JP2012114390A5 - - Google Patents

Description

本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１） 発光部と該発光部から発生された光に指向性をもたせて射出する反射光学系をそれぞれ含む複数の光源部と、
複数の前記光源部をそれぞれ取り付け可能な略矩形状のカセットと、
複数の前記カセットを取り付け可能な支持体と、
前記支持体の前面側に、前記光源部の前面よりも前方に突出して配置され、前記支持体に加わる衝撃力を吸収して前記光源部に作用する前記衝撃力を緩和する複数の支持体用緩衝部材と、
を備えることを特徴とする露光装置用光照射装置。
（２） 前記支持体用緩衝部材は、先端部が平坦面であることを特徴とする上記（１）に記載の露光装置用光照射装置。
（３） 前記カセットは、石英ガラスから形成され、前記光源部からの光を透過する複数のカバーガラスを備えることを特徴とする上記（１）または（２）に記載の露光装置用光照射装置。
（４） 前記カバーガラスには、前記光源部を冷却するための空気流通孔が設けられていることを特徴とする上記（３）に記載の露光装置用光照射装置。

Claims (4)

1. 発光部と該発光部から発生された光に指向性をもたせて射出する反射光学系をそれぞれ含む複数の光源部と、
   複数の前記光源部をそれぞれ取り付け可能な略矩形状のカセットと、
   複数の前記カセットを取り付け可能な支持体と、
   前記支持体の前面側に、前記光源部の前面よりも前方に突出して配置され、前記支持体に加わる衝撃力を吸収して前記光源部に作用する前記衝撃力を緩和する複数の支持体用緩衝部材と、
   を備えることを特徴とする露光装置用光照射装置。
2. 前記支持体用緩衝部材は、先端部が平坦面であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置用光照射装置。
3. 前記カセットは、石英ガラスから形成され、前記光源部からの光を透過する複数のカバーガラスを備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置用光照射装置。
4. 前記カバーガラスには、前記光源部を冷却するための空気流通孔が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の露光装置用光照射装置。