JP2012247202A - 分析方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステップS103で、第1測定既知濃度信号に対する第2測定既知濃度信号の関係により第1昇温脱離分析の測定結果に対する第2昇温脱離分析の測定結果の関係を示す感度補正係数を求め、ステップS104で、標準固体試料と同じ材料から構成されて未知の濃度で成分が含まれている測定対象の測定対象固体試料に対して第1昇温脱離分析を行い測定未知濃度信号を得、ステップS105で、測定未知濃度信号と感度補正係数とにより補正未知濃度信号を求める。次に、ステップS106で、第2測定既知濃度信号に対する既知の濃度の関係をもとに、補正未知濃度信号から測定対象固体試料に含まれている成分の濃度を求める。
【選択図】 図1
Description
Claims (2)
- 既知の濃度で測定対象の成分が含まれている標準固体試料が見込める位置に配置された第1イオン化手段、および前記第1イオン化手段がイオン化したイオンの質量分析を行う第1質量分析手段により前記標準固体試料に含まれる測定対象の成分の第1昇温脱離分析を行い第1測定既知濃度信号を得る第1ステップと、
前記標準固体試料が見込めない位置に配置された第2イオン化手段、および前記第2イオン化手段がイオン化したイオンの質量分析を行う第2質量分析手段により前記成分の第2昇温脱離分析を行い第2測定既知濃度信号を得る第2ステップと、
前記第1測定既知濃度信号に対する前記第2測定既知濃度信号の関係により前記第1昇温脱離分析の測定結果に対する前記第2昇温脱離分析の測定結果の関係を示す感度補正係数を求める第3ステップと、
前記標準固体試料と同じ材料から構成されて未知の濃度で前記成分が含まれている測定対象の測定対象固体試料に対して前記第1昇温脱離分析を行い測定未知濃度信号を得る第4ステップと、
前記測定未知濃度信号と前記感度補正係数とにより補正未知濃度信号を求める第5ステップと、
前記第2測定既知濃度信号に対する前記既知の濃度の関係をもとに、前記補正未知濃度信号から前記測定対象固体試料に含まれている前記成分の濃度を求める第6ステップと
を少なくとも備えることを特徴とする分析方法。 - 密閉可能なチャンバと、
前記チャンバ内を真空排気する排気手段と、
前記チャンバ内に配置されて測定対象の固体試料を載置して前記固体試料を加熱可能とされた試料載置台と、
前記試料載置台の試料載置面が見込める位置に配置された第1イオン化手段と、
前記第1イオン化手段がイオン化したイオンの質量分析を行う第1質量分析手段と、
前記試料載置台の試料載置面が見込めない位置に配置された第2イオン化手段と、
前記第2イオン化手段がイオン化したイオンの質量分析を行う第2質量分析手段と、
前記試料載置台による固体試料の加熱温度を制御する試料温度制御手段と
を少なくとも備えることを特徴とする分析装置。
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