JP2012146820A - 熱交換機構および露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置に、熱交換システムとして、熱交換機構、チラーユニットを設け、チラーユニットによって液体の熱媒体を循環させるとともに、熱交換機構において熱交換した熱媒体を、冷却、放熱させる。熱交換機構は、DMD両側を熱交換するため、熱媒体の流れる輸送管路を内部に設けた前面ジャケット70、背面ジャケット50によって構成する。そして、DMDを間に挟むように、連結部52、72を介して前面ジャケット70、背面ジャケット50を一体的に連結する。内部の輸送管路は直列的経路を形成し、先に前面ジャケット70の熱交換部76に熱媒体を流し、その後、背面ジャケット50の熱交換部58に熱媒体を流す。
【選択図】図8
Description
24 DMD(光変調素子アレイ)
30 熱交換機構
37 温度センサ
40 チラーユニット(熱媒体温度調整部)
50 背面ジャケット(背面熱交換部材)
52 連結部
58 熱交換部
58D 筒状空間(液体流入流出空間)
59 円筒状穴(背面輸送管路)
60 ガイド部材
61A、61B 溝
70 前面ジャケット(前面熱交換部材)
72 連結部
76 熱交換部
78 輸送管路
110 ヒートパイプ
Claims (17)
- 複数の光変調素子を2次元配列させた光変調素子アレイと、
前記光変調素子アレイの前面側に設けられる前面熱交換部材と、前記光変調素子アレイの背面側に設けられる背面熱交換部材とを有し、前記背面熱交換部材および前記前面熱交換部材内部に熱媒体が流れる輸送管路を設けた熱交換機構と、
前記熱交換機構を流れる熱媒体の温度を調整する熱媒体温度調整部とを備え、
前記輸送管路が、前記背面熱交換部材と前記前面熱交換部材との間で熱媒体が輸送されるように形成されていることを特徴とする露光装置。 - 前記輸送管路が、前記背面熱交換部材と前記前面熱交換部材との間で直列的流路を形成することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 熱媒体が、前記前面熱交換部材、前記背面熱交換部材の順で流れていることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記熱交換機構が、前記背面熱交換部材と前記前面熱交換部材とを連結する連結部を有し、
前記輸送管路の一部が前記連結部に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。 - 前記光変調素子アレイが、前記前面熱交換部材と前記背面熱交換部材との連結により挟持されることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記光変調素子アレイを支持する支持部材が、前記熱交換機構とは別に設けられることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記背面熱交換部材が、前記光変調素子アレイの背面に向かい合う熱交換面を有し、
前記輸送管路が、前記熱交換面から内部側に熱媒体流入流出可能な空間を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。 - 前記輸送管路が、前記背面熱交換部材内部に光変調素子アレイの背面付近まで延びる背面側管路を有し、
熱媒体が、前記背面側管路の先端部に設けられた熱媒体流入流出可能な空間を、前記背面側管路を介して行き来することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置。 - 前記熱交換機構が、前記空間を形成するように前記背面側管路内に挿入され、熱媒体を往路と復路で分離して輸送するガイド部材を有することを特徴とする請求項8に記載の露光装置。
- 前記ガイド部材が、前記ガイド部材の軸方向に沿って形成される溝を有することを特徴とする請求項9に記載の露光装置。
- 前記背面熱交換部材が前記熱媒体温度調整部に接続され、前記背面熱交換部材を通じて前記熱交換機構に対する熱媒体の供給、排出が行われることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の露光装置。
- 前記熱交換機構が、前記光変調素子アレイの温度を検出する温度センサを有し、
熱媒体温度調整部は、前記温度センサからの温度データに基づいて熱媒体の温度を制御することを特徴とする請求項1乃至11のいずれかに記載の露光装置。 - 被描画体に対する露光動作に従い、前記光変調素子アレイに対する照射が間欠的に行われることを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載の露光装置。
- 複数の光変調素子を2次元配列させた光変調素子アレイの前面側に設けられ、前面側で発生する熱を受け取る前面熱交換部材と、
前記光変調素子アレイの背面側に設けられ、背面側で発生する熱を受け取る背面熱交換部材とを備え、
前記前面熱交換部材と前記背面熱交換部材との間で、その周辺空間および前記光変調素子アレイを介在せずに、熱が伝わることを特徴とする熱交換機構。 - 前記前面熱交換部材と前記背面熱交換部材が、それぞれ熱伝導性のある連結部を有し、前記連結部を通じて連結していることを特徴とする請求項14に記載の熱交換機構。
- 前記前面熱交換部材と前記背面熱交換部材内に熱媒体の流れる輸送管路が設けられ、
前記輸送管路が、前記前面熱交換部材と前記背面熱交換部材との間で冷媒が移動するように形成されていることを特徴とする請求項14に記載の熱交換機構。 - 前記前面熱交換部材と前記背面熱交換部材との間に、熱輸送部材が介在していることを特徴とする請求項14に記載の熱交換機構。
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