JP2012196968A - 転写装置および転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】型Mを保持し、被成型品Wに接近・離反する方向に移動位置決め自在な型保持体9と;被成型品Wを保持し、型保持体9の接近・離反方向に交差する方向に移動位置決め自在な被成型品保持体5と;型Mと被成型品Wとの間に挿入される第1の位置と、型Mと被成型品Wとから離れた第2の位置との間を移動自在な検出子15で被成型品Wの縁の位置を検出して、型Mに対する被成型品Wの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段11と;第1の位置に検出子15を位置させて被成型品Wの位置ずれ量を検出し、この位置ずれ量を、型保持体9を移動することによって補正し、型Mを被成型品Wに接触させて転写を行うように制御する制御手段51とを有する。
【選択図】図1
Description
3 ベースフレーム
5 被成型品保持体
7 XYステージ
9 型保持体
11 位置ずれ量検出手段
13 位置ずれ量補正手段
15 検出子
33 カメラ
35 プリズム
51 制御装置
M 型
M1 アライメントマーク
W、W3 被成型品
W1 貫通孔
Claims (6)
- 型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写装置において、
前記型を保持し、前記被成型品に接近・離反する方向で前記被成型品に対して相対的に移動位置決め自在な型保持体と;
前記被成型品を保持し、前記型保持体の接近・離反方向に対して交差する方向で前記型保持体に対して相対的に移動位置決め自在な被成型品保持体と;
前記型と前記被成型品とが所定の距離だけ離れているときに前記型と前記被成型品との間に挿入される第1の位置と、前記型と前記被成型品とがお互いに接触することができるように前記型と前記被成型品とから離れた第2の位置との間を移動自在な検出子を備え、この検出子で前記被成型品の縁の位置を検出することによって、前記型に対する前記被成型品の位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段と;
前記型と前記被成型品とが所定の距離だけ離れているときに前記第1の位置に前記検出子を位置させて前記被成型品の位置ずれ量を検出し、この検出した位置ずれ量を、前記型保持体を相対的に移動することによって補正し、前記型を前記被成型品に接触させて前記転写を行うように制御する制御手段とを有する、
ことを特徴とする転写装置。 - 請求項1に記載の転写装置において、
前記位置ずれ量検出手段は、前記第1の位置に前記検出子を位置させて前記型の位置を検出する手段であり、
前記制御手段は、前記検出した型の位置と前記検出した前記被成型品の縁の位置とによって、前記位置ずれ量を検出して前記補正をする手段である、
ことを特徴とする転写装置。 - 請求項1または請求項2に記載の転写装置において、
前記検出子は薄い板状に形成されており、この厚さ方向が前記型保持体の接近・離反方向になるようにして設けられており、
前記位置ずれ量検出手段は、前記検出子から離れたところに設けられているカメラと、前記検出子に設けられている反射部材とを備えて構成されており、前記反射部材を介し前記カメラを用いて前記位置ずれ量を検出する手段である、
ことを特徴とする転写装置。 - 請求項3に記載の転写装置において、
前記位置ずれ量検出手段は、1台のカメラを切り換えることによって、前記被成型品の縁における複数の位置を検出し、前記位置ずれ量を検出する手段である、
ことを特徴とする転写装置。 - 請求項1または請求項2に記載の転写装置において、
前記検出子は薄い板状に形成されており、この厚さ方向が前記型保持体の接近・離反方向になるようにして設けられており、
前記位置ずれ量検出手段は、前記検出子から離れたところに設けられているカメラと、前記検出子に設けられている光ファイバとを備えて構成されており、前記光ファイバを介して前記カメラで前記位置ずれ量を検出する手段である、
ことを特徴とする転写装置。 - 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の転写装置を用いて、型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する、
ことを特徴とする転写方法。
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---|---|---|---|---|
JP2003059826A (ja) * | 2002-06-14 | 2003-02-28 | Nikon Corp | マーク検知装置、及びそれを有する露光装置、及びその露光装置を用いた半導体素子又は液晶表示素子の製造方法 |
JP2006005109A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2006040321A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Hitachi Ltd | 記録媒体の製造方法および記録媒体 |
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