JP2012150321A - 無機偏光ブレーズド回折格子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の無機偏光ブレーズド回折格子は、透明基板の表面に、一定の周期を有する凹凸からなるフォトニック結晶形成部分と、それに隣接するフォトニック結晶が形成されていない平坦部分を、ブレーズド回折格子のステップ状屈折率分布の一つのステップに相当する部分として形成されてなる。異なる単位領域の構造は、フォトニック結晶の凹凸の幅、平坦部分の幅又はそれらの両方が変更されてなることによって、前記単位領域の実効的な屈折率がステップ状に変化するように構成され、その実効屈折率がステップ状に変化する領域が繰り返し配置されて疑似ブレーズド回折格子が形成される。
【選択図】図1
Description
12 フォトニック結晶形成部分(第2サイクルめ)
13 フォトニック結晶形成部分(第3サイクルめ)
14 フォトニック結晶形成部分(第4サイクルめ)
21 平坦部分(第1サイクルめ)
22 平坦部分(第2サイクルめ)
23 平坦部分(第3サイクルめ)
24 平坦部分(第4サイクルめ)
31 単位領域(第1サイクルめ)
32 単位領域(第2サイクルめ)
33 単位領域(第3サイクルめ)
34 単位領域(第4サイクルめ)
41 実効屈折率がステップ状に変化する領域
101 透明基板(実施例1の石英ガラス基板)
102 第一の誘電体(実施例1の酸化珪素)
103 第二の誘電体(実施例1の酸化タンタル)
Claims (3)
- 厚み方向に垂直な第一主表面とそれに対向する第二主表面を有する透明な平行平板形状の透明基板と、第一主表面に形成されたフォトニック結晶を含む偏光ブレーズド回折格子部分からなる無機偏光ブレーズド回折格子であって、
前記偏光ブレーズド回折格子部分は、実効屈折率がステップ状に変化する領域が、第一主表面に平行な第一の方向に沿って繰り返し形成されており、
前記実効屈折率がステップ状に変化する領域は、フォトニック結晶が形成されているフォトニック結晶形成部分とそれに隣接する平坦部分からなる単位領域が、前記単位領域の実効的屈折率が前記第一の方向に沿って増加するように隣接して形成されており、
前記フォトニック結晶形成部分は、屈折率の異なる二種類以上の誘電体材料が前記厚み方向に積層されている多層構造体であって、各誘電体材料ごとに積層の単位となる層の形状が前記第一の方向について周期的凹凸構造を有し、前記第一主表面に平行でありかつ前記第一の方向に垂直である第二の方向には一様な構造を有し、その形状を周期ごとに繰り返しつつ厚み方向に層状に積層されているフォトニック結晶からなり、
前記フォトニック結晶の前記第一の方向についての周期的凹凸構造の周期が一定であることを特徴とする無機偏光ブレーズド回折格子。 - 前記透明基板の前記第一主表面に、前記第二の方向に垂直な断面の形状が三角波状であり、前記第二の方向に一様な形状を有する周期的凹凸が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の無機偏光ブレーズド回折格子。
- 前記透明基板の前記第一主表面に形成されている前記周期的凹凸が、ゾルゲルナノインプリント法により形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の無機偏光ブレーズド回折格子。
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