JP2012184927A - 振動センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 回路基板と板状圧電素子とを収容する空間を備えた基台と、少なくとも一方の面に圧電素子が接着剤を介して支持されるように基台内に配置された支持板とを備える振動センサであって、支持板は圧電素子の外径より大きな外径を有するとともに両端部が基台内に固定される両もち梁構造を有し、かつ支持板の圧電素子の外周縁に対向する箇所に沿って接着剤のはみ出し部を収容するように形成された溝部を有することを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
よって、支持板2の剛性変化も小さくなり振動センサの感度ばらつきを抑制でき、本例においても上述と同様の効果が得られる。
2 支持板
3 圧電素子
4 基台
5 電極
6 電極端子部
7 ケーブル
8 カバー
9 配線
10 信号処理用基板
11 電荷電圧変換処理部
12 フィルタ処理部
13 信号増幅処理部
14 給電線
15 振動センサ出力信号線
16 接地線
20 空隙
21 座繰り部
22 面取り処理部
201、202 接着剤
222 支持板2の突出部
400 凹所
401 下段凹所
402 中段凹所
403 上段凹所
412 中段凹所402の底面
423 上段凹所403の底面
Claims (10)
- 回路基板と板状圧電素子とを収容する空間を備えた基台と、少なくとも一方の面に前記圧電素子が接着剤を介して支持されるように前記基台内に配置された支持板とを備える振動センサであって、前記支持板は前記圧電素子の外径より大きな外径を有するとともに両端部が前記基台内に固定される両もち梁構造を有し、かつ前記支持板の前記圧電素子の外周縁に対向する箇所に沿って前記接着剤のはみ出し部を収容するように形成された溝部を有することを特徴とする振動センサ。
- 前記溝部の全体積が前記接着剤塗布領域の体積の約1/2以上としたことを特徴とする請求項1記載の振動センサ。
- 前記圧電素子の平面形状が略長方形でありかつ前記溝部が略長方形の枠状形状であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の振動センサ。
- 前記圧電素子の平面形状が略円形でありかつ前記支持板の平面形状が略輪状であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の振動センサ。
- 前記支持板の両端部は前記基台に接着剤を介して固定されているとともに、前記基台の固定箇所の内端縁部が面取りしてあることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の振動センサ。
- 前記支持板の他方の面にも前記支持板の外径より小さな外径の板状圧電素子が接着剤を介して支持されており、かつ前記支持板の前記圧電素子の外周縁に対向する箇所に沿って前記接着剤のはみ出し部を収容する溝部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の振動センサ。
- 前記支持板の前記両端部は前記基台内の底部に設けられた第1の段差部に固定され、前記回路基板は前記基台内の前記第1の段差部より上部に設けられた第2の段差部に固定されており、前記圧電素子と前記回路基板とは前記第1の段差部と前記第2の段差部とに連続して形成された電極端子部材を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の振動センサ。
- 前記回路基板は前記圧電振動子からの出力電荷に対して電荷電圧変換処理部とフィルタ処理部および信号増幅処理部を行う信号処理用基板であり、前記基台内の前記第2の段差部より上部に配置されたケーブル部材と電気的に接続されていることを特徴とする請求項7に記載の振動センサ。
- 前記第1の段差部および前記第2の段差部は前記基台の底部から上方に向かって連続して形成されたものであり、前記基台の開口部には蓋部材が配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の振動センサ。
- 支持板の片面または両面に略矩形状の圧電素子が接着された両もち梁構造の圧電振動子部と、前記圧電素子とは空隙を持って振動検知方向へ配置されかつ前記圧電振動子からの出力電荷に対して電荷電圧変換処理部とフィルタ処理部および信号増幅処理部を行う信号処理用基板と、略箱型形状で略中央に座繰り部を有し前記圧電振動子部と前記信号処理基板を搭載する基台と、当該基台に搭載される複数の金属板と、前記信号処理基板内で信号処理された信号を外部機器へ出力するためのケーブルと、前記基台と接合しかつ前記圧電振動子部および前記信号処理用基板とを包囲するカバーとで構成し、かつ前記支持板が前記圧電素子との接着剤塗布領域周囲に座繰り部を有しかつ当該座繰り部の全体積が前記接着剤塗布領域の体積の約1/2以上としたことを特徴とする振動センサ。
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2011
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