JP2012228371A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 光源からの光を回折することによって、明部と暗部とが２次元に配列した干渉パターンを形成する回折格子と、前記回折格子からの前記光を透過する透過部と前記回折格子からの前記光を遮る遮蔽部とが２次元に配列した遮蔽格子と、前記干渉パターンと前記遮蔽格子との相対位置を変化させる移動手段と、前記遮蔽格子からの前記光を検出する検出器と、を備え、被検体を撮像する撮像装置であって、
   前記検出器は、前記移動手段が前記相対位置を前記第１および第２の方向と異なる第３の方向に変化させている間に該相対位置の変化に対応して前記光を複数回検出することで、複数の検出結果を取得することを特徴とする撮像装置。
2. 前記第３の方向は、
   前記第３の方向へ前記相対位置が変化することにより、
   前記第１の方向における前記相対位置の変化量と、前記第２の方向における前記相対位置の変化量とが異なるような方向であることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
3. 前記第１の方向と前記第２の方向とは互いに直交し、
   前記第３の方向は、前記第１の方向と４５度をなす方向と異なることを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
4. 前記移動手段は、前記第３の方向にのみ前記干渉パターンと前記遮蔽格子との相対位置を変化させることで位相シフト法を行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の撮像装置。
5. 前記検出器による検出結果に基づいて、第１の方向と該第１の方向と交差する第２の方向とにおける前記光の位相の微分値を算出する算出手段を備え、
   前記検出器は、前記相対位置の前記第３の方向への変化に対応して前記光を５回以上検出することで、５つ以上の前記検出結果を取得し、
   前記算出手段は５つ以上の前記検出結果に基づいて前記第１の方向と前記第２の方向とにおける前記位相の微分値を算出するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の撮像装置。
6. 前記光はＸ線であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。
7. 光源からの光を回折することによって、明部と暗部とが２次元に配列した干渉パターンを形成する回折格子と、
   前記回折格子からの前記光を透過する透過部と前記回折格子からの前記光を遮る遮蔽部とが２次元に配列した遮蔽格子と、前記干渉パターンと前記遮蔽格子との相対位置を変化させる移動手段と、前記遮蔽格子からの前記光を検出する検出器と、を備え、被検体を撮像する撮像装置に用いられる撮像方法であって、
   前記移動手段が前記相対位置を前記第１および第２の方向と異なる第３の方向に変化させている間に該相対位置の変化に対応して前記検出器が前記光を複数回検出することで、複数の検出結果を取得する工程を有することを特徴とする撮像方法。