JP2012151432A - 光電変換素子および光電変換装置ならびに光電変換素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 下部電極層上に設けられた、I−B族元素、III−B族元素およびVI−B族元素を含む光吸収層と、該光吸収層上に設けられたII−B族元素およびIII−B族元素の少なくとも1つを含む半導体層とを有する光電変換素子であって、前記光吸収層の前記半導体層側の主面の大部分は、112面および004面の少なくとも一方を含む配向面によって占められている。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の一実施形態に係る光電変換装置の構成を図を用いて説明する。
基板9は、複数の光電変換素子10を支持するためのものである。基板9に用いられる材料としては、ガラス、セラミックス、樹脂、および金属などが挙げられる。ここでは、基板9として、厚さ1〜3mm程度の青板ガラス(ソーダライムガラス)が用いられているものとする。
下部電極層5は、基板9の一主面上に設けられた、Mo、Al、Ti、Ta、またはAuなどの金属、あるいはこれらの金属の積層構造体からなる導体である。下部電極層5は、スパッタリング法または蒸着法などの公知の薄膜形成方法を用いて、0.2〜1μm程度の厚みに形成される。
光吸収層4は、下部電極層5の上に設けられた、カルコパイライト系(以下CIS系とも言う)のI−III−VI族化合物からなる、p型の導電型を有する半導体層である。この光吸収層4は、1〜3μm程度の厚みを有している。
第1半導体層1は、光吸収層4の上に設けられた、該光吸収層4の導電型とは異なるn型の導電型を有する半導体層である。第1半導体層1は光吸収層4上に設けられたII−B族元素、III−B族元素の少なくとも1つを含む半導体層を有する化合物半導体によって構成される場合に、光吸収層4とヘテロ接合する態様で設けられる。
第2半導体層2は、第1半導体層1の上に設けられたn型の半導体層で、本実施形態においては、例えば、第2半導体層2はスパッタ法、蒸着法などによって形成され、図4に示される高抵抗の酸化亜鉛(i−ZnO)などを用いて構成されるもの等もある。このような第2半導体層2は必須ではないが、上部電極層7と光吸収層4との間におけるリーク電流の発生が抑制され易くなる。
上部電極層7は、第2半導体層2の上に設けられた、n型の導電型を有する透明導電膜である。上部電極層7は、光電変換層において生じた電荷を第2半導体層2を介して取り出す電極として設けられている。
図7に示されるように、グリッド電極8はAgなどの金属からなる集電部8aと連結部8bとからなり、光電変換素子10において発生して上部電極層7において取り出された電荷を集電する役割を担う。これにより上部電極層7の薄層化が可能となる。
撮影したときに、結晶の稜辺が60度、あるいは120度で交わっている面であり、004面とは、図2に示されるように光吸収層4の主面を50000倍のSEM写真で撮影したときに、結晶の稜辺が90度で交わっている面である。
っていることがわかる。
以下においては光電変換素子の製造方法における概略の説明であり、I−III−VI族化合物半導体からなる光吸収層4(例えば、Cu、In、GaおよびSeを含むCIGS等)が塗布法を用いて形成され、さらに、第1半導体層1以降が形成される場合を例として説明する。
また本実施形態は前記光電変換素子を用いた光電変換装置である。
実施例としては、以下の手順で試料1〜24を用意した。
固化することで形成した。
これら実施例および比較例の各試料の光電変換素子10を用いて、図7のような光電変換装置20を作製して、それぞれの光電変換効率を評価した結果を、以下の実施例1〜3にて説明する。
以下、光吸収層4の半導体層1側の主面の配向面を112面、第1半導体層1の組成をIn2S3とした結果を表1に示す。
次に、光吸収層4の半導体層1側の主面の配向面を112面、半導体層の組成をZnSとした結果を表2に示す。
次に、光吸収層4の半導体層1側の主面の配向面を004面、半導体層の組成をCdSとした結果を表3に示す。
ャル成長領域3の厚さが5nm以上で、著しく光電変換効率が向上することがわかる。
1a:半導体層A 1b:半導体層B
2:第2半導体層
3:エピタキシャル成長領域
4:光吸収層
5:下部電極層
7:上部電極層
8:グリッド電極
8a:集電部 8b:接続部
9:基板
10:光電変換素子
11:付着物
12:被覆層
20:光電変換装置
Claims (12)
- 下部電極層上に設けられた、I−B族元素、III−B族元素およびVI−B族元素を含む光吸収層と、
該光吸収層上に設けられたII−B族元素およびIII−B族元素の少なくとも1つを含む半導体層とを有する光電変換素子であって、
前記光吸収層の前記半導体層側の主面の大部分は、112面および004面の少なくとも一方を含む配向面によって占められている光電変換素子。 - 前記半導体層の少なくとも前記光吸収層側は、エピタキシャル成長したものである請求項1に記載の光電変換素子。
- 前記半導体層の少なくとも前記光吸収層側は、112面、111面、200面のいずれかの方向にエピタキシャル成長したものである請求項1または2に記載の光電変換素子。
- 前記半導体層のエピタキシャル成長した領域は、5nm以上の厚さである請求項1〜3のいずれかに記載の光電変換素子。
- 前記半導体層の厚みは5〜60nmである請求項1〜4のいずれかに記載の光電変換素子。
- 前記半導体層はCdS、ZnSまたはIn2S3を含む請求項1〜5のいずれかに記載の光電変換素子。
- 前記光吸収層において、前記I−B族元素はCuを含み、前記III−B族元素はInおよびGaを含み、前記VI−B族元素はSeを含んでいる請求項1〜6のいずれかに記載の光電変換素子。
- 前記光吸収層の主面の112面または004面以外の配向面は、該光吸収層と同一の組成、かつ112面または004面の配向面を有する被覆層で被覆されている請求項1〜7のいずれかに記載の光電変換素子。
- 前記光吸収層の主面と前記被覆層との間には、前記光吸収層と同一の組成の付着物を有する請求項1〜8のいずれかに記載の光電変換素子。
- 前記光吸収層の主面と前記付着物の主面とは、大部分で平行である請求項9に記載の光電変換素子。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の光電変換素子を用いた光電変換装置。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法であって、
下部電極層上に、I−B族元素、III−B族元素およびVI−B族元素を含む光吸収層を形成する第1工程と、
前記光吸収層の表面をアンモニア水中で超音波洗浄した後に、該超音波洗浄を停止して前記光吸収層から解離した粒子を前記光吸収層の表面に再付着させる第2工程と、
前記光吸収層上にII−B族元素およびIII−B族元素の少なくとも1つを含む半導体層をCBD法にて形成する第3工程とを有し、
前記第2工程において、前記アンモニア水の温度を前記第3工程におけるCBD法での形成温度よりも低く制御するとともに、前記アンモニア水の濃度を2〜3mol/Lに制御する光電変換素子の製造方法。
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