JP2009065601A - 発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 発振器1000が、第一の振動子201を有する第一の振動子デバイス901と、第二の振動子202を有する第二の振動子デバイス902と、第一の振動子デバイス901の出力信号と第二の振動子デバイス902の出力信号とを演算する演算処理回路104と、を備える。
【選択図】 図1
Description
つまり、振動子にかかる張力が大きいほど、共振周波数が大きくなる。
f902(T)=f902(T0)+α902(T−T0)
なお、Tは振動子デバイス周囲の温度、T0は初期温度、α901、α902はそれぞれ振動子デバイス901、902の温度に対する共振周波数の変化率(温度係数)を示している。
この式によると、振動子デバイス901、902の周囲の温度がTからT0に変化したとき、ローパスフィルタ602の出力信号の周波数の変化は、振動子デバイス901、902それぞれの温度係数で決定されることになる。つまり、温度係数α901と温度係数α902が等しければ、ローパスフィルタ602の出力信号の周波数は温度によらず一定にすることができる。この温度係数α901、α902は、前述の振動子の残留応力によって制御することができる。
100 振動子ブロック
101 直流バイアス電圧印加回路
102、103 出力用発振回路
104 演算処理回路
201、202 振動子
203〜206 直流バイアス用振動子電極パッド
207、208 励振用電極パッド
209、210 励振用電極
211、212 検出用電極パッド
213、214 検出用電極
215 支持層
216〜221 絶縁層
222〜225 固定部
230 梁中心軸
230’ 振動子原型
231 被覆材
301 バネ
302 錘
305 インバータ
306 直流電源
401 活性層
402 BOX層
601 ミキサー
602 ローパスフィルタ
901、902 振動子デバイス
Claims (5)
- 機械的に振動するように設けられた振動子と、
前記振動子の近傍に配置され、前記振動子との間で電界を介して相互に作用する励振用電極と、
前記振動子を挟んで前記励振用電極と反対側に設置され、前記振動子との電界の変化を出力する検出用電極と、
前記振動子に直流電圧を印加する直流電圧印加部と、
前記励振用電極に電気的に接続され、前記振動子の共振周波数で発振して発振信号を出力する発振回路とを備えた振動子デバイスを含む発振器であって、
前記振動子デバイスは、第一の振動子を有する第一の振動子デバイスと、第二の振動子を有する第二の振動子デバイスとからなり、
該発振器が、前記第一の振動子デバイスの出力信号と前記第二の振動子デバイスの出力信号とを演算する演算処理回路を有することを特徴とした発振器。 - 前記演算処理回路が、ミキサーとローパスフィルタとからなることを特徴とする請求項1に記載の発振器。
- 前記第一の振動子及び前記第二の振動子がともに、該振動子の中心軸が第一の材質で構成され、第一の材質の周囲を第二の材質で覆う構成にしたことを特徴とする請求項1もしくは2に記載の発振器。
- 前記振動子の第一の材質がシリコンであり、第二の材質がポリシリコンもしくはケイ素化合物であることを特徴とする請求項3に記載の発振器。
- 前記第一の振動子及び前記第二の振動子が両端支持の梁構造であることを特徴とした請求項3もしくは4に記載の発振器。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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