JP2012173249A - 赤外線分析装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 36
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 41
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 57
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 17
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 7
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000005331 crown glasses (windows) Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- DLMBMHOJKBPKLK-UHFFFAOYSA-N 3-(6-ethoxynaphthalen-2-yl)-1-(piperidin-4-ylmethyl)pyrazolo[3,4-d]pyrimidin-4-amine Chemical compound C1=CC2=CC(OCC)=CC=C2C=C1C(C1=C(N)N=CN=C11)=NN1CC1CCNCC1 DLMBMHOJKBPKLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940056932 lead sulfide Drugs 0.000 description 1
- 229910052981 lead sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000491 multivariate analysis Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
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- G01N21/86—Investigating moving sheets
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- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3554—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for determining moisture content
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/062—LED's
- G01N2201/0627—Use of several LED's for spectral resolution
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0631—Homogeneising elements
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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Abstract
【解決手段】赤外線分析装置の一種である水分計は、検査対象物としての紙Pの一方側に配置されて紙Pに照射すべき波長の異なる赤外光を射出する複数の半導体発光素子21a〜21cと、半導体発光素子21a〜21cと紙Pとの間に配設されて半導体発光素子21a〜21cから射出される赤外光の各々を多重反射させて強度分布を均一化する多角形状のライトパイプ22とを有する上ヘッド11と、紙Pの他方側に配置されて紙Pを介した赤外光を検出する検出器31を有する下ヘッド12とを備える。
【選択図】図2
Description
この発明によると、検査対象物の一方側に配置された複数の光源から射出された波長の異なる赤外光が多角形状の光学素子に入射して多重反射されることにより強度分布が均一化され、この強度分布が均一化された赤外光が光学素子から射出されて検査対象物に照射され、検査対象物に照射された赤外光のうち検査対象物を透過した赤外光が検出器により検出される。
また、本発明の赤外線分析装置は、前記光学素子が、前記光源からの赤外光が入射される入射端(22a)と多重反射した赤外光が射出される射出端(22b)とを有しており、前記射出端が前記入射端よりも大に形成されたテーパー状であることを特徴としている。
また、本発明の赤外線分析装置は、前記複数の光源が、前記光学素子が有する前記入射端に沿う平面内でマトリクス状に配列されていることを特徴としている。
また、本発明の赤外線分析装置は、前記光学素子が、内面が前記複数の光源から射出される赤外光を反射する反射面とされた多角環状の内面反射鏡であることを特徴としている。
或いは、本発明の赤外線分析装置は、前記光学素子が、前記赤外光に対して透明な硝材を多角柱状に形成してなり、側面の各々が反射面とされた内面反射鏡であることを特徴としている。
また、本発明の赤外線分析装置は、前記第1ヘッドが、前記光学素子と前記検査対象物との間に配設されて前記光学素子から射出される赤外光を前記検査対象物上に集光する集光光学系(40)を備えることを特徴としている。
11 上ヘッド
12 下ヘッド
21a〜21c 半導体発光素子
22 ライトパイプ
22a 入射端
22b 射出端
31 検出器
40 平凸レンズ
P 紙
Claims (6)
- 赤外光を用いて検査対象物の特性を分析する赤外線分析装置において、
前記検査対象物の一方側に配置されて前記検査対象物に照射すべき波長の異なる赤外光を射出する複数の光源と、該光源と前記検査対象物との間に配設されて前記複数の光源から射出される赤外光の各々を多重反射させて強度分布を均一化する多角形状の光学素子とを有する第1ヘッドと、
前記検査対象物の他方側に配置されて前記検査対象物を介した赤外光を検出する検出器を有する第2ヘッドと
を備えることを特徴とする赤外線分析装置。 - 前記光学素子は、前記光源からの赤外光が入射される入射端と多重反射した赤外光が射出される射出端とを有しており、前記射出端が前記入射端よりも大に形成されたテーパー状であることを特徴とする請求項1記載の赤外線分析装置。
- 前記複数の光源は、前記光学素子が有する前記入射端に沿う平面内でマトリクス状に配列されていることを特徴とする請求項2記載の赤外線分析装置。
- 前記光学素子は、内面が前記複数の光源から射出される赤外光を反射する反射面とされた多角環状の内面反射鏡であることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の赤外線分析装置。
- 前記光学素子は、前記赤外光に対して透明な硝材を多角柱状に形成してなり、側面の各々が反射面とされた内面反射鏡であることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の赤外線分析装置。
- 前記第1ヘッドは、前記光学素子と前記検査対象物との間に配設されて前記光学素子から射出される赤外光を前記検査対象物上に集光する集光光学系を備えることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか一項に記載の赤外線分析装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011038246A JP5695935B2 (ja) | 2011-02-24 | 2011-02-24 | 赤外線分析装置 |
CN201210040057.5A CN102654454B (zh) | 2011-02-24 | 2012-02-20 | 红外线分析装置 |
US13/402,599 US20120218542A1 (en) | 2011-02-24 | 2012-02-22 | Infrared analysis apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011038246A JP5695935B2 (ja) | 2011-02-24 | 2011-02-24 | 赤外線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012173249A true JP2012173249A (ja) | 2012-09-10 |
JP5695935B2 JP5695935B2 (ja) | 2015-04-08 |
Family
ID=46718801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011038246A Active JP5695935B2 (ja) | 2011-02-24 | 2011-02-24 | 赤外線分析装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120218542A1 (ja) |
JP (1) | JP5695935B2 (ja) |
CN (1) | CN102654454B (ja) |
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---|---|
CN102654454B (zh) | 2016-01-20 |
CN102654454A (zh) | 2012-09-05 |
US20120218542A1 (en) | 2012-08-30 |
JP5695935B2 (ja) | 2015-04-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130228 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130910 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131119 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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