JP2012141088A - クリーンルーム用空調システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】空調システム(1)は、クリーンルーム内の全領域の空気温度が許容範囲内の温度である際に、各ファン(23)の風量を制御する風量制御部(40)を備えている。風量制御部(40)は、塵埃量が少ない所定の清浄状態である清浄領域に対応する顕熱空調機(21)のファン(23)の風量を低減する風量低減部(40a)と、清浄状態から塵埃量が増大して所定の非清浄状態に転じた塵埃増大領域に対応する空調機(21)のファン(23)の風量を定格風量に制御する第1定格風量制御部(40b)と、塵埃増大領域の隣接領域に対応する空調機(21)のファン(23)の風量を風量低減部(40a)に代わって定格風量に制御する第2定格風量制御部(40c)とを備えている。
【選択図】図1
Description
外気処理系統(10)では、外気処理空調機(11)のファン(15)の駆動により、外気処理空調機(11)内に外気が取り込まれる。取り込まれた外気は、冷却コイル(12)や加湿器(14)等で潜熱処理された後、主流路(16)に吹き出される。主流路(16)に吹き出された空気は、各分岐流路(17)に分流されて各顕熱処理系統(20)の顕熱空調機(21)に供給される。
以下、コントローラ(35)の各制御部による詳細な制御動作について詳述する。
本空調システム(1)によれば、上述のような風量低減部(40a)を備えているため、清浄領域に対応する顕熱空調機(21)のファン(23)の動力を低減することができる。その結果、クリーンルーム内の清浄度を悪化させることなく空調システムの消費エネルギを低減することができる。
上記実施形態では、塵埃増大領域が出現した際に、該塵埃増大領域に隣接する全ての隣接領域に対応する顕熱空調機(21)のファン(23)の風量を定格風量に制御するように第2定格風量制御部(40c)を構成していたが、塵埃増大領域に隣接する一部の隣接領域のみに対応する顕熱空調機(21)のファン(23)の風量を定格風量に制御するように第2定格風量制御部(40c)を構成してもよい。
20 顕熱処理系統
21 顕熱空調機(空調機)
22 冷却コイル(空気熱交換器)
23 ファン
24 戻り流路
25 フィルタ
26 ケーシング
27 流量調整弁
31 温度センサ
32 パーティクルセンサ
35 コントローラ(制御手段)
Claims (3)
- 空気と内部を流通する熱媒体とを熱交換させる空気熱交換器(22)と、空気中の塵埃を除去するフィルタ(25)と、上記空気熱交換器(22)及びフィルタ(25)を通過するようにクリーンルーム内の空気を循環させる風量可変のファン(23)とをそれぞれ有し、クリーンルーム内の各領域にそれぞれ対応づけられた複数の空調機(21)と、上記クリーンルーム内の各領域の空気温度と塵埃量とに基づいて上記複数の空調機(21)のファン(23)の風量を制御する風量制御部(40)とを備えたクリーンルーム用空調システムであって、
上記風量制御部(40)は、
上記クリーンルーム内の全領域の空気温度が許容範囲内の温度である際に、上記クリーンルーム内の各領域に対応する空調機(21)のファン(23)の風量を制御するように構成され、
塵埃量が少ない所定の清浄状態である清浄領域に対応する空調機(21)のファン(23)の風量を低減する風量低減部(40a)と、
上記清浄状態から塵埃量が増大して所定の非清浄状態に転じた塵埃増大領域に対応する空調機(21)のファン(23)の風量を定格風量に制御する第1定格風量制御部(40b)と、
上記塵埃増大領域の少なくとも1つの隣接領域に対応する空調機(21)のファン(23)の風量を上記風量低減部(40a)に代わって定格風量に制御する第2定格風量制御部(40c)とを備えている
ことを特徴とするクリーンルーム用空調システム。 - 請求項1において、
上記第2定格風量制御部(40c)は、上記塵埃増大領域の全ての隣接領域のそれぞれに対応する空調機(21)のファン(23)の風量を上記風量低減部(40a)に代わって定格風量に制御するように構成されている
ことを特徴とするクリーンルーム用空調システム。 - 請求項1又は2において、
上記各空調機(21)内の上記ファン(23)による空気流れの上記フィルタ(25)の上流側には、上記空気流れ中の塵埃量を検出するパーティクルセンサ(32)がそれぞれ設けられ、
上記風量制御部(40)は、上記各パーティクルセンサ(32)の検出値に基づいて上記クリーンルーム内の各領域に対応する空調機(21)のファン(23)の風量を制御するように構成されている
ことを特徴とするクリーンルーム用空調システム。
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