JP2012116171A - 緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】供給路の液体の圧力変動を吸収すると共に、通常の液滴吐出よりも高い圧力により液体吐出部から液体の排出動作を行う際の、供給路の下流側への伝達圧力の低下を抑える。
【解決手段】ダンパー１００は、インクＬの供給路３０の壁を形成する弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂと、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂとで仕切って空気室１１８Ａ、１１８Ｂを形成する上カバー１０４、下カバー１０６と、上カバー１０４、下カバー１０６に設けられ弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの変動による圧力変動に抵抗する気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂと、を有している。ここで、インクＬに作用する圧力が変動したとき、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが変動（変形）することでインクＬに作用する加圧力を吸収する。このとき、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂの通気抵抗により弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの変動が抑えられるため、供給路３０の下流側への圧力伝達の低下を抑えることができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置に関する。

特許文献１のインクジェット式記録装置は、１つのダンパーに対して複数のインク流路を設けている。

特許文献２のインクジェットプリンタは、インクが流入する通路孔が形成された底壁と、底壁と対向配置された可撓性膜とでダンパー室が形成されており、インクの圧力は、可撓性膜の変形により吸収されると共に通路孔で緩和されている。

特許文献３のインクジェット記録装置は、インク貯留部を複数のフィルムで形成したダンパー機構を有している。

特開平０９−２７７５６１号 特許第４２８４５１６号 特開２００９−１８４１８３号

本発明は、供給路の液体の圧力変動を吸収すると共に、通常の液滴吐出よりも高い圧力により液体吐出部から液体の排出動作を行う際の、供給路の下流側への伝達圧力の低下を抑えることができる緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置を得ることを目的とする。

本発明の請求項１に係る緩衝装置は、液体が貯留される貯留部と液体を液滴として吐出する液滴吐出部との間の供給路の一部の壁となる弾性膜と、前記供給路の外側に設けられ前記弾性膜との間に気体室を形成する壁部と、前記壁部に設けられ通気が行われると共に前記弾性膜の変動に対する抵抗力を生じる抵抗手段と、を有する。
本発明において、「液体が貯留される貯留部と液体を液滴として吐出する液滴吐出部との間」には、「液滴吐出部」自身も含む。

本発明の請求項２に係る緩衝装置は、前記抵抗手段は、前記壁部に形成された孔部と、該孔部を塞ぐと共に気体を通過して液体を通過させない気液分離膜と、を有する。

本発明の請求項３に係る液体供給装置は、液体が貯留される貯留部と液体を液滴として吐出する液滴吐出部との間の供給路と、前記供給路に設けられた請求項１又は２に記載の緩衝装置と、を有する。

本発明の請求項４に係る液体供給装置は、さらに前記供給路に設けられた流路開閉手段を有し、前記緩衝装置は、前記供給路における前記流路開閉手段と前記液滴吐出部の間に設けられている。

本発明の請求項５に係る液滴吐出装置は、請求項３又は４に記載の液体供給装置と、前記供給路で前記緩衝装置よりも下流側に設けられ液体を液滴として吐出する吐出口を備えた液滴吐出部と、を有し、入力される信号に基づく前記液滴吐出部からの液滴の吐出動作と、前記供給路内の加圧により該吐出動作よりも高い圧力で液体を前記吐出口から排出させる排出動作とを行う。

本発明の請求項６に係る液滴吐出装置は、さらに、前記液滴吐出部に供給した液体を前記貯留部へ回収する液体回収路を有し、当該液体回収路に請求項１又は２に記載の緩衝装置が設けられている。

請求項１に記載の発明は、抵抗手段の無いものに比べて、供給路の液体の圧力変動を吸収すると共に、通常の液滴吐出よりも高い圧力により液体吐出部から液体の排出動作を行う際の、供給路の下流側への伝達圧力の低下を抑えることができる。

請求項２に記載の発明は、弾性膜が傷ついて気体室内に液体が流入したときに、液体が空気室の外側に流出するのを防ぐことができる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の緩衝装置が無いものに比べて、供給路の液体の圧力変動を吸収すると共に、通常の液滴吐出よりも高い圧力により液体吐出部から液体の排出動作を行う際の、供給路の下流側への伝達圧力の低下を抑えることができる。

請求項４に記載の発明は、請求項１又は２に記載の緩衝装置が無いものに比べて、流路開閉手段の開閉による液体の圧力変動を抑えることができる。

請求項５に記載の発明は、請求項１又は２に記載の緩衝装置が無いものに比べて、供給路の液体の圧力変動を吸収すると共に、通常の液滴吐出よりも高い圧力により液体吐出部から液体の排出動作を行う際の、供給路の下流側への伝達圧力の低下を抑えることができる。

請求項６に記載の発明は、請求項１又は２に記載の緩衝装置が無いものに比べて、液体の回収に伴う圧力変動を吸収すると共に、通常の液滴吐出よりも高い圧力により液体吐出部から液体の排出動作を行う際の、供給路の下流側への伝達圧力の低下を抑えることができる。

第１実施形態に係るインクジェット記録装置の構成を示す概略図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの配管図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの動作を制御する制御部のブロック図である。 第１実施形態に係るダンパーを供給路に設けた状態を示す模式図である。 （Ａ）、（Ｂ）第１実施形態に係るダンパーの斜視図及び断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）第１実施形態に係るダンパーの作用を示す断面図である。 （Ａ）ダンパーが無い比較例を用いたときの供給路内のインクに作用する圧力の変化を示すグラフである。（Ｂ）第１実施形態に係るダンパーを設けた構成において供給路内のインクに作用する圧力の変化を示すグラフである。 （Ａ）ダンパーの空気室を密閉した比較例を用いたときの供給路内のインクに作用する圧力の変化を示すグラフである。（Ｂ）第１実施形態に係るダンパーを設けた構成において供給路内のインクに作用する圧力の変化を示すグラフである。 （Ａ）第１実施形態に係るダンパーを設けた構成でインクを加圧した状態において、供給路内のインクに作用する圧力の変化を示すグラフである。（Ｂ）気液分離膜を設けていない比較例でインクを加圧した状態において、供給路内のインクに作用する圧力の変化を示すグラフである。 （Ａ）図９（Ａ）の一部を拡大したグラフである。（Ｂ）図９（Ｂ）の一部を拡大したグラフである。 （Ａ）、（Ｂ）第１実施形態に係るダンパーにおいて、通気度の異なる気液分離膜を用いたときの供給路内のインクに作用する圧力の変化を示すグラフである。 第２実施形態に係るダンパーの断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）第３実施形態に係るダンパーの斜視図及び断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）第４実施形態に係るダンパーの斜視図及び断面図である。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係る緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置の一例について説明する。

図１には、液滴の一例としてのインク滴を吐出して記録媒体Ｐに画像を記録する液滴吐出装置の一例としてのインクジェット記録装置１０が示されている。インクジェット記録装置１０は、記録媒体Ｐが収容される収容部１２と、記録媒体Ｐに画像を記録する画像記録部１４と、収容部１２から画像記録部１４へ記録媒体Ｐを搬送する搬送手段１６と、画像記録部１４によって画像が記録された記録媒体Ｐが排出される排出部１８と、を含んで構成されている。

画像記録部１４は、液体供給装置の一例としてのインクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋを有している。また、インクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋは、吐出口の一例としてのノズル２４（図２参照）が形成されたノズル面２２Ｙ、２２Ｍ、２２Ｃ、２２Ｋをそれぞれ有している。ノズル面２２Ｙ、２２Ｍ、２２Ｃ、２２Ｋは、インクジェット記録装置１０での画像記録が想定される記録媒体Ｐの最大幅と同程度か、又はそれ以上の記録可能領域を有している。

さらに、インクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋは、記録媒体Ｐの搬送方向の下流側から、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の色の順で並列に並べられており、その各色に対応したインク滴を、圧電方式によって、複数のノズル２４（図２参照）から吐出し、記録媒体Ｐに画像を記録する構成となっている。なお、インクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋにおいて、インク滴を吐出させる構成は、サーマル方式などの他の方式によって吐出させる構成であっても良い。また、以後の説明では、インクの色を区別する必要が場合にＹ、Ｍ、Ｃ、Ｋの英字を省略することがある。

インクジェット記録装置１０には、液体の一例としてのインクを貯留する貯留部としてのメインタンク５６が、各色ごとに設けられており、各色ごとのメインタンク５６Ｙ、５６Ｍ、５６Ｃ、５６Ｋから、各インクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋへインクが供給される。なお、インクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋへ供給されるインクとしては、水性インク、油性インク、溶剤系インクなど、各種インクの使用が可能である。

搬送手段１６は、収容部１２内の記録媒体Ｐを１枚ずつ取り出す取出ドラム２８と、画像記録部１４のインクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋへ記録媒体Ｐを搬送し、その記録面（表面）をインクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋに対面させる搬送体としての搬送ドラム３２と、画像が記録された記録媒体Ｐを排出部１８へ送り出す送出ドラム３４と、を有している。そして、取出ドラム２８、搬送ドラム３２、及び送出ドラム３４は、静電的吸着手段、或いは吸引や粘着などの非静電的吸着手段によって、外周面に記録媒体Ｐを保持するように構成されている。

また、取出ドラム２８、搬送ドラム３２、及び送出ドラム３４には、それぞれ記録媒体Ｐの搬送方向の下流側端部を挟んで保持するグリッパー３６が、周方向に間隔をあけて２組ずつ設けられている。そして、取出ドラム２８、搬送ドラム３２、及び送出ドラム３４は、グリッパー３６によって、それぞれの外周面に記録媒体Ｐを２枚まで保持可能に構成されている。なお、グリッパー３６は、取出ドラム２８、搬送ドラム３２、及び送出ドラム３４の外周面に２つずつ形成された凹部２８Ａ、３２Ａ、３４Ａ内に設けられている。

具体的には、凹部２８Ａ、３２Ａ、３４Ａ内の予め定められた位置に、取出ドラム２８、搬送ドラム３２、及び送出ドラム３４の回転軸３８に沿って回転軸４２が支持されており、この回転軸４２には、その軸方向に間隔をおいて複数のグリッパー３６が固定されている。したがって、回転軸４２が、図示しないアクチュエーターによって正方向（例えば図示の時計回り方向）又は逆方向（例えば図示の反時計回り方向）に回転することにより、グリッパー３６が取出ドラム２８、搬送ドラム３２、及び送出ドラム３４の周方向に沿って正方向又は逆方向に回転し、記録媒体Ｐの搬送方向の下流側端部を挟んで保持したり、離したりするようになっている。

つまり、グリッパー３６は、その先端部が、取出ドラム２８、搬送ドラム３２、及び送出ドラム３４の外周面から若干突出するように回転することで、取出ドラム２８の外周面と搬送ドラム３２の外周面とが対面する受渡位置４４において、取出ドラム２８のグリッパー３６から搬送ドラム３２のグリッパー３６へ記録媒体Ｐを受け渡すようになっており、搬送ドラム３２の外周面と送出ドラム３４の外周面とが対面する受渡位置４６において、搬送ドラム３２のグリッパー３６から送出ドラム３４のグリッパー３６へ記録媒体Ｐを受け渡すようになっている。

また、インクジェット記録装置１０は、インクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋをメンテナンスするメンテナンスユニット（図示省略）を備えている。メンテナンスユニットは、インクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋのノズル面２２Ｙ、２２Ｍ、２２Ｃ、２２Ｋを覆うキャップ、予備吐出（空吐出）されたインク滴を受ける受け部材、ノズル面２２Ｙ、２２Ｍ、２２Ｃ、２２Ｋを清掃する清掃部材、ノズル内のインクを吸引するための吸引装置などを有している。そして、このメンテナンスユニットがインクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋに対向する対向位置に移動することで、各種のメンテナンス動作が行われる。

次に、インクジェット記録装置１０の画像記録動作について説明する。

収容部１２から取出ドラム２８のグリッパー３６により１枚ずつ取り出され、取出ドラム２８の外周面に保持された記録媒体Ｐは、取出ドラム２８の外周面に吸着されつつ搬送され、受渡位置４４において、取出ドラム２８のグリッパー３６から搬送ドラム３２のグリッパー３６へ受け渡される。そして、搬送ドラム３２のグリッパー３６により保持された記録媒体Ｐは、搬送ドラム３２の外周面に吸着されつつインクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋの画像記録位置まで搬送され、インクジェットヘッド２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｋから吐出されるインク滴により記録面に画像が記録される。

続いて、記録面に画像が記録された記録媒体Ｐは、受渡位置４６において、搬送ドラム３２のグリッパー３６から送出ドラム３４のグリッパー３６へ受け渡される。そして、送出ドラム３４のグリッパー３６により保持された記録媒体Ｐは、送出ドラム３４の外周面に吸着されつつ搬送され、排出部１８へ排出される。以上のようにして、一連の画像記録動作が行われる。

次に、インクジェット記録装置１０の配管構成について説明する。

図２には、第１実施形態に係るインクを貯留するメインタンク５６からインクジェットヘッド２０までの配管図が示されており、インクを貯留する貯留部の一例としてのメインタンク５６と、液滴吐出部の一例としての複数のヘッドモジュール５０と、メインタンク５６から各ヘッドモジュール５０へインクを供給するための供給路３０と、を含んで構成されている。また、各ヘッドモジュール５０には、インク滴が吐出される複数のノズル２４が形成されている。なお、供給路３０は、後述する供給側主管９８、供給管７４、及び供給側分岐路６２を含んで構成されている。

図２に示すように、各ヘッドモジュール５０には、インクが流入する入力ポート５２Ａと、インクが抽出される出力ポート５２Ｂとが設けられている。入力ポート５２Ａには、供給側マニホールド５８から分岐した供給側分岐路６２の先端が取り付けられ、出力ポート５２Ｂには、回収側マニホールド６４から分岐した液体回収路の一例としての回収側分岐路６６の先端が取り付けられている。

すなわち、供給側マニホールド５８及び回収側マニホールド６４には、前記ヘッドモジュール５０の設置数分の分岐管（供給側分岐路６２及び回収側分岐路６６）が設けられ、供給側マニホールド５８に供給されるインクを予め定められた圧力（以後Ｐ１と記載する）かつ予め定められた流量で各ヘッドモジュール５０へ供給し、さらには、ヘッドモジュール５０へ供給されたインクを予め定められた圧力（以後Ｐ２と記載する）かつ予め定められた流量で、各ヘッドモジュール５０から回収側マニホールド６４へ回収する構造となっている。

ここで、ヘッドモジュール５０内では、供給側の圧力Ｐ１と回収側の圧力Ｐ２との間で差圧ΔＰ（＝Ｐ１−Ｐ２）を発生させることにより、ノズル面２２に対して、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との総和の平均の圧力である背圧Ｐ３を付与している。この背圧Ｐ３によって、ヘッドモジュール５０の複数のノズル２４にインクが保持されるようになっている。そして、インク吐出の為のエネルギー発生素子（図示省略）により、画像情報に応じたインクの吐出が実行されるようになっている。

図４に示すように、供給側分岐路６２には、それぞれ流路開閉手段の一例としての供給側バルブ６８と緩衝装置の一例としてのダンパー１００とが設けられている。また、回収側分岐路６６には、それぞれ回収側バルブ７２とダンパー１００とが設けられている。供給側バルブ６８及び回収側バルブ７２は、ヘッドモジュール５０を個別に動作させる必要があるときに開閉操作されるものであり、ダンパー１００は、供給側マニホールド５８から供給されるインク、或いは回収側マニホールド６４へ回収されるインクの流動時の圧力変動などを緩和する役目を有している。なお、ダンパー１００の詳細な構成については後述する。

図２に示すように、供給側マニホールド５８には、長手方向の一端（図２の右端部）に供給路３０の一部を構成する供給管７４の一端が取り付けられており、回収側マニホールド６４には、長手方向の一端（図２の右端部）にインク循環のための配管系の一部を構成する回収管７６の一端が取り付けられている。また、供給側マニホールド５８の他端と回収側マニホールド６４の他端との間には、第１流路７８と第２流路８２とが設けられている。

第１流路７８には、第１バルブ８４が設けられている。また、第２流路８２には、第２バルブ８６が設けられている。第１流路７８及び第２流路８２は、供給側マニホールド５８と回収側マニホールド６４との間の圧力調整やインクの流量調整などに用いられる。例えば、通常のインクの循環（供給側マニホールド５８から回収側マニホールド６４へのインクの流れ）では、第１バルブ８４が閉止、第２バルブ８６が開放され、第２流路８２のみが流通可能となっている。

さらに、供給側マニホールド５８の他端と回収側マニホールド６４の他端には、それぞれ、供給側圧力センサ８８及び回収側圧力センサ９２が取り付けられており、供給側圧力センサ８８及び回収側圧力センサ９２によって、供給側マニホールド５８内及び回収側マニホールド６４内を流れるインクの圧力が監視されている。

また、供給側マニホールド５８に連結された供給管７４の他端は、供給側サブタンク９４に連結されている。供給側サブタンク９４は、弾性力を有する膜部材９６によって内部が仕切られた二室構造となっており、下側がインク用サブタンク室９４Ａ、上側が空気室９４Ｂとなっている。インク用サブタンク室９４Ａには、メインタンク５６に連結されたバッファタンク１３２からインクを引き込むための供給側主管９８の一端が連結されている。そして、供給側主管９８の他端は、バッファタンク１３２に連結されている。空気室９４Ｂには、開放管９５が連結され、開放管９５に供給側エアバルブ９７が設けられている。

供給側主管９８には、バッファタンク１３２から供給側サブタンク９４まで順番に、脱気モジュール１３４、一方向弁１３６、インクを加圧する供給側ポンプ１３８、供給側フィルタ１４２、インク温度調整器１４４が設けられている。これにより、供給側ポンプ１３８の駆動力でバッファタンク１３２に貯留されているインクを供給側サブタンク９４へ供給する途中において、インク内から気泡を取り除くと共にインクの温度を管理している。なお、供給側ポンプ１３８の入口側には、供給側主管９８とは別に分岐管１４６の一端が連結されており、分岐管１４６の他端は、一方向弁１４８を通ってバッファタンク１３２に連結されている。

供給側ポンプ１３８は、一例として、ステッピングモータ（図示省略）を用いたチューブポンプ（弾性力を持つチューブをステッピングモータによる回転駆動でしごきながらチューブ内のインクを供給する）で構成されているが、特にこのようなポンプに限定されるものではない。また、インク用サブタンク室９４Ａには、ドレイン管１５２の一端が連結されており、ドレイン管１５２の他端は、バッファタンク１３２に連結されている。そして、ドレイン管１５２には、供給側ドレインバルブ１５４が設けられている。

供給側サブタンク９４は、インクを循環することによって流路内の気泡がトラップされる構造になっているので、供給側ドレインバルブ１５４を開き、供給側ポンプ１３８の駆動力で供給側サブタンク９４内の気泡がバッファタンク１３２へ送られることにより、大気開放されているバッファタンク１３２から気泡が排出されるようになっている。

次に、回収側マニホールド６４に連結された回収管７６の他端は、回収側サブタンク１６２に連結されている。回収側サブタンク１６２は、弾性力を有する膜部材１６４によって内部が仕切られた二室構造となっており、下側がインク用サブタンク室１６６Ａ、上側が空気室１６６Ｂとなっている。インク用サブタンク室１６６Ａには、バッファタンク１３２へインクを引き込むための回収側主管１６８の一端が連結されている。そして、回収側主管１６８の他端は、バッファタンク１３２に連結されている。空気室１６６Ｂには、開放管１７２が連結され、開放管１７２に回収側エアバルブ１７４が設けられている。

回収側主管１６８には、回収側サブタンク１６２に向けて順番に一方向弁１７６と回収側ポンプ１７８が設けられており、回収側ポンプ１７８の駆動力により、回収側サブタンク１６２内のインクをバッファタンク１３２へ回収するようになっている。また、インク用サブタンク室１６６Ａには、ドレイン管１８２の一端が連結されており、ドレイン管１８２の他端は、回収側ドレインバルブ１８４を通ってドレイン管１５２と繋がっている。

回収側サブタンク１６２は、インクを循環することによって流路内の気泡がトラップされる構造になっているので、回収側ドレインバルブ１８４を開く事により、回収側ポンプ１７８の逆回転による駆動力で回収側サブタンク１６２内の気泡がバッファタンク１３２へ送られ、大気開放されているバッファタンク１３２から気泡が排出されるようになっている。

ここで、本実施形態では、供給側マニホールド５８の圧力Ｐ１と回収側マニホールド６４の圧力Ｐ２が、Ｐ１＞Ｐ２の関係となっているが、それぞれ負圧供給となっている。すなわち、供給側ポンプ１３８の供給圧力が負圧であるが、回収側ポンプ１７８の回収圧力がさらに負圧であるため、インクは、供給側マニホールド５８から回収側マニホールド６４へ流れ、かつヘッドモジュール５０のノズル２４の背圧Ｐ３が負圧（（Ｐ１＋Ｐ２）／２）に維持されるようになっている。なお、厳密には、背圧Ｐ３の要素として、供給側マニホールド５８及び回収側マニホールド６４の高さ位置、インク流量や流路抵抗などが関与するので、入力側の圧力Ｐ１と出力側の圧力Ｐ２を設定する際に考慮する必要がある。

一方、回収側ポンプ１７８の入口側と、供給側主管９８における脱気モジュール１３４の出口側との間には、加圧パージ用配管１８６が設けられている。加圧パージ用配管１８６には、脱気モジュール１３４から回収側ポンプ１７８まで順番に、一方向弁１８８、回収フィルタ１９０が設けられている。すなわち、ヘッドモジュール５０内を加圧して、一気にインクを排出することで気泡などを排除するとき、供給側ポンプ１３８の駆動に加え、回収側ポンプ１７８の駆動方向を通常時に対して逆転させることで、バッファタンク１３２から回収側マニホールド６４へ脱気されたインクを供給するようにしている。

バッファタンク１３２は、補充ポンプ１９６が設けられた補充管１９２によって、メインタンク５６とインクが流通可能となっている。そして、バッファタンク１３２には、インクを循環させるために必要なインク量が貯留されており、インク消費に応じて、メインタンク５６からインクが補充される構成となっている。補充管１９２の一端（メインタンク５６内）には、フィルタ１９４が取り付けられている。なお、バッファタンク１３２とメインタンク５６との間にはオーバーフロー管１９８が設けられており、インクの過剰補充時に、インクがメインタンク５６へ戻されるようになっている。

次に、インクジェット記録装置１０の制御部２００について説明する。

図３に示すように、インクジェット記録装置１０は、入力される信号に基づいて、ヘッドモジュール５０からインクを吐出させる吐出動作と、該吐出動作よりも高い圧力でヘッドモジュール５０からインクを吐出させる回復動作と、切り替える制御を行う制御部２００を有している。

制御部２００は、マイクロコンピュータ２０２と、マイクロコンピュータ２０２に接続されたヘッドモジュール制御部２０４、圧力制御部２０６、ドレイン制御部２０８、ポンプ制御部２１２、及び温度制御部２１４と、を含んで構成されている。マイクロコンピュータ２０２は、ＣＰＵ２１６、ＲＡＭ２１８、ＲＯＭ２２２、Ｉ／Ｏ部２２４、及びこれらを接続するデータバスやコントロールバス等のバス２２６を有している。

Ｉ／Ｏ部２２４には、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）２２８が接続されている。また、Ｉ／Ｏ部２２４には、供給側圧力センサ８８、回収側圧力センサ９２が接続されている。さらに、Ｉ／Ｏ部２２４には、ヘッドモジュール５０のノズル２４（図２参照）からインクを吐出して画像形成する際の画像データが外部から入力されるようになっている。なお、画像データは、インク吐出位置や吐出量が定められたデータであってもよいし、ＪＰＥＧなどの圧縮されたデータであってもよい。そして、ＣＰＵ２１６では、ＲＯＭ２２２に記憶されたインク循環系プログラムが読み出されて実行されるようになっている。

インク循環系プログラムは、一例として、バッファタンク１３２内のインクを供給側マニホールド５８から回収側マニホールド６４へ流動させると共に循環させる循環制御プログラムと、画像データに応じてインク滴をノズル２４から吐出させる制御プログラムと、ヘッドモジュール５０内に発生する気泡を排出する（パージする）ためのパージ制御プログラムとがある。なお、インク循環系プログラムは、ＲＯＭ２２２に限らず、ＨＤＤ２２８或いは外部記憶媒体（図示省略）に記憶しておき、当該外部記憶媒体を装填することで情報を読み取るリーダーやＬＡＮなどのネットワーク（図示省略）から取得するようにしてもよい。

ＣＰＵ２１６は、読み出したインク循環制御プログラムに基づいて、Ｉ／Ｏ部２２４に接続されたヘッドモジュール制御部２０４、圧力制御部２０６、ドレイン制御部２０８、ポンプ制御部２１２、及び温度制御部２１４の動作を制御する。ヘッドモジュール制御部２０４には、ヘッドモジュール５０に内蔵されたノズル吐出デバイス５１（例えば、圧電素子などへの通電制御による圧力室の振動でインク滴をノズルから吐出する動作をするデバイス）、供給側バルブ６８、回収側バルブ７２、第１バルブ８４、及び第２バルブ８６が接続されている。

圧力制御部２０６には、供給側エアバルブ９７、回収側エアバルブ１７４が接続されており、ドレイン制御部２０８には、供給側ドレインバルブ１５４、回収側ドレインバルブ１８４が接続されている。また、ポンプ制御部２１２には、供給側ポンプ１３８、回収側ポンプ１７８、及び補充ポンプ１９６が接続されている。さらに、温度制御部２１４には、インク温度調整器１４４が接続されている。

次に、ダンパー１００について説明する。

供給側分岐路６２に設けられているダンパー１００と回収側分岐路６６に設けられているダンパー１００は同じ構成となっているため、ここでは供給側分岐路６２に設けられているダンパー１００について説明し、回収側分岐路６６に設けられているダンパー１００の説明を省略する。

図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ダンパー１００は、平面視で楕円形状に形成された筒体である側壁で構成される本体部１０２と、本体部１０２の両側の開口部を塞ぐ壁部の一例としての上カバー１０４及び下カバー１０６とを有している。

本体部１０２は、楕円の長軸方向の一端から外側へ突出した円筒状の接続部１０８が形成されており、楕円の長軸方向の他端から外側へ突出した円筒状の接続部１１２が形成されている。そして、接続部１０８及び接続部１１２の内側は、本体部１０２の内部と繋がっている。また、接続部１０８は、供給側分岐路６２のヘッドモジュール５０（図４参照）側に接続されるようになっており、接続部１１２は、供給側分岐路６２の供給側バルブ６８側に接続されるようになっている。

図６（Ａ）に示すように、上カバー１０４は、本体部１０２の上側開口縁１０２Ａ上に立設された側壁１０４Ａと、側壁１０４Ａの上端から水平方向で且つ本体部１０２の内側へ向けて広がる天壁１０４Ｂとで構成されている。側壁１０４Ａの内周面には、本体部１０２の内周面よりも内側へ突出されて環状の支持部１０５Ａが形成されており、支持部１０５Ａの下端には、平面視で楕円形状の弾性膜１１４Ａの外周縁が超音波溶着により取り付けられている。

また、平面視で天壁１０４Ｂの中央には、貫通された孔部の一例としての孔壁部１０７Ａが形成されており、孔壁部１０７Ａの上端の周縁には、弾性膜１１４Ａ側に凹んだ段差部１０９Ａが形成されている。段差部１０９Ａには、孔壁部１０７Ａを塞ぐと共に空気（気体）を通過してインク（液体）を通過させない気液分離膜１１６Ａが、熱溶着により取り付けられている。この孔壁部１０７Ａと気液分離膜１１６Ａとで、抵抗手段の一例としての抵抗部１２０Ａが形成されている。気液分離膜１１６Ａは、一例として、ＪＩＳ Ｐ ８１１７のガーレー試験法による通気度（ガーレー数）が５ｓｅｃから７ｓｅｃとなる材料で形成されている。

ここで、弾性膜１１４Ａは、供給側分岐路６２の壁を形成しており、本体部１０２の内側（供給側分岐路６２の内側に相当）のインクＬが外側へ流出するのを防いでいる。また、上カバー１０４は、本体部１０２の外側に設けられ弾性膜１１４Ａとの間に気体室の一例としての空気室１１８Ａを形成している。即ち、弾性膜１１４Ａと気液分離膜１１６Ａとの間に空気室１１８Ａが設けられている。

同様にして、下カバー１０６は、本体部１０２の下側開口縁１０２Ｂ下に設けられた側壁１０６Ａと、側壁１０６Ａの下端から水平方向で且つ本体部１０２の内側へ向けて広がる底壁１０６Ｂとで構成されている。側壁１０６Ａの内周面には、本体部１０２の内周面よりも内側へ突出されて支持部１０５Ｂが形成されており、支持部１０５Ｂの上端には、平面視で楕円形状の弾性膜１１４Ｂの外周縁が接着により取り付けられている。

また、平面視で底壁１０６Ｂの中央には、貫通された孔部の一例としての孔壁部１０７Ｂが形成されており、孔壁部１０７Ｂの下端の周縁には、弾性膜１１４Ｂ側に凹んだ段差部１０９Ｂが形成されている。段差部１０９Ｂには、孔壁部１０７Ｂを塞ぐと共に空気（気体）を通過してインク（液体）を通過させない気液分離膜１１６Ｂが貼り付けられている。この孔壁部１０７Ｂと気液分離膜１１６Ｂとで、抵抗手段の一例としての抵抗部１２０Ｂが形成されている。

ここで、弾性膜１１４Ｂは、供給側分岐路６２の壁を形成しており、本体部１０２の内側（供給側分岐路６２の内側に相当）のインクＬが外側へ流出するのを防いでいる。また、下カバー１０６は、本体部１０２の外側に設けられ弾性膜１１４Ｂとの間に気体室の一例としての空気室１１８Ｂを形成している。即ち、弾性膜１１４Ｂと気液分離膜１１６Ｂとの間に空気室１１８Ｂが設けられている。

なお、ダンパー１００において、上カバー１０４と下カバー１０６、弾性膜１１４Ａと弾性膜１１４Ｂ、気液分離膜１１６Ａと気液分離膜１１６Ｂは、それぞれ同じ材質、形状、寸法となっており、孔壁部１０７Ａと孔壁部１０７Ｂの内径は同じとなっている。即ち、ダンパー１００は、インクＬの流路を挟んで上下が対称な構造となっている。また、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂは、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂに比べて変形量が少ない膜となっている。

（作用）
次に、第１実施形態の作用について説明する。

図２に示すインクジェットヘッド２０において、供給側バルブ６８の開放動作又はヘッドモジュール５０による印字動作時に起こる急激なインク消費によって、供給側分岐路６２中のインクに作用する圧力が変動したものとする。このとき、図６（Ｂ）に示すように、矢印Ａ方向に流れるインクＬに作用する圧力は負圧となり、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが内側（矢印Ｂ方向）へ変形してインクＬの流路（供給側分岐路６２内）の容積が減少することで圧力変動が低減（吸収）される。また、図示を省略するが、正圧の場合は、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが外側（矢印Ｂ方向とは反対側）へ膨張してインクＬの流路（供給側分岐路６２内）の容積が拡大することで圧力変動が低減（吸収）される。

印字品質回復のため高い圧力を加えてヘッドモジュール５０のノズルからインクを排出させる回復動作を行なう場合、比較例のダンパー（図示は省略する）として、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂが無い構成では、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが変形しすぎると、供給側分岐路６２内のインクＬに作用する圧力が低下しすぎてしまい、インクＬにおける供給側分岐路６２の下流側への圧力伝達が不十分となってしまう。

一方、本実施形態のダンパー１００では、例えば、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが膨張しようとしたとき、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂによる、矢印Ｃ方向とは逆方向（ダンパー１００の外側方向）への通気を制限する作用（抵抗）により空気室１１８Ａ、１１８Ｂの圧力が高くなり、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの動きが抑制される。これにより、供給側分岐路６２内のインクＬに作用する下流側への伝達圧力の低下が抑制される。

さらに、本実施形態のダンパー１００では、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの膨張時に、空気室１１８Ａ、１１８Ｂ内の空気が気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂを通ってダンパー１００の外側へ流出するため、空気室１１８Ａ、１１８Ｂ内の過度の圧力上昇は低減される。これにより、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの膨張を過度に抑制することがなくなる。なお、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが内側へ凹む場合については説明を省略する。また、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが破損するようなことがあっても、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂがあるため、ダンパー１００の外側にインクＬが流出することがなくなる。

次に、ダンパー１００の有無による作用の違いについて、比較例を用いて説明する。

なお、以後の説明において、流路内のインクＬに作用する圧力変動の測定結果のグラフは、比較例、本実施形態共に、図４に示すように、供給側分岐路６２におけるヘッドモジュール５０とダンパー１００との間に圧力センサ１１１を設けて測定した結果を相対的に図示したものである。

図７に、バルブ開閉により発生した不必要な圧力について、本実施形態のダンパー１００を設けない場合と設けた場合の比較を示す。図７（Ａ）には、供給側分岐路６２及び回収側分岐路６６（図２参照）にダンパー１００を設けていない構成における時間に対する圧力の変化が示されており、図７（Ｂ）には、本実施形態の供給側分岐路６２にダンパー１００を設けた構成における時間に対する圧力の変化が示されている。なお、図７（Ａ）、（Ｂ）共に、回収側バルブ７２を閉じた状態で、時間ｔ２からｔ３までの間に供給側バルブ６８を開放し、時間ｔ５からｔ６までの間に供給側バルブ６８を閉止している。このため、時間ｔ２からｔ３までの間では供給側バルブ６８の開放で負圧状態となり、圧力の符号は負となる。また、時間ｔ５からｔ６までの間では、供給側バルブ６８の閉止により圧縮状態となり、圧力の符号は正となる。この様にバルブの開閉によりインク供給及び回収路内に短時間の圧変動が発生し、印字品質低下の原因となることがある。

図７（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ダンパー１００の無い比較例における時間ｔ２からｔ３までの間の圧力の最大値を−Ｐ１、時間ｔ５からｔ６までの間の圧力の最大値を＋Ｐ２、本実施形態における時間ｔ２からｔ３までの間の圧力の最大値を−Ｐ３、時間ｔ５からｔ６までの間の圧力の最大値を＋Ｐ４とすると、Ｐ１＞Ｐ３、Ｐ２＞Ｐ４であり、本実施形態のダンパー１００を用いたことによる圧力の低減作用が確認された。

次に、孔壁部１０７Ａ、１０７Ｂ及び気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂの有無によるダンパー作用の違いについて、比較例を用いて説明する。

図８（Ａ）には、比較例として、孔壁部１０７Ａ、１０７Ｂ及び気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂ（図６（Ａ）参照）を設けずに空気室１１８Ａ、１１８Ｂを密閉している構成における時間に対する圧力の変化が示されており、図８（Ｂ）には、本実施形態のダンパー１００における時間に対する圧力の変化が示されている。なお、図８（Ａ）、（Ｂ）共に、供給側バルブ６８（図２参照）を閉じた状態で、時間ｔ２からｔ３までの間に回収側バルブ７２（図２参照）を開放し、時間ｔ５からｔ６までの間に回収側バルブ７２を閉止している。

図８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、空気室１１８Ａ、１１８Ｂを密閉した比較例における時間ｔ２からｔ３までの間の圧力の最大値を−Ｐ５、時間ｔ５からｔ６までの間の圧力の最大値を＋Ｐ６とすると、Ｐ５＞Ｐ３、Ｐ６＞Ｐ４であり、本実施形態のダンパー１００を用いたことによる圧力の低減作用が確認された。この結果から、空気室１１８Ａ、１１８Ｂを密閉した構成では、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの変形が不十分となり、ダンパー作用が生じにくいことが分かる。また、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂを用いて通気を行う構成では、空気室１１８Ａ、１１８Ｂ内の過度の圧力上昇が低減され弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの変形性能が確保されるため、よりダンパー作用が得られる。

次に、インクＬに強制的に圧力を作用させてノズル２４（図２参照）からインクを排出させ、ノズル２４の詰まりを回復する回復動作を行う場合について、ダンパー１００における気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂの有無によるダンパー作用の違いを比較例を用いて説明する。なお、回復動作は、図２において、回収側バルブ７２を閉止し供給側バルブ６８を開放した状態で、供給側ポンプ１３８を作動させることで行っている。回復動作後は、供給側バルブ６８を閉止する。

図９（Ａ）には、本実施形態のダンパー１００における回復動作時の時間に対する圧力の変化が示されている。また、図９（Ｂ）には、比較例として、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂ（図６（Ａ）参照）を設けず、孔壁部１０７Ａ、１０７Ｂによって空気室１１８Ａ、１１８Ｂが開放されている構成における回復動作時の時間に対する圧力の変化が示されている。なお、図９（Ａ）、（Ｂ）共に、回収側バルブを閉止した状態で供給側を加圧して時間ｔ２からｔ３までの間に供給側バルブ７２（図２参照）を開放し、時間ｔ５からｔ６までの間に供給側バルブ７２を閉止している。なお、時間ｔ２からｔ３は加圧による圧力変動値、時間ｔ５からｔ６は供給側バルブ６８の閉止による圧力変動値である。

図９（Ａ）、（Ｂ）に示すように、本実施形態における時間ｔ２からｔ３までの間の圧力の最大値を＋Ｐ７、空気室１１８Ａ、１１８Ｂを開放した比較例における時間ｔ２からｔ３までの間の圧力の最大値を＋Ｐ９とすると、Ｐ９＜Ｐ７となっている。なお、供給側バルブ７２を閉止したときの本実施形態の圧力の最大値Ｐ８と、比較例の圧力の最大値Ｐ１０の説明は省略する。

この結果から、空気室１１８Ａ、１１８Ｂを開放した構成では、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの過大な変形を抑制することができず、供給側分岐路６２内のインクＬに作用する下流側への回復動作圧力（伝達圧力）が低下してしまうことが分かる。一方、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂを用いて通気による抵抗を弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂに作用させる構成では、空気室１１８Ａ、１１８Ｂ内の圧力が上がって弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの過大な変形が抑制されるため、供給側分岐路６２内のインクＬに作用する下流側への伝達圧力の低下が抑制される。

図１０（Ａ）、（Ｂ）には、図９（Ａ）、（Ｂ）の時間ｔ２からｔ３までの拡大図が示されている。なお、図１０（Ａ）、（Ｂ）では、時間ｔ２からｔ３までを時間ｔＡ、ｔＢ、ｔＣ、ｔＤ、ｔＥで区切って図示している。ここで、図１０（Ａ）、（Ｂ）における圧力が増加し始めてから減少し終わるまでの経過時間について、本実施形態をΔｔ１、比較例をΔｔ２とすると、Δｔ１＞Δｔ２となっている。つまり、本実施形態のダンパー１００では、比較例よりも長い時間加圧されており、本実施形態のダンパー１００の方が比較例に比べて、回復動作のための下流側への伝達圧力の低下が抑制されることが分かる。なお、本実施形態のダンパー１００で吸収する圧力変動は、バルブ開閉及び印字動作時に起こる急激なインク消費などによって起こる数百ｍｓｅｃの変動であり、伝達圧力の低下を抑制したいのは、印字品質回復のために数秒単位で与えられる圧力である。

図１１（Ａ）、（Ｂ）には、ダンパー１００に用いる気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂ（図６（Ａ）参照）の通気度（ＪＩＳ Ｐ８１１７に規定されたガーレー試験機法より得られるガーレー数）が小さい場合のグラフをＧＢ、大きい場合のグラフをＧＡとして、時間に対する圧力変化（図４の圧力センサ１１１で測定）のグラフが示されている。ここで、図１１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、グラフＧＡにおける圧力の最大値を−ＰＡ、＋ＰＣ、グラフＧＢにおける圧力の最大値を−ＰＢ、＋ＰＤとすると、ＰＡ＞ＰＢ、ＰＣ＞ＰＤとなっている。即ち、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂの通気度が大きい方が、下流側への伝達圧力が低下することが分かる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置の一例について説明する。

第２実施形態の緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置は、前述した第１実施形態のインクジェットヘッド２０、インクジェット記録装置１０と機械的には同様の構成とされており、ダンパーの構成が異なっている。このため、第２実施形態においてもインクジェットヘッド２０、インクジェット記録装置１０として記載し、前述した第１実施形態のインクジェットヘッド２０、インクジェット記録装置１０と基本的に同一の部材には、前記第１実施形態と同一の符号を付与してその説明を省略する。

図１２には、第２実施形態のダンパー２４０が示されている。ダンパー２４０は、ダンパー１００の上カバー１０４、下カバー１０６（図６（Ａ）参照）に換えて、上カバー２４２、下カバー２４４が設けられた構成となっている。上カバー２４２は、本体部１０２の上側開口縁１０２Ａ上に立設された側壁２４２Ａと、側壁２４２Ａの上端から水平方向で且つ本体部１０２の内側へ向けて広がる天壁２４２Ｂとで構成されている。

側壁２４２Ａの内周面には、本体部１０２の内周面よりも内側へ突出されて支持部２４２Ｃが形成されており、支持部２４２Ｃの下端には、弾性膜１１４Ａの外周縁が接着により取り付けられている。そして、上カバー２４２は、本体部１０２の外側に設けられ弾性膜１１４Ａとの間に気体室の一例としての空気室２４８Ａを形成している。また、平面視で天壁２４２Ｂの中央には、貫通された抵抗手段の一例としての複数の孔部２４６Ａが形成されている。なお、孔部２４６Ａは、空気室２４８Ａ内が加圧されたときに空気室２４８Ａ内の空気が外側へ流出する程度の細い貫通孔であるが、図１２では孔径を大きくして表示している。

同様に、下カバー２４４は、本体部１０２の下側開口縁１０２Ｂ下に立設された側壁２４４Ａと、側壁２４４Ａの下端から水平方向で且つ本体部１０２の内側へ向けて広がる底壁２４４Ｂとで構成されている。側壁２４４Ａの内周面には、本体部１０２の内周面よりも内側へ突出されて支持部２４４Ｃが形成されており、支持部２４４Ｃの上端には、弾性膜１１４Ｂの外周縁が接着により取り付けられている。

そして、下カバー２４４は、本体部１０２の外側に設けられ弾性膜１１４Ｂとの間に気体室の一例としての空気室２４８Ｂを形成している。また、平面視で底壁２４４Ｂの中央には、貫通された抵抗手段の一例としての複数の孔部２４６Ｂが形成されている。なお、孔部２４６Ｂは、空気室２４８Ｂ内が加圧されたときに空気室２４８Ｂ内の空気が外側へ流出する程度の細い貫通孔であるが、図１２では孔径を大きくして表示している。

（作用）
次に、第２実施形態の作用について説明する。

図２に示すインクジェットヘッド２０において、図１２に示すダンパー２４０では、バルブ閉止動作時に起こるような正圧の場合は、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが外側（空気室側）へ膨張してインクＬの流路（供給側分岐路６２内）の容積が拡大することで圧力変動が低減（吸収）される。また、供給側バルブ６８の開放動作又はヘッドモジュール５０による印字動作時に起こる急激なインク消費によって、供給側分岐路６２中のインクに作用する圧力が変動したものとする。このとき、インクＬに作用する圧力は、負圧となり弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが内側（インク側）へ変形してインクＬの流路（供給側分岐路６２内）の容積が減少することで圧力変動が低減（吸収）される。さらに、印字品質回復のため高い圧力を加えてヘッドモジュール５０のノズルからインクを排出させる回復動作を行なう場合、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂが膨張しようとしたとき、孔部２４６Ａ、２４６Ｂから矢印Ｃ方向に通気する際の抵抗により空気室２４８Ａ、２４８Ｂの圧力が高くなり、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの動きが抑制される。これにより、供給側分岐路６２内のインクＬに作用する下流側への伝達圧力の低下が抑制される。

さらに、ダンパー２４０では、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの膨張時に、空気室２４８Ａ、２４８Ｂ内の空気が孔部２４６Ａ、２４６Ｂを通ってダンパー２４０の外側へ流出するため、空気室２４８Ａ、２４８Ｂ内の圧力は低減される。これにより、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの膨張を過度に抑制することがなくなる。また、各バルブ開放動作時又は印字時では弾性膜１１４Ａが内側へ変形してインクＬの流路の容積が減少することで圧力変動が低減（吸収）される。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置の一例について説明する。

第３実施形態の緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置は、前述した第１実施形態のインクジェットヘッド２０、インクジェット記録装置１０と機械的には同様の構成とされており、ダンパーの構成が異なっている。このため、第３実施形態においてもインクジェットヘッド２０、インクジェット記録装置１０として記載し、前述した第１実施形態のインクジェットヘッド２０、インクジェット記録装置１０と基本的に同一の部材には、前記第１実施形態と同一の符号を付与してその説明を省略する。

図１３（Ａ）、（Ｂ）には、第３実施形態のダンパー２５０が示されている。ダンパー２５０は、第１実施形態のヘッドモジュール５０とダンパー１００（図４参照）が一体となった構成となっており、内側にインクＬの流路２５４が形成された箱状の本体部２５２と、本体部２５２の上面に設けられ流路２５４の上流端と内部が繋がった接続部２５６と、本体部２５２の上面に設けられ流路２５４の下流端と内部が繋がった接続部２５８とを有している。接続部２５６は、供給側分岐路６２に接続され、接続部２５８は、回収側分岐路６６に接続される。

本体部２５２は、内側で鉛直方向に広がる仕切壁２６２によって仕切られることで、流路２５４がＵ字状に形成されており、流路２５４の底壁となる部位には、複数のノズルおよび液滴吐出のための複数の圧電素子が設けられたヘッドチップ部２６４が設けられている。また、本体部２５２は、接続部２５６側の流路２５４を形成すると共に仕切壁２６２と対向する側壁２６６を有しており、側壁２６６には、流路２５４に向けて開口する凹部２６６Ａが形成されている。

さらに、凹部２６６Ａの中央には、流路２５４側から本体部２５２の外側へ貫通した貫通孔２６８が形成されている。そして、凹部２６６Ａの開口周縁に弾性膜１１４Ａが接着されており、貫通孔２６８の開口周縁で側壁２６６の外側に気液分離膜１１６Ａが接着されている。これにより凹部２６６Ａ内が弾性膜１１４Ａ及び気液分離膜１１６Ａで密閉され、気体室の一例としての空気室２７２が形成されている。

（作用）
次に、第３実施形態の作用について説明する。

図１３（Ｂ）に示すダンパー２５０では、バルブ閉止動作時に起こるような正圧の場合は、弾性膜１１４Ａが外側（空気室側）へ膨張して流路２５４内のインクＬの容積が拡大することで圧力変動が低減（吸収）される。また、供給側バルブ６８の開放動作又は印字動作時に起こる急激なインク消費によって、インクに作用する圧力が変動したものとする。このとき、インクＬに作用する圧力は、負圧となり弾性膜１１４Ａが内側（インク側）へ変形して流路２５４内インクＬの容積が減少することで圧力変動が低減（吸収）される。さらに、印字品質回復のため高い圧力を加えてヘッドモジュール５０のノズルからインクを排出させる回復動作を行なう場合、弾性膜１１４Ａが膨張しようとしたとき、気液分離膜１１６Ａの通気抵抗により空気室２７２の圧力が高くなり、弾性膜１１４Ａの動きが抑制される。これにより、供給側分岐路６２内のインクＬに作用するノズルへの伝達圧力の低下が抑制される。

さらに、ダンパー２５０では、弾性膜１１４Ａの膨張時に、空気室２７２内の空気が気液分離膜１１６Ａを通ってダンパー２５０の外側へ流出するため、空気室２７２内の圧力上昇は低減される。これにより、弾性膜１１４Ａの膨張を過度に抑制することがなくなる。また、各バルブ開放動作時又は印字時では弾性膜１１４Ａが内側へ変形してインクＬの流路の容積が減少することで圧力変動が低減（吸収）される。また、弾性膜１１４Ａが破損するようなことがあっても、気液分離膜１１６Ａがあるため、ダンパー２５０の外側にインクＬが流出することがなくなる。

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係る緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置の一例について説明する。

第４実施形態の緩衝装置、液体供給装置、及び液滴吐出装置は、前述した第１実施形態のインクジェットヘッド２０、インクジェット記録装置１０と機械的には同様の構成とされており、ダンパーの構成が異なっている。このため、第４実施形態においてもインクジェットヘッド２０、インクジェット記録装置１０として記載し、前述した第１実施形態のインクジェットヘッド２０、インクジェット記録装置１０と基本的に同一の部材には、前記第１実施形態と同一の符号を付与してその説明を省略する。

図１４（Ａ）、（Ｂ）には、第４実施形態のダンパー２８０が示されている。ダンパー２８０は、第１実施形態のダンパー１００と供給側バルブ６８（図４参照）が一体となった構成となっており、内側にインクＬが流れる流路２８２と、流路２８２に設けられソレノイド（図示省略）が作動することで流路２８２の開放又は閉止が行われる開閉部２８４とを有している。流路２８２は供給側分岐路６２の一部を構成している。

また、流路２８２は、開閉部２８４が設けられた部位においてクランク状に折れ曲がった仕切壁２８６によって仕切られることで、開閉部２８４の上流側と下流側に分けられている。そして、流路２８２における開閉部２８４よりも下流側の底壁には、流路２８２に向けて開口する凹部２８８が形成されている。凹部２８８の中央には、流路２８２内から外側へ向けて貫通した貫通孔２９２が形成されている。そして、凹部２８８の開口周縁（流路２８２の内側）には、弾性膜１１４Ａが接着されており、貫通孔２９２の開口周縁（流路２８２の外側）には、気液分離膜１１６Ａが接着されている。これにより、凹部２８８内が弾性膜１１４Ａ及び気液分離膜１１６Ａで密閉され、気体室の一例としての空気室２９４が形成されている。

（作用）
次に、第４実施形態の作用について説明する。

図１４（Ｂ）に示すダンパー２８０では、バルブ閉止動作時に起こるような正圧の場合は、弾性膜１１４Ａが外側（空気室側）へ膨張して流路２８２内のインクＬの容積が拡大することで圧力変動が低減（吸収）される。また、バルブ開放動作又はヘッドモジュール５０による印字動作時に起こる急激なインク消費によって、インクに作用する圧力が変動したものとする。このとき、インクＬに作用する圧力は、負圧となり弾性膜１１４Ａが内側（インク側）へ変形して流路２８２内のインクＬの容積が減少することで圧力変動が低減（吸収）される。さらに、印字品質回復のため高い圧力を加えてヘッドモジュール５０のノズルからインクを排出させる回復動作を行なう場合、弾性膜１１４Ａが膨張しようとしたとき、大気連通穴２９２に貼り付けられた気液分離膜１１６Ａにおける通気抵抗により、空気室２９４の圧力が高くなり、弾性膜１１４Ａの動きが抑制される。これにより、流路２８２内のインクＬに作用する下流側への伝達圧力の低下が抑制される。

さらに、ダンパー２８０では、弾性膜１１４Ａの膨張時に、空気室２９４内の空気が気液分離膜１１６Ａを通ってダンパー２８０の外側へ流出するため、空気室２９４内の圧力上昇は低減される。これにより、弾性膜１１４Ａの膨張を過度に抑制することがなくなる。また、各バルブ開放動作時又は印字時では弾性膜１１４Ａが内側へ変形してインクＬの流路の容積が減少することで圧力変動が低減（吸収）される。さらに、弾性膜１１４Ａが破損するようなことがあっても、気液分離膜１１６Ａがあるため、ダンパー２８０の外側にインクＬが流出することがなくなる。

なお、本発明は上記の実施形態に限定されない。

液滴吐出装置としては、インクジェット記録装置に限定されるものではない。液滴吐出装置としては、例えば、フィルムやガラス上にインク等を吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置、有機ＥＬ溶液を基板上に吐出してＥＬディスプレイパネルを形成する装置、溶解状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成する装置、金属を含む液体を吐出して配線パターンを形成する装置及び液滴を吐出して膜を形成する各種の成膜装置であってもよく、液滴を吐出するものであればよい。

また、ダンパー１００では、上下対称に弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂ、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂが設けられていたが、これに限らず、上下いずれか一方に設けられていてもよい。さらに、弾性膜１１４Ａ、１１４Ｂの数は、例えば、厚さ方向に複数枚設けていてもよく、形状は楕円形の他に円形や多角形状であってもよい。そして、気液分離膜１１６Ａ、１１６Ｂの形状は、楕円形の他に円形や多角形状であってもよい。

１０ インクジェット記録装置（液滴吐出装置の一例）
２０Ｙ インクジェットヘッド（液体供給装置の一例）
２０Ｍ インクジェットヘッド（液体供給装置の一例）
２０Ｃ インクジェットヘッド（液体供給装置の一例）
２０Ｋ インクジェットヘッド（液体供給装置の一例）
２４ ノズル（吐出口の一例）
３０ 供給路
５０ ヘッドモジュール（液滴吐出部の一例）
５６ メインタンク（貯留部の一例）
６６ 回収側分岐路（液体回収路の一例）
６８ 供給側バルブ（流路開閉手段の一例）
１００ ダンパー（緩衝装置の一例）
１０４ 上カバー（壁部の一例）
１０６ 下カバー（壁部の一例）
１０７Ａ 孔壁部（孔部の一例）
１０７Ｂ 孔壁部（孔部の一例）
１１４Ａ 弾性膜
１１４Ｂ 弾性膜
１１６Ａ 気液分離膜
１１６Ｂ 気液分離膜
１１８Ａ 空気室（気体室の一例）
１１８Ｂ 空気室（気体室の一例）
１２０Ｂ 抵抗部（抵抗手段の一例）
２４０ ダンパー（緩衝装置の一例）
２４６Ａ 孔部（抵抗手段の一例）
２４６Ｂ 孔部（抵抗手段の一例）
２４８Ａ 空気室（気体室の一例）
２４８Ｂ 空気室（気体室の一例）
２５０ ダンパー（緩衝装置の一例）
２７２ 空気室（気体室の一例）
２８０ ダンパー（緩衝装置の一例）
２９４ 空気室（気体室の一例）

Claims (6)

1. 液体が貯留される貯留部と液体を液滴として吐出する液滴吐出部との間の供給路の一部の壁となる弾性膜と、
   前記供給路の外側に設けられ前記弾性膜との間に気体室を形成する壁部と、
   前記壁部に設けられ通気が行われると共に前記弾性膜の変動に対する抵抗力を生じる抵抗手段と、
   を有する緩衝装置。
2. 前記抵抗手段は、前記壁部に形成された孔部と、該孔部を塞ぐと共に気体を通過して液体を通過させない気液分離膜と、を有する請求項１に記載の緩衝装置。
3. 液体が貯留される貯留部と液体を液滴として吐出する液滴吐出部との間の供給路と、
   前記供給路に設けられた請求項１又は２に記載の緩衝装置と、
   を有する液体供給装置。
4. さらに前記供給路に設けられた流路開閉手段を有し、
   前記緩衝装置は、前記供給路における前記流路開閉手段と前記液滴吐出部の間に設けられている請求項３に記載の液体供給装置。
5. 請求項３又は４に記載の液体供給装置と、
   前記供給路で前記緩衝装置よりも下流側に設けられ液体を液滴として吐出する吐出口を備えた液滴吐出部と、
   を有し、
   入力される信号に基づく前記液滴吐出部からの液滴の吐出動作と、前記供給路内の加圧により該吐出動作よりも高い圧力で液体を前記吐出口から排出させる排出動作とを行う液滴吐出装置。
6. さらに、前記液滴吐出部に供給した液体を前記貯留部へ回収する液体回収路を有し、当該液体回収路に請求項１又は２に記載の緩衝装置が設けられている請求項５に記載の液滴吐出装置。

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