JP2012204713A - 基板保持具および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の保持部材36aおよび第2の保持部材36bの下部には、ボルト38a用の貫通孔36c、貫通孔36dが複数箇所形成されている。第1の保持部材36aにおける貫通孔36cよりも下側に直線の切欠部36eが形成されるとともに、第2の保持部材36bにおける貫通孔36dよりも下側に直線の切欠部36fが形成されている。このため、貫通孔36c、貫通孔36dに処理液の液滴がたまることがない。したがって、複数枚の基板Wを乾燥させる際に、処理液の液滴が原因で発生する基板W表面における乾燥ムラを防止できる。
【選択図】 図4
Description
に入り込んだ処理液の液滴が、例えば基板保持枠と保持部材との間等から出てきて、この処理液の液滴等が原因で、基板表面の保持部材近傍で、乾燥ムラが発生してしまうという問題がある。特に、基板の乾燥処理を減圧下で行った場合、ねじ孔と処理雰囲気との圧力差から処理液の液滴が基板表面に出てきやすくなる。
まず、本発明の実施形態に係る基板処理装置について説明する。図1は、本発明の実施形態に係る基板処理装置の概略構成の一例を示す模式的断面図であり、図2は、この基板処理装置の構成要素である基板保持具の主要部を正面から見た拡大断面図であり、図3は、基板保持具の主要部を部分的に破断した状態で示す側面図である。
ッチング等の処理を行うときは、支持・移動機構により、移動部材26は、処理槽10内に移動させられる。処理槽10の上方位置において、基板Wに対して乾燥を行うときは、支持・移動機構により、移動部材26は、処理槽10の上方位置に移動させられる。また、第1の保持部材34a、36a及び第2保持部材34b、36bは、図3に示すように、基板Wの下端縁と係合する複数の基板保持溝40a、40b、42a、42bをそれぞれ有しており、第1の保持部材34a、36a及び第2保持部材34b、36bにより、複数枚の基板Wを相互に僅かな間隔をあけて一定ピッチで水平方向に配列させて保持することができる。
次に、第1の実施形態に係る基板保持具について説明する。なお、3つある基板保持枠28、30は略共通の形態をしているので、第1の実施形態においては、図2の図示方向からみて右側の基板保持枠30を一例に、以下説明する。図4は、第1の実施形態に係る基板保持具の図2の図示方向からみて右側の基板保持枠30の部分拡大図であり、図5(a)(b)は、第1の実施形態に係る基板保持具の保持部材36a、36b、図5(c)は、第1の実施形態に係る基板保持具のワッシャー37a(37b)の図である。
次に、第2の実施形態に係る基板保持具について説明する。なお、3つある基板保持枠28、30は略共通の形態をしているので、第2の実施形態においては、図2の図示方向から見て右側の基板保持枠30を一例に、以下説明する。図6は、第2の実施形態に係る基板保持具の図2の図示方向から見て右側の基板保持枠30の部分拡大図であり、図7(a)(b)は、第2の実施形態に係る基板保持具の保持部材36a、36b、図7(c)は、第2の実施形態に係る基板保持具のワッシャー37a(37b)の図である。
、本発明の第2の孔に相当する。
12 リフタ(基板保持具)
14 処理液供給口(処理液供給手段)
16 処理液供給管(処理液供給手段)
18 排液口
20 排液管
23 供給ノズル
26 移動部材
28、30 基板保持枠
30a 貫通孔(第1の孔)
32 固定枠
34a、36a 第1の保持部材
34b,36b 第2の保持部材
36c、36d 貫通孔(第2の孔)
36e、36f 切欠部
37a 第1のワッシャー
37b 第2のワッシャー
37c、37d 切欠部
37e、37f 溝
38 固定具
38a ボルト
38b ナット
40a、40b、42a、42b 基板保持溝
W 基板
Claims (4)
- 複数枚の基板を起立姿勢で配列させて保持する基板保持具において、
処理液が貯留されている処理槽の内部と前記処理槽の上方位置との間で移動可能である移動部材と、
前記移動部材に固着され、複数枚の基板の配列方向に沿って水平方向に配置された複数の基板保持枠と、
基板の下端部に接触して基板を保持する保持部材と、
前記基板保持枠に形成された第1の孔と前記保持部材に形成された第2の孔とを挿通させて、前記基板保持枠に前記保持部材を取り付ける固定具とを備え、
前記保持部材の前記第2の孔よりも下側に処理液が流れる切欠部が形成されていることを特徴とする基板保持具。 - 請求項1に記載の基板保持具において、
前記保持部材と前記固定具との間にワッシャーをさらに備え、
前記ワッシャーの下部に処理液が流れる切欠部が形成されていることを特徴とする基板保持具。 - 請求項1に記載の基板保持具において、
前記保持部材と前記固定具との間にワッシャーをさらに備え、
前記ワッシャーの下部で、かつ前記保持部材側に処理液が流れる溝が形成されていることを特徴とする基板保持具。 - 基板に処理液に浸漬させて基板を処理する基板処理装置において、
処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽に処理液を供給する処理液供給手段と、
請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の基板保持具とを備えることを特徴とする基板処理装置。
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