JP2012112779A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012112779A5 JP2012112779A5 JP2010261542A JP2010261542A JP2012112779A5 JP 2012112779 A5 JP2012112779 A5 JP 2012112779A5 JP 2010261542 A JP2010261542 A JP 2010261542A JP 2010261542 A JP2010261542 A JP 2010261542A JP 2012112779 A5 JP2012112779 A5 JP 2012112779A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screen mask
- imaging
- unit
- distance
- imaging unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 43
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010261542A JP5081967B2 (ja) | 2010-11-24 | 2010-11-24 | スクリーンマスクの計測装置および印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010261542A JP5081967B2 (ja) | 2010-11-24 | 2010-11-24 | スクリーンマスクの計測装置および印刷装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012112779A JP2012112779A (ja) | 2012-06-14 |
JP2012112779A5 true JP2012112779A5 (ko) | 2012-09-20 |
JP5081967B2 JP5081967B2 (ja) | 2012-11-28 |
Family
ID=46497150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010261542A Active JP5081967B2 (ja) | 2010-11-24 | 2010-11-24 | スクリーンマスクの計測装置および印刷装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5081967B2 (ko) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015125173A1 (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-27 | ヤマハ発動機株式会社 | スクリーン印刷用検査データの作成ユニット、スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷用検査データの作成方法 |
JP6323160B2 (ja) * | 2014-05-15 | 2018-05-16 | 富士通株式会社 | 検査装置、検査方法及び検査プログラム |
CN107407558B (zh) * | 2015-02-13 | 2020-02-25 | 株式会社理光 | 测量工具、校准方法、校准装置和程序 |
US10295335B2 (en) | 2015-04-22 | 2019-05-21 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Shape measurement apparatus and shape measurement method |
CN105954974A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-09-21 | 深圳劲嘉集团股份有限公司 | 丝网版激光制版设备及其制版方法 |
CN111050481B (zh) * | 2019-12-31 | 2021-05-28 | 重庆凯歌电子股份有限公司 | Pcb板墓碑效应印刷方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0587544A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置 |
JPH10337851A (ja) * | 1997-06-09 | 1998-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スクリーン印刷検査用基準データの作成方法 |
JP3977668B2 (ja) * | 2002-03-01 | 2007-09-19 | ヤマハ発動機株式会社 | 部材載装機器 |
JP4100089B2 (ja) * | 2002-08-19 | 2008-06-11 | 松下電器産業株式会社 | 印刷検査用データ作成方法 |
JP2005186328A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Yamaha Motor Co Ltd | スクリーン印刷機、スクリーン印刷検査装置およびスクリーン印刷検査方法 |
JP2006247942A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Hitachi Communication Technologies Ltd | クリーム半田印刷機 |
JP5058667B2 (ja) * | 2007-04-27 | 2012-10-24 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
JP2009236849A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Honda Motor Co Ltd | ワーク測定方法 |
-
2010
- 2010-11-24 JP JP2010261542A patent/JP5081967B2/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11439483B2 (en) | Intraoral scanner that compensates for non-fixed magnification | |
JP2012112779A5 (ko) | ||
JP2011229620A5 (ko) | ||
JP2010194296A5 (ja) | 口腔内測定装置及び口腔内測定方法 | |
JP2009082966A5 (ko) | ||
JP4939304B2 (ja) | 透明膜の膜厚測定方法およびその装置 | |
JP2012148302A5 (ko) | ||
US8810799B2 (en) | Height-measuring method and height-measuring device | |
WO2017115015A1 (en) | Method and arrangement for analysing a property of a seam | |
JP2015102397A (ja) | 補正情報生成方法および補正情報生成装置 | |
KR101566129B1 (ko) | 라인 스캔 방식의 모아레 3차원 형상 측정 장치 및 방법 | |
CN110057839A (zh) | 一种光学硅片检测系统中的对焦控制装置及方法 | |
CN1677641A (zh) | 位置测量技术 | |
JP7156125B2 (ja) | 校正パラメータ算出方法 | |
KR101436403B1 (ko) | 정현파 격자를 이용한 섀도우모아레 방법 및 이를 이용한 측정 장치 | |
JP6047764B2 (ja) | 白色干渉計、画像処理方法及び画像処理プログラム | |
JP2016001131A (ja) | 計測装置 | |
KR101295330B1 (ko) | 레이저 조사장치를 이용한 직경 측정장치 및 측정방법 | |
CN111443577A (zh) | 用于曝光设备的调整装置、方法及曝光设备 | |
JP2014020919A (ja) | 三次元測定装置の校正装置及び校正方法 | |
KR101329025B1 (ko) | 색수차 보상방법, 이를 이용한 3차원 형상 측정방법 및 측정장치 | |
JP2008216076A (ja) | 形状測定方法 | |
JP2012052883A5 (ko) | ||
JP2010262012A5 (ja) | 計測装置及び刷版パターンの面積率の測定方法 |