KR101486113B1 - 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록을 사각기둥 형상 블록으로 가공하는 방법 및 거기에 사용하는 복합 모따기 가공 장치 - Google Patents
원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록을 사각기둥 형상 블록으로 가공하는 방법 및 거기에 사용하는 복합 모따기 가공 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101486113B1 KR101486113B1 KR20110060676A KR20110060676A KR101486113B1 KR 101486113 B1 KR101486113 B1 KR 101486113B1 KR 20110060676 A KR20110060676 A KR 20110060676A KR 20110060676 A KR20110060676 A KR 20110060676A KR 101486113 B1 KR101486113 B1 KR 101486113B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- ingot block
- silicon ingot
- clamping mechanism
- pair
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/02—Frames; Beds; Carriages
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(과제)
원통 형상 잉곳의 4 측면 박리 슬라이싱 장치와 사각기둥 형상 잉곳의 4 구석 (R) 코너부와 4 측면의 연삭 모따기 가공 장치를 인라인화하여 복합 모따기 가공기로 설계할 때, 일방의 장치로 모따기 가공하고 있을 때에 타방의 장치로도 잉곳 모따기 가공할 수 있는 장치의 제공.
(해결 수단)
잉곳의 클램프 기구를 1 쌍 (7, 7') 사용하고, 또한, 슬라이싱 스테이지 (90) 와 연삭 모따기 가공 스테이지 (11) 사이를 연결하는 라인 상에 잉곳의 수수 스테이지 (80) 를 새로이 형성하고, 잉곳의 로딩 스테이지 (8R) 와 언로딩 스테이지 (8L) 를 각각 상기 클램프 기구 대기 위치 (70, 60) 의 정면 앞측에 형성한 복합 모따기 가공 장치 (1).
원통 형상 잉곳의 4 측면 박리 슬라이싱 장치와 사각기둥 형상 잉곳의 4 구석 (R) 코너부와 4 측면의 연삭 모따기 가공 장치를 인라인화하여 복합 모따기 가공기로 설계할 때, 일방의 장치로 모따기 가공하고 있을 때에 타방의 장치로도 잉곳 모따기 가공할 수 있는 장치의 제공.
(해결 수단)
잉곳의 클램프 기구를 1 쌍 (7, 7') 사용하고, 또한, 슬라이싱 스테이지 (90) 와 연삭 모따기 가공 스테이지 (11) 사이를 연결하는 라인 상에 잉곳의 수수 스테이지 (80) 를 새로이 형성하고, 잉곳의 로딩 스테이지 (8R) 와 언로딩 스테이지 (8L) 를 각각 상기 클램프 기구 대기 위치 (70, 60) 의 정면 앞측에 형성한 복합 모따기 가공 장치 (1).
Description
본 발명은, 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 그 회전 C 축 둘레에 회전시키는 기능을 갖는 인코더 부착 주축대와 심압대로 이루어지는 클램프 장치에 협지하고, 회전 절단날에 의해 그 4 측면을 얇게 도려내는 절단을 실시하여 사각기둥 형상 블록으로 가공하고, 이어서, 그 사각기둥 형상 블록의 4 측면 및 4 구석 (R) 코너부를 표면 연삭하여 사각기둥 형상 블록으로 가공하는 방법 및 거기에 사용하는 복합 모따기 가공 장치에 관한 것이다.
반도체 기판에 사용되는 원판 형상 단결정 실리콘 기판이나 태양 전지의 기판에 사용되는 사각 형상 단결정 실리콘 기판의 원재료인 원통 형상 잉곳 블록은, 쵸크랄스키법 (CZ 법) 에 의해 육성한 단결정 실리콘 잉곳의 C 축 양 단면 (端面) 을 잘라내고, 이어서, 회전시키는 기능을 갖는 주축대와 심압대로 이루어지는 클램프 장치에 협지하고, 원통 연삭하여 외주면의 주름 형상의 요철을 제거하고, 또한, 길이 250 ㎜, 500 ㎜ 의 길이로 내주날로 절단, 혹은 와이어 커트되어 외주면 평활 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록으로서 시판된다.
이 외주면 평활 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록은, 다음 공정의 멀티·와이어 소우에 의한 막 두께의 기판에 대한 슬라이스 가공에 제공된다. 혹은 잉곳 블록 제조 메이커로부터 태양 전지 기판 제조 메이커에 공급되어, 4 측면을 얇게 도려내어 가공된 사각기둥 형상 블록의 4 측면 및 4 구석 코너부를 모따기 가공하여, 다음 공정의 멀티·와이어 소우에 의한 막 두께의 기판에 대한 슬라이스 가공 스테이지에 공급된다.
단결정 실리콘 잉곳의 유효 사용률을 높이기 위해, 상기 단결정 실리콘 잉곳으로부터 실리콘 블록으로 절단되기에 앞서, 혹은 멀티·와이어 소우로 슬라이스 가공하기에 앞서 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳의 결정 방위를 검지하는 것이 필요해진다.
일본 재공표공보 2005/076333호 (특허문헌 1) 는, 쵸크랄스키법 (CZ 법) 에 의해 육성한 단결정 실리콘 잉곳의 C 축 양 단면을 잘라내고, 이어서, 회전시키는 기능을 갖는 주축대와 심압대로 이루어지는 클램프 장치에 협지하고, 원통 연삭하여 외주면의 주름 형상의 요철을 제거하고, 얻어진 외주면 평활 원판 형상 단결정 실리콘 잉곳의 C 축 수직 방향의 결정 방위를 적외선 검출기로 판독하여, 해석 피크에 기초한 결정 방위를 붉은 마커펜으로 선을 그어 특정하고, 이 붉은 특정 마크를 따라 다이소로 복수의 블록으로 절단하는 방법을 개시한다.
또, 일본 공개특허공보 2009-233819호는, 쵸크랄스키법 (CZ 법) 에 의해 육성한 단결정 실리콘 잉곳의 C 축 양 단면을 잘라내고, 이어서, 회전시키는 기능을 갖는 주축대와 심압대로 이루어지는 클램프 장치에 협지하고, 원통 연삭하여 외주면의 주름 형상의 요철을 제거하고, 얻어진 외주면 평활 원판 형상 단결정 실리콘 잉곳의 C 축 수직 방향의 결정 방위를 X 선 해석 기기로 판독하여, 이 결정 방위선을 기준으로 붉은 마크를 부여하고, 이어서, 지석에 의해 이 붉은 마크선을 따라 오리엔테이션 플랫 또는 노치 가공하고, 이어서, 멀티·와이어 소우에 의한 막 두께의 기판에 대한 슬라이스 가공에 제공하는 것을 개시한다.
본원 특허 출원인은, 일본 특허출원 2010-131606호 명세서 (특허문헌 3, 미공개) 에서, 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 주축대와 심압대로 이루어지는 클램프 장치에 협지하고, 실리콘 잉곳 블록의 회전 축심 (C 축) 을 사이에 두고 좌측 방향으로부터 우측 방향을 향하여 1 쌍의 회전 절단날, 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석, 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석을 배치한 실리콘 잉곳 블록의 복합 모따기 가공 장치를 제안하였다.
또, 본원 특허 출원인은, 일본 특허출원 2010-232039호 명세서 (특허문헌 4, 미공개) 에서, 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 주축대와 심압대로 이루어지는 클램프 장치에 협지하고, 실리콘 잉곳 블록의 회전 축심 (C 축) 을 사이에 두고 좌측 방향으로부터 우측 방향을 향하여 1 쌍의 회전 절단날, 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석, 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 및 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 결정 방향을 검출하는 센서를 배치한 단결정 실리콘 잉곳 블록의 복합 모따기 가공 장치를 제안하였다.
이 복합 모따기 가공 장치는, 도 8 에 나타내는 바와 같이 복합 모따기 가공 장치 (1) 의 정면을 향하여 우측으로부터 좌측을 향하여 베이스 (머신 케이싱) (2) 상에 잉곳 블록의 스토커 (14) 와 잉곳 블록의 반입·반출 기구 (13) 와 로드 포트 (8) 로 구성되는 로딩/언로딩 스테이지, 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부 마무리 연삭 모따기·4 측면 마무리 연삭 모따기 스테이지 (10), 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부 조연삭 모따기·4 측면 조연삭 모따기 스테이지 (11) 및 회전 절단날에 의한 원통 형상 잉곳 블록의 4 측면 박리 스테이지 (90) 를 배치한 복합 모따기 가공 장치이다.
상기 특허문헌 4 에 기재된 복합 모따기 가공 장치 (1) 를 사용하여 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록을 사각기둥 형상 블록으로 가공하는 공정은 다음과 같이 실시된다.
(1) 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록을 그 회전 C 축 둘레에 회전시키는 기능을 갖는 인코더 부착 주축대와 심압대로 이루어지는 클램프 장치에 협지한다.
(2) 상기 협지된 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 앞측으로 떨어져 설치한 변위 센서로부터 레이저광을 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 향하여 조사하고, 클램프 장치의 주축대의 모터에 의한 C 축 회전 각도를 인코더로 판독하면서 C 축 1 회전 (360 도) 회전시켜, 회전 각도와 펄스 피크의 상관도를 표시시킨다.
(3) 표시된 4 개의 펄스 피크를 나타내는 인코더 회전 각도 중 어느 1 개의 각도 (θ) 를 선택하여, 이 각도가 회전 절단날 직경 방향면에 대한 인코더 회전 각도 45 도의 위치 (절단 개시 C 축 위치) 에 위치하도록 C 축을 회전시켜 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 결정 방위 위치를 고정시킨다.
(4) 회전하는 1 쌍의 회전 절단날의 방향으로 클램프 장치를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고 상기 1 쌍의 회전 절단날에 의한 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 절단 가공을 실시한다.
(5) 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시킨다.
(6) 회전하는 1 쌍의 회전 절단날의 방향으로 클램프 장치를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고 상기 1 쌍의 회전 절단날에 의한 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 절단 가공을 실시하여, 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록을 얻는다.
(7) 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 사이에 클램프 장치를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 회전하고 있는 상기 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부를 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석으로 원통 연삭한다.
(8) 상기 원통 연삭된 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 회전시켜 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석의 블레이드 직경 방향의 면에 대한 절단 개시 C 축 위치 45 도 위치에 고정시킨다.
(9) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 사이에 클램프 장치를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석을 전진시켜 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시한다.
(10) 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시켜 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석의 블레이드 직경 방향면에 대한 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 가공 측면 위치를 고정시킨다.
(11) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 사이에 클램프 장치를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시하는 조모따기 가공을 실시한다.
(12) 조모따기 가공된 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 회전시켜 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석의 블레이드 직경 방향의 면에 대한 절단 개시 C 축 위치 45 도 위치에 고정시킨다.
(13) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 사이에 클램프 장치를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시한다.
(14) 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시켜 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석의 블레이드 직경 방향의 면에 대한 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 가공 측면 위치를 고정시킨다.
(15) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 사이에 클램프 장치를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시하는 마무리 모따기 가공을 실시한다.
전술한 복합 모따기 가공 장치 (1) 는, 기존의 4 측면 얇게 도려내기 슬라이싱 장치와 4 측 평면 연삭 (연마) 기와 4 측 평면 및 4 구석 (R) 코너부 에칭 장치를 병렬로 고정시켜 사용하는 조합 플랜트를 사용하는 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 제조 시간이 1/3 ∼ 1/2 의 단시간에 끝나는 이점을 갖는다. 그러나, 슬라이싱 장치와 모따기 가공 장치를 병렬로 고정시켜 사용하고 있던 블록 제조 메이커 또는 태양 전지 기판 제조 메이커에 상기 복합 모따기 가공 장치를 판매한 결과, 일부 메이커로부터 슬라이싱 장치와 4 측 평면 연삭·4 구석 (R) 코너 연삭 장치로 이부(二部)하여 납품하는 것을 희망하는 의견이 나왔다.
그 이유는, 상기 복합 모따기 가공 장치는 작업자의 잉곳의 수수 작업이 생략되는 점은 매력적이지만, 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 슬라이싱 장치에 의한 4 측면 얇게 도려내기 공정이 실시되고 있을 때에는, 4 측 평면 연삭·4 구석 (R) 코너 연삭 장치가 가동되지 않고, 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 4 측 평면 연삭·4 구석 (R) 코너 연삭 공정이 실시되고 있을 때에는, 슬라이싱 장치가 가동되지 않는 것에 있다.
본원 발 명자들은 클램프 기구를 1 쌍 사용하여, 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 4 측면 얇게 도려내기 슬라이싱 스테이지와 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 4 측 평면 연삭·4 구석 (R) 코너 연삭 스테이지 사이에 잉곳 블록의 수수 스테이지를 새로이 형성하고, 또한, 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 로딩 스테이지와 각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 언로딩 스테이지로 분리함으로써, 슬라이싱 장치의 가동 및 4 측 평면 연삭·4 구석 (R) 코너부 연삭 장치의 가동을 동시에 실시할 수 있다고 착상하여 발명에 이르렀다.
본 발명의 제 1 항은,
a) 머신 케이싱 상에 좌우 방향으로 형성된 안내 레일 상을 좌우 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 형성된 1 쌍의 제 1 및 제 2 워크 테이블,
b) 상기 1 쌍의 워크 테이블 상에 좌우로 분리되어 탑재된 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 1 클램프 기구와 제 2 클램프 기구,
c) 상기 제 1 및 제 2 클램프 기구에 지지 현가된 워크를 탑재한 상기 워크 테이블을 좌우 방향으로 왕복 이동시키는 구동 기구,
d) 상기 워크 테이블을 복합 모따기 가공 장치의 정면측에서 보는 방향이고, 또한, 우측 방향으로부터 좌측 방향을 향하여,
d1) 안내 레일 상을 좌우 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 형성된 제 1 워크 테이블 상에 상기 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 1 클램프 기구를 형성한 제 1 클램프 기구의 대기 위치 스테이지,
d2) 상기 제 1 클램프 기구의 대기 위치 스테이지의 제 1 클램프 기구에 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 반입하고, 주축대와 심압대 사이에 협지시키는 로딩 스테이지,
d3) 상기 제 1 클램프 기구의 대기 위치 스테이지의 좌횡측에, 상기 제 1 클램프 기구의 워크 지지축을 사이에 두고 1 쌍의 회전 절단날을 상기 회전 절단날의 직경면이 서로 대향하도록 상기 안내 레일에 대해 전후에 형성된 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 측면 박리 슬라이싱 스테이지,
d4) 상기 슬라이싱 스테이지의 좌횡측에 형성한 잉곳 블록의 수수 스테이지,
d5) 상기 제 2 워크 테이블 상에 형성된 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구에 협지된 잉곳 블록 전후에, 전후 이동 가능 및 상하 승강 가능한 지석축의 1 쌍에 축승 (軸承) 된 컵 휠형 지석의 1 쌍을 상기 지석의 지석면이 서로 대향하도록 워크 테이블을 사이에 두고 워크 테이블 전후에 형성된 조연삭 스테이지,
d6) 상기 조연삭 스테이지의 좌횡측에 상기 제 2 워크 테이블 상에 형성된 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구에 협지된 잉곳 블록의 전후에, 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구에 협지된 잉곳 블록의 전후에 평행하게 형성한, 전후 이동 가능 및 상하 승강 가능한 지석축의 1 쌍에 축승된 컵 휠형 지석의 1 쌍을 그 지석면이 서로 대향하도록 워크 테이블을 사이에 두고 워크 테이블 전후에 형성된 마무리 연삭 스테이지,
d7) 상기 마무리 연삭 스테이지의 좌횡측 위치로서, 상기 제 2 위크 테이블 상에 형성된 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지,
를 형성하고, 추가로
를 형성하고, 추가로
e) 상기 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지의 전면측에, 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구에 협지된 잉곳 블록을 반송하는 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 언로딩 스테이지를 형성한 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 블록의 복합 모따기 가공 장치를 제공하는 것이다.
제 2 항의 발명은, 제 1 항에 기재된 복합 모따기 가공 장치를 사용하여 하기의 공정을 거쳐 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록으로 모따기 가공하는 방법을 제공하는 것이다.
(1) 로딩 스테이지에 있는 반입 기구를 사용하여, 피가공물 (워크) 인 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 제 1 클램프 기구의 회전 C 축 둘레에 회전시키는 기능을 갖는 인코더 부착 주축대와 심압대 사이에 반입하고, 이어서, 상기 심압대를 전진시켜 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 제 1 클램프 기구에 협지하는 공정.
(2) 상기 제 1 클램프 기구의 주축대의 C 축 구동 모터를 작동시켜, 1 쌍의 회전 절단날에 대한 상기 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 절단 개시 위치의 심내밀기 (위치 결정) 를 실시하는 공정.
(3) 회전하는 상기 1 쌍의 회전 절단날의 방향으로 상기 제 1 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고 상기 1 쌍의 회전 절단날에 의한 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 절단 가공을 실시하는 공정.
(4) 이어서, 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시키는 공정.
(5) 회전하는 상기 1 쌍의 회전 절단날의 방향으로 제 1 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고 상기 1 쌍의 회전 절단날에 의한 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 절단 가공을 실시하여 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 얻는 공정.
(6) 상기 제 1 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 잉곳 블록의 수수 스테이지 방향으로 이동시키고, 수수 스테이지에 로봇 핸드를 전진시켜 로봇 핸드의 파지 클릭을 닫아 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 파지시키고, 이어서, 상기 제 1 클램프 기구의 심압대를 후퇴시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 협지를 개방한 후, 상기 로봇 핸드를 대기 위치로 후퇴시키고, 그 후, 상기 제 1 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 상기 제 1 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 위치로 되돌린 후, 상기 로봇 핸드를 상기 수수 스테이지에 전진시키는 공정.
(7) 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 위치에 있는 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 우측 방향으로 이동시켜 상기 수수 스테이지의 로봇 핸드 위치로 이동시키고, 이어서, 상기 제 2 클램프 기구의 심압대를 전진시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 상기 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대로 협지한 후, 상기 로봇 핸드의 파지 클릭을 열어 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 해방시키고, 상기 로봇 핸드를 대기 위치로 후퇴시키는 공정.
(8) 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 협지하는 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 좌측 방향으로 이동시키고, 조연삭 스테이지로 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 반입하는 공정.
(9) 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 회전하고 있는 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부를 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석으로 원통 연삭하는 공정.
(10) 상기 원통 연삭된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 회전시켜 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석의 블레이드 직경 방향의 면에 대한 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 모따기 가공 개시시의 C 축 심내밀기를 실시하는 공정.
(11) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석을 전진시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시하는 공정.
(12) 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석의 블레이드 직경 방향면에 대한 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 가공 측면 위치를 고정시키는 심내밀기를 실시하는 공정.
(13) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시하는 조모따기 가공을 실시하는 공정.
(14) 조모따기 가공이 종료된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 협지하는 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 좌측 방향으로 이동시키고, 마무리 연삭 스테이지로 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 반입하는 공정.
(15) 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 사이에 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 회전하고 있는 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부를 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석으로 원통 연삭하는 공정.
(16) 상기 원통 연삭된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 회전시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석의 블레이드 직경 방향의 면에 대한 연삭 개시 위치 결정의 심내밀기를 실시하는 공정.
(17) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석을 전진시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시하는 공정.
(18) 이어서, 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석의 블레이드 직경 방향면에 대한 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 가공 측면 위치에 심내밀기를 실시하는 공정.
(19) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 마무리 모따기 가공을 실시하는 공정.
(20) 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 마무리 모따기 가공이 종료된 후, 마무리 모따기 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 협지하는 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 좌측 방향으로 이동시켜 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 위치로 되돌리는 공정.
(21) 상기 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 위치에 있는 4 측면 및 4 구석 (R) 코너부 마무리 연삭 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 하면을 언로딩 스테이지에 있는 반송 기구의 파지 클릭으로 감싸쥐고 파지하고, 상기 제 2 클램프 기구의 심압대를 후퇴시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 제 2 클램프 기구에 의한 협지를 개방하는 공정.
(22) 반송 기구의 파지 클릭을 복합 모따기 장치의 하우징 밖으로 이송하고, 언로딩 스테이지에 있는 블록 스토커 선반 상에 전술한 4 측면 및 4 구석 (R) 코너부가 마무리 연삭 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 재치 (載置) 하는 공정.
원통 형상 잉곳 블록의 4 측면 박리 슬라이싱 장치와 사각기둥 형상 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부와 4 측면의 연삭 모따기 가공 장치 사이를 연결하는 라인 상에 잉곳 블록의 수수 기구의 푸셔 기구를 새로이 형성하고 또한, 잉곳의 로딩 기구와 언로딩 기구를 각각의 장치의 클램프 기구 대기 위치의 정면 앞측에 구비시켜 인라인화하여 복합 모따기 가공 장치로 설계했으므로, 일방의 장치로 잉곳 블록의 모따기 가공을 하고 있을 때에 타방의 장치로도 잉곳 모따기 가공을 할 수 있게 되었다.
도 1 은 복합 모따기 가공 장치의 평면도이다.
도 2 는 복합 모따기 가공 장치의 밀폐 커버의 전면을 제거한 정면도이다.
도 3 은 복합 모따기 가공 장치의 마무리 연삭 스테이지의 우측면측을 본 일부를 노치한 우측면도이다.
도 4 는 마무리 연삭 스테이지의 일부를 노치한 평면도이다.
도 5 는 잉곳 블록의 수수 기구의 배면도이다.
도 6 은 잉곳 블록의 수수 기구를 좌측면에서 본 도면을 나타낸다.
도 7 은 복합 모따기 가공 장치를 사용하여 원통 형상 잉곳 블록을 모따기 가공하여 사각기둥 형상 잉곳 블록으로 하는 플로우를 복합 모따기 가공 장치의 우측면측에서 나타낸 도면이다.
도 8 은 일본 특허출원 2010-232039호 명세서에 기재된 복합 모따기 가공 장치의 정면도이다.
도 2 는 복합 모따기 가공 장치의 밀폐 커버의 전면을 제거한 정면도이다.
도 3 은 복합 모따기 가공 장치의 마무리 연삭 스테이지의 우측면측을 본 일부를 노치한 우측면도이다.
도 4 는 마무리 연삭 스테이지의 일부를 노치한 평면도이다.
도 5 는 잉곳 블록의 수수 기구의 배면도이다.
도 6 은 잉곳 블록의 수수 기구를 좌측면에서 본 도면을 나타낸다.
도 7 은 복합 모따기 가공 장치를 사용하여 원통 형상 잉곳 블록을 모따기 가공하여 사각기둥 형상 잉곳 블록으로 하는 플로우를 복합 모따기 가공 장치의 우측면측에서 나타낸 도면이다.
도 8 은 일본 특허출원 2010-232039호 명세서에 기재된 복합 모따기 가공 장치의 정면도이다.
도 1 및 도 2 에 나타내는 잉곳 블록의 복합 모따기 가공 장치 (1) 는, 직경 200 ㎜, 길이 500 ㎜ 의 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록을 워크로하고, 그 로딩 공정 및 4 측면 박리 공정을 25 분 전후로 실시하여, 얻어진 사각기둥 형상 잉곳 블록의 수수 및 4 구석 (R) 코너부 원통 연삭 및 4 측면 평면 연삭 공정 및 잉곳 블록의 언로딩 공정을 26 ∼ 30 분 동안 실시할 수 있는 복합 모따기 가공 장치 (1) 로서,
a) 머신 케이싱 (2) 상에 좌우 방향으로 형성된 안내 레일 (3, 3) 상을 좌우 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 형성된 1 쌍의 워크 테이블 (4, 4'),
b) 상기 1 쌍의 워크 테이블 (4, 4') 상에 좌우로 분리되어 탑재된 주축대 (7a) 와 심압대 (7b) 의 1 쌍으로 이루어지는 제 1 클램프 기구 (7) 와 제 2 클램프 기구 (7'),
c) 상기 제 1 클램프 기구 (7) 및 제 2 클램프 기구 (7') 에 지지 현가 (협지) 된 워크를 탑재한 상기 워크 테이블 (4, 4') 을 좌우 방향으로 왕복 이동시키는 구동 기구 (7am),
d) 상기 워크 테이블을 복합 모따기 가공 장치의 정면측에서 보는 방향이고, 또한, 복합 모따기 가공 장치 (1) 의 우측 방향으로부터 좌측 방향을 향하여,
e) 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 로딩 스테이지 (8R) 의 구성 부재의 로딩 기구 (13),
f) 상기 로딩 스테이지 (8R) 의 배후에 형성한 상기 제 1 클램프 기구 (7) 의 대기 위치 스테이지 (70),
g) 상기 제 1 클램프 기구 (7) 의 워크 지지축을 사이에 두고 1 쌍의 회전 절단날 (91a, 91b) 을 그 회전 절단날 직경면이 서로 대향하도록 상기 안내 레일에 대해 전후에 형성된 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 측면 박리 슬라이싱 스테이지 (90),
h) 상기 측면 박리 슬라이싱 스테이지 (90) 의 좌횡측에 형성한 로봇 핸드 (81) 를 에어 실린더 기구에 의해 안내 가이드 (83) 상을 전후로 활주할 수 있는 테이블 (82) 상에 고정시킨 잉곳 블록의 수수 스테이지 (80),
i) 전후 이동 가능 및 상하 승강 가능한 지석축의 1 쌍 (11a, 11b) 에 축승된 컵 휠형 지석의 1 쌍 (11g, 11g) 을 그 지석면이 서로 대향하도록 워크 테이블 (4) 을 사이에 두고 워크 테이블 전후에 형성된 조연삭 스테이지 (11),
j) 상기 조연삭 스테이지 (11) 의 좌횡측에 평행하게 형성한, 전후 이동 가능 및 상하 승강 가능한 지석축 1 쌍 (10a, 10b) 에 축승된 컵 휠형 지석 (10g, 10g) 의 1 쌍을 그 지석면이 서로 대향하도록 워크 테이블 (4) 을 사이에 두고 워크 테이블 전후에 형성된 마무리 연삭 스테이지 (10),
k) 상기 마무리 연삭 스테이지 (10) 의 좌횡측 위치로서, 주축대 (7a) 와 심압대 (7b) 의 1 쌍으로 이루어지는 상기 제 2 클램프 기구 (7') 의 대기 위치 스테이지 (60),
l) 상기 제 2 클램프 기구 (7') 의 대기 위치 스테이지 (60) 의 전면측에 형성한 각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 언로딩 스테이지 (8L) 를 구성하는 워크의 언로딩 기구 (13') 를 형성한 실리콘 잉곳 블록의 복합 모따기 가공 장치 (1) 이다.
또한, 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록 (워크) 의 결정 방위 검출 기기의 레이저광 반사형 변위 센서는, 도시되어 있지 않지만, 제 1 클램프 기구에 협지된 워크의 C 축에 대해, 동일 수평면 상에 있고, 측정되는 워크의 바로 앞 45 ∼ 55 ㎜ 떨어진 위치에 형성된다. 이 레이저광 반사형 변위 센서는, 워크가 로딩 스테이지 (8R) 의 로드 포트 (8) 에 반입될 때에 장애가 발생하지 않도록, 선회식 아암을 사용하여 회전 운동 가능하게 장착된다. 레이저광 반사형 변위 센서는, 결정 방위 측정시에는, 상기 위치에 오도록 하방으로 회전 운동되고, 비측정시에는, 워크가 로드 포트 (8) 에 반입될 때의 장애가 발생하지 않도록 상방으로 회전 운동하여 측정 대기 위치에 피난하도록 복합 모따기 가공 장치 (1) 에 장착된다.
도 1 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 상기 제 1 워크 테이블 (4) 은, 머신 케이싱 (2) 에 좌우 방향으로 연장되어 부설 (敷設) 된 1 쌍의 안내 레일 (3, 3) 상을 좌우 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 형성되어 있다. 이 워크 테이블 (4) 의 좌우 왕복 이동은, 서보 모터 (5) 에 의한 회전 구동을 볼 나사 (6) 가 받아 회전하고, 이 볼 나사 (6) 에 나선 결합된 고정대 (6a) 가 좌측 방향 또는 우측 방향으로 이동함으로써, 이 고정대 표면에 워크 테이블 (4) 의 이면이 고정되어 있는 워크 테이블 (4) 이 좌측 방향 또는 우측 방향으로 전진한다. 워크 테이블 (4) 의 좌측 방향 또는 우측 방향의 전진은, 서보 모터 (5) 의 회전축이 시계 회전 방향인지, 시계 반대 회전 방향인지에 따라 결정된다.
이 제 1 워크 테이블 (4) 상에 좌우로 분리되어 탑재된 주축대 (7a) 와 심압대 (7b) 의 1 쌍으로 이루어지는 제 1 클램프 기구 (7) 가 탑재되어 있다. 따라서, 제 1 워크 테이블 (4) 의 좌측 방향 또는 우측 방향의 이동에 부수하여 이 제 1 클램프 기구 (7) 도 좌측 방향 또는 우측 방향으로 이동하고, 클램프 기구 (7) 의 주축대 센터 지지축 (워크 스핀들축) (7a1) 과 심압대 센터 지지축 (7b1) 에 의해 지지 현가되어 공중에 매달린 상태가 된 워크 (실리콘 잉곳 블록) (w) 가 측면 박리 슬라이싱 스테이지 (90), 또는 로드 포트 (8) 전면 위치로 이동할 수 있도록 하고 있다.
클램프 기구 (7) 는 공지된 척 기구로서, 원통 연삭반에서 널리 일반적으로 사용되고 있다. 주축대 (7a) 는 주축대 센터 지지축 (7a1) 을 서보 모터 (7am) 로 회전시킴으로써 워크 (w) 를 360 도 연속 회전시켜 워크의 4 구석 (R) 코너부를 모따기 가공시키거나, 혹은 45 도 또는 90 도 회전시켜 심내밀기하는 기능을 갖는다. 심압대 (7b) 는 공기 실린더 (7e) 구동에 의해 가이드 레일 상을 좌우로 이동할 수 있는 이동대 (7bt) 상에 형성되고, 워크를 클램프 기구 (7) 로 지지 현가한 후, 레버 (7l) 를 아래로 눌러 고정시켜, 워크 테이블 (4) 의 이동에 의해 심압대 (7b) 를 탑재하는 이동대 (7bt) 가 이동하는 것을 방지한다.
상기 측면 박리 슬라이싱 스테이지 (90), 잉곳 블록 수수 스테이지 (80), 조연삭 스테이지 (11) 및 마무리 연삭 스테이지 (10) 는 밀폐 커버 (하우징재) (12) 로 덮여 있다. 또, 로드 포트 (8) 는 편측 횡슬라이드문에 의해 닫힌다. 밀폐 커버 (12) 로 덮인 각 연삭 스테이지 (10, 11) 및 측면 박리 가공 스테이지 (90) 의 공간에는 배기 덕트 (18) 가 접속되고, 이 공간 내에 부유하는 미스트나 연삭 부스러기를 외부로 배출한다.
로딩 스테이지 (8R) 를 구성하는 잉곳 블록 반입 기구 (13) 와 잉곳 스토커 (14) 는, 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 상기 제 1 워크 테이블 (4) 의 앞측으로서 상기 로드 포트 (8) 와 상기 제 2 연삭 스테이지 (10) 의 공간부에 워크 로딩 장치 (13) 및 잉곳 블록 3 개를 모아두는 워크 스토커 (14, 14, 14) 를 머신 케이싱 (2) 상에 병설하고 있다. 잉곳 블록 반입 기구 (13) 와 잉곳 스토커 (14) 의 구조는, 본원 특허 출원인이 먼저 출원한 일본 특허출원 2010-61844호 명세서의 도 5 및 도 7 에 상세하게 개시되어 있다.
워크 스토커 (14, 14, 14) 는, 잉곳 블록 (워크) 3 개를 수납할 수 있는 단면 (斷面) 이 역이등변 삼각형상의 V 자 선반단을 구비하고, 머신 케이싱으로부터 돌출된 위치 결정핀 상에 재치되어 있다.
상기 워크 로딩 장치 (13) 는, 워크 스토커 (14) V 자 선반단에 보관되어 있는 잉곳 블록 1 개를 1 쌍의 클릭으로 협지하고, 양 클릭을 상승시킴으로써 워크를 매달아 올리고, 이어서, 후퇴, 우측 방향으로 이동, 하강시켜 로드 포트 (8') 앞에 위치시키고, 다시 후퇴시킴으로써 이 로드 포트 (8) 로부터 워크를 클램프 장치 (7) 의 주축대 (7a) 와 심압대 (7b) 사이로 반입한다. 워크의 일단을 주축대 (7a) 의 센터 지지축 (7a1) 에 맞닿게 한 후, 심압대 (7b) 를 공기 실린더 (7e) 로 우측 방향으로 이동시켜 센터 지지축 (7b1) 에 타단을 맞닿게 하여 워크를 공중에 매달린 상태로 지지 현가한다. 이어서, 상기 양 클릭을 이간시켜 워크의 파지를 개방하고, 이어서, 양 클릭을 지지하는 고정대를 상승시켜 좌측 방향으로 이동시키고, 또한 전방향으로 후퇴시켜 양 클릭을 잉곳 블록 반입 기구 (13) 의 대기 위치로 되돌린다.
측면 박리 슬라이싱 스테이지 (90) 는, 제 1 클램프 장치 (7) 와, 이 제 1 클램프 장치 (7) 를 탑재하는 제 1 워크 테이블 (4) 의 좌우 이동 안내 레일 (3, 3) 과, 이 제 1 클램프 기구의 주축대 (7a) 와 심압대 (7b) 의 워크 지지축 (7a1, 7b1) 을 사이에 두고 전후 이동 가능한 스핀들축 (92a, 92b) 의 1 쌍에 축승된 회전 절단날 (슬라이서날) 의 1 쌍 (91a, 91b) 을 그 직경면이 서로 대향하도록 워크 테이블을 사이에 두고 워크 테이블 전후에 형성된 슬라이싱 헤드 (9) 로 구성된다.
회전 절단날 (외주날) (91a, 91b) 의 전후 이동은, 회전 절단날 (91a, 91b) 을 축승하는 스핀들축 (92a, 92b) 을 회전시키는 서보 모터 (93m, 93m) 를 탑재한 툴 테이블 (94, 94) 을 도시되지 않은 모터 구동 볼 나사를 회전 구동시킴으로써 실시된다. 이 툴 테이블 (94) 의 전진 또는 후퇴의 이동 방향은, 모터의 회전축이 시계 회전 방향인지, 시계 반대 회전 방향인지에 따라 결정된다.
1 쌍의 회전 절단날 (91a, 91b) 은, 1 쌍의 스핀들축 (92a, 92b) 에 축승되고, 이들 스핀들축은 구동 모터 (93m, 93m) 에 의해 회전됨으로써, 회전 절단날 (91a, 91b) 은 워크에 대해 동일 시계 회전 방향으로 50 ∼ 7,500 min- 1 의 회전 속도로 회전된다 (양 스핀들축의 회전 방향은 서로 반대 방향이 된다). 상기 스핀들축 (92a, 92b) 은 툴 테이블 (94, 94) 을 전후 이동시킴으로써 잉곳 블록의 면 박리 가공 개시 위치로 이동할 수 있다. 워크 테이블 (4) 은, 5 ∼ 200 ㎜/분의 속도로 이동할 수 있고, 회전축 (92a, 92b) 의 승강은 100 ㎜ 까지 상하 이동할 수 있다. 상기 회전 절단날로는, 직경이 450 ∼ 500 ㎜, 두께 1 ∼ 2 ㎜ 의 강판 시트의 외주 가장자리 (두께 1.3 ∼ 4.5 ㎜) 에 다이아몬드 미립자를 전착시킨 다이아몬드 커터가 사용된다.
워크 (원기둥 형상 잉곳 블록) 의 C 축을 수평 방향으로 협지하는 제 1 클램프 기구 (7) 를 탑재하는 제 1 워크 테이블 (4) 을 좌측 방향으로 이동시킴으로써 워크 단면의 전후가 1 쌍의 회전 절단날 (91a, 91b) 에 맞닿고, 이들 회전 절단날에 의해 원기둥 형상 워크 전면 및 후면이 원호 형상으로 얇게 도려내어지는 면 박리 가공이 실시된다. 워크 전후면의 면 박리 가공이 종료되면, 제 1 클램프 기구 (7) 의 주축대 (7a) 의 지지축을 90 도 회전시켜, 면 박리 가공이 되어 있지 않은 워크의 원호면을 전후 위치에 심내밀기 (위치 결정) 하고, 이어서, 제 1 워크 테이블 (4) 을 이동시키고 상기 1 쌍의 회전 절단날 (91a, 91b) 을 구동 모터 (93m, 93m) 로 회전시켜 나머지 면 박리 가공을 실시한다. 4 측면의 면 박리 가공 시간은, 직경이 200 ㎜, 높이가 250 ㎜ 인 원기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록으로 10 ∼ 20 분, 직경이 200 ㎜, 높이 500 ㎜ 의 원기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록으로 22 ∼ 27 분 동안 실시할 수 있다.
상기 잉곳 블록 수수 스테이지 (80) 는, 제 1 클램프 장치 (7) 와, 이 제 1 클램프 장치 (7) 를 탑재하는 제 1 워크 테이블 (4) 의 좌우 이동 안내 레일 (3, 3) 과, 로봇 핸드 (81) 의 상하 1 쌍의 클릭 (85a, 85b) 이 동기 제어로 개폐 이동될 수 있는 로봇 핸드 (81) 와, 제 2 클램프 기구 (7') 와, 이 제 2 클램프 기구 (7') 를 탑재하는 제 2 워크 테이블 (4') 의 좌우 이동 안내 레일 (3, 3) 로 구성된다.
상기 도 1, 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 상기 로봇 핸드 (81) 는, 주식회사 콘도 제작소 제조 박형 롱 스트로크 평행 핸드 "HLC 시리즈" (상품명) 를 에어 실린더 기구에 의해 안내 가이드 (83) 상을 전후로 활주할 수 있는 테이블 (82) 상에 세로로 고정시키고, 상기 롱 스트로크 평행 핸드의 상하 1 쌍의 핸드 클릭 고정 플랜지 (84, 84) 에 각각 상하로 1 쌍의 파지용 핸드 클릭 (85a, 85b) 을 2 세트 형성한 구조를 채용하였다.
도 1 및 도 6 에 나타내는 대기 위치에 있는 로봇 핸드 (81) 는, 에어 실린더 구동에 의해 테이블 (82) 이 안내 가이드 (83) 상을 전진 활주하여 잉곳 블록 수수 위치까지 전진 이동하고, 그래서, 에어 실린더를 구동시켜 상하 1 쌍의 핸드 클릭 고정 플랜지 (84, 84) 를 서로 접근하도록 이동시킴으로써 상하의 핸드 클릭 (85a, 85b) 으로 잉곳 블록을 파지할 수 있다.
상기 로봇 핸드 (81) 의 핸드 클릭 (85a, 85b) 이, 제 1 클램프 기구 (7) 에 협지된 4 측면 슬라이싱 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 파지한 후, 제 1 클램프 기구 (7) 의 심압대 (7b) 를 후퇴시켜 제 1 클램프 기구에 의한 잉곳 블록의 고정을 개방한다. 이어서, 로봇 핸드 (81) 를 상기 대기 위치로 후퇴시킨 후, 상기 제 1 클램프 기구 (7) 를 탑재하는 워크 테이블 (4) 을 우측 방향으로 이동시키고, 제 1 클램프 기구 대기 위치 (70) 에서 정지시킨다.
이어서, 제 2 클램프 기구 대기 위치 (60) 에서 대기하고 있던 제 2 클램프 기구 (7') 를 탑재하는 워크 테이블 (4') 을 우측 방향으로 이동시키고, 상기 잉곳 블록 수수 스테이지 (80) 에서 정지시킨다. 이어서, 상기 로봇 핸드 (81) 를 상기 제 2 클램프 기구 (7') 의 주축대 (7a) 와 심압대 (7b) 사이에 전진시킨 후, 로봇 핸드의 1 쌍의 핸드 클릭 (85a, 85b) 으로 파지되고 있는 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 심압대 (7b) 의 전진에 의해 제 2 클램프 기구 (7') 의 주축대 (7a) 와 심압대 (7b) 사이에 협지시킨다. 그 후, 로봇 핸드 (81) 의 핸드 클릭 (85a, 85b) 을 이간시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 파지로부터 해방시키고, 로봇 핸드 (81) 를 대기 위치로 후퇴시킨다.
조연삭 스테이지 (11) 는, 서보 모터 (11m1, 11m1) 의 회전 구동에 의해 전후 이동 가능한 툴 테이블 (11t, 11t) 상에 형성된 지석축의 1 쌍 (11a, 11b) 에 축승된 컵 휠형 조연삭 지석의 1 쌍 (11g, 11g) 을 그 연삭 지석면 (11gs, 11gs) 이 서로 대향하도록 워크 테이블 (4) 을 사이에 두고 워크 테이블 (4) 전후에 대칭적이고, 또한 지석 축심 (11o, 11o) 이 동일 선상이 되는 위치에 형성하고, 이들 지석축 (11a, 11b) 은 서보 모터 (11M, 11M) 의 회전 구동에 의해 회전되는 구조로 되어 있다. 이들 지석축 (11a, 11b) 은 고정판에 고정되고, 이 고정판은 서보 모터 (11m2, 11m2) 의 회전 구동에 의해 회전되어, 칼럼의 전면에 형성된 안내 레일 상을 상하 승강 이동 가능하도록 되어 있다. 이것에, 상기 제 2 클램프 기구 (7') 와 안내 레일 (3, 3) 이 더해져 조연삭 스테이지 (11) 를 구성한다.
상기 서보 모터 (11m1, 11m1) 에 의한 회전 구동을 볼 나사가 받아 회전하고, 이 볼 나사에 나선 결합된 고정대가 전방향 또는 후방향으로 전진 이동 또는 후퇴 이동함으로써, 이 고정대 표면에 툴 테이블 (11t, 11t) 의 이면이 고정되어 있는 툴 테이블 (11t, 11t) 이 전진 또는 후퇴한다. 이 툴 테이블의 전진 또는 후퇴의 이동 방향은, 서보 모터 (11m1, 11m1) 의 회전축이 시계 회전 방향인지, 시계 반대 방향인지에 따라 결정된다.
조연삭 스테이지 (11) 는, 후술하는 마무리 연삭 스테이지 (10) 의 우횡측에 각 지석축 (10a, 11a, 10b, 11b) 이 평행이 되도록 형성된다. 바꿔 말하면, 양 연삭 스테이지 (10, 11) 의 지석 축심 (10o, 10o) 은 평행이 되도록 형성된다.
마무리 연삭 스테이지 (10) 는, 서보 모터 (10m1, 10m1) 의 회전 구동에 의해 전후 이동 가능한 툴 테이블 (10t, 10t) 상에 형성된 지석축의 1 쌍 (10a, 10b) 에 축승된 컵 휠형 마무리 연삭 지석의 1 쌍 (10g, 10g) 을 그 연삭 지석면 (10gs, 10gs) 이 서로 대향하도록 워크 테이블 (4) 을 사이에 두고 워크 테이블 (4) 전후에 대칭적이고, 또한 지석 축심 (10o, 10o) 이 동일 선상이 되는 위치에 형성하고, 이들 지석축 (10a, 10b) 은 서보 모터 (10M, 10M) 의 회전 구동에 의해 회전되는 구조로 되어 있다. 이들 지석축 (10a, 10a) 은 고정판 (16a) 에 고정되고, 이 고정판 (16a) 은 서보 모터 (10m2, 10m2) 의 회전 구동에 의해 볼 나사 (16c) 가 회전됨으로써, 칼럼 (16) 의 전면에 형성된 안내 레일 (16b, 16b) 상을 고정판 (16a) 이 상하 이동 가능하도록 되어 있다. 지석축 (10a, 10b) 을 승강 가능하도록 한 것에 의해 잉곳 블록의 연삭 가공시에 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 (10g, 10g) 의 지석 축심 높이를 쌍방 동일한 높이로 할 수도 있고, 상이한 높이에 위치시킬 수도 있다.
또, 상기 서보 모터 (10m1, 10m1) 에 의한 회전 구동을 볼 나사가 받아 회전하고, 이 볼 나사에 나선 결합된 고정대가 전방향 또는 후방향으로 전진 또는 후퇴함으로써, 이 고정대 표면에 툴 테이블 (10t, 10t) 의 이면이 고정되어 있는 툴 테이블 (10t, 10t) 이 전진 이동 또는 후퇴 이동한다. 이 툴 테이블의 전진 또는 후퇴의 이동 방향은, 서보 모터 (10m1, 10m1) 의 회전축이 시계 회전 방향인지, 역시계 회전 방향인지에 따라 결정된다.
이들에, 상기 제 2 클램프 기구 (7') 와 안내 레일 (3, 3) 이 더해져 마무리 연삭 스테이지 (10) 가 구성된다.
상기 조연삭 스테이지 (11) 에서 사용하는 컵 휠형 지석 (11g, 11g) 의 지번 (砥番) 은 130 ∼ 200 이고, 마무리 연삭 스테이지 (10) 에서 사용하는 컵 휠형 지석 (10g, 10g) 의 지번은 380 ∼ 700 이 바람직하다.
컵 휠형 연삭 지석 (10g, 10g, 11g, 11g) 의 컵 지석 직경 또는 링 지석 직경은, 한 변이 150 ㎜ 인 정사각형상의 태양 전지용 실리콘 기판을 목적으로 할 때에는, 230 ∼ 260 ㎜ 이고, 컵 지석편 (10gs, 11gs) 의 폭은 3 ∼ 10 ㎜, 링 형상 지석 폭은 5 ∼ 15 ㎜ 가 실리콘 잉곳 블록의 연삭 번 방지 관점에서 바람직하다. 지석의 중심점으로부터 지석편폭 외주의 거리 (반경) 는, 컵 휠형 조연삭 지석 (11g) 1 개와 컵 휠형 마무리 연삭 지석 (10g, 10g) 2 개는 동일 반경이지만, 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 (11g, 11g) 의 컵 지석 직경은 일방의 직경이 타방의 직경보다 5 ∼ 20 ㎜ 짧은 편이 4 구석 (R) 코너부 조연삭 가공시의 잉곳 블록의 요잉 (전후 측면의 진동 흔들림) 을 방지하는 효과 면에서 바람직하다.
연삭 지석 (10g, 11g) 의 지립은, 다이아몬드 지립, CBN 지립이 바람직하고, 결합제 (본드) 는 메탈 본드, 비트리파이드 본드, 에폭시레진 본드가 바람직하다. 예를 들어, 컵 휠형 연삭 지석 (10g, 11g) 은, 예를 들어 일본 공개특허공보 평 9-38866호, 일본 공개특허공보 2000-94342호나 일본 공개특허공보 2004-167617호 등에 개시되는 바닥이 있는 통형 지석 대금 (臺金) 의 하부 환형 고리에 지석 블레이드의 다수를 연삭액이 산일 (散逸) 되는 간극 간격으로 환형으로 배치한 컵 휠형 지석으로서, 대금의 내측에 공급된 연삭액이 상기 간극으로부터 산일되는 구조인 것이 바람직하다. 이 컵 휠형 지석 (10g, 11g) 의 환형 지석 블레이드의 직경은, 각기둥 형상 실리콘 잉곳의 1 변의 길이의 1.2 ∼ 1.5 배의 직경인 것이 바람직하다.
연삭액으로는, 순수, 콜로이달 실리카 수분산액, 세리아 수분산액, SC-1 액, SC-2 액, 혹은 순수와 이들 상기 수분산액 또는 연삭액을 병용한다. 또한, 연삭액으로는, 환경을 고려한 수처리 면에서 순수만을 사용하는 것이 바람직하다.
언로드 포트 (8') 는, 마무리 연삭 스테이지 (10) 의 좌횡측으로 워크 테이블 (4') 의 앞측에 위치하는 하우징재 (12) 에 개구부를 형성함으로써 형성되고, 제 2 클램프 기구 대기 위치 (60) 에 있는 제 2 클램프 기구 (7') 에 협지된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 이출 (移出) 을 가능하게 한다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 상기 언로드 포트 (8') 바로 앞에 잉곳 블록 반송 기구 (13') 및 잉곳 블록 3 개를 모아두는 워크 스토커 (14', 14', 14') 를 머신 케이싱 (2) 상에 병설하여, 언로딩 스테이지 (8L) 를 구성한다.
상기 잉곳 블록 반송 기구 (13') 는, 대기 위치 (60) 에 있는 제 2 클램프 기구 (7') 에 협지된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 1 쌍의 클릭으로 파지한다. 이어서, 제 2 클램프 기구 (7') 의 심압대 (7b) 를 후퇴시킴으로써 제 2 클램프 기구 (7') 의 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록 고정을 개방한 후, 잉곳 블록 반송 기구 (13') 의 양 클릭을 상승시킴으로써 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 매달아 올린 상태로 한다.
이어서, 양 클릭을 지지하는 고정대를 상승시켜, 양 클릭을 좌측 방향으로 이동시키고, 또한 전방향으로 후퇴시켜 양 클릭을 워크 스토커 (14', 14', 14') 의 빈 선반 상방으로 이동시킨 후, 하강시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 상기 빈 선반에 재치한 후, 양 클릭을 이간시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 개방한 후, 양 클릭을 잉곳 블록 반송 기구 (13') 의 대기 위치로 되돌린다.
워크 스토커 (14') 상의 모따기 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록은, 대차의 테이블 상으로 옮겨 탑재되고, 곤포하여 기판 가공 메이커에 출시하거나, 다음의 막 두께 기판 가공 스테이지 (멀티 와이어 소우·커팅 공정) 로 이송된다.
실시예
도 1 및 도 2 에 나타내는 복합 모따기 가공 장치 (1) 를 사용하여 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록으로 모따기 가공하는 공정은, 다음과 같이 실시된다.
(1) 로딩 스테이지 (8R) 에 있는 원통 형상 잉곳 블록의 반입 기구 (13) 를 사용하여 스토커 (14) 상에 탑재되어 있는 피가공물 (워크) 인 원통 형상 실리콘 잉곳 블록 1 개를 양 클릭으로 파지하고, 이어서 양 클릭을 지지하는 고정대 (13f) 를 상승시켜 좌측 방향으로 이동시키고, 또한 서보 모터에 의해 회전 구동된 볼 나사에 이면을 나선 결합시킨 상기 고정대 (13f) 의 활주면 (13s) 을 칼럼 측면에 형성된 안내 레일 (13g) 상을 활주시켜 로드 포트 (8) 측으로 진입시키고, 이어서, 에어 실린더 (13p) 의 구동에 의해 원통 형상 잉곳 블록을 하강시켜 제 1 클램프 기구 (7) 의 회전 C 축 둘레에 회전시키는 기능을 갖는 인코더 부착 주축대 (7a) 와 심압대 (7b) 사이에 반입한 후, 상기 심압대를 전진시켜 원통 형상 실리콘 잉곳 블록 (w) 을 제 1 클램프 기구 (7) 에 협지한다.
(2) 상기 협지된 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 전측 수평 방향으로 떨어져 설치된 레이저광 반사형 변위 센서로부터 레이저광을 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 향하여 조사하고, 클램프 장치의 주축대 (7a) 의 모터에 의한 C 축 회전 각도를 인코더로 판독하면서 C 축 1 회전 (360 도) 시키는 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 회전을 실시하고, 회전 각도와 펄스 피크의 상관을 측정하여, 높은 펄스 피크가 나타난 C 축 회전 각도를 회전 절단날에 의한 절단 개시 각도 45 도로 하는 상기 C 축 구동 모터를 작동시켜, 1 쌍의 회전 절단날 (91a, 91b) 에 대한 상기 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 절단 개시 위치의 심내밀기를 실시한다.
(3) 상기 1 쌍의 회전 절단날 (91a, 91b) 의 회전을 개시하고, 이들 회전 절단날의 방향으로 상기 제 1 클램프 기구 (7) 를 탑재하는 워크 테이블 (4) 을 이동시켜 상기 1 쌍의 회전 절단날에 의한 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 절단 가공을 실시한다 (도 7 의 a).
(4) 이어서, 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 주축대 (7a) 의 모터 구동에 의해 90 도 회전시킨다.
(5) 회전하는 상기 1 쌍의 회전 절단날 (91a, 91b) 의 방향으로 제 1 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블 (4) 을 이동시키고 상기 1 쌍의 회전 절단날에 의한 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 절단 가공을 실시하여, 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 얻는다 (도 7 의 b).
(6) 상기 제 1 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블 (4) 을 잉곳 블록의 수수 스테이지 방향으로 이동시키고, 로봇 핸드 (81) 를 수수 스테이지 (80) 로 전진시켜, 거기서 로봇 핸드 (81) 의 핸드 클릭 (85a, 85b) 에 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 파지시킨다. 이어서, 상기 제 1 클램프 기구의 심압대 (7b) 를 후퇴시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 협지를 개방한 후, 로봇 핸드 (81) 를 대기 위치로 후퇴시킨 후, 상기 제 1 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블 (4) 을 상기 제 1 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 (70) 의 위치로 되돌린다.
(7) 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 위치에 있는 제 2 클램프 기구 (7') 를 탑재하는 워크 테이블 (4') 을 우측 방향으로 이동시켜 상기 수수 스테이지 (80) 의 로봇 핸드 (81) 위치로 이동시킨다. 이어서, 상기 제 2 클램프 기구의 심압대 (7b) 를 전진시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 상기 제 2 클램프 기구의 주축대 (7a) 와 심압대 (7b) 로 협지한 후, 로봇 핸드 (81) 의 핸드 클릭 (85a, 85b) 을 열어 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 파지를 해방시킨 후, 상기 로봇 핸드 (81) 를 대기 위치로 후퇴시킨다.
(8) 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 협지하는 제 2 클램프 기구 (7') 를 탑재하는 상기 워크 테이블 (4') 을 좌측 방향으로 이동시키고, 조연삭 스테이지 (11) 로 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 반입한다.
(9) 조연삭 가공 스테이지 (11) 의 1 쌍의 지석축 (11a, 11b) 의 일방을 상승, 타방을 하강시켜 쌍방의 지석 축심간 높이를 50 ∼ 220 ㎜ 로 한다. 이어서, 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 (11g, 11g) 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블 (4') 을 이동시키고, 주축대 (7a) 의 C 축 구동 모터 구동에 의해 회전하고 있는 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록에 대해 회전하고 있는 상기 지석축 (11a, 11b) 을 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부에 접찰 (摺擦) 시키면서 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블 (4') 을 좌측 방향으로 이동시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 (11g, 11g) 에 의한 전 (前) 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부 원통 연삭 가공을 실시한다. 분량은 0.01 ∼ 1.0 ㎜ 이다 (도 7 의 c).
(10) 상기 4 구석 (R) 코너부 원통 연삭된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 회전시켜 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 (11g, 11g) 의 블레이드 직경 방향의 면에 대한 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 모따기 가공 개시시의 C 축 심내밀기를 실시한다.
(11) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 (11g, 11g) 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블 (4') 을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 (11g, 11g) 을 전진시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시한다. 분량은 0.5 ∼ 1.5 ㎜ 이다 (도 7 의 d).
(12) 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 (11g, 11g) 의 블레이드 (11gs) 직경 방향면에 대한 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 가공 측면 위치를 고정시키는 심내밀기를 실시한다.
(13) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 (11g, 11g) 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블 (4') 을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 (11g, 11g) 을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블 (4') 의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시하는 조모따기 가공을 실시한다. 분량은 0.5 ∼ 1.5 ㎜ 이다 (도 7 의 e).
(14) 조모따기 가공이 종료된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 협지하는 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블 (4') 을 좌측 방향으로 이동시키고, 마무리 연삭 스테이지 (10) 로 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 반입한다.
(15) 마무리 연삭 가공 스테이지 (11) 의 1 쌍의 지석축 (10a, 10b) 의 일방을 상승, 타방을 하강시켜 쌍방의 지석 축심간 높이를 50 ∼ 220 ㎜ 로 한다. 이어서, 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 (10g, 10g) 사이에 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블 (4') 을 이동시키면서, 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 (10g, 10g) 을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣어 상기 회전하고 있는 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부를 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 (10g, 10g) 으로 4 구석 (R) 코너부 원통 연삭 가공한다. 분량은 0.5 ∼ 2 ㎛ 이다 (도 7 의 f).
(16) 상기 원통 연삭된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 회전시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석의 블레이드 (10gs) 직경 방향의 면에 대한 연삭 개시 위치 결정 (심내밀기) 을 실시한다.
(17) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 (10g, 10g) 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블 (4') 을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석을 전진시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시한다. 분량은 1 ∼ 3 ㎛ 이다 (도 7 의 g).
(18) 이어서, 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 (10g, 10g) 의 블레이드 직경 방향면에 대한 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 가공 측면 위치에 심내밀기를 한다.
(19) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 마무리 모따기 가공을 실시한다. 분량은 1 ∼ 3 ㎛ 이다 (도 7 의 h).
(20) 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 마무리 모따기 가공이 종료된 후, 마무리 모따기 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 협지하는 제 2 클램프 기구 (7') 를 탑재하는 상기 워크 테이블 (4') 을 좌측 방향으로 이동시켜 제 2 클램프 기구의 대기 위치 (60) 로 되돌린다.
(21) 상기 제 2 클램프 기구의 대기 위치 (60) 에 있는 4 측면 및 4 구석 (R) 코너부 마무리 연삭 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록 (w') 의 하면을 언로딩 스테이지 (8L) 에 있는 잉곳 블록 반송 기구 (13') 의 파지 클릭으로 감싸쥐고 파지하고, 상기 제 2 클램프 기구의 심압대 (7b) 를 후퇴시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 제 2 클램프 기구 (7') 에 의한 협지를 개방한다.
(22) 잉곳 블록 반송 기구 (13') 의 파지 클릭을 상기 복합 모따기 장치 (1) 의 하우징 (12) 밖으로 이동시키고, 언로딩 스테이지 (8L) 에 있는 블록 스토커 (14) 선반 상에 전술한 4 측면 및 4 구석 (R) 코너부 마무리 연삭 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 재치한다.
또한, 상기 서술한 (1) 내지 (22) 공정의 가공 방법의 실시예는, 조연삭 스테이지 (11) 및 마무리 연삭 스테이지 (10) 에 있어서, 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부의 원통 연삭 가공을 실시한 후에, 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 4 측 모따기 연삭 가공을 실시하는 예를 나타내었는데, 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 4 측 모따기 연삭 가공을 실시한 후에, 사각기둥 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부의 원통 연삭 가공을 실시해도 된다.
본 발명의 복합 모따기 가공 장치 (1) 는, 잉곳 블록의 클램프 기구를 1 쌍 (7, 7') 을 사용하고, 또한, 슬라이싱 스테이지 (90) 와 연삭 모따기 가공 스테이지 (11) 사이를 연결하는 라인 상에 잉곳 블록 수수 스테이지 (80) 를 새로이 형성하고, 잉곳 블록의 로딩 스테이지 (8L) 와 언로딩 스테이지 (8L) 를 각각 상기 클램프 기구 대기 위치 (70, 60) 의 정면 앞측에 구비시킨 구조를 채용함으로써, 잉곳 블록의 회전 절단날에 의한 면 박리 가공 및 잉곳 블록의 연삭 지석에 의한 4 구석 (R) 코너부 원통 연삭 가공, 측면 연삭 가공을 동시에 실시할 수 있다. 따라서, 직경 200 ㎜, 길이 500 ㎜ 의 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록 1 개를 사각기둥 형상 잉곳 블록으로 성형하는 스루풋 시간은 26 ∼ 30 분으로 계산되어 생산성이 높은 복합 모따기 가공 장치 (1) 이다. 또, 직경 200 ㎜, 길이 500 ㎜ 의 원통 형상 다결정 실리콘 잉곳 블록 1 개를 사각기둥 형상 잉곳 블록으로 성형하는 4 측면 박리 공정은 약 10 분, 연삭 가공 공정은 10 ∼ 12 분이고, 스루풋 시간은 10 ∼ 12 분으로 계산된다.
1 : 복합 모따기 가공 장치
C : C 축 (클램프 장치의 워크 회전축)
w : 원통 형상 실리콘 잉곳 블록 (워크)
3 : 안내 레일
4, 4' : 워크 테이블
7, 7' : 클램프 기구
7a : 주축대
7b : 심압대
8 : 로드 포트
8' : 언로드 포트
10 : 마무리 연삭 스테이지
11 : 조연삭 스테이지
10a, 10b, 11a, 11b : 지석축
10g : 마무리 연삭 지석
11g : 조연삭 지석
13 : 잉곳 블록 반입 기구
13' : 잉곳 블록 반송 기구
14 : 워크 스토커
60 : 제 2 클램프 기구 대기 위치 스테이지
70 : 제 1 클램프 기구 대기 위치 스테이지
80 : 잉곳 블록 수수 스테이지
81 : 로봇 핸드
90 : 측면 박리 슬라이싱 스테이지
91a, 91b : 회전 절단날 (외주날)
C : C 축 (클램프 장치의 워크 회전축)
w : 원통 형상 실리콘 잉곳 블록 (워크)
3 : 안내 레일
4, 4' : 워크 테이블
7, 7' : 클램프 기구
7a : 주축대
7b : 심압대
8 : 로드 포트
8' : 언로드 포트
10 : 마무리 연삭 스테이지
11 : 조연삭 스테이지
10a, 10b, 11a, 11b : 지석축
10g : 마무리 연삭 지석
11g : 조연삭 지석
13 : 잉곳 블록 반입 기구
13' : 잉곳 블록 반송 기구
14 : 워크 스토커
60 : 제 2 클램프 기구 대기 위치 스테이지
70 : 제 1 클램프 기구 대기 위치 스테이지
80 : 잉곳 블록 수수 스테이지
81 : 로봇 핸드
90 : 측면 박리 슬라이싱 스테이지
91a, 91b : 회전 절단날 (외주날)
Claims (2)
- a) 머신 케이싱 상에 좌우 방향으로 형성된 안내 레일 상을 좌우 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 형성된 1 쌍의 제 1 및 제 2 워크 테이블,
b) 상기 1 쌍의 워크 테이블 상에 좌우로 분리되어 탑재된 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 1 클램프 기구와 제 2 클램프 기구,
c) 상기 제 1 및 제 2 클램프 기구에 지지 현가된 워크를 탑재한 상기 워크 테이블을 좌우 방향으로 왕복 이동시키는 구동 기구,
d) 상기 워크 테이블을 복합 모따기 가공 장치의 정면측에서 보는 방향이고, 또한, 우측 방향으로부터 좌측 방향을 향하여,
d1) 안내 레일 상을 좌우 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 형성된 제 1 워크 테이블 상에 상기 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 1 클램프 기구를 형성한 제 1 클램프 기구의 대기 위치 스테이지,
d2) 상기 제 1 클램프 기구의 대기 위치 스테이지의 제 1 클램프 기구에 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 반입하고, 주축대와 심압대 사이에 협지시키는 로딩 스테이지,
d3) 상기 제 1 클램프 기구의 대기 위치 스테이지의 좌횡측에, 상기 제 1 클램프 기구의 워크 지지축을 사이에 두고 1 쌍의 회전 절단날을 상기 회전 절단날의 직경면이 서로 대향하도록 상기 안내 레일에 대해 전후에 형성된 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 측면 박리 슬라이싱 스테이지,
d4) 상기 슬라이싱 스테이지의 좌횡측에 형성한 잉곳 블록의 수수 스테이지,
d5) 상기 제 2 워크 테이블 상에 형성된 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구에 협지된 잉곳 블록 전후에, 전후 이동 가능 및 상하 승강 가능한 지석축의 1 쌍에 축승 (軸承) 된 컵 휠형 지석의 1 쌍을 상기 지석의 지석면이 서로 대향하도록 워크 테이블을 사이에 두고 워크 테이블 전후에 형성된 조연삭 스테이지,
d6) 상기 조연삭 스테이지의 좌횡측에 상기 제 2 워크 테이블 상에 형성된 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구에 협지된 잉곳 블록의 전후에, 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구에 협지된 잉곳 블록의 전후에 평행하게 형성한, 전후 이동 가능 및 상하 승강 가능한 지석축의 1 쌍에 축승된 컵 휠형 지석의 1 쌍을 그 지석면이 서로 대향하도록 워크 테이블을 사이에 두고 워크 테이블 전후에 형성된 마무리 연삭 스테이지,
d7) 상기 마무리 연삭 스테이지의 좌횡측 위치로서, 상기 제 2 위크 테이블 상에 형성된 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지,
를 형성하고, 추가로
e) 상기 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지의 전면측에, 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대의 1 쌍으로 이루어지는 제 2 클램프 기구에 협지된 잉곳 블록을 반송하는 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 언로딩 스테이지,
를 형성한 것을 특징으로 하는 실리콘 잉곳 블록의 복합 모따기 가공 장치. - 제 1 항에 기재된 복합 모따기 가공 장치를 사용하여 하기의 공정을 거쳐 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록으로 모따기 가공하는 방법.
(1) 로딩 스테이지에 있는 반입 기구를 사용하여, 피가공물인 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 제 1 클램프 기구의 회전 C 축 둘레에 회전시키는 기능을 갖는 인코더 부착 주축대와 심압대 사이에 반입하고, 이어서, 상기 심압대를 전진시켜 원통 형상 실리콘 잉곳 블록을 제 1 클램프 기구에 협지하는 공정
(2) 상기 제 1 클램프 기구의 주축대의 C 축 구동 모터를 작동시켜, 1 쌍의 회전 절단날에 대한 상기 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 절단 개시 위치의 위치 결정을 실시하는 공정
(3) 회전하는 상기 1 쌍의 회전 절단날의 방향으로 상기 제 1 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고 상기 1 쌍의 회전 절단날에 의한 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 절단 가공을 실시하는 공정
(4) 이어서, 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시키는 공정
(5) 회전하는 상기 1 쌍의 회전 절단날의 방향으로 제 1 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고 상기 1 쌍의 회전 절단날에 의한 원통 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 절단 가공을 실시하여 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 얻는 공정
(6) 상기 제 1 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 잉곳 블록의 수수 스테이지 방향으로 이동시키고, 수수 스테이지에 로봇 핸드를 전진시켜 로봇 핸드의 파지 클릭을 닫아 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 파지시키고, 이어서, 상기 제 1 클램프 기구의 심압대를 후퇴시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 협지를 개방한 후, 상기 로봇 핸드를 대기 위치로 후퇴시킨 후, 상기 제 1 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 상기 제 1 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 위치로 되돌린 후, 상기 로봇 핸드를 상기 수수 스테이지에 전진시키는 공정
(7) 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 위치에 있는 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 우측 방향으로 이동시켜 상기 수수 스테이지의 로봇 핸드 위치로 이동시키고, 이어서, 상기 제 2 클램프 기구의 심압대를 전진시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 상기 제 2 클램프 기구의 주축대와 심압대로 협지한 후, 상기 로봇 핸드의 파지 클릭을 열어 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 해방시키고, 상기 로봇 핸드를 대기 위치로 후퇴시키는 공정
(8) 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 협지하는 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 좌측 방향으로 이동시키고, 조연삭 스테이지로 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 반입하는 공정
(9) 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 회전하고 있는 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부를 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석으로 원통 연삭하는 공정
(10) 상기 원통 연삭된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 회전시켜 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석의 블레이드 직경 방향의 면에 대한 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 모따기 가공 개시시의 C 축 심내밀기를 실시하는 공정
(11) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석을 전진시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시하는 공정
(12) 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석의 블레이드 직경 방향면에 대한 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 가공 측면 위치를 고정시키는 위치 결정을 실시하는 공정
(13) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 조연삭 지석을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시하는 조모따기 가공을 실시하는 공정
(14) 조모따기 가공이 종료된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 협지하는 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 좌측 방향으로 이동시키고, 마무리 연삭 스테이지로 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 반입하는 공정
(15) 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 사이에 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 회전하고 있는 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 4 구석 (R) 코너부를 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석으로 원통 연삭하는 공정
(16) 상기 원통 연삭된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 회전시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석의 블레이드 직경 방향의 면에 대한 연삭 개시 위치 결정의 심내밀기를 실시하는 공정
(17) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 워크 테이블을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석을 전진시켜 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 모따기 가공을 실시하는 공정
(18) 이어서, 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 C 축을 90 도 회전시켜 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석의 블레이드 직경 방향면에 대한 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 가공 측면 위치에 위치 결정을 실시하는 공정
(19) 회전하고 있는 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석 사이에 상기 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 이동시키고, 상기 1 쌍의 컵 휠형 마무리 연삭 지석을 C 축 방향으로 전진시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면에 절입을 넣으면서 상기 워크 테이블의 이동에 의해 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 마무리 모따기 가공을 실시하는 공정
(20) 상기 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 전후면의 마무리 모따기 가공이 종료된 후, 마무리 모따기 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 협지하는 제 2 클램프 기구를 탑재하는 상기 워크 테이블을 좌측 방향으로 이동시켜 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 위치로 되돌리는 공정
(21) 상기 제 2 클램프 기구의 대기 위치 스테이지 위치에 있는 4 측면 및 4 구석 (R) 코너부 마무리 연삭 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 하면을 언로딩 스테이지에 있는 반송 기구의 파지 클릭으로 감싸쥐고 파지하고, 상기 제 2 클램프 기구의 심압대를 후퇴시켜 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록의 제 2 클램프 기구에 의한 협지를 개방하는 공정
(22) 반송 기구의 파지 클릭을 복합 모따기 장치의 하우징 밖으로 이송하고, 언로딩 스테이지에 있는 블록 스토커 선반 상에 전술한 4 측면 및 4 구석 (R) 코너부가 마무리 연삭 가공된 사각기둥 형상 실리콘 잉곳 블록을 재치하는 공정
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010272085A JP5129319B2 (ja) | 2010-12-07 | 2010-12-07 | 円筒状単結晶シリコンインゴットブロックを四角柱状ブロックに加工する方法およびそれに用いる複合面取り加工装置 |
| JPJP-P-2010-272085 | 2010-12-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20120063420A KR20120063420A (ko) | 2012-06-15 |
| KR101486113B1 true KR101486113B1 (ko) | 2015-01-23 |
Family
ID=46402042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR20110060676A Active KR101486113B1 (ko) | 2010-12-07 | 2011-06-22 | 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록을 사각기둥 형상 블록으로 가공하는 방법 및 거기에 사용하는 복합 모따기 가공 장치 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5129319B2 (ko) |
| KR (1) | KR101486113B1 (ko) |
| CN (1) | CN102554730B (ko) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5129320B2 (ja) * | 2010-12-15 | 2013-01-30 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 円筒状単結晶シリコンインゴットブロックを四角柱状ブロックに加工する切断装置および切断方法 |
| JP5108123B2 (ja) * | 2011-01-27 | 2012-12-26 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 円筒状インゴットブロックの切断装置およびそれを用いて四角柱状ブロックに加工する方法 |
| CN104175198B (zh) * | 2013-05-23 | 2017-02-08 | 董昊南 | 轻质隔热砖自动切磨装置 |
| CN105856011B (zh) * | 2013-12-16 | 2018-01-26 | 海宁奇晟轴承有限公司 | 带调节机构的轴承外圈端面的打磨机 |
| JP5856245B2 (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-09 | 株式会社岡本工作機械製作所 | インゴットブロックの複合面取り加工装置および面取り加工方法 |
| CN109176921B (zh) * | 2017-05-06 | 2020-07-14 | 东莞市特艺达建材有限公司 | 一种大理石智能切割装置 |
| CN108032185B (zh) * | 2018-01-18 | 2024-04-02 | 常州恒联机械五金有限公司 | 一种把手自动化打磨设备 |
| CN110026826B (zh) * | 2018-09-30 | 2024-04-16 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种全自动单晶硅棒切磨复合加工一体设备及其使用方法 |
| CN110039433A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-07-23 | 海宁市金识水晶有限公司 | 一种水晶原石倒角装置 |
| CN110524344B (zh) * | 2019-08-20 | 2023-10-17 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种用于磨削硅棒平面及倒角的自动化设备及加工方法 |
| CN110653704B (zh) * | 2019-09-12 | 2024-11-15 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种高效磨倒一体机 |
| CN112706046B (zh) * | 2019-10-24 | 2025-06-17 | 天通日进精密技术有限公司 | 硅棒研磨机及硅棒研磨方法 |
| CN213970498U (zh) * | 2020-07-24 | 2021-08-17 | 天通日进精密技术有限公司 | 硅棒研磨机 |
| CN114102887A (zh) * | 2020-08-28 | 2022-03-01 | 天通日进精密技术有限公司 | 硅棒加工设备及硅棒加工方法 |
| CN114131480B (zh) * | 2020-09-02 | 2025-09-09 | 天通日进精密技术有限公司 | 硅棒研磨机 |
| CN114261028B (zh) * | 2020-09-16 | 2026-03-27 | 天通日进精密技术有限公司 | 硅棒切磨一体机 |
| CN112536928B (zh) * | 2020-12-04 | 2024-05-10 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 一种单晶硅棒开方夹持装置 |
| CN214982281U (zh) * | 2020-12-17 | 2021-12-03 | 上海日进机床有限公司 | 硅棒切磨一体机 |
| CN114434253B (zh) * | 2022-02-24 | 2023-11-14 | 苏州东辉光学有限公司 | 一种适用于光学棱镜倒边的自动化系统 |
| CN116352900A (zh) * | 2022-12-22 | 2023-06-30 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种晶棒切磨系统 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009084101A1 (ja) | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Sintobrator, Ltd. | 角柱状部材の研磨装置 |
| JP2010214550A (ja) | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | シリコンインゴットの面取り加工装置およびそれを用いる角柱状シリコンインゴットの面取り加工方法 |
| JP2010214552A (ja) | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 角柱状シリコンインゴットの面取り加工装置およびそれを用いる角柱状シリコンインゴットの面取り加工方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4133935B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2008-08-13 | シャープ株式会社 | シリコンウエハの加工方法 |
| JP4178326B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2008-11-12 | 勇 戸川 | 水道水用または食用油脂用の浄化器 |
| JP5238317B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2013-07-17 | 株式会社ジェイシーエム | シリコンブロックの研削研磨機及びシリコンウエハの加工方法 |
| US8376809B2 (en) * | 2009-02-25 | 2013-02-19 | Sumco Corporation | Cylindrical grinder and cylindrical grinding method of ingot |
| JP2011125986A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Saito-Seiki Co Ltd | 角ブロックの表面研削装置 |
| JP5517156B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2014-06-11 | 株式会社岡本工作機械製作所 | インゴットブロックの複合面取り加工装置 |
| JP5563427B2 (ja) * | 2010-11-02 | 2014-07-30 | 株式会社Ｂｂｓ金明 | 研磨装置 |
-
2010
- 2010-12-07 JP JP2010272085A patent/JP5129319B2/ja active Active
-
2011
- 2011-06-22 KR KR20110060676A patent/KR101486113B1/ko active Active
- 2011-11-24 CN CN201110399528.7A patent/CN102554730B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009084101A1 (ja) | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Sintobrator, Ltd. | 角柱状部材の研磨装置 |
| JP2010214550A (ja) | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | シリコンインゴットの面取り加工装置およびそれを用いる角柱状シリコンインゴットの面取り加工方法 |
| JP2010214552A (ja) | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 角柱状シリコンインゴットの面取り加工装置およびそれを用いる角柱状シリコンインゴットの面取り加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20120063420A (ko) | 2012-06-15 |
| JP5129319B2 (ja) | 2013-01-30 |
| CN102554730A (zh) | 2012-07-11 |
| CN102554730B (zh) | 2015-10-14 |
| JP2012121082A (ja) | 2012-06-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101486113B1 (ko) | 원통 형상 단결정 실리콘 잉곳 블록을 사각기둥 형상 블록으로 가공하는 방법 및 거기에 사용하는 복합 모따기 가공 장치 | |
| TWI461276B (zh) | A four-sided stripping and cutting device for a cylindrical ingot and a method of cutting off a workpiece into a quadrangular cylindrical workpiece | |
| JP5856245B2 (ja) | インゴットブロックの複合面取り加工装置および面取り加工方法 | |
| KR101184959B1 (ko) | 잉곳 블록의 복합 모따기 가공 장치 및 가공 방법 | |
| KR101731643B1 (ko) | 잉곳 블록의 복합 모따기 가공 장치 | |
| CN113967868B (zh) | 硅棒研磨机和硅棒研磨方法 | |
| CN105835247A (zh) | 硅棒组合加工机 | |
| JP2009233794A (ja) | シリコンブロックの研削研磨機及びシリコンウエハの加工方法 | |
| CN105946126A (zh) | 硅棒流水作业系统及硅棒流水作业方法 | |
| JP2011136382A (ja) | シリコンインゴットの面取り加工装置 | |
| JP2013010158A (ja) | インゴットブロックの自動クランプ方法 | |
| JP5421132B2 (ja) | シリコンインゴットの円筒研削装置および円筒研削方法 | |
| KR101484356B1 (ko) | 원통 형상 잉곳 블록의 절단 장치 및 그것을 사용하여 사각 기둥 형상 블록으로 가공하는 방법 | |
| CN212653275U (zh) | 研磨修复装置及硅棒加工设备 | |
| CN112706012B (zh) | 硅棒研磨机及硅棒研磨方法 | |
| JP2013038111A (ja) | 円柱状インゴットの複合面取り加工装置ならびにそれを用いてワークに円筒研削加工およびオリフラ研削加工をする方法 | |
| JP2011173179A (ja) | シリコンインゴットの円筒研削方法または円弧研削方法 | |
| CN214080919U (zh) | 研磨修复装置及硅棒加工设备 | |
| JP2013035079A (ja) | 四角柱状インゴットの四隅ｒ面の円筒研削方法 | |
| CN108311969A (zh) | 回转体容器加工中心 | |
| CN108515394A (zh) | 回转体容器打磨加工方法 | |
| JP2013022720A (ja) | ワークの複合面取り加工装置およびそれをもちいる複合面取り加工方法 | |
| JP2013094862A (ja) | 四角柱状インゴットブロックの面取り加工方法 | |
| CN214186720U (zh) | 硅棒研磨机 | |
| CN115107180A (zh) | 硅棒切磨一体机及硅棒切磨方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109 |
|
| PG1501 | Laying open of application |
St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501 |
|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0201 | Request for examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201 |
|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
| P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
| P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
| P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
| P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701 |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002 Fee payment year number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration |
St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180112 Year of fee payment: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 5 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 6 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 7 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 8 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 9 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 10 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |