JP2012154848A - 検査機構 - Google Patents

Abstract

【課題】コストが嵩むことが抑制された検査機構を提供する。
【解決手段】検査装置（３０）は、複数の角速度センサ（１０）が搭載された回転テーブル（４０）と、角速度センサ（１０）の出力信号を測定しつつ、角速度センサ（１０）の動作を指示する指示部（５０）と、を有し、角速度センサ（１０）は、センサ部（１１）、スイッチ（１３）、制御部（１４）を有し、各センサ部（１１）が対応するスイッチ（１３）を介して共通配線（７３）に接続され、共通配線（７３）は指示部（５０）と接続され、制御部（１４）の１つが指示配線（７１）を介して指示部（５０）と接続され、全ての制御部（１４）が連結配線（７２）によって数珠つながりに連結され、指示信号は、遅延部（１７）を介して後段の制御部（１４）に入力され、制御部（１４）は、指示信号が入力されると遅延時間以下の間スイッチ（１３）を閉じる。
【選択図】図２

Description

本発明は、複数の角速度センサの出力を、検査装置によって検査する検査機構に関するものである。

従来、例えば特許文献１に示されるように、複数の外力検知センサが配置される回転テーブルと、回転テーブルの外部に設けられ、回転テーブルの回転に起因した外力検知センサのセンサ出力を測定する指示部と、回転テーブルの回転中心軸上に配置され、外力検知センサ側と指示部側との配線導通を中継するスリップリングと、を有する外力検知センサの検査装置が提案されている。

この検査装置では、回転テーブル上に、センサ接続用入力端子（以下、単に入力端子と示す）よりも少ない数の出力端子を備えたセンサ出力切り換え装置（以下、単に切り換え装置と示す）が設けられている。切り換え装置の入力端子は、対応する外力検知センサに配線接続され、その出力端子は、スリップリングに配線接続されている。切り換え装置は、入力端子を順次選択することで、選択した入力端子と配線接続された外力検知センサのセンサ出力を、出力端子から順次出力する。

スリップリングに接続できる配線材の本数には限りがあるが、上記構成によれば、外力検知センサの出力配線よりも少ない数である、切り換え装置の出力端子がスリップリングに配線接続されるので、スリップリングに接続される配線材の本数が、回転テーブル上に配置された外力検知センサの出力配線の本数よりも少なくなる。これにより、スリップリングに接続可能な配線材の上限本数によって、回転テーブルに配置される外力検知センサの数が制限されることが抑制される。

特開２００２−３１０６６０号公報

ところで、上記したように、特許文献１に示される検査装置では、切り換え装置が回転テーブルに設けられている。切り換え装置とは、具体的にはマルチプレクサであり、外力検知センサとは、角速度センサである。角速度センサのセンサ出力を測定する場合、温度特性などを測定するために、回転テーブル周囲の環境を、測定環境に変化させる。環境を１，２回変化させるだけであれば、その環境下に晒される機器に不具合が生じる可能性は少ない。しかしながら、長期に渡って何回も環境変化に晒される場合、機器に不具合が生じる虞がある。上記したように、特許文献１では、マルチプレクサが回転テーブル上に設けられている。この構成の場合、マルチプレクサは、長期に渡って何回も環境変化に晒されることとなるので、マルチプレクサに不具合が生じる虞がある。このため、マルチプレクサを定期的に点検・補修、若しくは取り替えなくてはならなくなり、コストが嵩む虞がある。

そこで、本発明は上記問題点に鑑み、コストが嵩むことが抑制された検査機構を提供することを目的とする。

上記した目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、複数の角速度センサ（１０）の出力を、検査装置（３０）によって検査する検査機構であって、検査装置（３０）は、複数の角速度センサ（１０）を搭載しつつ、自身が回転することで、角速度センサ（１０）に角速度を印加する回転テーブル（４０）と、該回転テーブル（４０）から離れて配置され、角速度センサ（１０）の出力信号を測定しつつ、角速度センサ（１０）の動作を指示する指示部（５０）と、角速度センサ（１０）と指示部（５０）とを電気的に中継するスリップリング（６０）と、を有し、角速度センサ（１０）は、センサ部（１１）と、該センサ部（１１）と指示部（５０）との電気的な接続を制御するためのスイッチ（１３）と、該スイッチ（１３）の開閉を制御する制御部（１４）と、を有し、各角速度センサ（１０）のセンサ部（１１）が、対応するスイッチ（１３）を介して、１つの共通配線（７３）によって互いに連結され、共通配線（７３）は、スリップリング（６０）を介して指示部（５０）の入力端子（５２）と接続される入力配線（７５）と電気的に接続され、１つの角速度センサ（１０）の制御部（１４）は、指示配線（７１）とスリップリング（６０）とを介して指示部（５０）の出力端子（５１）と接続される出力配線（７４）と電気的に接続され、各角速度センサ（１０）の制御部（１４）は、連結配線（７２）によって数珠つながりに連結されており、制御部（１４）は、指示部（５０）から出力される指示信号を遅延する遅延部（１７）を有し、指示信号は、遅延部（１７）を介して、後段に位置する角速度センサ（１０）の制御部（１４）に入力され、制御部（１４）は、指示信号が入力されると、遅延部（１７）が遅延する遅延時間以下の間、スイッチ（１３）を閉状態とすることを特徴とする。

以下、説明を簡便とするために、ｎを２以上の自然数として、ｎ個の角速度センサ（１０）が回転テーブル（４０）に搭載されているとする。また、指示配線（７１）が接続された制御部（１４）を第１制御部（１４）、それよりも後段に位置する制御部（１４）の番数を順に１ずつ増加して示す。

請求項１に記載の発明によれば、第１から第ｎ番目までの制御部（１４）が、連結配線（７２）を介して数珠つながりに接続され、指示信号は、各制御部（１４）の遅延部（１７）を介して、後段に位置する制御部（１４）に入力される。これによれば、先ず、第１制御部（１４）に指示信号が入力されるが、第２制御部（１４）には、第１制御部（１４）の遅延部（１７）によって遅延された時間分遅れて、指示信号が入力される。また、第３制御部（１４）には、第１制御部（１４）及び第２制御部（１４）それぞれの遅延部（１７）によって遅延された時間分遅れて指示信号が入力され、第４制御部（１４）には、第１制御部（１４）〜第３制御部（１４）それぞれの遅延部（１７）によって遅延された時間分遅れて指示信号が入力される。このように、後段に行けば行くほど、それよりも前段に位置する全ての制御部（１４）の遅延部（１７）によって指示信号が遅延され、その遅延された指示信号が制御部（１４）に入力される。これにより、任意の制御部（１４）に指示信号が入力されたタイミングでは、それよりも後段に位置する制御部（１４）には指示信号が入力されていないこととなる。

また、請求項１に記載の発明では、全てのセンサ部（１１）が、対応するスイッチ（１３）を介して、１つの共通配線（７３）によって互いに連結されており、制御部（１４）は、指示信号が入力されると、遅延部（１７）が遅延する時間以下の間、スイッチ（１３）を閉状態とする閉信号をスイッチ（１３）に出力する。これによれば、任意の１つのスイッチ（１３）が閉状態となっているタイミングでは、他のスイッチ（１３）は開状態となるので、任意の１つのセンサ部（１１）のみが共通配線（７３）と電気的に接続される。これにより、連結配線（７２）と遅延部（１７）とを介して指示信号が各角速度センサ（１０）を伝播すると、各角速度センサ（１０）の出力信号が、共通配線（７３）に順次出力される。この結果、各角速度センサ（１０）の出力信号が、指示部５０に順次出力される。

以上、示したように、請求項１に記載の構成によれば、各角速度センサ（１０）のセンサ部（１１）を独立してスリップリング（６０）に接続せずとも、各角速度センサ（１０）の出力信号を、指示部５０に順次出力することができる。

ところで、角速度センサ（１０）とスリップリング（６０）とを接続する信号配線（７０）は、指示配線（７１）と共通配線（７３）の２つであり、指示部（５０）とスリップリング（６０）とを接続する信号配線（７０）は、出力配線（７４）と入力配線（７５）の２つである。この信号配線（７０）の数は、回転テーブル（４０）に設ける角速度センサ（１０）が増加しても変わらない。したがって、マルチプレクサを回転テーブルに設けなくとも、回転テーブル４０に設ける角速度センサ（１０）の増加に伴って、スリップリング（６０）に接続される配線数が増大することが抑制される。

また、マルチプレクサが回転テーブルに設けられないので、マルチプレクサを定期的に点検・補修、若しくは取り替えなくともよくなり、コストが嵩むことが抑制される。

更に言えば、回転テーブル（４０）上には角速度センサ（１０）のみが配置されるので、回転テーブル上に角速度センサだけではなくマルチプレクサが配置される構成とは異なり、回転テーブル（４０）上の角速度センサ（１０）の搭載面積が低減することが抑制される。

なお、請求項１に記載の具体的な構成としては、請求項２に記載のように、指示信号は、１周期に複数のビットを送信するシリアル信号であり、遅延部（１７）は、指示信号を、１周期分遅延するラッチ（１７）である構成を採用することができる。この構成の場合、請求項３に記載のように、角速度センサ（１０）は、補正値を記憶する記憶部（１５）を有し、制御部（１４）は、指示信号を復号する復号部（１６）を有し、指示信号は、スイッチ（１３）の開閉を指示する開閉信号と、記憶部（１５）に記憶された補正値の書き換えを指示する書換信号が来ない旨を伝える報知信号とを含む第１指示信号、及び、開閉信号と、センサ部の認識情報を含む書換信号とを含む第２指示信号を有し、角速度センサ（１０）の出力信号を測定する場合には、第１指示信号が指示部（５０）から出力され、角速度センサ（１０）の出力信号を測定しつつ補正する場合には、第２指示信号が指示部（５０）から出力され、復号部（１６）は、第１指示信号が入力されると、開閉信号をスイッチ（１３）に出力し、第２指示信号が入力されると、開閉信号をスイッチ（１３）に出力した後に、自身のセンサ部（１１）の認識情報を含む書換信号を記憶部（１５）に出力する構成が好ましい。

これによれば、回転テーブル（４０）上に角速度センサ（１０）を搭載した状態で、角速度センサ（１０）の出力信号を測定しつつ、補正することができる。

請求項１に記載の具体的な構成としては、請求項４に記載のように、指示信号は、立ち上がりパルスであり、制御部（１４）は、ＥＸＯＲ（２０）を有し、遅延部（１７）は、第１遅延回路（１８）を有し、ＥＸＯＲ（２０）の第１入力端子に、第１遅延回路（１８）を介して、指示配線（７１）若しくは連結配線（７２）が接続され、ＥＸＯＲ（２０）の第２入力端子に、指示配線（７１）若しくは連結配線（７２）が接続され、指示信号が、第１遅延回路（１８）を介して、後段に位置する角速度センサ（１０）の制御部（１４）に入力される構成を採用することができる。この構成の場合、請求項５に記載のように、遅延部（１７）は、第１遅延回路（１８）よりも、遅延時間が短い第２遅延回路（１９）を有し、ＥＸＯＲ（２０）の第２入力端子に、第２遅延回路（１９）を介して、指示配線（７１）若しくは連結配線（７２）が接続される構成が良い。

これによれば、共通配線（７３）に順次出力されるセンサ部（１１）の出力信号の間隔が、第２遅延回路（１９）の遅延時間となるので、共通配線（７３）に順次出力されるセンサ部（１１）の出力信号が連続的である場合と比べて、指示部（５０）が、各センサ部（１１）の出力信号を区別することが容易となる。

なお、請求項６に記載のように、回転テーブル（４０）の回転方向及び回転速度は、指示部（５０）によって制御される構成を採用することができる。また、請求項７に記載のように、角速度センサ（１０）は、センサ部（１１）の出力信号を処理する処理部（１２）を有する構成を採用することもできる。

第１実施形態に係る検査機構の概略構成を示す斜視図である。 第１実施形態に係る検査機構の概略構成を示す回路図である。 図２に示す角速度センサを説明するための回路図である。 各角速度センサを伝播する第１指示信号を説明するためのタイミングチャートである。 各角速度センサを伝播する第２指示信号を説明するためのタイミングチャートである。 第２実施形態に係る検査機構の概略構成を示す回路図である。 図６に示す角速度センサを説明するための回路図である。 各角速度センサを伝播する指示信号を説明するためのタイミングチャートである。

以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る検査機構の概略構成を示す斜視図である。図２は、第１実施形態に係る検査機構の概略構成を示す回路図である。図３は、図２に示す角速度センサを説明するための回路図である。図４は、各角速度センサを伝播する第１指示信号を説明するためのタイミングチャートである。図５は、各角速度センサを伝播する第２指示信号を説明するためのタイミングチャートである。なお、煩雑となることを避けるために、図１では連結配線７２を省略し、図３ではモータ４３と第２出力配線７６を省略している。

検査機構１００は、複数の角速度センサ１０の出力を、検査装置３０によって検査するものである。図１及び図２に示すように、検査装置３０は、複数の角速度センサ１０を搭載しつつ、自身が回転することで、角速度センサ１０に角速度を印加する回転テーブル４０と、角速度センサ１０の出力信号を測定する指示部５０と、角速度センサ１０と指示部５０とを電気的に中継するスリップリング６０と、を有する。信号配線７０とスリップリング６０とを介して角速度センサ１０と指示部５０との間で電気信号の授受が行われ、信号配線７０を介して指示部５０から回転テーブル４０に電気信号が入力される。

角速度センサ１０は、図２に示すように、センサ部１１と、センサ部１１の出力信号を処理する処理部１２と、センサ部１１（処理部１２）と共通配線７３（指示部５０）との電気的な接続を制御するためのスイッチ１３と、該スイッチ１３の開閉を制御する制御部１４と、補正値を記憶する記憶部１５と、を有する。ｎを２以上の自然数とすると、ｎ個の角速度センサ１０が回転テーブル４０の搭載盤４１に搭載されており、第１角速度センサ１０の制御部１４に、指示配線７１が接続され、第１から第ｎ番目までの角速度センサ１０の制御部１４が、連結配線７２を介して数珠つながりに接続されている。また、ｎ個のセンサ部１１（処理部１２）それぞれが、対応するスイッチ１３を介して、１つの共通配線７３によって互いに連結され、指示配線７１と共通配線７３とが、スリップリング６０に接続されている。なお、図示しないが、各角速度センサ１０には、上記した信号配線の他に、電源配線とグランド配線とが接続されている。電源配線及びグランド配線共に、１本の配線がｎ本に分岐して成り、１本にまとめられた部位が、スリップリング６０に接続されている。したがって、スリップリング６０には、４本の配線が接続されている。

センサ部１１は、図示しないが、ｘ方向において、逆位相で振動する対を成す２つの振動子と、該振動子の一部によって構成される可動電極と、ｙ方向において、可動電極と対向する固定電極と、を有する。振動子がｘ方向に振動している状態で、回転テーブル４０が回転して、ｚ方向に角速度が印加されると、ｙ方向に沿うコリオリ力が振動子に発生する。すると、このコリオリ力によって振動子がｙ方向に変位（振動）し、その変位（振動）に伴って、振動子の一部である可動電極もｙ方向に変位（振動）する。この結果、可動電極と固定電極との電極間隔が変動し、可動電極と固定電極間の静電容量が変動する。この静電容量の変動が、センサ部１１の出力信号として、処理部１２に出力される。

処理部１２は、図示しないが、ＣＶ変換回路を有する。センサ部１１から処理部１２に、静電容量の変動を含む電気信号が入力されると、その静電容量の変動が、上記したＣＶ変換回路によって電圧に変換される。変換された電圧は、処理部１２の出力信号、すなわち、角速度センサ１０の出力信号として、スイッチ１３、共通配線７３、スリップリング６０、及び、入力配線７５を介して、指示部５０に入力される。

スイッチ１３は、共通配線７３と処理部１２との間に設けられている。本実施形態に係るスイッチ１３は、Ｎチャネル型ＭＯＳＦＥＴであり、電圧レベルがＬｏレベルの信号（以下、Ｌｏ信号と示す）が入力されると開状態（オフ状態）となり、電圧レベルがＨｉレベルの信号（以下、Ｈｉ信号と示す）が入力されると閉状態（オン状態）となる。

制御部１４は、図３に示すように、指示部５０から入力される指示信号を復号する復号部１６と、指示信号を遅延する遅延部１７と、を有する。指示信号は、１周期に複数のビットを送信するシリアル信号であり、遅延部１７は、指示信号を１周期分遅延するラッチ、記憶部１５はＲＯＭである。なお、復号部１６は、後で説明する。

回転テーブル４０は、角速度センサ１０が搭載される円環状の搭載盤４１と、搭載盤４１の中心軸上（図１に一点鎖線で示す、ｚ方向に沿う線）に位置し、搭載盤４１を支持する支持軸４２と、支持軸４２を回転するモータ４３と、搭載盤４１、支持軸４２、モータ４３が設けられる箱部４４と、を有する。搭載盤４１は、ｘ方向とｙ方向とによって規定される平面に沿う搭載面４１ａを有しており、この搭載面４１ａに角速度センサ１０が搭載される。搭載盤４１は、支持軸４２と共に、モータ４３によって、左右両方向に回転可能となっており、その回転方向と回転速度とは、指示部５０から出力される回転指示信号によって調節される。

指示部５０は、角速度センサ１０の出力信号を測定しつつ、角速度センサ１０の動作を指示するものである。本実施形態に係る指示部５０は、角速度センサ１０の出力信号に基づいて、角速度センサ１０の補正値を算出し、モータ４３の動作を指示する機能も果たす。指示部５０の第１出力端子５１は、第１出力配線７４とスリップリング６０とを介して指示配線７１と電気的に接続され、入力端子５２は入力配線７５とスリップリング６０とを介して共通配線７３と電気的に接続され、第２出力端子５３は第２出力配線７６を介してモータ４３と電気的に接続されている。上記した電気的な接続構成により、第１出力端子５１から出力された指示信号が第１角速度センサ１０の制御部１４に入力され、共通配線７３に出力された角速度センサ１０の出力信号が入力端子５２に入力され、第２出力端子５３から出力された回転指示信号がモータ４３に入力される。なお、第１角速度センサ１０の制御部１４に入力した指示信号は、前段に位置する制御部１４と連結配線７２とを介して、第２〜第ｎ角速度センサ１０の制御部１４に順次入力される。

指示信号は、図４に示す第１指示信号と、図５に示す第２指示信号と、を有する。第１指示信号は、スイッチ１３の開閉を指示する開閉信号と、記憶部１５に記憶された補正値の書き換えを指示する書換信号が来ない旨を伝える報知信号とを含み、第２指示信号は、開閉信号と、センサ部１１の認識情報を含むｎ個の書換信号とを含む。上記したように、指示信号は１周期に複数のビットを送信するシリアル信号であり、開閉信号、報知信号、及び、書換信号それぞれは１周期分の信号である。復号部１６は、第１指示信号が入力されると、開閉信号をスイッチ１３に出力し、第２指示信号が入力されると、開閉信号をスイッチ１３に出力し、自身のセンサ部１１の認識情報を含む書換信号を記憶部１５に出力する。なお、復号部１６は、１周期分の信号を受信して復号するのに、指示信号の１周期分の時間を要する。

スリップリング６０は、支持軸４２に固定されており、図示しないが、環状の電極と、該電極に接触される配線７１，７３〜７５の端部の位置を保持することで、配線７１，７３〜７５と電極との接触を確保する確保部と、を有する。

次に、本実施形態に係る検査機構１００の検査・補正工程を説明する。以下においては、説明を簡便とするために、ｋを１以上の自然数として、第ｋ角速度センサ１０の構成要素に、「第ｋ」を付与して表記する。また、第ｋ角速度センサ１０の制御部１４（第ｋ制御部１４）と第ｋ＋１角速度センサ１０の制御部１４（第ｋ＋１制御部１４）とを連結する連結配線７２を、第ｋ連結配線７２と示す。

先ず、角速度センサ１０の出力信号の測定（検査）を図３及び図４に基づいて説明する。図４に示すように、第１指示信号は、開閉信号を先頭として、開閉信号と報知信号とが順に並ぶ信号である。第１指示信号は、第１出力配線７４、スリップリング６０、及び、指示配線７１を介して、指示部５０から第１制御部１４へと伝達される。第１復号部１６は、第１指示信号が入力されると、第１指示信号に含まれる開閉信号を復号し、開閉信号を第１スイッチ１３に出力する。上記したように、復号部１６は、１周期分の信号を受信し復号するのに１周期分の時間を要する。したがって、復号部１６から第１スイッチ１３に開閉信号が入力されるタイミングは、開閉信号に続く報知信号が第１復号部１６（指示配線７１）に入力されるタイミングとなる。この開閉信号が第１スイッチ１３に入力されている間、第１スイッチ１３が閉状態となり、第１センサ部１１（第１処理部１２）と共通配線７３とが電気的に接続され、第１角速度センサ１０の出力信号が、共通配線７３、スリップリング６０、及び、入力配線７５を介して指示部５０に出力される。その後、第１復号部１６にて報知信号の復号が終了すると、第１復号部１６は次の指示信号が入力されるまで待機状態に移行する。

第１制御部１４に入力した指示信号は、第１ラッチ１７を介して第１連結配線７２へと出力される。上記したように、ラッチ１７は、指示信号を１周期分遅延するので、第１連結配線７２（第２制御部１４）には、指示配線７１に入力した第１指示信号よりも１周期分遅延した第１指示信号が入力される。したがって、図４に示すように、指示配線７１（第１制御部１４）に報知信号が入力されている状態では、第１連結配線７２（第２制御部１４）に開閉信号が入力されていることとなる。復号部１６は、１周期分の信号の復号に１周期分の時間を要するので、第２復号部１６から第２スイッチ１３に開閉信号が入力されるタイミングは、開閉信号に続く報知信号が第２復号部１６に入力されるタイミングとなる。このタイミングで、第２スイッチ１３よりも前段及び後段に位置するスイッチ１３が開状態となり、第２スイッチ１３が閉状態となる。第２スイッチ１３に開閉信号が入力されている間、第２センサ部１１と共通配線７３とが電気的に接続され、第２角速度センサ１０の出力信号が指示部５０に出力される。その後、第２復号部１６にて報知信号の復号が終了すると、第２復号部１６は次の指示信号が入力されるまで待機状態に移行する。

第２制御部１４に入力した指示信号は、第２ラッチ１７を介して第２連結配線７２へと出力される。この場合、指示信号は、第３角速度センサ１０よりも前段に位置する全てのラッチ１７（２個のラッチ１７）によって遅延されるので、第２連結配線７２（第３制御部１４）には、指示配線７１に入力した第１指示信号よりも２周期分遅延した第１指示信号が入力される。したがって、図４に示すように、第１制御部１４への第１指示信号の入力が終了し、第１連結配線７２（第２制御部１４）に報知信号が入力されているタイミングで、第２連結配線７２（第３制御部１４）に開閉信号が入力されることとなる。また、１周期分の信号の復号には１周期分の時間を要するので、第３復号部１６から第３スイッチ１３に開閉信号が入力されるタイミングは、報知信号が第３復号部１６に入力されるタイミングとなる。このタイミングで、第３スイッチ１３よりも前段及び後段に位置するスイッチ１３が開状態となり、第３スイッチ１３が閉状態となる。第３スイッチ１３に開閉信号が入力されている間、第３センサ部１１と共通配線７３とが電気的に接続され、第３角速度センサ１０の出力信号が指示部５０に出力される。その後、第３復号部１６にて報知信号の復号が終了すると、第３復号部１６は次の指示信号が入力されるまで待機状態に移行する。

以上、示したように、指示信号は、第ｋ＋１角速度センサ１０よりも前段に位置する全てのラッチ１７（ｋ個のラッチ１７）によって遅延される。そのため、第ｋ連結配線７２（第ｋ＋１制御部１４）には、指示配線７１に入力した第１指示信号よりもｋ周期分遅延した第１指示信号が入力される。また、１周期分の信号の復号には１周期分の時間を要するので、第ｋ復号部１６から第ｋ＋１スイッチ１３に開閉信号が入力されるタイミングは、報知信号が第ｋ＋１復号部１６に入力されるタイミングとなる。このタイミングで、第ｋ＋１スイッチ１３よりも前段及び後段に位置するスイッチ１３が開状態となり、第ｋ＋１スイッチ１３が閉状態となる。これにより、第ｋ＋１スイッチ１３に開閉信号が入力されている間、第ｋ＋１センサ部１１と共通配線７３とが電気的に接続され、その出力信号が指示部５０に出力される。

指示部５０は、第１指示信号を出力した後、ｎ個の角速度センサ１０の出力信号を受信すると、回転指示信号をモータ４３に入力し、回転テーブル４０の回転状態を調節する。回転指示信号とは、例えば、回転停止、第１速度での右回転、第２速度での右回転、第１速度での左回転、第２速度での左回転などの回転状態を指示する信号である。本実施形態では、上記した５つの回転状態を示す回転指示信号の内、４つの回転指示信号がモータ４３に入力された状態それぞれで、第１指示信号が１度ずつ指示部５０から出力される。したがって、４つの回転状態下それぞれにおけるｎ個の出力信号、すなわち、合計４ｎ個の出力信号が測定され、これらが指示部５０に記録される。なお、温度特性を測定する場合は、検査機構１００周囲の温度を調整した状態で、第１指示信号が角速度センサ１０に入力され、回転指示信号がモータ４３に入力される。例えば、３つの温度状態に変化させる場合、合計で１２ｎ個の出力信号が測定される。

次に、角速度センサ１０の出力信号の測定と補正を図３及び図５に基づいて説明する。上記した５つの回転指示信号の内、残り１つの回転指示信号がモータ４３に入力されている状態で、指示部５０から第２指示信号が出力される。第２指示信号は、図５に示すように、開閉信号の後に、１周期分の間隔を空けて、ｎ個の書換信号が並ぶ信号である。以下、説明を簡便とするために、上記した１周期分の間隔を間隔信号と示す。

第２指示信号が第１制御部１４に入力されると、第１復号部１６は、第２指示信号に含まれる開閉信号を復号し、開閉信号を第１スイッチ１３に出力する。１周期分の信号の復号には１周期分の時間を要するので、第１復号部１６から第１スイッチ１３に開閉信号が入力されるタイミングは、開閉信号に続く間隔信号が第１復号部１６に入力されるタイミングとなる。この開閉信号が第１スイッチ１３に入力されている間、第１スイッチ１３が閉状態となり、第１センサ部１１（第１処理部１２）と共通配線７３とが電気的に接続され、第１角速度センサ１０の出力信号が指示部５０に出力される。開閉信号が入力されている状態で、第１角速度センサ１０の出力信号が指示部５０に出力されることとなるが、この時点で、指示部５０には、５つの回転状態下での第１角速度センサ１０のセンサ出力が記録される。指示部５０は、第１角速度センサ１０の出力信号を受信している間（間隔信号を出力している間）に、今までに測定した５つのセンサ出力に基づいて、第１センサ部１１の補正値（以下、第１補正値と示す）を算出する。そして、指示部５０は、第１センサ部１１（第１角速度センサ１０）の認識情報と第１補正値とを含む第１書換信号を、間隔信号の後に出力する。第１復号部１６は、第１書換信号が入力されると、第１書換信号を復号し、第１書換信号に含まれる第１補正値を第１記憶部１５に出力することで、第１記憶部１５に記憶された補正値を書き換える。図５に示すように、第１復号部１６には、第１書換信号の他に、第２〜第ｎ書換信号が順次入力されることとなるが、第１復号部１６は、第１センサ部１１（第１角速度センサ１０）の認識情報を含む第１書換信号のみを復号し、他の書換信号を無視する。

第１制御部１４に入力した指示信号は、第１ラッチ１７を介して第１連結配線７２へと出力される。第１ラッチ１７によって、指示信号は１周期分遅延されるので、第１連結配線７２（第２制御部１４）には、指示配線７１に入力した第２指示信号よりも１周期分遅延した第２指示信号が入力される。したがって、図５に示すように、指示配線７１（第１制御部１４）に間隔信号が入力されている状態では、第１連結配線７２（第２制御部１４）に開閉信号が入力されていることとなる。１周期分の信号の復号には１周期分の時間を要するので、第２復号部１６から第２スイッチ１３に開閉信号が入力されるタイミングは、開閉信号に続く間隔信号が第２復号部１６に入力されるタイミングとなる。このタイミングで、第２スイッチ１３よりも前段及び後段に位置するスイッチ１３が開状態となり、第２スイッチ１３が閉状態となる。開閉信号が入力されている状態で、第２角速度センサ１０の出力信号が指示部５０に出力され、指示部５０には、５つの回転状態下での第２角速度センサ１０のセンサ出力が記録される。指示部５０は、第２角速度センサ１０の出力信号を受信している間（第１書換信号を出力している間）に、今までに測定した５つのセンサ出力に基づいて、第２センサ部１１の補正値（以下、第２補正値と示す）を算出する。そして、指示部５０は、第２センサ部１１（第２角速度センサ１０）の認識情報と第２補正値とを含む第２書換信号を、第１書換信号の後に出力する。第２復号部１６は、第２書換信号が入力されると、第２書換信号を復号し、第２書換信号に含まれる第２補正値を第２記憶部１５に出力することで、第２記憶部１５に記憶された補正値を書き換える。第２復号部１６には、第２書換信号以外の書換信号が入力されるが、第２復号部１６は、第２書換信号のみを復号する。

第２制御部１４に入力した指示信号は、第２ラッチ１７を介して第２連結配線７２へと出力される。この場合、指示信号は、第３角速度センサ１０よりも前段に位置する全てのラッチ１７（２個のラッチ１７）によって遅延されるので、第２連結配線７２（第３制御部１４）には、指示配線７１に入力した第２指示信号よりも２周期分遅延した第２指示信号が入力される。したがって、図５に示すように、第１連結配線７２（第２制御部１４）に間隔信号が入力されている状態で、第２連結配線７２（第３制御部１４）に開閉信号が入力されていることとなる。１周期分の信号の復号には１周期分の時間を要するので、第３復号部１６から第３スイッチ１３に開閉信号が入力されるタイミングは、開閉信号に続く間隔信号が第３復号部１６に入力されるタイミングとなる。このタイミングで、第３スイッチ１３よりも前段及び後段に位置するスイッチ１３が開状態となり、第３スイッチ１３が閉状態となる。開閉信号が入力されている状態で、第３角速度センサ１０の出力信号が指示部５０に出力され、指示部５０には、５つの回転状態下での第３角速度センサ１０のセンサ出力が記録される。指示部５０は、第３角速度センサ１０の出力信号を受信している間（第２書換信号を出力している間）に、今までに測定した５つのセンサ出力に基づいて、第３センサ部１１の補正値（以下、第３補正値と示す）を算出する。そして、指示部５０は、第３センサ部１１（第３角速度センサ１０）の認識情報と第３補正値とを含む第３書換信号を、第２書換信号の後に出力する。第３復号部１６は、第３書換信号が入力されると、第３書換信号を復号し、第３書換信号に含まれる第３補正値を第３記憶部１５に出力することで、第３記憶部１５に記憶された補正値を書き換える。第３復号部１６には、第３書換信号以外の書換信号が入力されるが、第３復号部１６は、第３書換信号のみを復号する。

以上、示したように、第ｋ連結配線７２（第ｋ＋１制御部１４）には、指示配線７１に入力した第２指示信号よりもｋ周期分遅延した第２指示信号が入力される。また、１周期分の信号の復号には１周期分の時間を要するので、第ｋ＋１復号部１６から第ｋ＋１スイッチ１３に開閉信号が入力されるタイミングは、開閉信号に続く間隔信号が第ｋ＋１復号部１６に入力されるタイミングとなる。このタイミングで、第ｋ＋１スイッチ１３よりも前段及び後段に位置するスイッチ１３が開状態、第ｋ＋１スイッチ１３が閉状態となり、第ｋ＋１角速度センサ１０の出力信号が指示部５０に出力される。指示部５０は、第ｋ＋１角速度センサ１０の出力信号を受信している間（第ｋ書換信号を送信している間）に、第ｋ＋１補正値を算出し、第ｋ＋１センサ部１１の認識情報と第ｋ＋１補正値とを含む第ｋ＋１書換信号を、第ｋ書換信号の後に出力する。第ｋ＋１復号部１６は、第ｋ＋１書換信号を復号し、第ｋ＋１補正値を第ｋ＋１記憶部１５に出力する。

指示部５０は、第２指示信号を出力し終えると、上記した５つの回転指示信号がモータ４３に入力された状態それぞれにおいて、第１指示信号を出力する。これにより、補正が正常に終了したか否かをチェックして、検査と補正とを終了する。もちろん、補正が正常に終了していない場合、指示部５０は、上記した全ての工程を始めからやり直す。以上が、検査機構１００の検査・補正工程である。

次に、本実施形態に係る検査機構１００の作用効果を説明する。上記記載によれば、第ｋスイッチ１３以外のスイッチ１３が開状態のタイミングで、第ｋスイッチ１３が閉状態となり、第ｋスイッチに開閉信号が入力されている間、第ｋセンサ部１１と共通配線７３とが電気的に接続され、その出力信号が指示部５０に出力される。換言すれば、任意の１つのスイッチ１３が閉状態となっているタイミングでは、他のスイッチ１３は開状態となり、任意の１つのセンサ部１１のみが共通配線７３と電気的に接続され、その出力信号が指示部５０に出力される。また、各スイッチ１３の閉状態となるタイミングが異なるので、各角速度センサ１０の出力信号が、共通配線７３に順次出力され、指示部５０に順次出力される。このように、本実施形態に係る検査機構１００によれば、各角速度センサ１０のセンサ部１１を独立してスリップリング６０に接続しなくとも、各角速度センサ１０の出力信号を、指示部５０に順次出力することができる。

ところで、角速度センサ１０とスリップリング６０とを接続する信号配線７０は、指示配線７１と共通配線７３の２つであり、指示部５０とスリップリング６０とを接続する信号配線７０は、第１出力配線７４と入力配線７５の２つである。この信号配線の数は、回転テーブル４０に設ける角速度センサ１０が増加しても変わらない。したがって、マルチプレクサを回転テーブルに設けなくとも、回転テーブル４０に設ける角速度センサ１０の増加に伴って、スリップリング６０に接続される配線数が増大することが抑制される。

また、マルチプレクサが回転テーブルに設けられないので、マルチプレクサを定期的に点検・補修、若しくは取り替えなくともよくなり、コストが嵩むことが抑制される。

更に言えば、回転テーブル４０上には角速度センサ１０のみが配置されるので、回転テーブル上に角速度センサだけではなくマルチプレクサが配置される構成とは異なり、回転テーブル４０上の角速度センサ１０の搭載面積が低減することが抑制される。

また、本実施形態では、回転テーブル４０上に角速度センサ１０を搭載した状態で、角速度センサ１０の出力信号を測定しつつ、補正することができるので、測定のみの構成と比べて、角速度センサ１０の検査工程を簡素化することができ、コストが嵩むことを抑制することができる。

本実施形態では、図３に示すように、復号部１６とラッチ１７とが電気的に接続され、復号部１６を介して、指示信号がラッチ１７に入力される例を示した。しかしながら、復号部１６とラッチ１７とが電気的に接続されておらず、指示配線７１若しくは連結配線７２がラッチ１７に接続され、ラッチ１７に直接指示信号が入力される構成を採用することもできる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態を、図６〜図８に基づいて説明する。図６は、第２実施形態に係る検査機構の概略構成を示す回路図であり、第１実施形態に示した図２に対応している。図７は、図６に示す角速度センサを説明するための回路図であり、第１実施形態に示した図３に対応している。図８は、各角速度センサを伝播する指示信号を説明するためのタイミングチャートであり、第１実施形態に示した図４に対応している。なお、煩雑となることを避けるために、図７ではモータ４３と第２出力配線７６を省略している。

第２実施形態に係る検査機構１００は、第１実施形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。なお、第１実施形態に示した要素と同一の要素には、同一の符号を付与するものとする。

第１実施形態では、角速度センサ１０が記憶部１５を有し、制御部１４が復号部１６とラッチ１７とを有し、指示部５０から指示信号としてシリアル信号が出力される例を示した。これに対し、本実施形態では、角速度センサ１０は記憶部１５を有さず、制御部１４は遅延回路１８，１９とＥＸＯＲ２０とを有し、指示部５０から指示信号として立ち上がりパルスが出力される点を特徴とする。

第１遅延回路１８は、指示信号を第１遅延時間ｔ１遅延する機能を果たすものであり、第２遅延回路１９は、指示信号を、第１遅延時間ｔ１よりも短い時間である第２遅延時間ｔ２遅延する機能を果たすものである。図７に示すように、第１角速度センサ１０では、ＥＸＯＲ２０の第１入力端子に第１遅延回路１８が接続され、ＥＸＯＲ２０の第２入力端子に第２遅延回路１９が接続されている。また、第１連結配線７２は、第１遅延回路１８を介して指示配線７１と電気的に接続されており、第１連結配線７２には、第１遅延時間ｔ１分だけ遅延した指示信号が入力されるようになっている。

なお、第１角速度センサ１０よりも後段の第ｋ＋１角速度センサ１０の詳細は図示していないが、下記構成となる。すなわち、第ｋ＋１角速度センサ１０においても、ＥＸＯＲ２０の第１入力端子に第１遅延回路１８が接続され、ＥＸＯＲ２０の第２入力端子に第２遅延回路１９が接続されており、第ｋ＋１連結配線７２は、第１遅延回路１８を介して指示配線７１と電気的に接続されている。これにより、第ｋ＋１連結配線７２には、ｋ×ｔ１分だけ遅延した指示信号が入力される。

ＥＸＯＲ２０は、２つの入力端子に入力される信号が共にＨｉレベル若しくはＬｏレベルの場合にＬｏ信号を出力し、いずれか一方がＨｉ（Ｌｏ）レベルの場合に、Ｈｉ信号を出力するものである。

次に、本実施形態に係る検査機構１００の検査工程を図７及び図８に基づいて説明する。以下においては、第１実施形態と同様にして、ｋを１以上の自然数として、第ｋ角速度センサ１０の構成要素に、「第ｋ」を付与して表記する。また、第ｋ角速度センサ１０の制御部１４（第ｋ制御部１４）と第ｋ＋１角速度センサ１０の制御部１４（第ｋ＋１制御部１４）とを連結する連結配線７２を、第ｋ連結配線７２と示す。更に、上記したナンバーリングによる混乱を避けるために、第１遅延回路１８を単に遅延回路１８、第２遅延回路１９を単に遅延回路１９と示し、「第ｋ」を付与して表記する。

指示部５０から指示信号（立ち上がりパルス）が出力されると、指示信号は、指示配線７１（第１制御部１４）に入力され、第１角速度センサ１０の遅延回路１８，１９によって遅延される。上記したように、遅延回路１８は、遅延時間ｔ１だけ指示信号を遅延し、遅延回路１９は、遅延時間ｔ２だけ指示信号を遅延する。したがって、図８に示すように、第１ＥＸＯＲ２０の２つの入力端子それぞれには、先ず、時間ｔ２だけＬｏ信号が入力されることとなる。ＥＸＯＲ２０は、２つの入力端子に入力される信号が共にＬｏレベルの場合にＬｏ信号を出力するので、時間ｔ２だけ第１ＥＸＯＲ２０からＬｏ信号が出力される。

時間ｔ２後、時間ｔ１−ｔ２だけ、第１ＥＸＯＲ２０の第１入力端子にＬｏ信号が入力され、第２入力端子にＨｉ信号が入力される。ＥＸＯＲ２０は、２つの入力端子のいずれか一方にＨｉレベル（Ｌｏレベル）の信号が入力される場合にＨｉ信号を出力するので、第１ＥＸＯＲ２０からはＨｉ信号が出力される。このように、指示信号が入力され、第２遅延時間ｔ２後に、第１遅延時間ｔ１よりも短い時間である時間ｔ１−ｔ２の間、Ｈｉ信号が第１ＥＸＯＲ２０から出力される。この時間帯に、第１スイッチ１３が閉状態となり、第１センサ部１１（第１処理部１２）と共通配線７３とが電気的に接続され、第１角速度センサ１０の出力信号が指示部５０に出力される。時間ｔ１以降、第１ＥＸＯＲ２０の２つの入力端子それぞれには、Ｈｉ信号が入力されることとなるが、ＥＸＯＲ２０は、２つの入力端子に入力される信号が共にＨｉレベルの場合にＬｏ信号を出力するので、第１ＥＸＯＲ２０からはＬｏ信号が出力され続けることとなる。なお、言うまでもないが、指示信号が入力されていない、第１角速度センサ１０よりも後段に位置する各角速度センサ１０のＥＸＯＲ２０からはＬｏ信号が出力され続けており、第１スイッチ１３が閉状態の時に、他のスイッチ１３は開状態となっている。

第１制御部１４に入力した指示信号は、第１遅延回路１８を介して第１連結配線７２へと出力される。上記したように、遅延回路１８は、指示信号を遅延時間ｔ１だけ遅延するので、第１連結配線７２には、指示配線７１に入力した指示信号よりも遅延時間ｔ１だけ遅延した指示信号が入力される。したがって、図８に示すように、第１ＥＸＯＲ２０の２つの入力端子にＨｉ信号が入力され、且つ、第２角速度センサ１０よりも後段に位置する各角速度センサ１０のＥＸＯＲ２０の２つの入力端子にＬｏ信号が入力されているタイミングで、第２ＥＸＯＲ２０の第１入力端子にＬｏ信号が入力され、第２入力端子にＨｉ信号が入力される。この時間帯では、第２角速度センサ１０以外の各角速度センサ１０のＥＸＯＲ２０からＬｏ信号が出力され、第２ＥＸＯＲ２０からＨｉ信号が出力される。これにより、この時間帯において第２スイッチ１３のみが閉状態となり、第２センサ部１１と共通配線７３とが電気的に接続され、第２角速度センサ１０の出力信号が指示部５０に出力される。

第２制御部１４に入力した指示信号は、第２遅延回路１８を介して第２連結配線７２へと出力される。指示信号は、第２連結配線７２（第３角速度センサ１０）よりも前段に位置する全ての遅延回路１８（２個の遅延回路１８）によって遅延されるので、第２連結配線７２には、指示配線７１に入力した指示信号よりも２×ｔ１分遅延した指示信号が入力される。したがって、図８に示すように、第３角速度センサ１０よりも前段及び後段に位置する各角速度センサ１０のＥＸＯＲ２０からＬｏ信号が出力されている時間帯に、第３ＥＸＯＲ２０からＨｉ信号が出力され、第３スイッチ１３が閉状態となり、第３センサ部１１の出力信号が指示部５０に出力される。

以上、示したように、指示信号は、第ｋ連結配線７２（第ｋ＋１角速度センサ１０）よりも前段に位置する全ての遅延回路１８（ｋ個の遅延回路１８）によって遅延されるので、第ｋ連結配線７２には、指示配線７１に入力した指示信号よりもｋ×ｔ１分遅延した指示信号が入力される。そして、第ｋ＋１角速度センサ１０よりも前段及び後段に位置する各角速度センサ１０のＥＸＯＲ２０からＬｏ信号が出力されている時間帯に、第ｋ＋１ＥＸＯＲ２０からＨｉ信号が出力され、第ｋ＋１スイッチ１３が閉状態となり、第ｋ＋１センサ部１１の出力信号が指示部５０に出力される。

指示部５０は、第１実施形態と同様にして、指示信号を出力した後、ｎ個の角速度センサ１０の出力信号を受信すると、回転指示信号をモータ４３に入力し、回転テーブル４０の回転状態を調節する。この場合、測定のみを行うので、第１実施形態に示した５つの回転指示信号がモータ４３に入力された状態それぞれで、指示信号が指示部５０から出力される。以上が、検査機構１００の検査工程である。

このように、本実施形態に係る検査機構１００においても、任意の１つのスイッチ１３が閉状態となっているタイミングでは、他のスイッチ１３は開状態となり、任意の１つのセンサ部１１のみが共通配線７３と電気的に接続され、その出力信号が指示部５０に出力される。そして、各角速度センサ１０の出力信号が、共通配線７３に順次出力され、指示部５０に順次出力される。したがって、第１実施形態と同様にして、マルチプレクサを回転テーブルに設けなくとも、回転テーブル４０に設ける角速度センサ１０の増加に伴って、スリップリング６０に接続される配線数が増大することが抑制される。

また、図８に示すように、共通配線７３に順次出力されるセンサ部１１の出力信号の間隔が、第２遅延回路の遅延時間ｔ２となる。したがって、共通配線７３に順次出力されるセンサ部１１の出力信号が連続的である場合と比べて、指示部５０が、各センサ部１１の出力信号を区別することが容易となる。

本実施形態では、遅延部１７が、遅延回路１８，１９を有する例を示した。しかしながら、遅延部１７は、遅延回路１８のみを有していても良い。この場合、スイッチ１３は、遅延時間ｔ１の間、閉状態となる。

本実施形態では、制御部１４は遅延回路１８，１９とＥＸＯＲ２０とを有し、指示部５０から指示信号として立ち上がりパルスが出力される例を示した。しかしながら、図７の構成において、制御部１４が遅延回路１８のみを有し、指示部５０から単パルスが出力される構成を採用することもできる。これにおいても、各角速度センサ１０のスイッチ１３が閉状態へと変化するタイミングは異なるので、各角速度センサ１０の出力信号が、共通配線７３に順次出力される。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。

各実施形態では、５つの回転指示信号がモータ４３に入力される例を示した。しかしながら回転指示信号の数としては、上記例に限定されず、３つ以上であればよい。

１０・・・角速度センサ
１１・・・センサ部
１３・・・スイッチ
１４・・・制御部
１６・・・復号部
１７・・・遅延部
３０・・・検査装置
４０・・・回転テーブル
５０・・・指示部
６０・・・スリップリング
７１・・・指示配線
７２・・・連結配線
７３・・・共通配線
１００・・・検査機構

Claims (7)

1. 複数の角速度センサ（１０）の出力を、検査装置（３０）によって検査する検査機構であって、
   前記検査装置（３０）は、複数の前記角速度センサ（１０）を搭載しつつ、自身が回転することで、前記角速度センサ（１０）に角速度を印加する回転テーブル（４０）と、該回転テーブル（４０）から離れて配置され、前記角速度センサ（１０）の出力信号を測定しつつ、角速度センサ（１０）の動作を指示する指示部（５０）と、前記角速度センサ（１０）と前記指示部（５０）とを電気的に中継するスリップリング（６０）と、を有し、
   前記角速度センサ（１０）は、センサ部（１１）と、該センサ部（１１）と前記指示部（５０）との電気的な接続を制御するためのスイッチ（１３）と、該スイッチ（１３）の開閉を制御する制御部（１４）と、を有し、
   各角速度センサ（１０）のセンサ部（１１）が、対応する前記スイッチ（１３）を介して、１つの共通配線（７３）によって互いに連結され、
   前記共通配線（７３）は、前記スリップリング（６０）を介して前記指示部（５０）の入力端子（５２）と接続される入力配線（７５）と電気的に接続され、
   １つの前記角速度センサ（１０）の制御部（１４）は、指示配線（７１）と前記スリップリング（６０）とを介して前記指示部（５０）の出力端子（５１）と接続される出力配線（７４）と電気的に接続され、
   各角速度センサ（１０）の制御部（１４）は、連結配線（７２）によって数珠つながりに連結されており、
   前記制御部（１４）は、前記指示部（５０）から出力される指示信号を遅延する遅延部（１７）を有し、
   前記指示信号は、前記遅延部（１７）を介して、後段に位置する角速度センサ（１０）の制御部（１４）に入力され、
   前記制御部（１４）は、前記指示信号が入力されると、前記遅延部（１７）が遅延する遅延時間以下の間、前記スイッチ（１３）を閉状態とすることを特徴とする検査機構。
2. 前記指示信号は、１周期に複数のビットを送信するシリアル信号であり、
   前記遅延部（１７）は、前記指示信号を、１周期分遅延するラッチ（１７）であることを特徴とする請求項１に記載の検査機構。
3. 前記角速度センサ（１０）は、補正値を記憶する記憶部（１５）を有し、
   前記制御部（１４）は、前記指示信号を復号する復号部（１６）を有し、
   前記指示信号は、前記スイッチ（１３）の開閉を指示する開閉信号と、前記記憶部（１５）に記憶された補正値の書き換えを指示する書換信号が来ない旨を伝える報知信号とを含む第１指示信号、及び、前記開閉信号と、前記センサ部の認識情報を含む書換信号とを含む第２指示信号を有し、
   前記角速度センサ（１０）の出力信号を測定する場合には、前記第１指示信号が前記指示部（５０）から出力され、前記角速度センサ（１０）の出力信号を測定しつつ補正する場合には、前記第２指示信号が前記指示部（５０）から出力され、
   前記復号部（１６）は、前記第１指示信号が入力されると、前記開閉信号を前記スイッチ（１３）に出力し、前記第２指示信号が入力されると、前記開閉信号を前記スイッチ（１３）に出力した後に、自身のセンサ部（１１）の認識情報を含む書換信号を前記記憶部（１５）に出力することを特徴とする請求項２に記載の検査機構。
4. 前記指示信号は、立ち上がりパルスであり、
   前記制御部（１４）は、ＥＸＯＲ（２０）を有し、
   前記遅延部（１７）は、第１遅延回路（１８）を有し、
   前記ＥＸＯＲ（２０）の第１入力端子に、前記第１遅延回路（１８）を介して、前記指示配線（７１）若しくは前記連結配線（７２）が接続され、
   前記ＥＸＯＲ（２０）の第２入力端子に、前記指示配線（７１）若しくは前記連結配線（７２）が接続され、
   前記指示信号が、前記第１遅延回路（１８）を介して、後段に位置する角速度センサ（１０）の制御部（１４）に入力されることを特徴とする請求項１に記載の検査機構。
5. 前記遅延部（１７）は、前記第１遅延回路（１８）よりも、遅延時間が短い第２遅延回路（１９）を有し、
   前記ＥＸＯＲ（２０）の第２入力端子に、前記第２遅延回路（１９）を介して、前記指示配線（７１）若しくは前記連結配線（７２）が接続されることを特徴とする請求項４に記載の検査機構。
6. 前記回転テーブル（４０）の回転方向及び回転速度は、前記指示部（５０）によって制御されることを特徴とする請求項１〜５いずれか１項に記載の検査機構
7. 前記角速度センサ（１０）は、前記センサ部（１１）の出力信号を処理する処理部（１２）を有することを特徴とする請求項１〜６いずれか１項に記載の検査機構。

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