JP2012121082A - 円筒状単結晶シリコンインゴットブロックを四角柱状ブロックに加工する方法およびそれに用いる複合面取り加工装置 - Google Patents
円筒状単結晶シリコンインゴットブロックを四角柱状ブロックに加工する方法およびそれに用いる複合面取り加工装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 インゴットのクランプ機構を一対7,7’用い、かつ、スライシングステージ90と研削面取り加工ステージ11間を結ぶライン上にインゴットの受け渡しステージ80を新たに設け、インゴットのローディングステージ8Rとアンローディングステージ8Lをそれぞれ前記クランプ機構待機位置70と60の正面前側に設けた複合面取り加工装置1。
【選択図】 図1
Description
(2)前記挟持された円筒状単結晶シリコンインゴットブロックの前側に離れて設置した変位センサーよりレーザー光を円筒状単結晶シリコンインゴットブロックのC軸に向けて照射し、クランプ装置の主軸台のモータによるC軸回転角度をエンコーダで読み取りながらC軸1回転(360度)回転させ、回転角度とパルスピークの相関図を表示させる。
(3)表示された4つのパルスピークを示すエンコーダ回転角度のどれか1つの角度(θ)を選択し、この角度が回転切断刃径方向面に対するエンコーダ回転角度45度の位置(切断開始C軸位置)に位置するようC軸を回転させて円筒状単結晶シリコンインゴットブロックの結晶方位位置を固定する。
(4)回転する一対の回転切断刃の方向にクランプ装置を搭載するワークテーブルを移動させて前記一対の回転切断刃による円筒状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面の切断加工を行う。
(5)円筒状単結晶シリコンインゴットブロックのC軸を90度回転させる。
(6)回転する一対の回転切断刃の方向にクランプ装置を搭載するワークテーブルを移動させて前記一対の回転切断刃による円筒状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面の切断加工を行い、四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックを得る。
(7)一対のカップホイール型粗研削砥石間にクランプ装置を搭載するワークテーブルを移動させ、回転している上記四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの四隅Rコーナー部を回転している前記一対のカップホイール型粗研削砥石で円筒研削する。
(8)上記円筒研削された四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックのC軸を回転させて一対のカップホイール型粗研削砥石の刃径方向の面に対する切断開始C軸位置45度位置に固定する。
(9)回転している前記一対のカップホイール型粗研削砥石間にクランプ装置を搭載するワークテーブルを移動させ、一対のカップホイール型粗研削砥石を前進させて四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつワークテーブルの移動により四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行う。
(10)四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックのC軸を90度回転させて一対のカップホイール型粗研削砥石の刃径方向面に対する四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの加工側面位置を固定する。
(11)回転している前記一対のカップホイール型粗研削砥石間にクランプ装置を搭載するワークテーブルを移動させ、一対のカップホイール型粗研削砥石をC軸方向に前進させて四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつワークテーブルの移動により四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行なう粗面取り加工を行う。
(12)粗面取り加工された四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックのC軸を回転させて一対のカップホイール型仕上げ研削砥石の刃径方向の面に対する切断開始C軸位置45度位置に固定する。
(13)回転している前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石間にクランプ装置を搭載するワークテーブルを移動させ、一対のカップホイール型仕上げ研削砥石をC軸方向に前進させて四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつワークテーブルの移動により四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行う。
(14)四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックのC軸を90度回転させて一対のカップホイール型仕上げ研削砥石の刃径方向の面に対する四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの加工側面位置を固定する。
(15)回転している前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石間にクランプ装置を搭載するワークテーブルを移動させ、一対のカップホイール型仕上げ研削砥石をC軸方向に前進させて四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつワークテーブルの移動により四角柱状単結晶シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行なう仕上げ面取り加工を行う。
a)機枠上に左右方向に設けられた案内レール上を左右方向に往復移動できるように設けられた一対のワークテーブル、
b)前記一対のワークテーブル上に左右に分離して搭載された主軸台と心押台の一対よりなる第一クランプ機構と第二クランプ機構、
c)前記第一および第二クランプ機構に支架されたワークを載せた前記ワークテーブルを左右方向に往復移動させる駆動機構、
d)前記ワークテーブルを複合面取り加工装置の正面側から見る方向であって、かつ、右側方向より左側方向へ向かって、
e)円筒状シリコンインゴットブロックのローディングステージ、
f)前記ローディングステージの背後に設けた前記第一クランプ機構の待機位置ステージ、
g)前記第一クランプ機構のワーク支持軸を挟んで一対の回転切断刃をその回転切断刃直径面が相対向するように前記案内レールに対し前後に設けられた円筒状シリコンインゴットブロックの側面剥ぎスライシングステージ、
h)前記スライシングステージの左横側に設けたインゴットブロックの受け渡しステージ、
i)前後移動可能および上下昇降可能な砥石軸の一対に軸承されたカップホイール型砥石の一対をその砥石面が相対向するようにワークテーブルを挟んでワークテーブル前後に設けられた粗研削ステージ、
j)前記粗研削ステージの左横側に平行に設けた、前後移動可能および上下昇降可能な砥石軸の一対に軸承されたカップホイール型砥石の一対をその砥石面が相対向するようにワークテーブルを挟んでワークテーブル前後に設けられた仕上げ研削ステージ、
k)前記仕上げ研削ステージの左横側位置であって、主軸台と心押台の一対よりなる前記第二クランプ機構の待機位置ステージ、
および、
l)前記第二クランプ機構の待機位置ステージの前面側に設けた角柱状シリコンインゴットブロックのアンローディングステージ、
を設けたことを特徴とするシリコンインゴットブロックの複合面取り加工装置を提供するものである。
(1)ローディングステージに在る搬入機構を用い、被加工物(ワーク)である円筒状シリコンインゴットブロックを第一クランプ機構の回転C軸廻りに回転させる機能を有するエンコーダ付き主軸台と心押台間に搬入し、ついで、前記心押台を前進させて円筒状シリコンインゴットブロックを第一クランプ機構に挟持する。
(2)前記第一クランプ機構の主軸台のC軸駆動モータを作動させ、一対の回転切断刃に対する前記円筒状シリコンインゴットブロックの切断開始位置の芯出しを行う。
(3)回転する前記一対の回転切断刃の方向に前記第一クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させて前記一対の回転切断刃による円筒状シリコンインゴットブロックの前後面の切断加工を行う。
(4)ついで、円筒状シリコンインゴットブロックのC軸を90度回転させる。
(5)回転する前記一対の回転切断刃の方向に第一クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させて前記一対の回転切断刃による円筒状シリコンインゴットブロックの前後面の切断加工を行い、四角柱状シリコンインゴットブロックを得る。
(6)前記第一クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルをインゴットブロックの受け渡しステージ方向に移動させ、受け渡しステージにロボットハンドを前進させロボットハンドの把持爪を閉じて前記四角柱状シリコンインゴットブロックを把持させ、ついで、前記第一クランプ機構の心押台を後退させて前記四角柱状シリコンインゴットブロックの挟持を開放した後、前記ロボットハンドを待機位置へ後退させる。その後、前記第一クランプ機構を搭載するワークテーブルを前記第一クランプ機構の待機位置ステージ位置へと戻した後、前記ロボットハンドを前記受け渡しステージに前進させる。
(7)第二クランプ機構の待機位置ステージ位置にある第二クランプ機構を搭載するワークテーブルを右方向に移動して前記受け渡しステージのロボットハンド位置へと移動する。次いで、前記第二クランプ機構の心押台を前進させて前記四角柱状シリコンインゴットブロックを前記第二クランプ機構の主軸台と心押台とで挟持した後、前記ロボットハンドの把持爪を開いて前記四角柱状シリコンインゴットブロックを解放し、前記ロボットハンドを待機位置へ後退させる。
(8)前記四角柱状シリコンインゴットブロックを挟持する第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを左方向に移動させ、粗研削ステージへ四角柱状シリコンインゴットブロックを搬入する。
(9)一対のカップホイール型粗研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させ、回転している前記四角柱状シリコンインゴットブロックの四隅Rコーナー部を回転している前記一対のカップホイール型粗研削砥石で円筒研削する。
(10)上記円筒研削された四角柱状シリコンインゴットブロックのC軸を回転させて一対のカップホイール型粗研削砥石の刃径方向の面に対する四角柱状シリコンインゴットブロックの面取り加工開始時のC軸芯出しを行う。
(11)回転している前記一対のカップホイール型粗研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを移動させ、前記一対のカップホイール型粗研削砥石を前進させて前記四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつ前記ワークテーブルの移動により四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行う。
(12)前記四角柱状シリコンインゴットブロックのC軸を90度回転させて前記一対のカップホイール型粗研削砥石の刃径方向面に対する四角柱状シリコンインゴットブロックの加工側面位置を固定する芯出しを行う。
(13)回転している前記一対のカップホイール型粗研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを移動させ、前記一対のカップホイール型粗研削砥石をC軸方向に前進させて四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつ前記ワークテーブルの移動により四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行なう粗面取り加工を行う。
(14)粗面取り加工が終了した四角柱状シリコンインゴットブロックを挟持する前記第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを左方向に移動させ、仕上げ研削ステージへ前記四角柱状シリコンインゴットブロックを搬入する。
(15)一対のカップホイール型仕上げ研削砥石間に第二クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させ、回転している前記四角柱状シリコンインゴットブロックの四隅Rコーナー部を回転している前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石で円筒研削する。
(16)上記円筒研削された四角柱状シリコンインゴットブロックのC軸を回転させて前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石の刃径方向の面に対する研削開始位置決めの芯出しを行う。
(17)回転している前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させ、前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石を前進させて前記四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつ前記ワークテーブルの移動により四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行う。
(18)ついで、前記四角柱状シリコンインゴットブロックのC軸を90度回転させて前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石の刃径方向面に対する四角柱状シリコンインゴットブロックの加工側面位置に芯出しする。
(19)回転している前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを移動させ、前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石をC軸方向に前進させて四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつ前記ワークテーブルの移動により四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の仕上げ面取り加工を行なう。
(20)上記四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の仕上げ面取り加工が終了した後、仕上げ面取り加工された四角柱状シリコンインゴットブロックを挟持する第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを左方向に移動させて第二クランプ機構の待機位置ステージ位置に戻す。
(21)前記第二クランプ機構の待機位置ステージ位置にある四側面および四隅Rコーナー部仕上げ研削加工された四角柱状シリコンインゴットブロックの下面をアンローディングステージに在る搬送機構の把持爪で抱かえ把持し、前記第二クランプ機構の心押台を後退させて四角柱状シリコンインゴットブロックの第二クランプ機構による挟持を開放する。
(22)搬送機構の把持爪を複合面取り装置のハウジング外に移送し、アンローディングステージに在るブロックストッカー棚上に前述の四側面および四隅Rコーナー部仕上げ研削加工された四角柱状シリコンインゴットブロックを載置する。
a)機枠2上に左右方向に設けられた案内レール3,3上を左右方向に往復移動できるように設けられた一対のワークテーブル4,4’、
b)前記一対のワークテーブル4,4’上に左右に分離して搭載された主軸台7aと心押台7bの一対よりなる第一クランプ機構7と第二クランプ機構7’、
c)前記第一クランプ機構7および第二クランプ機構7’に支架(挟持)されたワークを載せた前記ワークテーブル4,4’を左右方向に往復移動させる駆動機構7am、
d)前記ワークテーブルを複合面取り加工装置の正面側から見る方向であって、かつ、複合面取り加工装置1の右側方向より左側方向へ向かって、
e)円筒状シリコンインゴットブロックのローディングステージ8Rの構成部材のローディング機構13、
f)前記ローディングステージ8Rの背後に設けた前記第一クランプ機構7の待機位置ステージ70、
g)前記第一クランプ機構7のワーク支持軸を挟んで一対の回転切断刃91a,91bをその回転切断刃直径面が相対向するように前記案内レールに対し前後に設けられた円筒状シリコンインゴットブロックの側面剥ぎスライシングステージ90、
h)前記側面剥ぎスライシングステージ90の左横側に設けたロボットハンド81をエアーシリンダ機構により案内ガイド83上を前後に滑走できるテーブル82上に固定したインゴットブロックの受け渡しステージ80、
i)前後移動可能および上下昇降可能な砥石軸の一対11a,11bに軸承されたカップホイール型砥石の一対11g,11gをその砥石面が相対向するようにワークテーブル4を挟んでワークテーブル前後に設けられた粗研削ステージ11、
j)前記粗研削ステージ11の左横側に平行に設けた、前後移動可能および上下昇降可能な砥石軸の一対10a,10bに軸承されたカップホイール型砥石10g,10gの一対をその砥石面が相対向するようにワークテーブル4を挟んでワークテーブル前後に設けられた仕上げ研削ステージ10、
k)前記仕上げ研削ステージ10の左横側位置であって、主軸台7aと心押台7bの一対よりなる前記第二クランプ機構7’の待機位置ステージ60、
l)前記第二クランプ機構7’の待機位置ステージ60の前面側に設けた角柱状シリコンインゴットブロックのアンローディングステージ8Lを構成するワークのアンローディング機構13’、
を設けたシリコンインゴットブロックの複合面取り加工装置1である。
C C軸(クランプ装置のワーク回転軸)
w 円筒状シリコンインゴットブロック(ワーク)
3 案内レール
4,4’ ワークテーブル
7,7’ クランプ機構
7a 主軸台
7b 心押台
8 ロードポート
8’アンロードポート
10 仕上げ研削ステージ
11 粗研削ステージ
10a,10b,11a,11b 砥石軸
10g 仕上げ研削砥石
11g 粗研削砥石
13 インゴットブロック搬入機構
13’インゴットブロック搬送機構
14 ワークストッカー
60 第二クランプ機構待機位置ステージ
70 第一クランプ機構待機位置ステージ
80 インゴットブロック受け渡しステージ
81 ロボットハンド
90 側面剥ぎスライシングステージ
91a,91b 回転切断刃(外周刃)
Claims (2)
- a)機枠上に左右方向に設けられた案内レール上を左右方向に往復移動できるように設けられた一対のワークテーブル、
b)前記一対のワークテーブル上に左右に分離して搭載された主軸台と心押台の一対よりなる第一クランプ機構と第二クランプ機構、
c)前記第一および第二クランプ機構に支架されたワークを載せた前記ワークテーブルを左右方向に往復移動させる駆動機構、
d)前記ワークテーブルを複合面取り加工装置の正面側から見る方向であって、かつ、右側方向より左側方向へ向かって、
e)円筒状シリコンインゴットブロックのローディングステージ、
f)前記ローディングステージの背後に設けた前記第一クランプ機構の待機位置ステージ、
g)前記第一クランプ機構のワーク支持軸を挟んで一対の回転切断刃をその回転切断刃直径面が相対向するように前記案内レールに対し前後に設けられた円筒状シリコンインゴットブロックの側面剥ぎスライシングステージ、
h)前記スライシングステージの左横側に設けたインゴットブロックの受け渡しステージ、
i)前後移動可能および上下昇降可能な砥石軸の一対に軸承されたカップホイール型砥石の一対をその砥石面が相対向するようにワークテーブルを挟んでワークテーブル前後に設けられた粗研削ステージ、
j)前記粗研削ステージの左横側に平行に設けた、前後移動可能および上下昇降可能な砥石軸の一対に軸承されたカップホイール型砥石の一対をその砥石面が相対向するようにワークテーブルを挟んでワークテーブル前後に設けられた仕上げ研削ステージ、
k)前記仕上げ研削ステージの左横側位置であって、主軸台と心押台の一対よりなる前記第二クランプ機構の待機位置ステージ、
および、
l)前記第二クランプ機構の待機位置ステージの前面側に設けた角柱状シリコンインゴットブロックのアンローディングステージ、
を設けたことを特徴とするシリコンインゴットブロックの複合面取り加工装置。 - 請求項1記載の複合面取り加工装置を用い、下記の工程を経て、円筒状シリコンインゴットブロックを角柱状シリコンインゴットブロックに面取り加工する方法。
(1)ローディングステージに在る搬入機構を用い、被加工物である円筒状シリコンインゴットブロックを第一クランプ機構の回転C軸廻りに回転させる機能を有するエンコーダ付き主軸台と心押台間に搬入し、ついで、前記心押台を前進させて円筒状シリコンインゴットブロックを第一クランプ機構に挟持する。
(2)前記第一クランプ機構の主軸台のC軸駆動モータを作動させ、一対の回転切断刃に対する前記円筒状シリコンインゴットブロックの切断開始位置の芯出しを行う。
(3)回転する前記一対の回転切断刃の方向に前記第一クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させて前記一対の回転切断刃による円筒状シリコンインゴットブロックの前後面の切断加工を行う。
(4)ついで、円筒状シリコンインゴットブロックのC軸を90度回転させる。
(5)回転する前記一対の回転切断刃の方向に第一クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させて前記一対の回転切断刃による円筒状シリコンインゴットブロックの前後面の切断加工を行い、四角柱状シリコンインゴットブロックを得る。
(6)前記第一クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルをインゴットブロックの受け渡しステージ方向に移動させ、受け渡しステージにロボットハンドを前進させロボットハンドの把持爪を閉じて前記四角柱状シリコンインゴットブロックを把持させ、ついで、前記第一クランプ機構の心押台を後退させて前記四角柱状シリコンインゴットブロックの挟持を開放した後、前記ロボットハンドを待機位置へ後退させる。その後、前記第一クランプ機構を搭載するワークテーブルを前記第一クランプ機構の待機位置ステージ位置へと戻した後、前記ロボットハンドを前記受け渡しステージに前進させる。
(7)第二クランプ機構の待機位置ステージ位置にある第二クランプ機構を搭載するワークテーブルを右方向に移動して前記受け渡しステージのロボットハンド位置へと移動する。次いで、前記第二クランプ機構の心押台を前進させて前記四角柱状シリコンインゴットブロックを前記第二クランプ機構の主軸台と心押台とで挟持した後、前記ロボットハンドの把持爪を開いて前記四角柱状シリコンインゴットブロックを解放し、前記ロボットハンドを待機位置へ後退させる。
(8)前記四角柱状シリコンインゴットブロックを挟持する第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを左方向に移動させ、粗研削ステージへ四角柱状シリコンインゴットブロックを搬入する。
(9)一対のカップホイール型粗研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させ、回転している前記四角柱状シリコンインゴットブロックの四隅Rコーナー部を回転している前記一対のカップホイール型粗研削砥石で円筒研削する。
(10)上記円筒研削された四角柱状シリコンインゴットブロックのC軸を回転させて一対のカップホイール型粗研削砥石の刃径方向の面に対する四角柱状シリコンインゴットブロックの面取り加工開始時のC軸芯出しを行う。
(11)回転している前記一対のカップホイール型粗研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを移動させ、前記一対のカップホイール型粗研削砥石を前進させて前記四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつ前記ワークテーブルの移動により四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行う。
(12)前記四角柱状シリコンインゴットブロックのC軸を90度回転させて前記一対のカップホイール型粗研削砥石の刃径方向面に対する四角柱状シリコンインゴットブロックの加工側面位置を固定する芯出しを行う。
(13)回転している前記一対のカップホイール型粗研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを移動させ、前記一対のカップホイール型粗研削砥石をC軸方向に前進させて四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつ前記ワークテーブルの移動により四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行なう粗面取り加工を行う。
(14)粗面取り加工が終了した四角柱状シリコンインゴットブロックを挟持する前記第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを左方向に移動させ、仕上げ研削ステージへ前記四角柱状シリコンインゴットブロックを搬入する。
(15)一対のカップホイール型仕上げ研削砥石間に第二クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させ、回転している前記四角柱状シリコンインゴットブロックの四隅Rコーナー部を回転している前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石で円筒研削する。
(16)上記円筒研削された四角柱状シリコンインゴットブロックのC軸を回転させて前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石の刃径方向の面に対する研削開始位置決めの芯出しを行う。
(17)回転している前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載するワークテーブルを移動させ、前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石を前進させて前記四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつ前記ワークテーブルの移動により四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の面取り加工を行う。
(18)ついで、前記四角柱状シリコンインゴットブロックのC軸を90度回転させて前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石の刃径方向面に対する四角柱状シリコンインゴットブロックの加工側面位置に芯出しする。
(19)回転している前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石間に前記第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを移動させ、前記一対のカップホイール型仕上げ研削砥石をC軸方向に前進させて四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面に切り込みを掛けつつ前記ワークテーブルの移動により四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の仕上げ面取り加工を行なう。
(20)上記四角柱状シリコンインゴットブロックの前後面の仕上げ面取り加工が終了した後、仕上げ面取り加工された四角柱状シリコンインゴットブロックを挟持する第二クランプ機構を搭載する前記ワークテーブルを左方向に移動させて第二クランプ機構の待機位置ステージ位置に戻す。
(21)前記第二クランプ機構の待機位置ステージ位置にある四側面および四隅Rコーナー部仕上げ研削加工された四角柱状シリコンインゴットブロックの下面をアンローディングステージに在る搬送機構の把持爪で抱かえ把持し、前記第二クランプ機構の心押台を後退させて四角柱状シリコンインゴットブロックの第二クランプ機構による挟持を開放する。
(22)搬送機構の把持爪を複合面取り装置のハウジング外に移送し、アンローディングステージに在るブロックストッカー棚上に前述の四側面および四隅Rコーナー部が仕上げ研削加工された四角柱状シリコンインゴットブロックを載置する。
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