、この状態で、ワイヤボンディングが行われると、ワイヤ４０の位置ずれにより、ワイヤ４０が表面保護膜１７ａ、１７ｂに乗り上げてしまい、ボンディングが困難になる。さらに、表面保護膜１７ａ、１７ｂによる段差により、ワイヤ４０が変形してしまう可能性がある。   As shown in FIG. 4, when wire bonding is performed in this state, the wire 40 runs on the surface protective films 17a and 17b due to the positional displacement of the wire 40, and bonding becomes difficult. Furthermore, there is a possibility that the wire 40 is deformed due to a step formed by the surface protective films 17a and 17b.

それに対して、図５に示されるように、本実施形態の半導体チップ１０においては、上記同一平面構成を採用しているため、一次ボンディングの場合でも、二次ボンディングの場合でも、ワイヤ４０が段差に乗り上げるような事態はそもそも生じることはない。そのため、本実施形態は、従来に比べて、ワイヤボンディングの位置ずれの許容範囲が大きくなり、生産性に優れるなどの利点が期待される。   On the other hand, as shown in FIG. 5, the semiconductor chip 10 of the present embodiment adopts the same planar configuration, so that the wire 40 has a step in both the primary bonding and the secondary bonding. In the first place, there is no such thing as going on board. For this reason, the present embodiment is expected to have advantages such as an increased tolerance for misalignment of wire bonding and superior productivity compared to the prior art.

また、上述したが、本実施形態では、バンプ１５は半導体部１１よりも軟らかい材料よりなるものであることが好ましい。それによれば、上記したバンプ１５によるワイヤボンディング時の衝撃緩和という本実施形態の効果をより適切に発揮できる。   As described above, in the present embodiment, the bump 15 is preferably made of a material softer than the semiconductor portion 11. According to this, the effect of the present embodiment, that is, the impact relaxation at the time of wire bonding by the bump 15 can be more appropriately exhibited.

また、本実施形態の半導体チップ１０による効果としては、次のようなことも挙げられる。上記図２に示したように、半導体チップ１０をモールド樹脂５０で封止する場合、封止時におけるモールド樹脂５０との接触により半導体部１１内の素子がダメージを受ける可能性があるが、そのダメージは保護膜１６により防止される。   Moreover, the following is also mentioned as an effect by the semiconductor chip 10 of this embodiment. As shown in FIG. 2, when the semiconductor chip 10 is sealed with the mold resin 50, the element in the semiconductor portion 11 may be damaged by the contact with the mold resin 50 at the time of sealing. Damage is prevented by the protective film 16.

特にモールド樹脂５０内には、セラミック等よりなる電気絶縁性のフィラーが含有されていることが多く、そのフィラーのアタックによる半導体部１１のダメージが効果的に防止される。   In particular, the mold resin 50 often contains an electrically insulating filler made of ceramic or the like, and damage to the semiconductor portion 11 due to the attack of the filler is effectively prevented.

また、半導体部１１が薄い場合、機械的強度が弱く、ハンドリング性の点で注意を要するが、本実施形態によれば、保護膜１６によりチップ全体の厚さが増すため、ハンドリング性に優れた半導体チップ１０を提供できる。   Further, when the semiconductor portion 11 is thin, the mechanical strength is weak and attention is required in terms of handling properties. However, according to the present embodiment, the protective film 16 increases the thickness of the entire chip, so that the handling properties are excellent. The semiconductor chip 10 can be provided.

また、本実施形態における保護膜１６の構成について、図６を参照して、さらに述べる。図６において（ａ）は、本実施形態においてバンプ１５および保護膜１６を省略した構成を示す概略断面図、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）はそれぞれ本実施形態における保護膜１６の構成のバリエーションを示す概略断面図である。   The configuration of the protective film 16 in the present embodiment will be further described with reference to FIG. 6A is a schematic cross-sectional view showing a configuration in which the bump 15 and the protective film 16 are omitted in the present embodiment, and FIGS. 6B and 6C are diagrams of the configuration of the protective film 16 in the present embodiment, respectively. It is a schematic sectional drawing which shows the variation of.

上記図４にも示したが、図６（ａ）に示されるように、本実施形態の半導体チップ１０においても、電極パッド１４の周囲には、半導体部１１の一面１２を被覆して保護する表面保護膜１７ａ、１７ｂが設けられている。ここでも、表面保護膜１７ａ、１７ｂは、下側の膜１７ａと上側の膜１７ｂとの積層膜とされている。   As shown in FIG. 4, as shown in FIG. 6A, also in the semiconductor chip 10 of the present embodiment, the surface 12 of the semiconductor portion 11 is covered and protected around the electrode pad 14. Surface protective films 17a and 17b are provided. Also here, the surface protective films 17a and 17b are laminated films of a lower film 17a and an upper film 17b.

ここで、本実施形態において、この図６（ａ）に示される状態にて、電極パッド１４上にバンプ１５を設け、表面保護膜１７ａ、１７ｂ上に保護膜１６を設けてもよい。さらに、本実施形態では、保護膜１６は、半導体部１１を被覆して保護する役割も果たすため、従来からある表面保護膜１７ａ、１７ｂを一部、もしくは全部省略してもよい。   Here, in the present embodiment, in the state shown in FIG. 6A, the bump 15 may be provided on the electrode pad 14, and the protective film 16 may be provided on the surface protective films 17a and 17b. Furthermore, in the present embodiment, the protective film 16 also serves to cover and protect the semiconductor portion 11, and thus the conventional surface protective films 17 a and 17 b may be partially or entirely omitted.

たとえば、図６（ｂ）では、上側の膜１７ｂの厚さをより薄くしており、図６（ｃ）では、上側の膜１７ｂをすべて無くし、下側の膜１７ａのみとしている。さらに、図６（ｄ）では、表面保護膜１７ａ、１７ｂをすべて無くし、保護膜１６は、半導体部１１の一面１２に直接接触して設けられている。   For example, in FIG. 6B, the thickness of the upper film 17b is made thinner, and in FIG. 6C, all of the upper film 17b is eliminated and only the lower film 17a is used. Further, in FIG. 6D, all of the surface protective films 17 a and 17 b are eliminated, and the protective film 16 is provided in direct contact with the one surface 12 of the semiconductor portion 11.

この図６（ｄ）に示されるように、保護膜１６を、半導体部１１の一面１２に直接接触して設けたものにすることで、保護膜１６に、半導体チップ１０における従来の表面保護膜の役割を持たせることができ、従来の表面保護膜１７ａ、１７ｂが不要となる。なお、これら図６（ｂ）〜（ｄ）の各構成は、半導体部１１に設けられた素子の脆弱性等を考慮して、適宜選択すればよい。   As shown in FIG. 6D, by providing the protective film 16 in direct contact with the one surface 12 of the semiconductor portion 11, the conventional surface protective film in the semiconductor chip 10 is formed on the protective film 16. The conventional surface protective films 17a and 17b are unnecessary. 6B to 6D may be appropriately selected in consideration of the fragility of elements provided in the semiconductor portion 11 and the like.

また、本実施形態では、上記図３に示される製造方法において、保護膜１６となるシート６０を加熱により硬化する熱硬化性樹脂よりなるものとした場合、バンプ１５となる導電性ペースト７０の硬化温度がシート６０の硬化温度よりも低いことが望ましい。これは、両者６０、７０の材料を適宜選択することで容易に実現できる。   In the present embodiment, in the manufacturing method shown in FIG. 3, when the sheet 60 to be the protective film 16 is made of a thermosetting resin that is cured by heating, the conductive paste 70 to be the bump 15 is cured. It is desirable that the temperature is lower than the curing temperature of the sheet 60. This can be easily realized by appropriately selecting the materials of both 60 and 70.

仮に、導電性ペースト７０よりも先にシート６０が硬化すると、そのシート６０の硬化時の収縮変形により、未硬化である導電性ペースト７０が電極パッド１４に対して位置ずれし、その結果、バンプ１４の位置ずれが生じる可能性がある。しかし、本実施形態では、導電性ペースト７０が硬化した後、シート６０が硬化するから、そのようなバンプ１４の位置ずれを防止できる。   If the sheet 60 is cured prior to the conductive paste 70, the uncured conductive paste 70 is displaced with respect to the electrode pad 14 due to shrinkage deformation when the sheet 60 is cured. 14 position shifts may occur. However, in this embodiment, since the sheet 60 is cured after the conductive paste 70 is cured, such a displacement of the bumps 14 can be prevented.

（第２実施形態）
図７は、本発明の第２実施形態に係る半導体チップ１０の概略断面構成を示す図である。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に述べることとする。 (Second Embodiment)
FIG. 7 is a diagram showing a schematic cross-sectional configuration of a semiconductor chip 10 according to the second embodiment of the present invention. In this embodiment, the difference from the first embodiment will be mainly described.

図７に示されるように、本実施形態では、バンプ１５の先端面１５ａ上には、当該先端面１５ａよりも広いサイズの金属箔１８が、当該先端面１５ａからその周囲の保護膜１６の上面１６ａまではみ出した状態で積層されている。   As shown in FIG. 7, in this embodiment, a metal foil 18 having a size larger than that of the tip surface 15 a is formed on the tip surface 15 a of the bump 15 from the tip surface 15 a to the upper surface of the protective film 16 around it. It is laminated in a state where it protrudes to 16a.

ここで、金属箔１８とバンプ１５とは金属結合などにより電気的および機械的に接続されており、また、金属箔１８と保護膜１６とは保護膜１６の樹脂の接着力により接合されている。この金属箔１８は、たとえばバンプ１５の先端面１５ａよりも一回り大きな円形の箔または矩形の箔とすることができる。   Here, the metal foil 18 and the bump 15 are electrically and mechanically connected by metal bonding or the like, and the metal foil 18 and the protective film 16 are joined by the adhesive force of the resin of the protective film 16. . The metal foil 18 can be, for example, a circular foil or a rectangular foil that is slightly larger than the tip surface 15a of the bump 15.

また、金属箔１８は、バンプ１５よりもワイヤボンディング接続性に優れるものが望ましい。たとえばバンプ１５がＳｎＡｇの焼結体よりなる場合、金属箔１８は銅箔よりなるものとすればよい。   Further, it is desirable that the metal foil 18 has better wire bonding connectivity than the bump 15. For example, when the bump 15 is made of a sintered body of SnAg, the metal foil 18 may be made of a copper foil.

この場合、たとえば上記図３に示した製造方法において、加熱加圧工程の後、シート６０に貼りついている金属フィルム６２をエッチングして、このエッチングの残り部分を金属箔１８とすればよい。また、別途、金属箔１８を熱圧着などにより貼り付けることで配置してもよい。   In this case, for example, in the manufacturing method shown in FIG. 3, after the heating and pressing step, the metal film 62 attached to the sheet 60 may be etched, and the remaining portion of the etching may be used as the metal foil 18. Alternatively, the metal foil 18 may be separately attached by thermocompression bonding.

本実施形態によれば、ワイヤボンディングの位置ずれが生じてバンプ１５の先端面１５ａからワイヤ４０がはみ出しても、金属箔１８は当該先端面１５ａからはみ出す広いものであるから、適切にワイヤボンディングが行える。また、上述したように、金属箔１８として、バンプ１５よりもワイヤボンディング性に優れたものを用いれば、ワイヤボンディングの信頼性向上が期待できる。   According to the present embodiment, even if the wire bonding position shift occurs and the wire 40 protrudes from the tip surface 15a of the bump 15, the metal foil 18 is wide enough to protrude from the tip surface 15a. Yes. Further, as described above, if a metal foil 18 having better wire bonding properties than the bumps 15 is used, an improvement in wire bonding reliability can be expected.

（第３実施形態）
図８は、本発明の第３実施形態に係る半導体チップ１０の概略断面構成を示す図である。本実施形態では、上記第１実施形態との相違点を中心に述べることとする。 (Third embodiment)
FIG. 8 is a diagram showing a schematic cross-sectional configuration of a semiconductor chip 10 according to the third embodiment of the present invention. In this embodiment, the difference from the first embodiment will be mainly described.

図８に示されるように、半導体チップ１０においては、半導体部１１の一面１２にある電極パッド１４のすべてについてバンプ１５を積層しなくてもよく、一部の電極パッド１４にのみバンプ１５を積層してもよい。   As shown in FIG. 8, in the semiconductor chip 10, it is not necessary to stack the bumps 15 on all the electrode pads 14 on the one surface 12 of the semiconductor portion 11, and the bumps 15 are stacked only on some of the electrode pads 14. May be.

たとえば、図８に示される例では、半導体部１１においてトランジスタなどの素子が形成されている中央部側に位置する電極パッド１４には、その下の素子へのダメージを緩衝するために、バンプ１５を設け、素子が形成されていない半導体部１１の周辺部に位置する電極パッド１４にはバンプ１５を設けずに、直接ワイヤボンディングしている。   For example, in the example shown in FIG. 8, the bumps 15 are formed on the electrode pad 14 located on the central portion side where elements such as transistors are formed in the semiconductor portion 11 in order to buffer damage to the underlying elements. The electrode pads 14 located in the peripheral part of the semiconductor part 11 where no element is formed are directly wire-bonded without providing the bumps 15.

この場合、バンプ１５の有無により、ワイヤボンディングにより形成されるワイヤ４０の高さを、同一の半導体チップ１０内で変えることができるため、ワイヤ４０間の短絡を抑制しやすくなる。   In this case, since the height of the wire 40 formed by wire bonding can be changed in the same semiconductor chip 10 depending on the presence or absence of the bump 15, it becomes easy to suppress a short circuit between the wires 40.

（第４実施形態）
図９は、本発明の第４実施形態に係る半導体チップ１０の応用例を示す概略断面図である。本実施形態では、上記第１実施形態と同様の半導体チップ１０を用いて、チップ間ワイヤボンディングを行う構造を示す。 (Fourth embodiment)
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing an application example of the semiconductor chip 10 according to the fourth embodiment of the present invention. In the present embodiment, a structure for performing inter-chip wire bonding using the same semiconductor chip 10 as in the first embodiment is shown.

図９では、図中の右側に位置する一般構成の半導体チップＪ１０を一次ボンディング側、図中の左側に位置する本実施形態の半導体チップ１０を二次ボンディング側として、これら両半導体チップ１０、Ｊ１０をワイヤボンディングで接続している。   In FIG. 9, the semiconductor chip J10 having a general configuration located on the right side in the figure is the primary bonding side, and the semiconductor chip 10 of the present embodiment located on the left side in the figure is the secondary bonding side. Are connected by wire bonding.

この場合、右側の半導体チップ１０は、左側の本実施形態の半導体チップ１０よりも高い位置にあるが、本実施形態の半導体チップ１０に設けられているバンプ１５の高さの分、これら両半導体チップ１０、Ｊ１０の段差を埋めることができ、ワイヤボンディングしやすいものとなる。   In this case, the semiconductor chip 10 on the right side is at a higher position than the semiconductor chip 10 on the left side of the present embodiment, but both of these semiconductors are provided by the height of the bumps 15 provided on the semiconductor chip 10 of the present embodiment. The step between the chips 10 and J10 can be filled, and wire bonding is easy.

（他の実施形態）
なお、バンプ１５は上記した形状以外にも、電極パッド１４上に積層されて半導体部１１の一面１２上に突出する形状であればよく、たとえば角錐、円柱、角柱などの柱状のものでもよい。 (Other embodiments)
In addition to the above-described shape, the bump 15 may be any shape as long as it is stacked on the electrode pad 14 and protrudes from the one surface 12 of the semiconductor portion 11.

また、バンプ１５は、上記した製造方法以外にも、予め電極パッド１４上にペースト塗布および焼成や、めっきなどの方法により形成しておき、その後、保護膜１６を印刷やポッティングなどにより形成してもよい。   In addition to the manufacturing method described above, the bump 15 is formed in advance on the electrode pad 14 by a method such as paste application and baking or plating, and then the protective film 16 is formed by printing or potting. Also good.

さらに、この場合において、保護膜１６の形成後に保護膜１６がバンプ１５の先端面１５ａを被覆した状態となるようなときには、保護膜１６を研磨するなどにより、バンプ１５の先端面１５ａを露出させるようにしてもよい。   Further, in this case, when the protective film 16 covers the front end surface 15a of the bump 15 after the protective film 16 is formed, the front end surface 15a of the bump 15 is exposed by polishing the protective film 16 or the like. You may do it.

また、上記図３に示した製造方法では、シート６０の一面６０ａ側に平板としての金属フィルム６２を貼り付けていたが、この金属フィルム６２は無いものであってもよい。この場合、加圧加熱工程において、シート６０の一面６０ａ側からシート６０の一面６０ａおよび導電性ペースト７０を別体の平板で押さえるようにして、加圧加熱を行えば、上記同一平面構成が容易に形成できる。   In the manufacturing method shown in FIG. 3, the metal film 62 as a flat plate is attached to the one surface 60 a side of the sheet 60, but the metal film 62 may be omitted. In this case, in the pressurizing and heating step, if the one surface 60a side of the sheet 60 and the conductive paste 70 are pressed by separate flat plates from the side 60a of the sheet 60, the same plane configuration is easy. Can be formed.

さらには、このような平板で押さえなくても、各部の熱収縮を考慮して導電性ペースト７０の充填量を調整したり、場合によっては、加熱加圧後に研磨を行ったりすることで、上記同一平面構成を容易に実現できることは言うまでもない。   Furthermore, even if it does not hold down with such a flat plate, the filling amount of the conductive paste 70 is adjusted in consideration of the thermal contraction of each part, or in some cases, polishing is performed after heating and pressurization, so that Needless to say, the same plane configuration can be easily realized.

１ モールドパッケージ
１０ 半導体チップ
１１ 半導体部
１２ 半導体部の一面
１４ 電極パッド
１５ バンプ
１５ａ バンプの先端面
１６ 保護膜
１８ 金属箔
６０ シート
６１ シートの貫通穴
７０ 導電性ペースト DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mold package 10 Semiconductor chip 11 Semiconductor part 12 One surface of a semiconductor part 14 Electrode pad 15 Bump 15a Bump tip face 16 Protective film 18 Metal foil 60 Sheet 61 Sheet through-hole 70 Conductive paste

Claims (6)

半導体よりなる半導体部（１１）と、前記半導体部（１１）の一面（１２）上に設けられたワイヤボンディング用の電極パッド（１４）とを備える半導体チップにおいて、
前記電極パッド（１４）上に積層されて接続され、前記半導体部（１１）の一面（１２）上に突出する導電性材料よりなるバンプ（１５）と、
前記半導体部（１１）の一面（１２）上に設けられ、前記電極パッド（１４）および前記バンプ（１５）を封止する電気絶縁性の保護膜（１６）と、を備え、
前記バンプ（１５）の先端面（１５ａ）は前記保護膜（１６）より露出するとともに、前記保護膜（１６）と前記バンプ（１５）の先端面（１５ａ）とは連続した同一平面を構成しており、
前記バンプ（１５）の先端面（１５ａ）にワイヤボンディングがなされるようになっていることを特徴とする半導体チップ。 In a semiconductor chip comprising a semiconductor part (11) made of a semiconductor and an electrode pad (14) for wire bonding provided on one surface (12) of the semiconductor part (11),
A bump (15) made of a conductive material that is laminated and connected on the electrode pad (14) and protrudes on one surface (12) of the semiconductor portion (11);
An electrically insulating protective film (16) provided on one surface (12) of the semiconductor part (11) and sealing the electrode pad (14) and the bump (15);
The front end surface (15a) of the bump (15) is exposed from the protective film (16), and the protective film (16) and the front end surface (15a) of the bump (15) constitute a continuous and same plane. And
A semiconductor chip characterized in that wire bonding is performed on a tip surface (15a) of the bump (15). 前記バンプ（１５）の先端面（１５ａ）上には、当該先端面（１５ａ）よりも広いサイズの金属箔（１８）が、当該先端面（１５ａ）から前記保護膜（１６）上まではみ出した状態で積層されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体チップ。   On the front end surface (15a) of the bump (15), a metal foil (18) having a size larger than that of the front end surface (15a) protrudes from the front end surface (15a) onto the protective film (16). The semiconductor chip according to claim 1, wherein the semiconductor chips are stacked in a state. 前記バンプ（１５）は前記半導体部（１１）よりも軟らかい材料よりなるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体チップ。   3. The semiconductor chip according to claim 1, wherein the bump (15) is made of a material softer than the semiconductor portion (11). 前記保護膜（１６）は、前記半導体部（１１）の一面（１２）に直接接触して設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の半導体チップ。   4. The semiconductor chip according to claim 1, wherein the protective film (16) is provided in direct contact with one surface (12) of the semiconductor part (11). 半導体よりなる半導体部（１１）と、
前記半導体部（１１）の一面（１２）上に設けられたワイヤボンディング用の電極パッド（１４）と、
前記電極パッド（１４）上に積層されて接続され、前記半導体部（１１）の一面（１２）上に突出する導電性材料よりなるバンプ（１５）と、
前記半導体部（１１）の一面（１２）上に設けられ、前記電極パッド（１４）および前記バンプ（１５）を封止する電気絶縁性の保護膜（１６）と、を備え、
前記バンプ（１５）の先端面（１５ａ）は前記保護膜（１６）より露出するとともに、前記保護膜（１６）と前記バンプ（１５）の先端面（１５ａ）とは連続した同一平面を構成している半導体チップの製造方法であって、
前記電極パッド（１４）が設けられた前記半導体部（１１）と、前記保護膜（１６）の素材として前記電極パッド（１４）に対応した位置に前記バンプ（１５）に対応した形状をなす貫通穴（６１）を有する樹脂よりなるシート（６０）と、を用意する用意工程と、
前記シート（６０）の貫通穴（６１）に、導電性ペースト（７０）を充填する充填工程と、
前記導電性ペースト（７０）を前記電極パッド（１４）に接触させつつ、前記シート（６０）を前記半導体部（１１）の一面（１２）上に積層する積層工程と、
その後、前記シート（６０）と前記半導体部（１１）とを加熱および加圧することにより前記導電性ペースト（７０）を焼成して前記バンプ（１５）を形成するとともに、前記シート（６０）を前記半導体部（１１）の一面（１２）に貼り付けて前記保護膜（１６）を形成する加熱加圧工程とを備えることを特徴とする半導体チップの製造方法。 A semiconductor part (11) made of a semiconductor;
An electrode pad (14) for wire bonding provided on one surface (12) of the semiconductor part (11);
A bump (15) made of a conductive material that is laminated and connected on the electrode pad (14) and protrudes on one surface (12) of the semiconductor portion (11);
An electrically insulating protective film (16) provided on one surface (12) of the semiconductor part (11) and sealing the electrode pad (14) and the bump (15);
The front end surface (15a) of the bump (15) is exposed from the protective film (16), and the protective film (16) and the front end surface (15a) of the bump (15) constitute a continuous and same plane. A method of manufacturing a semiconductor chip comprising:
The semiconductor part (11) provided with the electrode pad (14), and a through hole having a shape corresponding to the bump (15) at a position corresponding to the electrode pad (14) as a material of the protective film (16) A preparation step of preparing a sheet (60) made of a resin having a hole (61);
A filling step of filling the through hole (61) of the sheet (60) with a conductive paste (70);
A laminating step of laminating the sheet (60) on one surface (12) of the semiconductor part (11) while bringing the conductive paste (70) into contact with the electrode pad (14);
Thereafter, the conductive paste (70) is baked by heating and pressurizing the sheet (60) and the semiconductor part (11) to form the bump (15), and the sheet (60) is A method of manufacturing a semiconductor chip, comprising: a heating and pressing step of forming the protective film (16) by being attached to one surface (12) of the semiconductor portion (11). 前記保護膜（１６）となる前記シート（６０）は熱硬化性樹脂よりなるものであり、
前記バンプ（１５）となる前記導電性ペースト（７０）の硬化温度が前記シート（６０）の硬化温度よりも低いことを特徴とする請求項５に記載の半導体チップの製造方法。 The sheet (60) to be the protective film (16) is made of a thermosetting resin,
The method of manufacturing a semiconductor chip according to claim 5, wherein a curing temperature of the conductive paste (70) to be the bump (15) is lower than a curing temperature of the sheet (60).
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