JP2012114229A - 電気特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の区画素子を有する太陽電池の電気特性を測定する際に、複数の区画素子に同時に電流を流すことを可能とし、装置の簡素化及び小型化、低コスト化を可能とした電気特性測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の電気特性測定装置は、電気的に区画された帯状を成す複数の区画素子21を電気的に接続してなる太陽電池10について、前記区画素子の電気特性を測定するものであって、互いに並列して配された複数の前記区画素子のそれぞれに対して、該区画素子の表面に接して、前記区画素子の短辺方向に沿って2組以上並列して有する電極群(第一ユニット)38と、非接地とされ、前記電極のそれぞれに対して電圧を供給する電源40と、を備え、前記電極によって前記複数の区画素子に同時に電圧を印加させ、前記複数の区画素子のそれぞれの電気特性を測定すること、を特徴とする。
【選択図】図5
【解決手段】本発明の電気特性測定装置は、電気的に区画された帯状を成す複数の区画素子21を電気的に接続してなる太陽電池10について、前記区画素子の電気特性を測定するものであって、互いに並列して配された複数の前記区画素子のそれぞれに対して、該区画素子の表面に接して、前記区画素子の短辺方向に沿って2組以上並列して有する電極群(第一ユニット)38と、非接地とされ、前記電極のそれぞれに対して電圧を供給する電源40と、を備え、前記電極によって前記複数の区画素子に同時に電圧を印加させ、前記複数の区画素子のそれぞれの電気特性を測定すること、を特徴とする。
【選択図】図5
Description
本発明は、太陽電池の電気特性を測定する、電気特性測定装置に関する。
エネルギーの効率的な利用の観点から、近年、太陽電池はますます広く一般に利用されつつある。特に、シリコン単結晶を利用した太陽電池は単位面積当たりのエネルギー変換効率に優れている。しかし一方でシリコン単結晶を利用した太陽電池は、シリコン単結晶インゴットをスライスしたシリコンウエハを用いるため、インゴットの製造に大量のエネルギーが費やされ、製造コストが高い。特に屋外などに設置される大面積の太陽電池をシリコン単結晶を利用して実現しようとすると、相当にコストが掛かるのが現状である。そこで、より安価に製造可能なアモルファス(非晶質)シリコン薄膜を利用した太陽電池が、ローコストな太陽電池として普及している。
アモルファスシリコン太陽電池は、光を受けると電子とホールを発生するアモルファスシリコン膜(i型)を、p型およびn型のシリコン膜ではさんだpin接合と呼ばれる層構造の半導体膜を用いて、この半導体膜の両面にそれぞれ電極を形成したものである。太陽光によって発生した電子とホールは、p型半導体とn型半導体との電位差によって活発に移動し、これが連続的に繰り返されることで両面の電極に電位差が生じる。
こうしたアモルファスシリコン太陽電池の具体的な構成としては、例えば、受光面側となるガラス基板にTCOなどの透明電極を下部電極として成膜し、この上にアモルファスシリコンからなる半導体膜と、上部電極となるAg薄膜などを形成してなる。このような上下電極と半導体膜からなる光電変換体を備えたアモルファスシリコン太陽電池は、基板上に広い面積で均一に各層を成膜しただけでは電位差が小さく、抵抗値の問題もあるため、例えば、光電変換体を所定のサイズごとに電気的に区画した区画素子を形成し、互いに隣接する区画素子どうしを電気的に接続してなる。具体的には、基板上に広い面積で均一に形成した光電変換体に、レーザー光などでスクライブ線(スクライブライン)と称される溝を形成して多数の短冊状の区画素子とし、この区画素子どうしを電気的に直列に接続した構造とする。
ところで、こうした構造のアモルファスシリコン太陽電池は製造段階で幾つかの構造欠陥が生じることが知られている。例えば、アモルファスシリコン膜の成膜時にパーティクルが混入したりピンホールが生じることにより、上部電極と下部電極とが局所的に短絡することがある。また、基板上に光電変換体を形成した後に、スクライブ線によって多数の区画素子に分割する際に、このスクライブ線に沿って上部電極を成す金属膜が溶融して下部電極に達し、上部電極と下部電極とが局所的に短絡することもある。
このように、光電変換体が半導体膜を挟んで上部電極と下部電極との間で局所的に短絡するような構造欠陥が生じると、発電電圧の低下や光電変換効率が低下するといった不具合を引き起こす原因となる。このため、従来のアモルファスシリコン太陽電池の製造工程では、こうした短絡等の構造欠陥を検出し、構造欠陥が生じている箇所を除去することにより、不具合を修復している。
例えば、帯状の太陽電池セル(区画素子)に対して、長辺方向の全域に渡って断続的ないし連続的に接する印加部材(電極)を介して、互いに隣接する太陽電池セルのそれぞれにバイアス電圧を印加し、短絡部(欠陥)を除去する太陽電池の欠陥除去装置が提案されている。
このような、太陽電池の欠陥除去装置において、従来は接地された電源を用いて逆バイアス電圧を印加していた。そのため同時に複数のセルに逆バイアスを印加することができなかった。図11は、PIN接合をダイオードで表記した太陽電池に、接地された電源で逆バイアスを印加し、欠陥を修復(評価)するときの等価回路を示す図である。ここで欠陥はダイオードと並列に接続された抵抗Rとして表すことができる。
図11に示すように、逆バイアス電源Vから流れ出す電流Iは、セルDと欠陥Rに流れる電流の合計になる。等価回路的には逆バイアスを印加した理想的なセルには電流がほとんど流れないため、電流Iは欠陥Rに流れる電流とみなすことができる。大きな欠陥の抵抗値は小さく、小さな欠陥の抵抗は大きいため、電流Iは欠陥存在の評価、すなわちセルの評価の一つに用いることができる。
通常、一つの薄膜太陽電池モジュールは100以上のセルから構成されているため、1つずつセルの逆バイアス処理を行っていては時間がかかるので同時に複数のセルに逆バイアス処理を行うことを考える。図12に、セルD1〜D10が直列接続された太陽電池に複数(図11ではV1〜V4)の接地電源を用いて逆バイアス処理を行う場合の等価回路を示す。
図12に示すように、セルD7に逆バイアスを印加する電源V3の正極から流れ出た電流は欠陥Rを経由してV3の負極へ戻る電流I1とD8,D9を流れてV4の負極に流れ込み接地を経由してV3の負極に流れるI2(図12に点線で表示)が存在する。V3から流れ出る電流はI1とI2の合計になるためV3から流れ出る電流で欠陥Rの評価を行うことができなくなってしまう。
このような問題を解決するため、一つの装置内に複数の太陽電池を格納し各担当の領域に分けて処理を行う方法が用いられている(例えば、特許文献1参照。)。例えば装置内に2枚の太陽電池を格納し、前半分と後半分とで処理担当領域を分けて行う。2枚の太陽電池を同時に(1セルずつ)処理することにより、見かけ上の処理速度を2倍にすることができる。
しかしながら、この方法では、装置の大きさが格納される太陽電池の枚数に応じて大きくなり、搬送機構、位置決め機構の数も増え、それに合わせて制御装置も複雑になり装置が高価なものとなっていた。
本発明は、このような従来の実情に鑑みて考案されたものであり、複数の区画素子を有する太陽電池の電気特性を測定する際に、一枚の太陽電池が有する複数の区画素子に同時に電流を流すことを可能とし、装置の簡素化及び小型化、低コスト化を可能とした電気特性測定装置を提供することを目的とする。
本発明の請求項1に記載の電気特性測定装置は、少なくとも第一電極層、半導体層、第二電極層を有する光電変換体が基板の一面に形成され、該光電変換体は所定のサイズごとに電気的に区画された、帯状を成す複数の区画素子を成し、互いに隣接する前記区画素子どうしを電気的に接続してなる太陽電池について、前記区画素子の電気特性を測定する電気特性測定装置であって、互いに並列して配された複数の前記区画素子のそれぞれに対して、該区画素子の表面に接して、前記区画素子の短辺方向に沿って2組以上並列して有する電極群と、非接地とされ、前記電極のそれぞれに対して電圧を供給する電源と、を備え、前記電極によって前記複数の区画素子に同時に電圧を印加させ、前記複数の区画素子のそれぞれの電気特性を測定すること、を特徴とする。
本発明の請求項2に記載の電気特性測定装置は、請求項1において、前記電極群を少なくとも2つ以上形成し、それぞれの電極群を互いに前記区画素子の特定の規格分だけずらして配置したことを特徴とする。
本発明の請求項3に記載の電気特性測定装置は、請求項1または2において、前記電極を介してバイアス電圧を印加し、構造欠陥を除去する修復手段を更に備えたことを特徴とする。
本発明の請求項2に記載の電気特性測定装置は、請求項1において、前記電極群を少なくとも2つ以上形成し、それぞれの電極群を互いに前記区画素子の特定の規格分だけずらして配置したことを特徴とする。
本発明の請求項3に記載の電気特性測定装置は、請求項1または2において、前記電極を介してバイアス電圧を印加し、構造欠陥を除去する修復手段を更に備えたことを特徴とする。
本発明の電気特性測定装置では、互いに並列して配された前記複数の区画素子の表面に接する電極のそれぞれに対して電圧を供給する電源が非接地とされているので、該電源の正極から流れ出た電流は、欠陥を経由してのみ該電源に戻れるため、該電源から流れ出る電流を用いて電気特性の測定を行うことができる。これにより前記複数の区画素子のそれぞれの電気特性を測定する際に、前記電極によって前記複数の区画素子に同時に電圧を印加させることができる。これにより一枚の太陽電池が有する前記複数の区画素子に同時に電流を流すことを可能とし、従来のように複数の太陽電池を格納し各担当の領域に分けて処理する必要がなくなる。その結果、本発明では、搬送機構、制御装置を簡素化することができ、装置の簡素化及び小型化、低コスト化を可能とした電気特性測定装置を提供することができる。
以下、本発明に係る電気特性測定装置の一実施形態を図面に基づいて説明する。
本発明の電気特性測定装置は、少なくとも第一電極層、半導体層、第二電極層を有する光電変換体が基板の一面に形成され、該光電変換体は所定のサイズごとに電気的に区画された、帯状を成す複数の区画素子を成し、互いに隣接する前記区画素子どうしを電気的に接続してなる太陽電池について、前記区画素子の電気特性を測定するものである。
なお、以下の説明では、本発明の電気特性測定装置を用いて太陽電池の電気特性(ここでは抵抗値)を測定することにより欠陥を検出し、必要に応じて欠陥を修復する場合を例に挙げて説明するが、本発明の電気特性測定装置の使用目的はこの場合に限定されるものではない。
なお、以下の説明では、本発明の電気特性測定装置を用いて太陽電池の電気特性(ここでは抵抗値)を測定することにより欠陥を検出し、必要に応じて欠陥を修復する場合を例に挙げて説明するが、本発明の電気特性測定装置の使用目的はこの場合に限定されるものではない。
図1は、本発明の電気特性測定装置により電気特性が測定されるアモルファスシリコン型の太陽電池の一例を示す要部拡大斜視図である。また、図2は図1の太陽電池の層構成を示す断面図である。太陽電池10は、透明な絶縁性の基板11の一面11aに光電変換体12を形成してなる。基板11は、例えば、カラスや透明樹脂など、太陽光の透過性に優れ、かつ耐久性のある絶縁材料で形成されていればよい。こうした基板11の他面11b側から太陽光Sを入射させる。
光電変換体12は、基板11側から順に第一電極層(下部電極)13、半導体層14、第二電極層(上部電極)15を積層してなる。第一電極層(下部電極)13は、透明な導電材料、例えば、TCO、ITOなどの光透過性の金属酸化物から形成されていればよい。また、第二電極層(上部電極)15は、Ag,Cuなど導電性の金属膜によって形成されていればよい。
半導体層14は、例えば、図2の上部に示すように、p型アモルファスシリコン膜17とn型アモルファスシリコン膜18との間にi型アモルファスシリコン膜16を挟んだpin接合構造を成す。そして、この半導体層14に太陽光が入射すると電子とホールが生じて、p型アモルファスシリコン膜17とn型アモルファスシリコン膜18との電位差によって活発に移動し、これが連続的に繰り返されることで第一電極層13と第二電極層(上部電極)15との間に電位差が生じる(光電変換)。
光電変換体12は、スクライブ線(スクライブライン)19によって、例えば外形が短冊状の多数の区画素子21,21…に分割されている。この区画素子21,21…は互いに電気的に区画されるとともに、互いに隣接する区画素子21どうしの間で、例えば電気的に直列に接続される。これにより、光電変換体12は、区画素子21,21…を全て電気的に直列に繋いだ形態となり、高い電位差の電流を取り出すことができる。スクライブ線19は、例えば、基板11の一面に均一に光電変換体12を形成した後、レーザー光線などによって光電変換体12に所定の間隔で溝を形成することにより形成すれば良い。
なお、こうした光電変換体12をなす第二電極層(上部電極)15の上に、さらに絶縁性の樹脂などからなる保護層(図示せず)を形成するのが好ましい。
以上のような構成の太陽電池を製造するための製造方法を説明する。図3は太陽電池の製造方法を段階的に示したフローチャートである。このうち、特に、本発明の電気特性測定装置を用いて電気特性を測定することによる構造欠陥の検出から修復に至る工程について詳述する。
まず、図1に示すように、透明な基板11の一面11aに上に光電変換体12を形成する(光電変換体の形成工程:P1)。光電変換体12は、例えば、基板11側から順に第一電極層(下部電極)13、半導体層14、第二電極層(上部電極)15を積層したものであればよい。
まず、図1に示すように、透明な基板11の一面11aに上に光電変換体12を形成する(光電変換体の形成工程:P1)。光電変換体12は、例えば、基板11側から順に第一電極層(下部電極)13、半導体層14、第二電極層(上部電極)15を積層したものであればよい。
こうした光電変換体12の形成途上で、図4に示すように、半導体層14にコンタミネーションが混入する構造欠陥A1や、半導体層14に微細なピンホールが生じる構造欠陥A2などの不具合が発生する場合がある。こうした構造欠陥A1,A2は、第一電極層14と第二電極層15との間を局所的に短絡(リーク)させ、発電効率を低下させる。
次に、光電変換体12に向けて、例えばレーザー光線などを照射して、スクライブ線(スクライブライン)19を形成し、短冊状の多数の区画素子21,21…に分割する(区画素子の形成工程:P2)。
こうしたスクライブ線19の形成途上でも、図4に示すように、レーザー照射位置のズレなどによって第二電極層15をなす金属が溶融してスクライブ線19の溝内に流下する構造欠陥A3などの不具合が発生する場合がある。こうした構造欠陥A3は、第一電極層14と第二電極層15との間を局所的に短絡(リーク)させ、発電効率を低下させる。
以上のような工程を経て形成された太陽電池10は、次に、欠陥領域特定・修復工程(P3)を経てから、保護層などを形成(P5)して完成する。本発明の電気特性測定装置において、欠陥領域特定・修復工程(P3)は、複数の区画素子からなるセル(互いに隣接する2つの区画素子を繋いで構成されるものを1セルと呼ぶ)を同時に測定するものである。後述する図5には、「4セル」を同時に測定する構成例を示す。1つの太陽電池10を構成する全ての区画素子(全てのセル)の測定が完了するまで、繰り返し行われる。すなわち、全ての区画素子(全てのセル)の測定が完了していない場合には、未測定の複数の区画素子(nセル)がある位置へ電極を移動(P4)して、上記の欠陥領域特定・修復工程(P3)が行われる。
ここで、「欠陥領域特定」とは、それぞれの区画素子内で上述したA1〜A3に代表される構造欠陥が存在する領域を特定することを意味する。「修復」とは、この欠陥領域特定により検出された、欠陥が存在する領域を除去して修復を行うことを意味する。
以下では、本発明の電気特性測定装置を用いて、上述した欠陥領域特定・修復工程を行う具体例を述べる。
ここで、「欠陥領域特定」とは、それぞれの区画素子内で上述したA1〜A3に代表される構造欠陥が存在する領域を特定することを意味する。「修復」とは、この欠陥領域特定により検出された、欠陥が存在する領域を除去して修復を行うことを意味する。
以下では、本発明の電気特性測定装置を用いて、上述した欠陥領域特定・修復工程を行う具体例を述べる。
図5は、本発明の電気特性測定装置の一例を示す模式的な断面図である。
本発明の電気特性測定装置1は、互いに並列して配された複数の前記区画素子21のそれぞれに対して、該区画素子21の表面に接しつつ該区画素子21の短辺方向に沿って2組以上並列して有する電極群38を備える。
本発明の電気特性測定装置1は、互いに並列して配された複数の前記区画素子21のそれぞれに対して、該区画素子21の表面に接しつつ該区画素子21の短辺方向に沿って2組以上並列して有する電極群38を備える。
図5に示した電気特性測定装置1の構成例では、互いに隣接する2つの区画素子21,21の表面にそれぞれ接して、1組を成す電極31a,31b(31)を、区画素子21の短辺方向Yに沿って複数組(図5では4組)配列され、電極群38(第一ユニット)を構成している。
電極31a,31b(31)には、引出配線及び電流計を介して電源40(V1〜V4)から電圧が印加される。
そして、特に本発明の電気特性測定装置1は、前記電極31a,31bのそれぞれに対して電圧を供給する電源40が、非接地とされていることを特徴とする。ここで、本発明において、「非接地」とは、その他の電源と絶縁されており、アース(接地電位)を介しても電気的な接続が無いことを意味する。
従来の問題を解決するために、本発明では、電極31a,31b(31)のそれぞれに対して電圧を供給する電源40を非接地にした。図6に、セルD1〜D10が直列接続された太陽電池に複数(図6では4個)の非接地電源40(V1〜V4)を用いて逆バイアス処理を行う場合の等価回路を示す。ここで、セルD1〜D10は、上述した区画素子に相当する。
電源40を非接地にすることにより、D7に逆バイアスを印加する非接地電源V3の正極から流れ出た電流はD8,D9を経てV4の負極に流れ込んでV3の負極に戻ってくることができないため、V4方向へは流れることはできない。すなわち、V3から流れ出た電流は欠陥Rを経由してのみV3に戻れるため、V3から流れ出る電流Iを用いて欠陥Rの評価を行うことができる。
なお、電源40は、ここではDC(直流)電源を例として揚げているが、本発明はこれに限定されず、AC(交流)電源であってもよい。
電源40を非接地にすることにより、D7に逆バイアスを印加する非接地電源V3の正極から流れ出た電流はD8,D9を経てV4の負極に流れ込んでV3の負極に戻ってくることができないため、V4方向へは流れることはできない。すなわち、V3から流れ出た電流は欠陥Rを経由してのみV3に戻れるため、V3から流れ出る電流Iを用いて欠陥Rの評価を行うことができる。
なお、電源40は、ここではDC(直流)電源を例として揚げているが、本発明はこれに限定されず、AC(交流)電源であってもよい。
このように、本発明の電気特性測定装置1では、互いに並列して配された前記複数の区画素子の表面に接して、電極31a,31b(31)のそれぞれに対して電圧を供給する電源40(V1〜V4)が非接地とされているので、前記複数の区画素子21のそれぞれの電気特性を測定する際に、前記電極31a,31b(31)によって前記複数の区画素子21に同時に電圧を印加させることができる。これにより一枚の太陽電池10が有する前記複数の区画素子21に同時に電流を流すことを可能とし、従来のように複数の太陽電池を格納し各担当の領域に分けて処理する必要がなくなる。その結果、本発明の電気特性測定装置1は、複数の太陽電池を運ぶための搬送機構、複数の太陽電池の位置決め等を行う制御装置を簡素化することができ、装置の簡素化及び小型化、低コスト化を可能とすることができる。
本実施形態の電気特性測定装置1では、上述した電極31a,31b(31)を、区画素子21の短辺方向Yに沿って複数組配列した電極群38(第一ユニット)を形成する。この電極群(第一ユニット)38を、太陽電池10の区画素子21に接した状態として、区画素子21の構造欠陥を検出し、所望のレベルの構造欠陥が発見された時にはバイアス電圧を印加して、その構造欠陥が見つかった領域を除去する。
電極群38が備える電極31a,31b(31)の数は、特に限定されるものではないが、本実施形態においては、電極群38は、区画素子21の短辺方向Yに沿って配列された例えば20〜40組の電極31a,31b(31)を備えている。なお。図5では説明の簡素化のため4組の電極31a,31b(31)のみ示している。
電極群38が、複数組の電極31a,31b(31)を備えることで、従来のように装置内に複数の太陽電池を格納しなくても、太陽電池10に対する構造欠陥の検出及び除去処理の効率を上げることが可能となる。
電極群38が、複数組の電極31a,31b(31)を備えることで、従来のように装置内に複数の太陽電池を格納しなくても、太陽電池10に対する構造欠陥の検出及び除去処理の効率を上げることが可能となる。
図5において、電極群(第一ユニット)38は、1枚の太陽電池10を構成する複数(100〜160)の区画素子21,21・・の一端から他端に向けて、セルあたり2つ飛びに位置する、区画素子21,21に対して検査、修復を行う。具体的には、図5の場合には、「セルD1、D4、D7、D10」に対して、同時に検査、修復が行われる(工程α)。
次に、電極群(第一ユニット)38と太陽電池10との間を非接触状態とした上で、両者を(紙面横方向へ)1セル分だけ相対移動させてから、電極群(第一ユニット)38と太陽電池10との間を接触状態とし、「セルD2、D5、D8、D11(不図示)」に対して、同時に検査、修復が行われる(工程β)。
次いで、同様に、電極群(第一ユニット)38と太陽電池10との間を非接触状態とした上で、両者を(紙面横方向へ)1セル分だけ相対移動させてから、電極群(第一ユニット)38と太陽電池10との間を接触状態とし、「セルD3、D6、D9、D12(不図示)」に対して、同時に検査、修復が行われる(工程γ)。
上記のとおり3回繰り返すことにより、図5に示した全てのセルD1〜D10(+不図示のセルD11、D12)の検査・修復が完了する(図3に示すP3、P4参照)。
次いで、同様に、電極群(第一ユニット)38と太陽電池10との間を非接触状態とした上で、両者を(紙面横方向へ)1セル分だけ相対移動させてから、電極群(第一ユニット)38と太陽電池10との間を接触状態とし、「セルD3、D6、D9、D12(不図示)」に対して、同時に検査、修復が行われる(工程γ)。
上記のとおり3回繰り返すことにより、図5に示した全てのセルD1〜D10(+不図示のセルD11、D12)の検査・修復が完了する(図3に示すP3、P4参照)。
その後、不図示のセルD13〜D22が、前述したセルD1〜D10に相当するような位置に、電極群(第一ユニット)38と太陽電池10との間を非接触状態とした上で、両者を(紙面横方向へ)相対移動させる。そして、上述した工程α〜工程γと同様の操作、すなわち、検査、修復を行う。
このような操作を、1枚の太陽電池10上にある全ての区画素子(100〜160)21に対して検査、修復が行われるまで、繰り返し実行する。
以上により、1つの太陽電池10において、全ての区画素子21,21・・に存在する構造欠陥の検出、修復を完了することができる。
なお、上述した例では、電極群(第一ユニット)38が1つの場合を示したが、電極群(第一ユニット)38を複数配置し、電極群(第一ユニット)38を互いに前記区画素子の特定の規格分(例えば50セル分)だけずらして配置してもよい。
このような操作を、1枚の太陽電池10上にある全ての区画素子(100〜160)21に対して検査、修復が行われるまで、繰り返し実行する。
以上により、1つの太陽電池10において、全ての区画素子21,21・・に存在する構造欠陥の検出、修復を完了することができる。
なお、上述した例では、電極群(第一ユニット)38が1つの場合を示したが、電極群(第一ユニット)38を複数配置し、電極群(第一ユニット)38を互いに前記区画素子の特定の規格分(例えば50セル分)だけずらして配置してもよい。
抵抗値の測定には、測定バイアス電圧の印加と、電流値の測定とを兼ねた1組2つの電極31a,31b(31)による2探針式の測定方法によって行えば良い。
なお、抵抗値の測定には、2探針式の測定以外にも、例えば、所定値の測定バイアス電圧の印加と電圧値の測定とを別な電極で行う2組4つの電極からなる4探針式の測定方法を用いても良い。
そして、特に本発明の電気特性測定装置では、電極31a,31b(31)のそれぞれに対して電圧を供給する電源40が非接地とされているので、該電源40の正極から流れ出た電流は、欠陥を経由してのみ該電源40に戻れるため、該電源40から流れ出る電流を用いて欠陥(抵抗)の電気特性の測定を行うことができる。これにより前記複数の区画素子21のそれぞれの電気特性を測定する際に、前記電極31a,31bによって前記複数の区画素子21に同時に電圧を印加させることができる。これにより一枚の太陽電池が有する前記複数の区画素子21に同時に電流を流すことを可能とし、従来のように複数の太陽電池を格納し各担当の領域に分けて処理する必要がなくなる。その結果、本発明の電気特性測定装置1は、搬送機構、制御装置を簡素化することができ、装置の簡素化及び小型化、低コスト化を可能とすることができる。
このように、本発明では、電源40を非接地とすることで、同一の電極群(第一ユニット)38内であれば、複数の区画素子21における欠陥の検出、修復を同時に行うことができるようになった。さらに、欠陥の修復後に、良好な電流−電圧特性が得られているかの電気特性の測定も、複数の区画素子21について同時に行うことができる。
≪本発明の別の形態≫
図7及び図8は、本発明の別の形態を示す。この形態では、図9に示すように、検査が行われる複数の領域(Z1〜Z4)ごとに、複数の電極を有する第二ユニット(U1〜U4)を有する。一つの第二ユニットが有する電極の数は、測定する太陽電池のセルの数より少ない。この第二ユニット(U1〜U4)は、領域(Z1〜Z4)ごとにずらして設置され、全ユニットの各々の電極が、太陽電池の各セルに対応する。太陽電池は、領域(Z1〜Z4)間で移送され、それぞれの領域で検査されることにより、全てのセルが検査される。なお、領域毎(Z1〜Z4)に、複数の第二ユニットが決められたセル数分だけ離されて配置されてもよい。図7〜8は、第二ユニットU内で、スイッチ切り替えを行う場合の回路の一例と、そのスイッチ切り替え状態を示す図である。
図7及び図8は、本発明の別の形態を示す。この形態では、図9に示すように、検査が行われる複数の領域(Z1〜Z4)ごとに、複数の電極を有する第二ユニット(U1〜U4)を有する。一つの第二ユニットが有する電極の数は、測定する太陽電池のセルの数より少ない。この第二ユニット(U1〜U4)は、領域(Z1〜Z4)ごとにずらして設置され、全ユニットの各々の電極が、太陽電池の各セルに対応する。太陽電池は、領域(Z1〜Z4)間で移送され、それぞれの領域で検査されることにより、全てのセルが検査される。なお、領域毎(Z1〜Z4)に、複数の第二ユニットが決められたセル数分だけ離されて配置されてもよい。図7〜8は、第二ユニットU内で、スイッチ切り替えを行う場合の回路の一例と、そのスイッチ切り替え状態を示す図である。
図8は、図7に続く、スイッチ切り替え状態を示す図である。
つまり、図7、8における第二ユニットUでは、非接地とされた1つの電源Vsに対して4組の電極31a,31b(31)が並列に接続され、スイッチを切り替えることにより、選択された1組の電極31a,31b(31)が電源Vsに接続されるように構成されている。
つまり、図7、8における第二ユニットUでは、非接地とされた1つの電源Vsに対して4組の電極31a,31b(31)が並列に接続され、スイッチを切り替えることにより、選択された1組の電極31a,31b(31)が電源Vsに接続されるように構成されている。
図7及び図8に示した回路の場合、第二ユニットUは、「図7(a)→図7(b)→図7(c)→図8(d)→図8(e)→図8(f)」の順番で作動し、図7(a)の初期状態から始まり、最後に図8(f)の初期状態に戻る。その際、各々の状態[図7(b)、図7(c)、図8(d)、図8(e)]では、各セル[セルD1、セルD2、セルD3、セルD4]の検査、修復が行われる。
以下では、図面を参照して、各々の状態について詳細に説明する。
まず、図7(a)は初期状態を表しており、第二ユニットUが全てのセルD1〜D4と電気的に接続されていない状態にある。
図7(b)では、セルD1の検査、修復を行うため、端子P1が接点b2と、端子P2が接点b5と接続される。これにより、第二ユニットUが備えた電源Vsは、接点b1、b2介して端子P1がD1の一端側b3に、接点b5、b6介して端子P2がD1の他端側b4に、それぞれ電気的に接続された状態となる。ゆえに、セルD1の検査、修復が可能となる。その際、電源Vsを非接地にすることにより、D1に逆バイアスを印加する非接地電源Vsの正極から流れ出た電流はD2〜d4を経てVsの負極に戻ってくることができない。すなわち、Vsから流れ出た電流はセルD1に内在される欠陥(不図示)を経由してのみVsに戻れるため、Vsから流れ出る電流Iを用いてセルD1に内在される欠陥(不図示)の評価を行うことが可能となる。
まず、図7(a)は初期状態を表しており、第二ユニットUが全てのセルD1〜D4と電気的に接続されていない状態にある。
図7(b)では、セルD1の検査、修復を行うため、端子P1が接点b2と、端子P2が接点b5と接続される。これにより、第二ユニットUが備えた電源Vsは、接点b1、b2介して端子P1がD1の一端側b3に、接点b5、b6介して端子P2がD1の他端側b4に、それぞれ電気的に接続された状態となる。ゆえに、セルD1の検査、修復が可能となる。その際、電源Vsを非接地にすることにより、D1に逆バイアスを印加する非接地電源Vsの正極から流れ出た電流はD2〜d4を経てVsの負極に戻ってくることができない。すなわち、Vsから流れ出た電流はセルD1に内在される欠陥(不図示)を経由してのみVsに戻れるため、Vsから流れ出る電流Iを用いてセルD1に内在される欠陥(不図示)の評価を行うことが可能となる。
図7(c)では、セルD2の検査、修復を行うため、端子P2が接点c2と、端子P3が接点c5と接続される。これにより、第二ユニットUが備えた電源Vsは、接点c1、c2介して端子P2がD2の一端側c3に、接点c5、c6介して端子P3がD2の他端側c4に、それぞれ電気的に接続された状態となる。ゆえに、図7(b)にて説明したのと同様の理由により、セルD2の検査、修復が可能となる。
図8(d)では、セルD3の検査、修復を行うため、端子P3が接点d2と、端子P4が接点d5と接続される。これにより、第二ユニットUが備えた電源Vsは、接点d1、d2介して端子P3がD3の一端側d3に、接点d5、d6介して端子P4がD3の他端側d4に、それぞれ電気的に接続された状態となる。ゆえに、図7(b)にて説明したのと同様の理由により、セルD3の検査、修復が可能となる。
図8(d)では、セルD3の検査、修復を行うため、端子P3が接点d2と、端子P4が接点d5と接続される。これにより、第二ユニットUが備えた電源Vsは、接点d1、d2介して端子P3がD3の一端側d3に、接点d5、d6介して端子P4がD3の他端側d4に、それぞれ電気的に接続された状態となる。ゆえに、図7(b)にて説明したのと同様の理由により、セルD3の検査、修復が可能となる。
図8(e)では、セルD4の検査、修復を行うため、端子P4が接点e2と、端子P5が接点e5と接続される。これにより、第二ユニットUが備えた電源Vsは、接点e1、e2介して端子P4がD4の一端側e3に、接点e5、e6介して端子P5がD4の他端側e4に、それぞれ電気的に接続された状態となる。ゆえに、図7(b)にて説明したのと同様の理由により、セルD4の検査、修復が可能となる。
最後に、図8(f)は初期状態を表しており、第二ユニットUが全てのセルD1〜D4と電気的に接続されていない状態にある。
上述したとおり、本発明に係る第二ユニットUにおいては、電源Vsが非接地とされていることから、「図7(a)→図7(b)→図7(c)→図8(d)→図8(e)→図8(f)」の順番で作動することにより、隣接した位置にある各セル[セルD1、セルD2、セルD3、セルD4]であっても、各セルに対する検査、修復を順に行うこと可能となる。
最後に、図8(f)は初期状態を表しており、第二ユニットUが全てのセルD1〜D4と電気的に接続されていない状態にある。
上述したとおり、本発明に係る第二ユニットUにおいては、電源Vsが非接地とされていることから、「図7(a)→図7(b)→図7(c)→図8(d)→図8(e)→図8(f)」の順番で作動することにより、隣接した位置にある各セル[セルD1、セルD2、セルD3、セルD4]であっても、各セルに対する検査、修復を順に行うこと可能となる。
図7及び図8に示した回路を備えた第二ユニットは、4つのセル(D1〜D4)に対応可能とした構成であるが、この対応可能なセルの個数は適宜調整できる。
また、図7及び図8に示した回路を備えた第二ユニットならば、特定の第二ユニットの近傍に別の第二ユニットを配置しても、第二ユニットどうしは互いに影響を及ぼすことなく、各第二ユニットが担当する各セルに対する検査、修復を順に行うこと可能となる。
つまり、本発明によれば、図8に示すように、1つの太陽電池モジュール10が複数のセル(不図示:例えば100〜160個のセル)から構成される場合であっても、上述した1つの第二ユニットが複数のセル(例えば25〜40個のセル)に対応可能な回路を持つことにより、4つの第二ユニット(U1〜U4)を用いた構成を採用すれば、当該太陽電池モジュールの複数のセルに対して、4つの領域(Z1〜Z4)を同時に検査、修復を行うことが可能となる。ゆえに、本発明によれば、4つの第二ユニット(U1〜U4)が同時に1つの太陽電池モジュール10に電気的に接続されるように、1つのステージ(図9)を用意すればよい。
また、図7及び図8に示した回路を備えた第二ユニットならば、特定の第二ユニットの近傍に別の第二ユニットを配置しても、第二ユニットどうしは互いに影響を及ぼすことなく、各第二ユニットが担当する各セルに対する検査、修復を順に行うこと可能となる。
つまり、本発明によれば、図8に示すように、1つの太陽電池モジュール10が複数のセル(不図示:例えば100〜160個のセル)から構成される場合であっても、上述した1つの第二ユニットが複数のセル(例えば25〜40個のセル)に対応可能な回路を持つことにより、4つの第二ユニット(U1〜U4)を用いた構成を採用すれば、当該太陽電池モジュールの複数のセルに対して、4つの領域(Z1〜Z4)を同時に検査、修復を行うことが可能となる。ゆえに、本発明によれば、4つの第二ユニット(U1〜U4)が同時に1つの太陽電池モジュール10に電気的に接続されるように、1つのステージ(図9)を用意すればよい。
これに対して、従来の太陽電池に接地電源で逆バイスを印加し、欠陥を修復(評価)する等価回路(図11、図12)では、上述した本発明の4つのユニットを用いた構成を真似ようとしても、各ユニット同士が他の隣接ユニットに悪影響を及ぼすことから、本発明のように各ユニットは太陽電池モジュールの複数のセルに対して、同時に検査、修復を行うことができない。したがって、図11や図12に示す従来の接地電源を用いた等価回路の場合、複数の区画素子(nセル)を同時に測定(し欠陥を修復)する工程のタクトタイムを稼ごうとした場合には、例えば図10に示すような、4つの第二ユニット(U1〜U4)が個別に太陽電池モジュールに電気的に接続されるように、4つのステージ[図10(a)、図10(b)、図10(c)、図10(d)]を用意する必要がある。これにより、図10(a)〜(d)の各ステージは、4つの領域(Z1〜Z4)を順に検査、修復を行うことが可能となる。
つまり、本発明を採用すれば、従来に比べて4分の1の設置スペースが有れば、太陽電池モジュールを構成する各セルに対する検査、修復が可能となるので、本発明は電気特性測定装置の小型に寄与する。換言すると、本発明に係る電気特性測定装置は、従来と同様の設置スペースがあれば、4倍の処理速度で、太陽電池モジュールを構成する各セルに対する検査、修復を行うことができる能力を備えていることを意味する。
また、上述した実施形態では、電気特性測定装置1によって太陽電池10の構造欠陥が検出された場合、逆バイアス電圧を印加することにより、該欠陥を修復していたが、必ずしも欠陥を修復しなくてもよい。例えば欠陥の大きさ(抵抗の大きさ)について閾値を決めておき、閾値により修復可能な欠陥についてはすぐに修復するが、微細な欠陥については、修復しなくても構わない。
また、電気特性測定装置1によって太陽電池10の構造欠陥が多く検出された場合、太陽電池10を製造する成膜装置について、メンテナンス信号を発してもよい。
また、電気特性測定装置1によって太陽電池10の構造欠陥が多く検出された場合、太陽電池10を製造する成膜装置について、メンテナンス信号を発してもよい。
以上、本発明の電気特性測定装置について説明してきたが、本発明は上述した例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
本発明は、太陽電池の電気特性を測定する、電気特性測定装置に広く適用可能である。
1 電気特性測定装置、10 太陽電池、11 基板、12 光電変換体、13 第一電極、14 半導体層、15 第二電極、19 スクライブ線、21 区画素子、31a,31b(31) 電極、38 電極群(第一ユニット)、 39、U 電極群(第二ユニット)、40、V、V1〜V4、Vs 電源、A 電流計、D1〜D10 セル、R 欠陥。
Claims (3)
- 少なくとも第一電極層、半導体層、第二電極層を有する光電変換体が基板の一面に形成され、該光電変換体は所定のサイズごとに電気的に区画された、帯状を成す複数の区画素子を成し、互いに隣接する前記区画素子どうしを電気的に接続してなる太陽電池について、前記区画素子の電気特性を測定する電気特性測定装置であって、
互いに並列して配された複数の前記区画素子のそれぞれに対して、該区画素子の表面に接して、前記区画素子の短辺方向に沿って2組以上並列して有する電極群と、
非接地とされ、前記電極のそれぞれに対して電圧を供給する電源と、を備え、
前記電極によって前記複数の区画素子に同時に電圧を印加させ、前記複数の区画素子のそれぞれの電気特性を測定すること、を特徴とする電気特性測定装置。 - 前記電極群を少なくとも2つ以上形成し、それぞれの電極群を互いに前記区画素子の特定の規格分だけずらして配置したことを特徴とする請求項1に記載の電気特性測定装置。
- 前記電極を介してバイアス電圧を印加し、構造欠陥を除去する修復手段を更に備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気特性測定装置。
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Citations (3)
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JP2010021437A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Ulvac Japan Ltd | 太陽電池の製造装置およびその製造方法 |
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JP2010272579A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Nf Corp | 電極の分離状態検査方法、その装置及び電子デバイスの製造方法 |
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- 2010-11-24 JP JP2010261703A patent/JP2012114229A/ja active Pending
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