JP2012178711A - Mems共振器 - Google Patents
Mems共振器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012178711A JP2012178711A JP2011040474A JP2011040474A JP2012178711A JP 2012178711 A JP2012178711 A JP 2012178711A JP 2011040474 A JP2011040474 A JP 2011040474A JP 2011040474 A JP2011040474 A JP 2011040474A JP 2012178711 A JP2012178711 A JP 2012178711A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- floating structure
- mems resonator
- anchor
- trunk
- connection portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】MEMS共振器101は、平坦な主表面1uを有する基材1と、主表面1uに固定されたアンカ部2と、アンカ部2を介することによって、主表面1uから離隔するようにして基材1に固定され、アンカ部2から側方に延在する浮き構造体4とを備える。浮き構造体4は、第1方向91に延在する第1幹部41と、第1幹部41の途中から第1方向91とは垂直な第2方向92に延在する1以上の枝部43とを含む。浮き構造体4とアンカ部2とは、浮き構造体4およびアンカ部2のいずれに比べても断面積が小さくなっている接続部3を介して接続されている。
【選択図】図1
Description
許文献1)で提案されている。この文献では、小型化と高Q値化の両立にねじり振動モードを利用した共振器が有効であることが紹介されている。
。一方、別途用意されたガラス基板の表面には導電体膜によって所望の電極パターンや引出配線が形成される。このように別々に作製された振動部材とガラス基板とが互いに陽極接合されることとなる。
(構成)
図1、図2を参照して、本発明に基づく実施の形態1におけるMEMS共振器について説明する。MEMS共振器の平面図を図1に示す。図1におけるII−II線に関する矢視断面図を図2に示す。本実施の形態におけるMEMS共振器101は、平坦な主表面1uを有する基材1と、主表面1uに固定されたアンカ部2と、アンカ部2を介することによって、主表面1uから離隔するようにして基材1に固定され、アンカ部2から側方に延在する浮き構造体4とを備える。浮き構造体4は、第1方向91に延在する第1幹部41と、第1幹部41の途中から第1方向91とは垂直な第2方向92に延在する1以上の枝部43とを含む。浮き構造体4とアンカ部2とは、浮き構造体4およびアンカ部2のいずれに比べても断面積が小さくなっている接続部3を介して接続されている。
本実施の形態では、浮き構造体4とアンカ部2とは、局所的に断面積が小さくなっている接続部3を介して接続されているので、浮き構造体4が振動をすることによって共振器として動作する際に振動エネルギがアンカ部2へ伝達しにくくなる。したがって、本実施の形態では、アンカロスを小さく抑えることができ、共振のQ値を高くすることができる。
(構成)
図4を参照して、本発明に基づく実施の形態2におけるMEMS共振器について説明する。本実施の形態におけるMEMS共振器103は、第1幹部41がアンカ部3に向かって突出した構造を備えている。接続部3は、第1幹部41の延長上にあり、第1幹部に比べて局所的に幅が細くなった部分である。
本実施の形態においても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。
(構成)
図5を参照して、本発明に基づく実施の形態3におけるMEMS共振器について説明する。図5では、本実施の形態におけるMEMS共振器104の一部のみを表示している。図5〜図8では主表面1uは図示していない。
本実施の形態においても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。特に本実施の形態では、接続部3は第1幹部41に比べて断面積が小さくなっており、かつ、接続部3の長さLがnλ/2+λ/4(nは整数)となっているので、部位5の動きの許容幅が最大になる。その結果、アンカロスが最小になる。
(構成)
図6を参照して、本発明に基づく実施の形態4におけるMEMS共振器について説明する。図6では、本実施の形態におけるMEMS共振器105の一部のみを表示している。MEMS共振器105においては、第1幹部41からまず枝部43が垂直に延在しており、接続部3が枝部43の延長上に延在している。接続部3は、第1幹部41と枝部43とのいずれに比べても断面積が小さくなっている。
本実施の形態においても、実施の形態1,2と同様の効果を得ることができる。
(構成)
図7を参照して、本発明に基づく実施の形態5におけるMEMS共振器について説明する。図7では、本実施の形態におけるMEMS共振器のアンカ部近傍のみを表示している。アンカ部は、接続部3に向かうにつれて幅が徐々に細くなっていることが好ましい。図7に示した例では、アンカ部2iの一部は接続部3に向かうにつれてテーパ状に幅が細くなっているが、図8に示すようにアンカ部2jの一部が接続部3に向かうにつれて曲線状に幅が細くなっていく構成であってもよい。
アンカ部と接続部との継ぎ目近傍の形状を、本実施の形態で示したようにすれば、アンカロスをより小さくすることができる。
Claims (6)
- 平坦な主表面を有する基材と、
前記主表面に固定されたアンカ部と、
前記アンカ部を介することによって、前記主表面から離隔するようにして前記基材に固定され、前記アンカ部から側方に延在する浮き構造体とを備え、
前記浮き構造体は、第1方向に延在する第1幹部と、前記第1幹部の途中から前記第1方向とは垂直な第2方向に延在する1以上の枝部とを含み、
前記浮き構造体と前記アンカ部とは、前記浮き構造体および前記アンカ部のいずれに比べても断面積が小さくなっている接続部を介して接続されている、MEMS共振器。 - 前記接続部は、前記浮き構造体のうち前記接続部に隣接する部分よりも平面的に見て幅が小さくなっている、請求項1に記載のMEMS共振器。
- 前記接続部は、前記浮き構造体のうち前記接続部に隣接する部分よりも厚みが小さくなっている、請求項1または2に記載のMEMS共振器。
- 前記接続部の断面積は、前記第1幹部の断面積に比べて小さく、前記接続部は、前記第1幹部の振動時に節となる部位に対して垂直に接続しており、前記接続部の振動時の波長をλとしたとき、前記接続部の長さは、λ/2の整数倍にλ/4を加えた長さである、請求項1から3のいずれかに記載のMEMS共振器。
- 前記浮き構造体は、前記1以上の枝部のうち少なくともいずれかを介して前記第1幹部と平行に支持される第2幹部を備える、請求項1から4のいずれかに記載のMEMS共振器。
- 前記アンカ部は、前記接続部に向かうにつれて幅が徐々に細くなっている、請求項1から5のいずれかに記載のMEMS共振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011040474A JP2012178711A (ja) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | Mems共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011040474A JP2012178711A (ja) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | Mems共振器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012178711A true JP2012178711A (ja) | 2012-09-13 |
Family
ID=46980273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011040474A Pending JP2012178711A (ja) | 2011-02-25 | 2011-02-25 | Mems共振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012178711A (ja) |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5742219A (en) * | 1980-08-26 | 1982-03-09 | Georugieuna Andoros Warenchina | Twisted vibration crystal resonator |
JP2006033450A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Sharp Corp | マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器 |
US20060044078A1 (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | Farrokh Ayazi | Capacitive vertical silicon bulk acoustic resonator |
US20060125576A1 (en) * | 2004-10-18 | 2006-06-15 | Ho Gavin K | Highly tunable low-impedance capacitive micromechanical resonators, oscillators, and processes relating thereto |
JP2006222562A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Sony Corp | 微小共振器、バンドパスフィルタ、半導体装置、及び通信装置 |
US20060255881A1 (en) * | 2004-04-28 | 2006-11-16 | Markus Lutz | Method for adjusting the frequency of a MEMS resonator |
JP2007184747A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Seiko Epson Corp | Mems振動子 |
US20070188269A1 (en) * | 2003-04-16 | 2007-08-16 | Markus Lutz | Temperature compensation for silicon MEMS resonator |
JP2008099020A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロメカニカル共振器 |
JP2009088854A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロメカニカル共振器およびその製造方法 |
WO2009110442A1 (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-11 | 三洋電機株式会社 | 共振器および共振器アレイ |
-
2011
- 2011-02-25 JP JP2011040474A patent/JP2012178711A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5742219A (en) * | 1980-08-26 | 1982-03-09 | Georugieuna Andoros Warenchina | Twisted vibration crystal resonator |
US20070188269A1 (en) * | 2003-04-16 | 2007-08-16 | Markus Lutz | Temperature compensation for silicon MEMS resonator |
US20060255881A1 (en) * | 2004-04-28 | 2006-11-16 | Markus Lutz | Method for adjusting the frequency of a MEMS resonator |
JP2006033450A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Sharp Corp | マイクロ共振装置、マイクロフィルタ装置、マイクロ発振器および無線通信機器 |
US20060044078A1 (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | Farrokh Ayazi | Capacitive vertical silicon bulk acoustic resonator |
US20060125576A1 (en) * | 2004-10-18 | 2006-06-15 | Ho Gavin K | Highly tunable low-impedance capacitive micromechanical resonators, oscillators, and processes relating thereto |
JP2006222562A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Sony Corp | 微小共振器、バンドパスフィルタ、半導体装置、及び通信装置 |
JP2007184747A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Seiko Epson Corp | Mems振動子 |
JP2008099020A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロメカニカル共振器 |
JP2009088854A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロメカニカル共振器およびその製造方法 |
WO2009110442A1 (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-11 | 三洋電機株式会社 | 共振器および共振器アレイ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5259188B2 (ja) | Memsデバイス用のバネ構造体 | |
JP5237705B2 (ja) | 発電デバイス | |
TWI785318B (zh) | 具有大流體有效表面之微機電系統(mems) | |
KR20110023535A (ko) | 피스톤 다이어프램을 가진 압전형 마이크로 스피커 및 그 제조 방법 | |
KR101534351B1 (ko) | Mems 장치 및 방법 | |
JP4739173B2 (ja) | マイクロスイッチング素子 | |
JP4977431B2 (ja) | マイクロメカニカル共振器 | |
JP5333950B2 (ja) | 共振器および共振器アレイ | |
JP2008089581A (ja) | マイクロシステム、特に容量性電極検出素子を有するマイクロジャイロメータ | |
JP2008103777A (ja) | マイクロメカニカル共振器 | |
JP4965962B2 (ja) | マイクロメカニカル共振器 | |
JP2012178711A (ja) | Mems共振器 | |
JP2008263493A (ja) | マイクロメカニカル共振器 | |
CN115514339A (zh) | 微机电系统电极 | |
JP7395148B2 (ja) | 発電デバイスの実装構造及び発電方法 | |
Okada et al. | Silicon beam resonator utilizing the third-order bending mode | |
JP2009212887A (ja) | 静電振動子及びその使用方法 | |
JP2015076688A (ja) | 振動子、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP2019215583A (ja) | 光学デバイス | |
CN112299361A (zh) | 一种具有隔振板的mems器件 | |
JP5081586B2 (ja) | マイクロメカニカル共振器 | |
JP2009065601A (ja) | 発振器 | |
JP2015080013A (ja) | 振動子、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP6591135B1 (ja) | 光学デバイス | |
CN218734231U (zh) | 微机电系统电极 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120615 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141021 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141111 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150317 |