JP2012238666A - 光学センサおよび光学センサの製造方法 - Google Patents
光学センサおよび光学センサの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】表面に板厚方向に窪む凹部21を有する板状のガラス材料からなるガラス部材20と、光を受光する受光部12を有し、ガラス部材20の凹部21の底面21Bに受光部12を対面させて実装され、凹部21の底面21Bを透過して受光部12により受光した光を光電変換する光電変換素子11と、ガラス部材20の表面の凹部21の外側の領域に形成され、光電変換素子11よりも板厚方向に張り出す複数の外部電極15と、ガラス部材20の凹部21の内面に沿って形成され、一端が光電変換素子11に接続され他端が外部電極15に接続された複数の内部配線13とを備える光学センサ1を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、表面に板厚方向に窪む凹部を有する板状のガラス材料からなるガラス部材と、光を受光する受光部を有し、前記ガラス部材の前記凹部の底面に前記受光部を対面させて実装され、前記凹部の底面を透過して前記受光部により受光した光を光電変換する光学素子と、前記ガラス部材の表面の前記凹部の外側の領域に形成され、前記光学素子よりも前記板厚方向に張り出す複数の外部電極と、前記ガラス部材の前記凹部の内面に沿って形成され、一端が前記光学素子に接続され他端が前記外部電極に接続された複数の内部配線とを備える光学センサを提供する。
このように構成することで、ガラス部材の凹部とカバープレートにより光学素子を保護し、実装用基板等に実装する前の光学センサ単体としての信頼性を向上することができる。
このように構成することで、段部によりカバープレートを安定した姿勢に維持することができる。
このように構成することで、カバープレートの凹部により光学素子が収容される分だけ、全体をより薄型化することができる。
このように構成することで、ガラス部材の凹部と樹脂により光学素子を保護し、実装用基板等に実装する前の光学センサ単体としての信頼性を向上することができる。
このように構成することで、凹部の底面を透過した光を樹脂が充填されていない小空間を介して受光部により受光させることができ、遮光性の材料からなる樹脂を使用しても精度よく光を検出することができる。したがって、遮光性の樹脂を使用し、光が樹脂を透過して受光部により受光されてしまうのを防止しつつ、所望の光を精度よく検出することができる。
このように構成することで、凹部とカバープレートにより光学素子を保護し、実装用基板等に実装する前の単体としても信頼性が高い光学センサを製造することができる。
このように構成することで、凹部と樹脂により光学素子を保護し、実装用基板等に実装する前の単体としても信頼性が高い光学センサを製造することができる。
本実施形態に係る光学センサ1は、図1に示すように、光を受光してその強度を検出する光電変換素子(光学素子)11を備え、外部の明るさを検知することができるようになっている。この光学センサ1は、板状のガラス材料からなるガラス部材20に光電変換素子11が受光部12を対面させて実装されている(FCB実装:フリップチップボンディング実装)。
なお、本実施形態においては、凹部21の内壁面23が底面21Bに対して傾斜していることとしたが、凹部21の内壁面23が底面21Bに対して垂直であってもよい。
本実施形態に係る光学センサ1の製造方法は、所定の厚さのガラス部材20の表面の中央に凹部21を形成する凹部形成工程S1と、凹部形成工程S1より凹部21が形成されたガラス部材20の表面に4つの内部配線13を形成する配線形成工程S2と、配線形成工程S2により内部配線13が形成されたガラス部材20の凹部21の底面21Bに光電変換素子11を実装し、光電変換素子11と内部配線13の一端とを接続する素子実装工程S3と、配線形成工程S2により内部配線13が形成されたガラス部材20の凹部11側の表面の四隅にそれぞれ外部電極15を形成し、外部電極15と内部配線13の他端とを接続する電極形成工程S4とを含んでいる。
配線形成工程S2においては、例えば、スパッタリング、蒸着、印刷、メッキ等を単独で用いたり複合して用いたりして、凹部21の内面に沿って内部配線13を形成するようになっている。
なお、本実施形態においては、素子実装工程S3の後に電極形成工程S4を実施することとしたが、これに代えて、素子実装工程S3の前に配線形成工程S2と同時に電極形成工程S4を実施し、内部配線13と同時に外部電極15を形成することとしてもよい。
本実施形態に係る光学センサ1によれば、外部からガラス部材20の薄肉部20Aを透過した光が光電変換素子11の受光部12により受光されて電気信号に光電変換されると、その電気信号が内部配線13を介して外部電極15へと送られる。
第1変形例としては、例えば、図5に示すように、ガラス部材20の凹部21を密閉し、凹部21との間に光電変換素子11が収容される密閉空間33を形成する板状のカバープレート31を備えることとしてもよい。この場合、凹部21の段部25にカバープレート31を突き当てて固定し、カバープレート31が外部電極15よりも板厚方向に引っ込むように配置することとすればよい。
11 光電変換素子(光学素子)
12 受光部
13 内部配線
15 外部電極
20 ガラス部材
21 凹部
23 内壁面
25 段部
31 カバープレート
33 密閉空間
35 樹脂
S1 凹部形成工程
S2 配線形成工程
S3 素子実装工程
S4 電極形成工程
Claims (9)
- 表面に板厚方向に窪む凹部を有する板状のガラス材料からなるガラス部材と、
光を受光する受光部を有し、前記ガラス部材の前記凹部の底面に前記受光部を対面させて実装され、前記凹部の底面を透過して前記受光部により受光した光を光電変換する光学素子と、
前記ガラス部材の表面の前記凹部の外側の領域に形成され、前記光学素子よりも前記板厚方向に張り出す複数の外部電極と、
前記ガラス部材の前記凹部の内面に沿って形成され、一端が前記光学素子に接続され他端が前記外部電極に接続された複数の内部配線とを備える光学センサ。 - 前記ガラス部材の凹部の内面が、前記底面に向かって徐々に横断面積が小さくなるように形状を変化させた内壁面を有しており、
該内壁面に突き当てられて前記凹部を密閉し、該凹部との間に前記光学素子が収容される密閉空間を形成する板状のカバープレートを備え、
該カバープレートが前記外部電極よりも前記板厚方向に引っ込んで配されている請求項1に記載の光学センサ。 - 前記凹部の内壁面が、前記横断面積を段階的に変化させ前記カバープレートが突き当てられる段部を有する請求項2に記載の光学センサ。
- 前記カバープレートが、表面に板厚方向に窪み前記光学素子を収容可能な凹部を有する請求項2に記載の光学センサ。
- 前記ガラス部材の凹部に充填され、前記光学素子の少なくとも前記凹部の開口側に配される面を覆う樹脂を備え、
該樹脂が前記外部電極よりも前記板厚方向に引っ込んで配されている請求項1に記載の光学センサ。 - 前記光学素子の受光部と前記ガラス部材の凹部の底面との間に前記樹脂が充填されていない小空間を有する請求項5に記載の光学センサ。
- ガラス材料からなる平板状のガラス部材の表面に板厚方向に窪む凹部を形成する凹部形成工程と、
該凹部形成工程により前記凹部が形成された前記ガラス部材の表面に、前記凹部の内面に沿って複数の内部配線を形成する配線形成工程と、
該配線形成工程により前記内部配線が形成された前記凹部の底面に受光部を対面させて光電変換素子を実装し、該光電変換素子と前記内部配線の一端とを接続する素子実装工程と、
前記配線形成工程により前記内部配線が形成された前記ガラス部材の表面の前記凹部の外側の領域に、前記光電変換素子よりも板厚方向に張り出すように複数の外部電極を形成し、該外部電極と前記内部配線の他端とを接続する電極形成工程とを含む光学センサの製造方法。 - 前記素子実装工程により前記光電変換素子が実装された前記ガラス部材の凹部をカバープレートにより密閉し、凹部との間に前記光電変換素子が収容される密閉空間を形成するカバープレート形成工程を含む請求項7に記載の光学センサの製造方法。
- 前記素子実装工程により前記光電変換素子が実装された前記ガラス部材の凹部に樹脂を充填し、該樹脂により前記光電変換素子を覆う樹脂形成工程を含む請求項7に記載の光学センサの製造方法。
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