JP2012134477A - 表示装置及びその作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ゲート電極と、前記ゲート電極を覆って設けられたゲート絶縁層と、前記ゲート絶縁層上に設けられた半導体層と、前記半導体層上の一部に接して離間して設けられたソース電極及びドレイン電極と、を有し、前記ソース電極及びドレイン電極の一方は画素電極を兼ねる表示装置とする。前記ソース電極及びドレイン電極の他方は信号線を兼ねる電極であり、該信号線を兼ねる電極上には低抵抗な導電層が設けられていることが好ましい。低抵抗な導電層は、電気メッキ法などにより形成することができる。
【選択図】図10
Description
本実施の形態では、本発明の一態様である表示装置に設けられる画素トランジスタとその作製方法について説明する。
実施の形態1の第1のエッチングマスク104と第2のエッチングマスク112は、同一のフォトマスクにより形成することができる。従って、フォトマスクの枚数は、実施の形態1よりも更に少なくすることができる。本実施の形態では、実施の形態1よりも更にフォトマスクの枚数が少ない表示装置の作製方法について図6乃至図10を参照して説明する。
実施の形態1及び実施の形態2で好ましい形態として説明した、信号線を兼ねる電極上に低抵抗な導電層が設けられた画素トランジスタを作製するに際しては、基板面内でのチャネル長を均一にすることが難しい。そこで、本実施の形態では、信号線を兼ねる電極及び画素電極を兼ねる電極にサイドウォール絶縁層を形成する形態について説明する。信号線を兼ねる電極及び画素電極を兼ねる電極にサイドウォール絶縁層を設けると、信号線を兼ねる電極と画素電極を兼ねる電極との間の距離(チャネル長L)を透明導電膜の加工時に決定できるため、基板面内でのチャネル長Lのばらつきを防ぐことができ、表示装置の表示むらを防ぐことができる。
実施の形態1では、マスク枚数を増加させることなく低抵抗な導電層122を設ける方法として、電気メッキ法を例示している。ただし、これに限定されず、低抵抗な導電層122は、他の方法を用いて形成してもよい。本実施の形態では、このような方法の一例としてリフトオフを用いる。
実施の形態1及び実施の形態4では、フォトマスク及びエッチングマスクのマスクのマスク枚数を増加させることなく低抵抗な導電層122を設ける方法として、電気メッキ法とリフトオフを例示している。ただし、これらに限定されず、低抵抗な導電層122は、他の方法を用いて形成してもよい。本実施の形態では、このような方法の一例として液滴吐出法を用いる。
実施の形態1で説明したように、電気メッキ法を用いて、信号線を兼ねる電極120a上に低抵抗な導電層122を形成する場合、基板面内において均一に形成するには、信号線を兼ねる電極120aの電位を電気メッキ可能な等しいものとすることが好ましい。本実施の形態では、信号線を兼ねる電極120aの電位を等しい電位として電気メッキを行うことができる表示装置の生産システムについて説明する。
上記のように作製した画素トランジスタを適用した半導体装置としては、電子ペーパーが挙げられる。電子ペーパーは、情報を表示するものであればあらゆる分野の電子機器に用いることが可能である。例えば、電子ペーパーを用いて、電子書籍(電子ブック)、ポスター、デジタルサイネージ、PID(Public Information Display)、電車などの乗り物の車内広告、クレジットカード等の各種カードにおける表示等に適用することができる。電子機器の一例を図15に示す。
上記のように作製した画素トランジスタを適用した半導体装置としては、電子ペーパー以外にもさまざまな電子機器(遊技機も含む)が挙げられる。電子機器としては、例えば、テレビジョン装置(テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう)、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機(携帯電話、携帯電話装置ともいう)、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。
102 第1の導電膜
104 第1のエッチングマスク
106 ゲート電極
108 ゲート絶縁層
110 半導体膜
112 第2のエッチングマスク
114 半導体層
116 透明導電膜
118 第3のエッチングマスク
120a 信号線を兼ねる電極
120b 画素電極を兼ねる電極
122 低抵抗な導電層
124 半導体層
126 サイドウォール絶縁膜
128 サイドウォール絶縁層
130 保護マスク
132 低抵抗な導電膜
134 低抵抗な導電膜
136 第4のエッチングマスク
150 画素
152 信号線
154 走査線
156 信号線側入力端子
158 走査線側入力端子
160 領域
170 上部アーム
172 下部アーム
174 導電部
176 導電部
200 電子書籍
202 筐体
204 筐体
206 表示部
208 光電変換装置
210 表示部
212 光電変換装置
214 軸部
216 電源
218 操作キー
220 スピーカ
222 テレビジョン装置
224 筐体
226 表示部
228 スタンド
230 表示部
232 操作キー
234 リモコン操作機
236 デジタルフォトフレーム
238 筐体
240 表示部
242 上部筐体
244 下部筐体
246 表示部
248 キーボード
250 外部接続ポート
252 ポインティングデバイス
254 表示部
Claims (9)
- ゲート電極と、
前記ゲート電極を覆って設けられたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に設けられた半導体層と、
前記半導体層に接して離間して設けられたソース電極及びドレイン電極と、を有し、
前記ソース電極及びドレイン電極の一方は画素電極を兼ねていることを特徴とする表示装置。 - ゲート電極と、
前記ゲート電極を覆って設けられたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に設けられた半導体層と、
前記半導体層に接して離間して設けられたソース電極及びドレイン電極と、を有し、
前記ソース電極及びドレイン電極の一方は画素電極を兼ね、
前記ソース電極及びドレイン電極の他方は信号線を兼ね、
前記ソース電極及びドレイン電極の他方上には低抵抗な導電層が設けられていることを特徴とする表示装置。 - 基板上に第1の導電膜を形成し、
前記第1の導電膜上に第1のエッチングマスクを形成し、
前記第1のエッチングマスクを用いて前記第1の導電膜を加工することでゲート電極を形成し、
前記第1のエッチングマスクを除去し、
前記ゲート電極上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上に半導体膜を形成し、
前記半導体膜上に第2のエッチングマスクを形成し、
前記第2のエッチングマスクを用いて前記半導体膜を加工することで半導体層を形成し、
前記第2のエッチングマスクを除去し、
前記ゲート絶縁層上に前記半導体層を覆って透明導電膜を形成し、
前記透明導電膜上に第3のエッチングマスクを形成し、
前記第3のエッチングマスクを用いて前記透明導電膜を加工することで信号線を兼ねる電極及び画素電極を兼ねる電極を形成し、
前記第3のエッチングマスクを除去することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 基板上に第1の導電膜を形成し、
前記第1の導電膜上に第1のエッチングマスクを形成し、
前記第1のエッチングマスクを用いて前記第1の導電膜を加工することでゲート電極を形成し、
前記第1のエッチングマスクを除去し、
前記ゲート電極上にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層上に半導体膜を形成し、
前記半導体膜上に第2のエッチングマスクを形成し、
前記第2のエッチングマスクを用いて前記半導体膜を加工することで半導体層を形成し、
前記第2のエッチングマスクを除去し、
前記ゲート絶縁層上に前記半導体層を覆って透明導電膜を形成し、
前記透明導電膜上に第3のエッチングマスクを形成し、
前記第3のエッチングマスクを用いて前記透明導電膜を加工することで信号線を兼ねる電極及び画素電極を兼ねる電極を形成し、
前記第3のエッチングマスクを除去し、
前記信号線を兼ねる電極上にのみ低抵抗な導電層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項4において、
前記低抵抗な導電層が電気メッキ法により形成されることを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項3において、
前記第3のエッチングマスクを除去した後に、
前記ゲート絶縁層、前記半導体層、前記信号線を兼ねる電極及び前記画素電極を兼ねる電極上にサイドウォール絶縁膜を形成し、
前記信号線を兼ねる電極及び前記画素電極を兼ねる電極を露出させるように前記サイドウォール絶縁膜をエッチバック処理を行ってサイドウォール絶縁層を形成し、
その後前記信号線を兼ねる電極上に電気メッキ法により低抵抗な導電層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項4において、
前記第3のエッチングマスクを除去した後に、
前記低抵抗な導電層を形成する領域以外の部分に保護マスクをインクジェット法により形成し、
前記信号線を兼ねる電極及び前記保護マスク上に低抵抗な導電膜を形成し、
前記保護マスクをリフトオフすることで前記低抵抗な導電層を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項4において、
前記第3のエッチングマスクを除去した後に低抵抗な導電膜を形成し、
前記低抵抗な導電膜上の低抵抗な導電層を形成する領域に第4のエッチングマスクをインクジェット法により形成し、
前記第4のエッチングマスクを用いて低抵抗な導電膜を加工することで、低抵抗な導電層を形成し、
前記第4のエッチングマスクを除去することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項3乃至請求項8のいずれか一に記載の作製方法の後に、信号線を兼ねる電極と画素電極を兼ねる電極のエッチングを行うことを特徴とする表示装置の作製方法。
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