JP2012242360A - 圧電定数測定方法及び圧電定数測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電材料からなる試料4に印加する荷重を段階的又は連続的に増減して、各印加荷重において試料4から発生する電荷を計測し、印加荷重と電荷を座標軸とするグラフを作成して出力し、そのグラフの直線範囲を試料に印加する荷重の好適範囲であると決定し、その荷重を印加して圧電定数を測定する。圧電定数測定装置は、試料4に荷重を段階的又は連続的に増して印加する荷重印加手段B1と、荷重印加により試料4から発生する電荷を計測する電荷計測手段Cと、印加された荷重と発生した電荷に基づいて荷重と電荷を座標軸とするグラフを作成するグラフ作成手段と、グラフ作成手段が作成したグラフを出力する出力手段とを含む。
【選択図】図1
Description
d=C/N ・・・(1)
ここで、Cは電荷値、Nは与えられた荷重。
計算式(1)は、印加荷重に応じて一定の電荷密度が生じることを前提としているが、実際の試料では、印加された荷重は試料の厚み方向に伝わるため、試料厚みと荷重の関係を理解する必要がある。すなわち、与えられた荷重が測定試料にとって、変形可能な範囲を超える過剰な荷重になっていないか検証する必要がある。しかしながら、特許文献1の発明では、試料に一定荷重(例えば200gf)のみを印加しているため、得られた応答がその試料と荷重に対する正しい応答であるかは検証されていない。そのため、検証可能な圧電応答計測が必要である。
従って、本発明の第一の課題は、試料の厚みに対して適切な荷重を印加することができ、もって、正確な圧電定数測定を可能にする圧電定数測定方法及びその方法を使用するための圧電定数測定装置を提供することにある。
また、計算式(1)は、加えられた荷重の面積に応じて発生するC(電荷)を測定することで圧電定数を求めるが、発生した電荷内に予定していないd31、d15等の成分を含んだ電荷応答を圧電定数d33として測定している。従って、正確なd33成分の測定が困難であるので、d33成分のみを求める手法が必要となる。
さらに、計算式(1)は、試料と計測電極との間の距離と平行なキャパシターの表面積が限りなく大きく、計算上の境界効果が無視できる並行平板であると仮定としてのみ成立する式である。従って、この点も考慮に入れて、加圧点と電荷捕集に寄与する電極面積に関する効果も充分推察可能で、かつ、補正可能な圧電応答計測方法でなければならない。
従って、本発明の第二の課題は、試料の荷重が印加される面積が異なる場合にも、正確な圧電定数を得ることができる圧電定数測定方法及びその方法を使用するための圧電定数測定装置を提供することにある。
上部接触電極に、前記上部電極の面積と等しい面積を有するものを用いることができない場合の圧電定数測定方法として、試料に対して請求項1の方法により好適範囲と決定された荷重を印加する荷重印加手段に取付けられ、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極に、前記上部電極の面積よりも小さい、異なる面積を有する複数の上部接触電極を用い、前記上部電極とそれぞれの上部接触電極の面積比における圧電定数を計測し、それぞれの計測結果を上部電極と上部接触電極の面積比と圧電定数とを座標軸とするグラフ上にプロットし、それらの座標点を結ぶ線が上部電極と上部接触電極の面積比が1の座標軸と交差する点を当該試料の圧電定数と推定することを特徴としている(請求項4)。
そして、上部接触電極の原点位置を検出するセンサーは、前記リールの円周上に設けられた指標と、その指標を検知するセンサーとからなるもの(請求項8)を、上部接触電極の上部電極に対する接触位置を検出するセンサーは、定点で揺動自在に支持されたレバーと、そのレバーの一端に回転自在に設けられ、ワイヤーに乗せられた溝付きローラと、前記レバーの他端の高さ位置によりON・OFFされるセンサーとからなるものを用いることができる(請求項9)。
試料セット部Aは、試料台1を有し、その試料台の平坦な上面に、下部電極2と上部電極3を貼着した試料4を安定して載置することができる。試料4は、シート状もしくは板状又は棒状の圧電材料(PZT:チタン酸ジルコン酸鉛)である。
図1に示された荷重印加手段B1は、上部接触電極5を下方に突出させた重り6を、試料4に対して昇降させて試料4に対して荷重を印加可能に支持するものであり、本発明によりその印加荷重を制御できる機能を新たに備えたものである。その荷重印加手段B1は、いかなる構成を有するものでも良いが、一例を説明すると、重り6の上部に一端を結合したワイヤー7を、滑車8を介して延長し、その他端をステッピングモータ91(以下、単にモータという。)により回転されるリール92に結合してある。
計測部Cは、図3に示すように、積分回路100と、入力部121と、出力部122と、記憶部123と、演算制御部130とを有するマイクロコンピュータで構成されている。以下に、各構成要素について順次詳細に説明する。
積分回路100は、上記試料セット部Aにおける重り6の荷重印加により試料4に生じる微小電流を積分し、好ましくはさらに増幅して、電圧に変換するものである。積分回路100は、発生した微小電流を積分し電圧に変換する機能、好ましくはさらに増幅する機能があれば、既知のいかなる積分回路を用いても良い。図示の例は、差動アンプ101の帰還回路102にコンデンサ103を挿入したミラー積分回路により構成されている。
入力部121は、印加荷重制御手段133に荷重を試料4に印加させる指示又は荷重を試料から除去させる指示、その他の指示を入力するために使用される。
出力部122は、この装置による計測結果として作成されるグラフを表示又は印刷することが可能なものであり、液晶ディスプレイ又はCRTなどのグラフを表示可能な表示部、又は印字媒体にグラフを印刷可能なプリンタである。
記憶部123には、必要なソフトウェアを含むシステムプログラム、ワーキングデータが記憶されるほか、後述される記憶制御手段137により下記のデータが自動で保存されるようになっている。すなわち、測定日時、積分回路100のレンジ、設定荷重、モータ情報からワイヤーを緩めた量、センサー情報から上部接触電極が上部電極に接触した否か(ON・OFF)、積分回路の生データ(電圧)、積分回路のレンジ等の情報から演算した電荷、設定荷重と電荷で計算した圧電定数d33などである。
演算制御部130は、CPUで構成されていて、図3に例示するように、AD変換手段131と、位置情報記憶手段132と、印加荷重制御手段133と、パルス生成手段134と、演算手段135と、座標データ作成手段136と、記憶制御手段137と、グラフデータ作成手段138と、グラフ表示手段139と、動作条件設定手段1310とを有する。
続いて、上記構成を備えた圧電定数測定装置を用いて試料の圧電定数を測定する場合の動作の流れを説明する。
〈1〉動作条件の設定
まず、装置を起動させ、計測部Cの入力手段121及び動作条件設定手段1310により、重りの移動速度、移動量、ワイヤーの緩め量(荷重印加量)を設定する。
〈2〉実行
次に、計測部Cは、設定された動作条件に基づいて、計測を次のように実行する。
〈2-1〉積分回路100の出力値を含むデータの収集・変換・記録を開始する。
〈2-2〉印加荷重制御手段133が重り6を原点位置から設定量だけ動作する。
(2-3〉接触位置検知センサー94が動作して、試料4との接触を知らせる。
〈2-4〉荷重を増加させるため、印加荷重制御手段133がさらにワイヤーを緩める。
〈2-5〉ワイヤーの緩め量設定値で重りを保持し、荷重を一定に保つ。
〈2-6〉以上の動作の間、データの収集・変換・記録を反復継続する。
〈2-7〉設定された荷重印加を終了したら,印加荷重制御手段133はワイヤーを巻取り、重りを予め設定した位置(原点位置又は試料に近い位置)に上昇させて、実行を終了する。
〈3〉データファイル格納又はグラフ表示
〈3-1〉入力部121から入力される格納指示に従い、記憶制御手段137は、収集・変換・記録したデータのファイルを記憶部123に格納する。
〈3-2〉入力部121から入力される表示指示又は印刷指示に従い、グラフを表示部に表示し、又はプリンタで印刷する。
ΔQ=Vout *Zf ・・・(2)
ただし、Vout はアンプ101の出力、Zf はコンデンサ103の容量。
d33=ΔQ/ΔN ・・・(3)
しかし、本発明の好ましい実施の形態においては、グラフデータ作成手段138が出力するグラフデータを、グラフ表示手段139から出力部122、例えば、液晶ディスプレイ又はCRTなどのグラフを表示可能な表示部又は印刷可能なプリンタに出力するようになっている。
図1の50は、接触面積の異なる上部接触電極を重り6に交換可能に取付ける手段の一例としての上部接触電極交換ユニットである。この上部接触電極交換ユニット50は、上部接触電極5を支持する支持部材51を、重り6の下部に接続した固定部材52に対して、ネジその他の固着具53により着脱可能に取付けるものである。
図11は、荷重印加手段B2が機械的制御により任意の荷重を強制印加する機構で構成されている実施の形態の一例を示す概念図である。この荷重印加手段B2は、所定の位置に設けられた固定部160に固定されたモータ96と、そのモータの回転軸に上端が結合されたボールネジ97と、そのボールネジ97の下部に螺合され、図示されていないガイド部材により固定部160に対して回転不能に、かつ、昇降自在に保持された固定部材52と、その固定部材52の下端部に固着された接触荷重検出ユニット54とから構成されている。
A 試料セット部
1 試料台
2 下部電極
3 上部電極
4 試料
5 上部接触電極
50 上部接触電極交換ユニット
51 支持部材
52 固定部材
53 固着具
B1 荷重印加手段
6 重り
7 ワイヤー
8 滑車
91 ステッピングモータ
92 リール
93 上部接触電極原点位置検出センサー
93a 指標
94 上部接触電極接触位置検出センサー
94a 遮光片
95 接触位置検知機構
951 ステ―
952 支点
953 レバー
954 溝付きローラ
図3において
A 試料セット部
C 計測部
100 積分回路
121 入力部
122 出力部
123 記憶部
130 演算制御部
図11において
B2 荷重印加手段
133 印加荷重制御手段
96 ステッピングモータ
97 ボールねじ
50 上部接触電極交換ユニット
51 支持部材
52 固定部材
54 印加荷重検出ユニット
Claims (11)
- 圧電材料からなる試料に印加する荷重を段階的又は連続的に増減して、各印加荷重において当該試料から発生する電荷を計測し、前記印加荷重と電荷を座標軸とするグラフを作成してそのグラフを出力(表示又は印刷)し、そのグラフの直線範囲を当該試料に圧電定数測定のために印加する荷重の好適範囲と決定し、その好適範囲の荷重を印加して圧電定数測定を行うことを特徴とする圧電定数測定方法。
- 試料に荷重を印加する荷重印加手段に取付けられ、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極に、前記上部電極の面積と等しい面積を有するものを用いることを特徴とする請求項1に記載の圧電定数測定方法。
- 試料に対して請求項1の方法により好適範囲と決定された荷重を印加する荷重印加手段に取付けられ、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極に、前記上部電極の面積よりも小さい、異なる面積を有する複数の上部接触電極を用い、前記上部電極とそれぞれの上部接触電極の面積比における圧電定数を計測し、それぞれの計測結果を上部電極と上部接触電極の面積比と圧電定数とを座標軸とするグラフ上にプロットし、それらの座標点を結ぶ線が上部電極と上部接触電極の面積比が1の座標軸と交差する点を当該試料の圧電定数と推定することを特徴とする圧電定数測定方法。
- 圧電材料からなる試料に荷重を段階的又は連続的に増減して印加する荷重印加手段と、
荷重印加により試料から発生する電荷を計測する電荷計測手段と、
印加された荷重と発生した電荷に基づいて荷重と電荷を座標軸とするグラフを作成するグラフ作成手段と、
前記グラフ作成手段が作成したグラフを出力する出力手段と
を備えていることを特徴とする圧電応答計測装置。 - 前記荷重印加手段は、前記試料に接続された上部電極に接触される上部接触電極を、前記上部電極の面積と等しい面積を有するものに、又は上部電極と上部接触電極の面積比を変更するために上部電極の面積よりも小さい、異なる面積を有する複数の上部接触電極に交換可能に支持する支持手段を備えていることを特徴とする請求項4に記載の圧電応答計測装置。
- 前記荷重印加手段は、重りの自然落下をワイヤー等で制御する機構であることを特徴とする請求4又は5に記載の圧電定数測定装置。
- 前記重りの自然落下をワイヤー等で制御する機構は、一端が重りに結合され、他端がモータにより回転されるリールに結合され、中間部が滑車に支持されたワイヤーと、前記上部接触電極の原点位置を検出するセンサーと、前記上部接触電極の上部電極に対する接触位置を検出するセンサーと、前記両センサーの検知信号に基づいて前記モータの回転量を制御してワイヤーの弛緩量を制御する印加荷重制御手段とからなることを特徴とする請求項6に記載の圧電定数測定装置。
- 上部接触電極の原点位置を検出するセンサーは、リールの円周上に設けられた指標と、その指標を検知するセンサーとからなることを特徴とする請求項7に記載の圧電定数測定装置。
- 上部接触電極の上部電極に対する接触位置を検出するセンサーは、定点で揺動自在に支持されたレバーと、そのレバーの一端に回転自在に設けられ、ワイヤーに乗せられた溝付きローラと、前記レバーの他端の高さ位置によりON・OFFされるセンサーとからなることを特徴とする請求項7に記載の圧電定数測定装置。
- 前記荷重印加手段は、機械的制御により任意の荷重を任意面積を持つ上部接触電極により強制印加する機構であり、結果データを変換乗数で真値に換算することを特徴とする請求項4又は5に記載の圧電定数測定装置。
- 機械的制御により任意の荷重を強制印加する機構は、定位置に設けられたモータと、そのモータにより所定方向に回転され、下端部が上部接触電極支持部材に螺合されたボールねじとからなる印加荷重制御手段を有することを特徴とする請求項10に記載の圧電定数測定装置。
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