JP2012129467A - 半導体装置の製造方法、超音波接合装置、及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本願の発明にかかる半導体装置の製造方法は、被接合体に接合体を接触させる工程と、ボンディングツールの先端に形成されたボンド面を該接合体に当てて該ボンド面の直下領域に該被接合体と該接合体との接合部分を形成するように該接合体に荷重及び超音波を印加する工程と、該ボンディングツールの該ボンド面よりも後退した位置に該ボンド面と平行な面となるように形成されたパワー分散面を、該パワー分散面の直下領域に接合部分が形成されないように該接合体に当てる工程と、を有することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法で用いる超音波接合装置を示す図である。超音波接合装置はボンディングツール10を有している。ボンディングツール10の先端には平坦なボンド面10aが形成されている。ボンディングツール10にはホーン12が取り付けられている。ホーン12は超音波発生器14に取り付けられている。このように、超音波発生器14で発生させた超音波振動はホーン12を経由してボンディングツール10へ伝搬されるようになっている。
図19は本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法で用いるボンディングツール300を示す図である。ボンディングツール300は先端にボンド面300aを有している。ボンド面300aには格子状の刻み目がつけられている。ボンディングツール300のボンド面300aよりも後退した位置には、ボンド面300aと平行なパワー分散面300bが形成されている。
図22は本発明の実施の形態3に係る半導体装置の製造方法で用いるボンディングツール400を示す図である。ボンディングツール400は、ボンド面400aとボンド面400aよりも後退した位置にボンド面400aと平行な面となるように形成されたパワー分散面400bを有している。このボンディングツール400を用いて前述した実施の形態1に係る半導体装置の製造方法と同様の工程が実施される。ここで、パワー分散面400bの一部はボンド面400aよりもリボンのネック部となるべき場所に近い方に当たる。
図24は本発明の実施の形態4に係る半導体装置の製造方法で用いるボンディングツール500を示す図である。ボンディングツール500は、ボンド面500aとボンド面500aよりも後退した位置にボンド面500aと平行な面となるように形成されたパワー分散面500bを有している。パワー分散面500bはボンド面500aを囲むように形成されている。このボンディングツール500を用いて前述した実施の形態1に係る半導体装置の製造方法と同様の工程が実施される。
Claims (7)
- 被接合体に接合体を接触させる工程と、
ボンディングツールの先端に形成されたボンド面を前記接合体に当てて前記ボンド面の直下領域に前記被接合体と前記接合体との接合部分を形成するように前記接合体に荷重及び超音波を印加する工程と、
前記ボンディングツールの前記ボンド面よりも後退した位置に前記ボンド面と平行な面となるように形成されたパワー分散面を、前記パワー分散面の直下領域に前記被接合体と前記接合体との接合部分が形成されないように前記接合体に当てる工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記接合体は、前記被接合体と離れる部分であるネック部を有するリボンであり、
前記パワー分散面の一部は前記ボンド面よりも前記ネック部に近い方に当たることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記パワー分散面は前記ボンド面を囲むように形成されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ボンド面と前記パワー分散面のいずれか又は両方には刻み目がつけられたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 先端にボンド面が形成され、前記ボンド面よりも後退した位置に前記ボンド面と平行な面となるようにパワー分散面が形成されたボンディングツールと、
ホーンを介して前記ボンディングツールと接続された超音波発生器と、を有し、
前記ボンディングツールは前記ボンド面の直下領域に接合体と被接合体の接合領域を形成し、前記パワー分散面の直下領域に前記接合体と前記被接合体の接合領域を形成しないように制御されることを特徴とする超音波接合装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の製造方法を用いて製造された半導体装置。
- 請求項5に記載の超音波接合装置を用いて製造された半導体装置。
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