JP2012230852A - 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法、および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡易な方法で欠陥のある画素を修復するとともに、正常に形成された画素の劣化を避ける。
【解決手段】２層以上の有機膜を含む画素を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、第１のインクを配置し、第１の温度で焼成することによりＨＴＬ１０３を成膜する工程と、ＨＴＬ１０３上に、第２のインクを配置し、第１の温度以下の第２の温度で焼成することによりＥＭＬ１０４を成膜する工程と、欠陥のある画素Ａを検出する工程と、画素ＡのＥＭＬ１０４を除去する工程と、第３のインクを画素Ａに配置し、第２の温度以下の第３の温度で焼成することにより再生後ＥＭＬ１０６を成膜する工程と、を備え、第３のインクの沸点は前記第２のインクの沸点以下であることを特徴とする。
【選択図】図１
【解決手段】２層以上の有機膜を含む画素を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、第１のインクを配置し、第１の温度で焼成することによりＨＴＬ１０３を成膜する工程と、ＨＴＬ１０３上に、第２のインクを配置し、第１の温度以下の第２の温度で焼成することによりＥＭＬ１０４を成膜する工程と、欠陥のある画素Ａを検出する工程と、画素ＡのＥＭＬ１０４を除去する工程と、第３のインクを画素Ａに配置し、第２の温度以下の第３の温度で焼成することにより再生後ＥＭＬ１０６を成膜する工程と、を備え、第３のインクの沸点は前記第２のインクの沸点以下であることを特徴とする。
【選択図】図１
Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法、および電子機器に関するものである。
テレビなどに用いられる有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬ）パネルは、消費電力が小さく、薄型化・軽量化も可能であるが、製造時の歩留まりについては、すでに市場が確立されている液晶パネルと比較すると改良が必要である。
有機ＥＬパネルは、各画素が発光ダイオードであり、画素毎に電流を流して画像を表示する。一般的に、各画素は電極間に発光層を含む数十ｎｍの膜厚の有機層が３層以上積層された構造である。
有機ＥＬテレビの製造工程において、不良品が発生する要因としては、基板電極上の突起やゴミが有機層の中に含まれてしまうことが挙げられる。突起やゴミが導電性を有すると、電極間でショートが誘発され致命的な欠陥となる。このため、従来はレーザー装置を用いて対象の画素を黒欠陥画素とする方法が用いられている。しかし、テレビ用途のパネルの場合黒欠陥画素が含まれるのは望ましくない。
特許文献１には、欠陥を有する画素内にある有機エレクトロルミネッセンス層を粘着剤で剥離し、その画素内に有機エレクトロルミネッセンス材料を含むインクを補充して修復を行う方法が記載されている。
しかし、欠陥のある部分の有機層を修復するためには、再び焼成工程を行わなければならず、既に形成されている発光層が劣化してしまうという問題がある。また、同じ膜厚の構成で修復したとしても、突起やゴミが取り除かれていなければ電極間のショートの誘発は避けられない。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、簡易な方法で欠陥のある画素を修復するとともに、正常に形成された画素の劣化を避けることである。
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法は、２層以上の有機膜を含む画素を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、第１のインクを配置し、第１の温度で焼成することにより第１の有機膜を成膜する工程と、前記第１の有機膜上に、第２のインクを配置し、前記第１の温度以下の第２の温度で焼成することにより第２の有機膜を成膜する工程と、欠陥のある画素を検出する工程と、前記欠陥のある画素の前記第２の有機膜を除去する工程と、第３のインクを前記欠陥のある画素に配置し、前記第２の温度以下の第３の温度で焼成することにより第３の有機膜を成膜する工程と、を備え、前記第３のインクの沸点は前記第２のインクの沸点以下である。
上記構成により、簡易な方法で欠陥のある画素を修復するとともに、正常に形成された画素の劣化を避けることができる。また、前記第２の有機膜は発光層とすることができる。
また、前記第３の有機膜は前記第２の有機膜よりも膜厚が厚いことが望ましい。
これにより、欠陥画素にゴミが残ったままの状態でもショートを防止する効果が高くなる。
これにより、欠陥画素にゴミが残ったままの状態でもショートを防止する効果が高くなる。
また、前記第３の有機膜は前記第２の有機膜よりも導電性が高いことが望ましい。これにより、前記第３の有機膜を第２の有機膜よりも厚くしたことによる発光効率の低下を補うことができる。
前記第１〜３の有機膜を成膜する工程では、インクジェットヘッドを用いて第１〜３のインクを吐出することができる。
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法は、２層以上の有機膜を含む画素を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法であって、前記有機膜は、第１のインクを配置し、第１の温度で焼成することにより成膜された第１の有機膜と、前記第１の有機膜上に、第２のインクを配置し、前記第１の温度以下の第２の温度で焼成することにより成膜された第２の有機膜と、を含み、欠陥のある画素を検出する工程と、前記欠陥のある画素の前記第２の有機膜を除去する工程と、第３のインクを前記欠陥のある画素に配置し、前記第２の温度以下の第３の温度で焼成することにより第３の有機膜を成膜する工程と、を備え、前記第３のインクの沸点は前記第２のインクの沸点以下である。
上記構成により、簡易な方法で欠陥のある画素を修復するとともに、正常に形成された画素の劣化を避けることができる。また、前記第２の有機膜は発光層とすることができる。
また、前記第３の有機膜は前記第２の有機膜よりも膜厚が厚いことが望ましい。
これにより、欠陥画素にゴミが残ったままの状態でもショートを防止する効果が高くなる。
これにより、欠陥画素にゴミが残ったままの状態でもショートを防止する効果が高くなる。
また、前記第３の有機膜は前記第２の有機膜よりも導電性が高いことが望ましい。これにより、前記第３の有機膜を第２の有機膜よりも厚くしたことによる発光効率の低下を補うことができる。
前記第１〜３の有機膜を成膜する工程では、インクジェットヘッドを用いて第１〜３のインクを吐出することができる。
また、本発明の電子機器は、上述した有機ＥＬ表示装置を表示部として備える。ここで、「電子機器」は、有機ＥＬ表示装置を表示部としてを備えるあらゆる機器を含むもので、ディスプレイ装置、テレビジョン装置、電子ペーパ、時計、電卓、携帯電話、携帯情報端末等を含む。
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本実施形態による有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬ）表示装置１００の製造工程を示す図である。
図１（Ａ）は、ＩＴＯ陽極１０１上に、正孔注入層（ＨＩＬ）１０２、正孔輸送層（ＨＴＬ、第１の有機膜）１０３、発光層（ＥＭＬ、第２の有機膜）１０４を積層した状態を示している。各画素は、バンク１０５によって区切られている。
図１は、本実施形態による有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬ）表示装置１００の製造工程を示す図である。
図１（Ａ）は、ＩＴＯ陽極１０１上に、正孔注入層（ＨＩＬ）１０２、正孔輸送層（ＨＴＬ、第１の有機膜）１０３、発光層（ＥＭＬ、第２の有機膜）１０４を積層した状態を示している。各画素は、バンク１０５によって区切られている。
正孔注入層（ＨＩＬ）１０２は、例えばポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸の混合体（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を含む液体材料（インク）を液滴吐出装置（インクジェットヘッド）によりＩＴＯ陽極１０１の上に配置し、例えば２００度で焼成を行うことにより形成する。
正孔輸送層（ＨＴＬ）１０３は、例えば熱架橋させるためにスチリル架橋基を数％含むフルオレンとトリフェニルアミンのコポリマー誘導体を溶解させた液体材料（インク）をインクジェットヘッドによりＨＩＬ１０２の上に配置し、例えば１８０度で焼成を行うことにより形成する。
発光層（ＥＭＬ）１０４は、例えばポリフルオレン系高分子材料を溶解させた液体材料（インク）をインクジェットヘッドによりＨＴＬ１０３の上に配置し、例えば１６０度で焼成を行うことにより形成する。
ＨＩＬ１０２、ＨＴＬ１０３、ＥＭＬ１０４は有機膜層である。また、それぞれの層の形成に用いるインクの沸点は、前の工程で用いるインクの沸点を上回らないため、焼成に必要な温度は上層へ行くほど低くなっている。このため、後工程における焼成によって、既に成膜されている層が劣化する心配はない。
図１（Ａ）に示すように、画素Ａにはゴミ２００が含まれている。ゴミ２００はＩＴＯ陽極１０１からの突起や塵等であるが、ゴミ２００が導電性を有する場合、画素内でショートが起こる原因となる。
図１（Ａ）に示す状態で、光学的な検査法等を用いて欠陥画素を検出する。欠陥画素Ａが見つかったら、画素ＡのＥＭＬ１０４のみを剥離して除去する。剥離の方法は、例えば、欠陥画素Ａを有機溶媒で満たしてＥＭＬ１０４を溶解させ、その後吸着剤等で吸い取るようにしてもよい。なお、この時ゴミ２００が同時に除去できてもできなくてもよいものとする。
次に、図１（Ｂ）に示すように、画素ＡのＥＭＬ１０４を除去したあとに、リペア用インクをインクジェットヘッドにより配置し、例えば１６０度で焼成を行うことにより再生後ＥＭＬ１０６（第３の有機膜）を形成する。リペア用のインクの沸点は、発光層（ＥＭＬ）１０４の形成に用いたインクの沸点以下であり、焼成に必要な温度も低くすることができる。このため、修復時の焼成によって他の画素のＥＭＬ１０４が劣化する心配はない。
図１（Ｃ）に示すように、再生後ＥＭＬ１０６はＥＭＬ１０４よりも膜厚が厚くなるように形成する。例えば、ＥＭＬ１０４は５０ｎｍ、再生後ＥＭＬ１０６は１５０ｎｍとする。再生後ＥＭＬ１０６をＥＭＬ１０４と同じ膜厚で形成すると、ゴミ２００が取り除かれていない場合に、電極間のショートの原因となる場合がある。再生後ＥＭＬ１０６を厚めに形成することにより、ショートを防止することができる。
一方、一般に有機ＥＬ素子は、膜厚が厚くなると駆動電圧が高くなり、発光率が低下するので、再生後ＥＭＬ１０６の膜厚を厚くする分、再生後ＥＭＬ１０６の導電性は高くすることが望ましい。導電性を高めるためにはリペア用インクの組成を工夫する必要がある。具体的には、インクに含まれる高分子の正孔輸送性基および電子輸送性基の比率を調整することにより実現できる。なお、リペアを行った画素Ａの初期輝度は、他の正常画素の７０％以上であることが望ましい。
欠陥画素Ａの再生後ＥＭＬ１０６を形成したら、図１（Ｄ）に示すように、ＬｉＦ／Ａｌの蒸着等により、再生後ＥＭＬ１０６の上に陰極１０７を形成する。なお、必要に応じて再生後ＥＭＬ１０６と陰極１０７の間に電子輸送層（ＥＴＬ）を形成してもよい。また、陰極１０７を形成する前に、再度光学的な検査法等による欠陥検査を行ってもよい。
以上のように、本実施形態によれば、簡易な方法で欠陥のある画素を修復することができるとともに、再生後ＥＭＬ１０６の形成に使うインクはＥＭＬ１０４のインクよりも沸点が低く、焼成温度を低くすることができるので、修復の際、正常に形成された他の画素を劣化させることを避けることができる。
また、再生後ＥＭＬ１０６の膜厚がＥＭＬ１０４よりも厚いため、欠陥画素にゴミが残ったままの状態でもショートを防止する効果が高くなる。
さらに、再生後ＥＭＬ１０６の導電性をＥＭＬ１０４よりも高くすることにより、再生後ＥＭＬ１０６の膜厚を厚くしたことによる発光効率の低下を補うことができる。
本発明は、有機ＥＬテレビのような、表示面積が比較的大きい有機ＥＬ表示装置に適しているが、その他の有機ＥＬ素子を利用した表示装置、回路、素子等にも適用できる。
また、本実施形態では、有機膜の形成にインクジェットヘッド方式を用いているが、ディスペンサーなどを用いて材料を配置する場合にも適用できる。
以下に、本発明の具体的な実施例を示すが、本発明はこれに限られるものではない。
実施例１．
ＥＭＬ１０４の形成には、下記の組成のインクを用いる。
溶質：ポリフルオレン系高分子材料（ガラス転移温度１４０℃）
溶媒：ヘキシルベンゼン（沸点２２６℃）
ＥＭＬ１０４の焼成の条件は、１５０℃で１５分間の加熱とする。また、膜厚は９０ｎｍとする。
実施例１．
ＥＭＬ１０４の形成には、下記の組成のインクを用いる。
溶質：ポリフルオレン系高分子材料（ガラス転移温度１４０℃）
溶媒：ヘキシルベンゼン（沸点２２６℃）
ＥＭＬ１０４の焼成の条件は、１５０℃で１５分間の加熱とする。また、膜厚は９０ｎｍとする。
欠陥画素のＥＭＬ１０４の剥離は、1,2,4-トリメチルベンゼン（沸点１６７℃）を欠陥画素に満たし、ＥＭＬ１０４を溶解させた後、吸着剤（シート）で溶解液を吸い取る。
再生後ＥＭＬ１０６の形成には、下記の組成のインクを用いる。
溶質：電子輸送性基のポリピリジンの組成比を２倍に増やしたポリフルオレン系高分子材料（ガラス転移温度１３０℃）
溶媒：1,4-ジイソプロピルベンゼン（沸点２１０℃）
ＥＭＬ１０６の焼成の条件は、１４０℃で１５分間の加熱とする。また、膜厚は１５０ｎｍとする。
溶質：電子輸送性基のポリピリジンの組成比を２倍に増やしたポリフルオレン系高分子材料（ガラス転移温度１３０℃）
溶媒：1,4-ジイソプロピルベンゼン（沸点２１０℃）
ＥＭＬ１０６の焼成の条件は、１４０℃で１５分間の加熱とする。また、膜厚は１５０ｎｍとする。
なお、ＨＩＬ１０２、ＨＴＬ１０３の形成については、焼成温度が１５０度以上であれば、公知の組成のインクを用いて行うことができる。
本実施例の条件で修復したリペア画素の素子性能は、同じ電流量を流した場合の正常画素と比較すると、輝度が２０％低下し、発光半減寿命は３０％短くなった。このように、リペア画素は正常画素と全く同じ性能を発揮するわけではないが、不良画素として視認しにくい程度のものであり、従来のように完全に黒欠陥としてしまうよりは、はるかに改善される。
実施例２．
ＥＭＬ１０４の形成には、下記の組成のインクを用いる。
溶質：ポリフルオレン系高分子材料（ガラス転移温度１５０℃）
溶媒：ノニルベンゼン（沸点２８２℃）
ＥＭＬ１０４の焼成の条件は、１６０℃で１５分間の加熱とする。また、膜厚は９０ｎｍとする。
ＥＭＬ１０４の形成には、下記の組成のインクを用いる。
溶質：ポリフルオレン系高分子材料（ガラス転移温度１５０℃）
溶媒：ノニルベンゼン（沸点２８２℃）
ＥＭＬ１０４の焼成の条件は、１６０℃で１５分間の加熱とする。また、膜厚は９０ｎｍとする。
欠陥画素のＥＭＬ１０４の剥離は、1,2,4-トリメチルベンゼン（沸点１６７℃）を欠陥画素に満たし、ＥＭＬ１０４を溶解させた後、吸着剤（シート）で溶解液を吸い取る。
再生後ＥＭＬ１０６の形成には、下記の組成のインクを用いる。
溶質：正孔輸送性基のN-(4-ブチルフェニル)-ジフェニルアミンの組成比を１．５倍に増やし、電子輸送性基のベンゾジチアゾールの組成比を１．５倍に増やしたポリフルオレン系高分子材料（ガラス転移温度１３０℃）
溶媒：1,3,5-トリエチルベンゼン（沸点２１８℃）
ＥＭＬ１０６の焼成の条件は、１４０℃で１５分間の加熱とする。また、膜厚は２００ｎｍとする。
溶質：正孔輸送性基のN-(4-ブチルフェニル)-ジフェニルアミンの組成比を１．５倍に増やし、電子輸送性基のベンゾジチアゾールの組成比を１．５倍に増やしたポリフルオレン系高分子材料（ガラス転移温度１３０℃）
溶媒：1,3,5-トリエチルベンゼン（沸点２１８℃）
ＥＭＬ１０６の焼成の条件は、１４０℃で１５分間の加熱とする。また、膜厚は２００ｎｍとする。
なお、ＨＩＬ１０２、ＨＴＬ１０３の形成については、焼成温度が１６０度以上であれば、公知の組成のインクを用いて行うことができる。
本実施例の条件で修復したリペア画素の素子性能は、同じ電流量を流した場合の正常画素と比較すると、輝度が３０％低下し、発光半減寿命は３０％短くなった。このように、リペア画素は正常画素と全く同じ性能を発揮するわけではないが、不良画素として視認しにくい程度のものであり、従来のように完全に黒欠陥としてしまうよりは、はるかに改善される。
（電子機器）
次に、本発明による有機ＥＬ表示装置１００を備えた電子機器の具体例について説明する。
図２は、有機ＥＬ表示装置１００を備えた電子機器の具体例を示す斜視図である。図２（Ａ）は、電子機器の一例である携帯電話機を示す斜視図である。この携帯電話機１０００は、本発明にかかる有機ＥＬ表示装置１００を用いて構成された表示部１００１を備えている。図２（Ｂ）は、電子機器の一例であるテレビジョン装置を示す斜視図である。このテレビジョン装置１１００は、本発明にかかる有機ＥＬ表示装置１００を用いて構成された表示部１１０１を備えている。図２（Ｃ）は、電子機器の一例である情報処理装置１２００を示す斜視図である。この情報処理装置１２００は、キーボード等の入力部１２０１、演算手段や記憶手段などが格納された本体部１２０２、および本発明にかかる有機ＥＬ表示装置１００を用いて構成された表示部１２０３を備えている。
次に、本発明による有機ＥＬ表示装置１００を備えた電子機器の具体例について説明する。
図２は、有機ＥＬ表示装置１００を備えた電子機器の具体例を示す斜視図である。図２（Ａ）は、電子機器の一例である携帯電話機を示す斜視図である。この携帯電話機１０００は、本発明にかかる有機ＥＬ表示装置１００を用いて構成された表示部１００１を備えている。図２（Ｂ）は、電子機器の一例であるテレビジョン装置を示す斜視図である。このテレビジョン装置１１００は、本発明にかかる有機ＥＬ表示装置１００を用いて構成された表示部１１０１を備えている。図２（Ｃ）は、電子機器の一例である情報処理装置１２００を示す斜視図である。この情報処理装置１２００は、キーボード等の入力部１２０１、演算手段や記憶手段などが格納された本体部１２０２、および本発明にかかる有機ＥＬ表示装置１００を用いて構成された表示部１２０３を備えている。
１００ 有機ＥＬ表示装置、１０１ ＩＴＯ陽極、１０２ ＨＩＬ、１０３ ＨＴＬ、１０４ ＥＭＬ、１０５ バンク、１０６ 再生後ＥＭＬ、１０７ 陰極、２００ ゴミ、１０００ 携帯電話機、１００１ 表示部、１１００ テレビジョン装置、１１０１ 表示部、１２００ 情報処理装置、１２０１ 入力部、１２０２ 本体部、１２０３ 表示部、Ａ 画素
Claims (11)
- ２層以上の有機膜を含む画素を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、
第１のインクを配置し、第１の温度で焼成することにより第１の有機膜を成膜する工程と、
前記第１の有機膜上に、第２のインクを配置し、前記第１の温度以下の第２の温度で焼成することにより第２の有機膜を成膜する工程と、
欠陥のある画素を検出する工程と、
前記欠陥のある画素の前記第２の有機膜を除去する工程と、
第３のインクを前記欠陥のある画素に配置し、前記第２の温度以下の第３の温度で焼成することにより第３の有機膜を成膜する工程と、を備え、
前記第３のインクの沸点は前記第２のインクの沸点以下である、
有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。 - 前記第３の有機膜は前記第２の有機膜よりも膜厚が厚い、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
- 前記第２の有機膜は発光層である、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
- 前記第３の有機膜は前記第２の有機膜よりも導電性が高い、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
- 前記第１〜３の有機膜を成膜する工程では、インクジェットヘッドを用いて第１〜３のインクを吐出する、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
- ２層以上の有機膜を含む画素を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法であって、
前記有機膜は、
第１のインクを配置し、第１の温度で焼成することにより成膜された第１の有機膜と、
前記第１の有機膜上に、第２のインクを配置し、前記第１の温度以下の第２の温度で焼成することにより成膜された第２の有機膜と、を含み、
欠陥のある画素を検出する工程と、
前記欠陥のある画素の前記第２の有機膜を除去する工程と、
第３のインクを前記欠陥のある画素に配置し、前記第２の温度以下の第３の温度で焼成することにより第３の有機膜を成膜する工程と、を備え、
前記第３のインクの沸点は前記第２のインクの沸点以下である、
有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法。 - 前記第３の有機膜は前記第２の有機膜よりも膜厚が厚い、請求項６に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法。
- 前記第２の有機膜は発光層である、請求項６に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法。
- 前記第３の有機膜は前記第２の有機膜よりも導電性が高い、請求項６に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法。
- 前記第１〜３の有機膜を成膜する工程では、インクジェットヘッドを用いて第１〜３のインクを吐出する、請求項６に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法。
- 請求項１〜５のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法で製造された有機エレクトロルミネッセンス表示装置を備えた電子機器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011099239A JP2012230852A (ja) | 2011-04-27 | 2011-04-27 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法、および電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011099239A JP2012230852A (ja) | 2011-04-27 | 2011-04-27 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法、および電子機器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012230852A true JP2012230852A (ja) | 2012-11-22 |
Family
ID=47432238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011099239A Withdrawn JP2012230852A (ja) | 2011-04-27 | 2011-04-27 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置のリペア方法、および電子機器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2012230852A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015162891A1 (ja) * | 2014-04-23 | 2015-10-29 | 株式会社Ｊｏｌｅｄ | 有機ｅｌ表示パネルの製造方法および有機ｅｌ表示パネルの製造システム |
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2011
- 2011-04-27 JP JP2011099239A patent/JP2012230852A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015162891A1 (ja) * | 2014-04-23 | 2015-10-29 | 株式会社Ｊｏｌｅｄ | 有機ｅｌ表示パネルの製造方法および有機ｅｌ表示パネルの製造システム |
| US9548452B2 (en) | 2014-04-23 | 2017-01-17 | Joled Inc. | Method for manufacturing organic EL display panel and system for manufacturing organic EL display panel |
| JPWO2015162891A1 (ja) * | 2014-04-23 | 2017-04-13 | 株式会社Ｊｏｌｅｄ | 有機ｅｌ表示パネルの製造方法および有機ｅｌ表示パネルの製造システム |
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