JP2012198202A - 微小磁性金属異物の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 微小磁性金属異物の検査装置において、微小磁性金属異物2へ磁場を印加する円筒型永久磁石3の磁場の影響下であって前記微小磁性金属異物2の移動方向に配置される差動型検出コイル5と、この差動型検出コイル5の磁束をSQUID磁気センサ8に磁気的に結合して入力する入力コイル6とを有する磁束トランス4を具備する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、上記状況に鑑みて、微小な磁性金属異物であっても確実に計測することができる、微小磁性金属異物の検査装置を提供することを目的とする。
〔1〕微小磁性金属異物の検査装置において、微小磁性金属異物へ磁場を印加する磁場印加装置の磁場の影響下であって前記微小磁性金属異物の移動方向に配置される差動型検出コイルと、この差動型検出コイルの磁束を磁気センサに磁気的に結合して入力する入力コイルとを有する磁束トランスを具備することを特徴とする。
〔3〕上記〔2〕記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記円筒型永久磁石内に、前記微小磁性金属異物の移動方向に沿って、巻き数が同じで巻き方向を逆にした一対のコイルを直列に接続した前記差動型検出コイルを配置することを特徴とする。
〔5〕上記〔1〕又は〔2〕記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記差動型検出コイルと前記入力コイルとを互いに離隔しリード線によって接続することを特徴とする。
〔7〕上記〔5〕記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記差動型検出コイルに接続される前記リード線は前記多層磁気シールドに対して電磁シールドされた状態で配線することを特徴とする。
〔9〕上記〔1〕から〔5〕記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記磁気センサがMI効果素子であることを特徴とする。
(1)従来の微小磁性金属異物の検査装置では、SQUID磁気センサの多層磁気シールドには液体配管を貫通させる開口部が必要であり、SQUID磁気センサの磁気遮蔽が十分でなかったが、本発明によれば、磁石による磁場印加部と磁気センサによる信号計測部とを分離することができるので、磁気センサの磁界の遮蔽を十分に行うことができ、ノイズが小さくなり、S/N(信号とノイズとの比)を改善することができる。
(3)微小磁性金属異物の磁化と磁気センサによる計測が同時であるため、磁化された微小磁性金属異物の減磁による信号減衰がないので、計測信号が大きくなり、S/Nを改善することができる。
図1は本発明の実施例を示す磁束トランスを用いた微小磁性金属異物の検査装置を示す模式図、図2はその微小磁性金属異物の検査装置の磁束トランスを示す模式図である。
本発明では、特に、リチウム電池用活物質バインダーなど液体中に混入された微小磁性金属異物を、超高感度SQUID磁気センサを用いて磁気的に検査する装置について説明する。
図4において、11は液体配管、12は液体配管11内を移動する微小磁性金属異物、13は液体配管11が貫通する円筒型永久磁石、14は円筒型永久磁石13から離された位置に配置される磁束トランス、15は液体配管11の周囲に配置された磁束トランス14の差動型検出コイル、16は差動型検出コイル15に接続される入力コイル、17は差動型検出コイル15と入力コイル16とを接続するリード線、18は入力コイル16内に配置されるSQUID磁気センサ、19はSQUID磁気センサ18の液体窒素容器(クライオスタット)、20は液体窒素容器19の外側に配置される多層磁気シールドである。
このように、差動型検出コイル15を円筒型永久磁石13内に置かず、信号計測中には微小磁性金属異物12としての鉄球に磁場を印加しなかった。この場合、あらかじめ磁化された微小磁性金属異物12としての鉄球の自己磁場が計測時点では減衰するので、計測信号は小さく、S/Nはほぼ1程度である。したがって、図1のように円筒型永久磁石による磁化と差動型検出コイルによる信号検出を同位置で行うことで、自己磁場の減衰をなくすことができ、大きく変化する信号を得られ、S/Nを改善することができる。
この図において、21は液体配管、22は液体配管11内を移動する微小磁性金属異物、23は液体配管21の外部に同心状に配置される差動型検出コイル24が巻回される差動型検出コイル用配管、25はその差動型検出コイル用配管24の外部に同心状に配置される円筒型永久磁石である。
また、上記実施例では、SQUID磁気センサによる計測について述べたが、SQUID磁気センサに限定されるものではなく、SQUID磁気センサに代えて、フラックスゲートセンサ(flux gate sensor)、つまり、大きさと位相が軸に沿って働く外部磁場の大きさと方向に比例する電気的出力信号を出す検出器を用いるようにしてもよい。
(1)従来の微小磁性金属異物の検査装置では、図7に示すように、SQUID磁気センサ106の多層磁気シールド104には液体配管101を貫通させる開口部107が必要であり、SQUID磁気センサ106の磁気遮蔽が十分でなかったが、本発明によれば、磁石による磁場印加部とSQUID磁気センサによる信号計測部とを分離することができるので、SQUID磁気センサの磁界の遮蔽を十分に行うことができ、ノイズが小さくなり、S/Nが改善される。
(3)微小磁性金属異物への磁化とSQUID磁気センサによる計測が同時であるため、磁化された微小磁性金属異物の減磁による信号減衰がないので、計測信号が大きくなり、S/Nが改善される。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
2,12,22 微小磁性金属異物
3,13,25 円筒型永久磁石
4,14 磁束トランス
5,15,24 差動型検出コイル
5A 左巻きコイル
5B 右巻きコイル
6,16 入力コイル
7,17 リード線
8,18 SQUID磁気センサ
9,19 液体窒素容器(クライオスタット)
10,20 多層磁気シールド
23 差動型検出コイル用配管
Claims (9)
- (a)微小磁性金属異物へ磁場を印加する磁場印加装置の磁場の影響下であって前記微小磁性金属異物の移動方向に配置される差動型検出コイルと、
(b)該差動型検出コイルの磁束を磁気センサに磁気的に結合して入力する入力コイルとを有する磁束トランスを具備することを特徴とする微小磁性金属異物の検査装置。 - 請求項1記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記磁場印加装置が円筒型永久磁石であり、該円筒型永久磁石を貫通して配置される液体配管内で前記微小磁性金属異物を移動させることを特徴とする微小磁性金属異物の検査装置。
- 請求項2記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記円筒型永久磁石内に、前記微小磁性金属異物の移動方向に沿って、巻き数が同じで巻き方向を逆にした一対のコイルを直列に接続した前記差動型検出コイルを配置することを特徴とする微小磁性金属異物の検査装置。
- 請求項2記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記微小磁性金属異物の移動方向に沿って、前記液体配管の外側でかつ同軸状に差動型検出コイル用配管を配置し、該差動型検出コイル用配管内に前記差動型検出コイルを配置することを特徴とする微小磁性金属異物の検査装置。
- 請求項1又は2記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記差動型検出コイルと前記入力コイルとを互いに離隔しリード線によって接続することを特徴とする微小磁性金属異物の検査装置。
- 請求項1から5の何れか一項記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記磁気センサがSQUID磁気センサであり、多層磁気シールド内に配置されたクライオスタット内に配置することを特徴とする微小磁性金属異物の検査装置。
- 請求項5記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記差動型検出コイルに接続される前記リード線は前記多層磁気シールドに対して電磁シールドされた状態で配線することを特徴とする微小磁性金属異物の検査装置。
- 請求項1から5記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記磁気センサがフラックスゲートセンサであることを特徴とする微小磁性金属異物の検査装置。
- 請求項1から5記載の微小磁性金属異物の検査装置において、前記磁気センサがMI効果素子であることを特徴とする微小磁性金属異物の検査装置。
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