JP2012111151A - 研磨剤の供給方法及び装置とコアビット - Google Patents

Abstract

【課題】支柱に昇降可能に支持されるコアビットと、送りモータで構成され、コアビットを支柱に沿って送る送り装置を備えたコアドリルを用いて被削材へ穿孔する方法において、切れ味が低下したときに、研磨剤を必要量コアビット内に自動的に供給する方法を提供する。
【解決手段】検出手段４６が送りモータ２８の回転数を検出し、該検出値がしきい値を超えて低下したとき制御装置４５が研磨剤を入れた容器３７の電磁弁３８を開き、容器内の研磨剤をコアビット内に供給する。制御装置４５はタイマー４９を備え、設定時間経過すると、電磁弁３８が閉じ、研磨剤の供給が停止される。
【選択図】図３

Description

本発明は、コアドリルを用いてコンクリート等の被削材へ穿孔する方法において、切れ味が低下したとき、穿孔箇所に研磨剤を供給する方法及び装置と、前記方法で用いるコアビットに関する。

コアドリルは一般に図１に示すように、コンクリート等の被削材１上に固定される取付台２より立上がる支柱３と、該支柱３に支柱３に沿って移動可能に取付けられるヘッド４と、支柱３に添設のラック５及び該ラック５に噛合する図示しないピニオンよりなるピニオン・ラック機構（ピニオンの回転はモータによって行われるものと、図１に示すようにハンドル６の回転操作により手動で行われるものがある）よりなるヘッド４の送り装置と、ヘッド４に回転自在に軸支され、減速機付きモータ７よりなる駆動装置によって回転駆動されるシャフト８と、連結部９により前記シャフト８に捩じ込んだ取外し可能に取付けられ、先端にダイヤモンド砥粒で形成されるチップ１１よりなる刃先部を備えたカップ状のコアビット１２よりなり、被削材１への穿孔は取付台２を被削材１に取付けたのち、コアビット１２を降下させて刃先部を被削材１に当ててコアビット１２を回転駆動しながら送り装置で送って被削材１へ切り込みを入れることにより行われる。

図２は、前記コアビット１２により被削材１へ切り込みを入れた状態を示すもので、被削材１には刃先部により環状溝１３が形成されると共に、該環状溝１３で縁切りされて、コアビット１２内に収まる円柱状のコア１５が形成される。

被削材１への切り込み時には、通常、刃先部の冷却と切粉の排出のため環状溝１３に冷却水が供給されるか、或いは圧縮空気源よりエアが供給され、前者は湿式、後者は乾式と称される。

湿式には、コアビットが連結されるシャフトを中空シャフトとし、該中空シャフトに設けたスイベルジョイント１７（図１参照）にホース１８を接続して給水手段、例えば水道の蛇口から冷却水をコアビット内に供給するタイプのもののほかに、コアビットの外部から冷却水を穿孔溝に向けて注水するタイプのものがある。

一方、乾式には、中空シャフトのスイベルジョイントにホースを介してコンプレッサーを接続すると共に、コアビットが嵌合し、被削材に被せて装着される吸引パッドにホースを介して集塵機を接続し、コンプレッサーよりホース、スイベルジョイント及び中空シャフトを経てコアビット内に供給した圧縮空気を穿孔溝内のコアビット内外に通して刃先部を空冷し、穿孔溝内の切り粉を吸引パッド内に噴出したのち、該吸引パッドよりホースを介して集塵機で吸引排除する外部集塵方式（特許文献１）と、中空シャフトのスイベルジョイントにホースを介して集塵機を接続し、コアビット内のエアを吸引してコアビット外の外気を穿孔溝内に通してコアビット内に吸引し、これにより刃先部の冷却と切り粉の排出を行い、コアビット内の切り粉よりなる粉塵とエアを中空シャフト、スイベルジョイント及びホースを介して集塵機にて吸引排除する内部集塵方式（特許文献２）がある。

前述の湿式及び乾式のいずれのタイプのものにおいても、刃先部のチップが目詰まりし、これにより穿孔途中で切れ止むことがある。この問題を解消し、穿孔時の切れ味を維持するために穿孔溝内にアルミナ等の研磨剤を供給して刃先部のドレッシング作用を促すことが行われ、研磨剤の供給方法には、穿孔開始から終了まで研磨剤を連続して供給するものと、研磨剤の供給を間欠的に行うものとがある。特許文献１には、研磨剤の供給をタイマーにより設定された一定時間間欠的に行う方法が開示されている。

特開平５−１０４５２２号 特開２００３−１９７１０号

本発明は、コアドリルを用いて被削材へ穿孔する方法において、切れ味が低下したときに、研磨剤をコアビット内に供給する方法及び装置と前記方法で用いるコアビットを提供することを目的とする。

請求項１に赤悪発明は、支柱と、該支柱に移動可能に取付けられるヘッドと、該ヘッドを支柱に沿って移動させる送り装置と、前記ヘッドに回転自在に軸支されるシャフトと、前記ヘッドに設けられ、シャフトを回転駆動させる駆動モータを有する駆動装置と、前記シャフトに取外し可能に取付けられ、先端にチップよりなる刃先部を備えたコアビットよりなるコアドリルを用い、前記コアビットを回転駆動させながら前記送り装置で送って被削材へ穿孔する方法において、コアビットの送り又は回転速度が低下し、或いは送り又は回転の負荷ないしトルクが上昇したときにコアビット内に刃先部を構成するチップに使用されるダイヤモンド砥粒の外径の１／３以下の粒径の研磨剤を供給することを特徴とする。

請求項２に係わる発明は、請求項１に係わる発明において、コアビットの送り又は回転速度が低下し、或いは送り又は回転の負荷ないしトルクが上昇したときに送り装置による送りを停止すると共に、前記駆動装置の駆動モータを停止してコアビットを一旦停止し、該停止状態でコアビットに形成した供給孔より研磨剤をコアビット内に供給することを特徴とし、
請求項３に係わる発明は、請求項２に係わる発明において、送り装置が送りモータを備えて送りが送りモータを駆動源として行われ、該送りモータの回転数又は負荷ないしトルクを検出手段により検出して、その検出値がしきい値を超えたときに制御装置が送り装置の送りモータと駆動装置の駆動モータを停止させることを特徴とする。

請求項４に係わる発明は、請求項３に係わる発明において、前記検出手段が送りモータに代えて駆動装置の駆動モータの回転数に負荷ないしトルクを検出し、該検出値がしきい値を超えたときに制御装置が送り装置の送りモータと駆動装置の駆動モータを停止させることを特徴とする。

請求項５に係わる発明は、請求項１ないし４に係わる発明で用いるコアビットに関するもので、コアビットにはシャフトへの連結部付近にコアビットの内外に通ずる研磨剤の供給孔が形成されることを特徴とする。

請求項６に係わる発明は、請求項４に係わる発明において、供給孔には取外し可能な閉塞手段が設けられることを特徴とする。

請求項７に係わる発明は、請求項１に係わる発明において、前記シャフトは、中空シャフトでスイベルジョイントを備え、研磨剤が研磨剤供給装置よりスイベルジョイント及び中空シャフトを介してコアビット内に供給されるようになっており、また送り装置が送りモータを備えて送りが送りモータを駆動源として行われ、該送りモータの回転数又は負荷を検出手段により検出して、その検出値がしきい値を超えたとき、前記供給装置から研磨剤がコアビット内に供給されることを特徴とする。

請求項８に係わる発明は、請求項７に係わる発明を実施する装置に関するもので、研磨剤が入れられる容器及び開閉可能な電磁弁を備え、該電磁弁が開くと、前記容器から研磨剤をコアビットに供給する研磨剤の供給装置と、送り装置を構成する送りモータの回転数又は負荷を検出する検出手段と、該検出手段により検出した検出値がしきい値を超えたとき、前記電磁弁を開く制御装置を設けたことを特徴とする。

請求項１に係わる発明によると、コアビットによる穿孔中、切れ味が低下してコアビットの送り又は回転速度が低下し、或いは送り又は回転の負荷ないしトルクが上昇すると、研磨剤がコアビット内に供給され、必要時に必要量の研磨剤を供給して刃先部のドレッシング作用を促し、切れ味を回復させることができること、刃先部を構成するチップに使用されるダイヤモンド砥粒のチップ表面への出張りは、健全な状態ではダイヤモンド砥粒の粒径のほぼ１／３以下であるため、ダイヤモンド砥粒外径の１／３以下の粒径の研磨剤を使用することにより研磨剤が刃先まで確実に供給できるようになること、等の効果を有する。なお、本発明方法は、前述の湿式でも、また乾式の場合、外部集塵方式に適用可能である。

請求項２に係わる発明によると、コアビットに研磨剤の供給孔を備えたコアビットを用いるだけで、既存の従来のコアドリルを用いて被削材への穿孔作業を行うことができる。なお送りの負荷ないしトルクの増大は、図１に示すハンドル４の回動操作によって送りを行う場合、ハンドル４を回動操作する際の感触によって把握することができ、また送りモータにより行われる場合もコアビットの送り又は回転速度が大幅に低下することにより、目視にて把握することができる。

請求項３又は４に係わる発明によると、送りモータ又は駆動モータの回転数或いは負荷ないしトルクを検出して、そのしきい値が設定値を超えたとき、制御装置によってコアビットを自動的に停止させることができる。

請求項５に係わる発明のコアビットによると、コアビットの供給孔は連結部付近に設けられているため、供給孔が被削材表面に露出している限り研磨剤を供給することができる。

湿式による穿孔時においては多くの場合、被削材表面が冷却水で水浸しにならないように、穿孔箇所の周りを水処理パッドで覆うが、供給孔が設けられていると、該供給孔から冷却水が飛び散るおそれがある。また乾式の場合、供給孔から圧縮空気が吹き出るおそれがあり、作業環境を悪化させるが、請求項６に係わる発明のように、供給孔に閉塞手段を設けておくと、前記のような冷却水の飛散や圧縮空気の噴出しを防ぐことができる。

請求項７及び８に係わる発明によると、コアビットへの研磨剤の供給を所要時に自動的に行うことができる。

従来例のコアドリルの正面図。 コアビットにより被削材に切り込みを入れた状態を示す断面図。 本発明に係わる装置の模式図。 本発明に係わる別の装置の模式図。 コアビットに研磨剤を供給する態様の例を示す断面図。 コアビットにゴムバンドを装着して供給孔を塞いだコアビットの正面図。 乾式タイプのコアドリルによる穿孔時の状態を示す正面図。

以下、本発明に係わる実施形態について図面により説明する。
コアドリルは主としてコンクリート等の被削材へ穿孔するのに使用されるが、被削材からテストピース採取のため、円柱状のコアを採取するのにも使用され、それに関連した一つの用法として、被削材としてのサファイアボウルからコアを採取し、該コアを軸と直交する方向に切断したのち、整形研磨して円板状の単結晶基盤（以下、ウエハという）を製造するのにも使用可能である。

図３は、コアドリル２１を用いてサファイアボウル２２に切り込みを入れ、該サファイアボウル２２から円柱状のコア２３（点線で囲まれる部分）を採取する装置の模式図を示すもので、コアドリル２１は、取付台２０に縦設される支柱２４と、該支柱２４に昇降（移動）可能に取付けられ、支柱２４に添設のラック２５と噛合するピニオン（図示しない）、更には前記支柱２４と平行をなして縦向きに回転自在に軸支される中空状のシャフト２６を備えたヘッド２７と、該ヘッド２７に取付けられ、前記ピニオンを回転駆動する送りモータ２８（この送りモータ２８と、前記ピニオンラック機構は後述するコアビット３１の送り装置を構成するが、送り装置は、これ以外に周知の他の直線運動機構、例えばボールネジと該ボールネジに捩じ込まれるナットよりなる機構を用いることができる）及び前記シャフト２６を回転駆動する駆動モータ２９を有する駆動装置と、前記シャフト２６に捩じ込んで取外し可能に取付けられるコアビット３１よりなり、以下、前記中空状のシャフト２６及びコアビット３１について詳述する。

シャフト２６はスイベルジョイント３３、３４を備え、上側のスイベルジョイント３３は給水手段、例えば水道の蛇口とホース（図示しない）を介して接続され、また下側のスイベルジョイント３４にはチューブを介して研磨材が入れられる容器３７の電磁弁３８に接続されており（容器３７と電磁弁３８は研磨材の供給装置を構成する）、給水手段から冷却水がホース、スイベルジョイント３３及びシャフト２６を介してコアビット内に供給されるようにしている。

また前記電磁弁３８を開いたときには、容器内の研磨剤がチューブ、スイベルジョイント３４及びシャフト２６を介してコアビット内に供給され、研磨剤がシャフト内に付着するようなことがあっても、上側から流入する冷却水で洗い流され、コアビット内に流入するようになっている。

コアビット３１は図１に示す従来のコアビット９と同様、先端にダイヤモンド砥粒で形成されるチップ４１よりなる刃先部を備え、連結部４２で、前記中空部のシャフト２６に捩じ込んで取外し可能に取付けられるようになっている。

サファイアボウル２２からコアを採取する際には、コアビット下にサファイアボウル２２を設置したのち、送りモータ２８及び駆動モータ２９を起動し、コアビット先端の刃先部をサファイアボウル２２に当てて切り込みを行う。切り込みは刃先部がサファイアボウル２２を突き抜けるまで行われ、この間、給水手段から冷却水がホース、スイベルジョイント３３及び中空状のシャフト２６を経てコアビット内に供給され、環状溝４３にコアビット内側から注入して刃先部の冷却と、環状溝内の切粉の排出を行う。

穿孔中、環状溝４３から冷却水がコアビット外に流出するが、この種湿式のコアドリルで多く用いられているように、コアビット３１に回転に支障を生ずることなく嵌合し、かつサファイアボウル２２に被さる水処理パッドを設けて冷却水が周囲に拡がらないようにしてもよい。

穿孔中においてはまた、環状溝内での目詰まりにより切れ味が低下することがある。この問題に対処するため、図３に示す装置では、コアビット３１の送りモータ２８の回転数がしきい値を越えて低下したとき、或いは送りモータ２８の負荷ないしトルクがしきい値を超えて上昇したとき、前記電磁弁３８を開いて容器３７内の研磨剤３６がチューブ、スイベルジョイント３４及びシャフト２６を介してコアビット内に供給されるようになっている。ここでしようされる研磨剤は、刃先部を構成するチップ４１に使用されるダイヤモンド砥粒の外径の１／３以下の粒計をなすアルミナ等よりなり、チップ表面に突出するダイヤモンド砥粒の突出量はダイヤモンド砥粒の粒径の１／３であるため、供給された研磨剤は刃先まで確実に行き渡るようになる。

電磁弁３８の開閉を制御するために図３に示す装置では、制御装置４５が設けられ、前述の送りモータ２８には、例えば該モータ２８の回転数を検出するエンコーダ、或いは該モータ２８の駆動時の負荷ないしトルクを検出する電流計ないしトルク計よりなる検出手段４６が設けられる。

前記制御装置４５は、前記電磁弁３８の開閉を制御する制御部４７と、前記モータ２８の回転数或いは負荷ないしトルクのしきい値を格納する記憶部４８と、テンキー等の外部入力手段によって時間設定されるタイマー４９と、前記記憶部４８に格納されたしきい値と前記検出手段により検出された検出値とを比較し、該検出値がしきい値を超えたとき、すなわち前述する例でいえば、検出された回転数がしきい値を超えて低下したとき、或いは検出された電流値ないしトルク値がしきい値を超えて上昇したとき、前記制御部４７とタイマー４９に出力する比較部５０よりなり、タイマー４９は比較部５０からの入力によりカウントを開始し、カウントが設定数に達したとき制御部４７に出力するようになっており、制御部４７は比較部５０からの入力により電磁弁３８を開き、タイマー４９からの入力により電磁弁を閉じるように制御する。

本装置によると、サファイアボウル２２への穿孔中、切れ味の低下に伴い、送りモータ２８の回転数が低下し、或いは送りモータ２８の負荷ないしトルクが上昇すると、コアビット内に研磨剤がタイマー４８によって設定された時間自動的に供給され、刃先部のドレッシング作用を促して切れ味の低下を防ぐ。

図４に示す装置では、研磨剤のコアビットへの供給が自動的に行われるのではなく、コアビットを停止した状態で、手動で行われるようにされている。そのためにコアドリル５１のコアビット５２には、シャフト５３への連結部５４付近に続くコアビット底（天井）壁にコアビット５２の内外に通ずる研磨剤の供給孔５５が設けられ（シャフト５３には冷却水用のスイベルジョイント５６のみで研磨剤用のスイベルジョイントは設けられていない）、制御装置５８は前述する検出手段４６で検出された送りモータ２８の回転数がしきい値を超えて低下し、或いは負荷ないしトルクがしきい値を超えて上昇したとき、前記送りモータ２８及び駆動モータ２９を制御して停止させるようになっている。

本装置によると、サファイアボウル２２への穿孔中、切れ味の低下に伴い、送りモータ２８の回転数が低下し、或いは送りモータ２８の負荷ないしトルクが上昇すると、前記制御装置５８の出力により、送りモータ２８及び駆動モータ２９が停止し、停止後、研磨剤入りのスポイドポンプ５９を用い、該ポンプ５９を押操作して前記供給孔５５を通じ、研磨剤をコアビット内に注入する。

研磨剤注入後、前記供給孔５５には閉塞手段としてのプラグが装着され、塞がれる。これにより冷却水や研磨剤が供給孔５５を通してコアビット外に飛散するのを防ぐことができる。

図５は、図４に示す装置のコアビット５２に代えて供給孔６４を連結部６５下のコアビット底（天井）壁に隣接するコアビット上端に形成したコアビット６６を用いてサファイアボウル２２に穿孔中、切れ味が低下したとき、コアビット６６の回転及び送りを一時停止して停止状態で供給孔６４より研磨剤入りのスポイドポンプ５９を用いて研磨剤をコアビット内に供給する例を示すものである。なお、前述する供給孔６４はコアビット６６の外径が連結部６５より大である場合、図４及び図６に示すように、コアビット底壁にも、又コアビット周壁にも形成することができるが、コアビット６６の外径が連結部６５と同一であるか、コアビット底壁に供給孔を形成できる程のスペース上の余裕がない場合、コアビット上端の周壁に形成される。

前述する実施形態では、検出手段４１は送りモータ２８の回転数或いは送りモータ２８の負荷ないしトルクを検出し、該検出値がしきい値を超えたとき、コアビット内に研磨剤を自動的に供給するか、コアビットの回転及び送りを停止して研磨剤を手動にて注入するようにしているが、検出手段が駆動装置の駆動モータ２９の回転数或いは該駆動モータ２９の負荷ないしトルクを検出し、該検出値がしきい値を超えたとき、コアビット内に研磨剤を自動的に供給するか、コアビットの回転及び送りを停止して研磨剤を手動にて注入するようにしてもよい。

前述の実施形態ではまた、シャフト２６、５３にスイベルジョイント３３、５６を設けて冷却水を給水手段よりシャフト２６、５３に通し、コアビット３１、５２に供給するようにしているが、冷却水はコアビット外部から供給するようにしてもよい。この場合、シャフト２６、５３のスイベルジョイント３３、５６を省くことができ、シャフト２６、５３も中空状にする必要がない。

前述の実施形態では、送り装置は送りモータ２８を備え、送りが送りモータ２８によって行われるようになっているが、図１に示すコアドリルのようにハンドル４を備え、送りをハンドル４の回動操作によって行うようにしてもよい。この場合、ハンドル４を回動操作する際の感触によって切れ味の低下を把握することができる。研磨剤の供給は、ハンドル４操作が重くなったときに駆動モータ２９を停止して行われるが、駆動モータ２９の回転数或いは負荷ないしトルクを前記検出手段４１で検出して、検出値がしきい値を超えたとき、駆動モータ２９を停止して行うこともできる。

前述の実施形態においてはまた、穿孔時のコアビット３１、５２、６６の刃先部の冷却と切粉の排出は冷却水によって行うようになっているが、コアビット内に導入した圧縮空気によって行うようにすることもできる。
前述の実施形態ではまた、前記装置は、その使用例の一つとしてサファイアボウル２２への穿孔を示したが、コンクリート等の被削材への穿孔にも勿論使用可能である。

図６は、閉塞手段であるプラグ６１を備えたゴムバンド６２を図５に示すコアビット６６に装着し、プラグ６１を前記供給孔６４に嵌着した例を示すものである。

図７は、図３に示すコアドリル２１において、スイベルジョイント３３に冷却水の供給源に代えて圧縮空気源であるコンプレッサー（図示しない）を接続したもので、コンプレッサーから圧縮空気がコアビット３１内に導入され、刃先部の冷却と環状溝からの切り粉の排出を行うようになっており、コアビット３１には粉塵が飛散するのを防止するため、コンクリート等の被削材６７に当てがわれるゴム製の吸収パッド６９が装着され、該吸収パッド６９には集塵機（図示しない）が接続されて粉塵が吸引されるようになっている。なお、図７に示す装置には、図示省略してあるが、図３に示す装置と同様、研磨剤３６を入れる容器３７や電磁弁３８の制御装置４５等を備え、研磨剤の供給制御が行われるようになっている。

２１、５１・・コアドリル
２２・・サファイアボウル
２３・・コア
２４・・支柱
２５・・ラック
２６、５３・・シャフト
２７・・ヘッド
２８・・送りモータ
２９・・駆動モータ
３１、５２、６６・・コアビット
３３、３４、５６・・スイベルジョイント
３６・・研磨剤
３７・・容器
３８・・電磁弁
４１・・チップ
４２、５４、６５・・連結部
４３・・環状溝
４５、５８・・制御装置
４６・・検出手段
４７・・制御部
４８・・記憶部
４９・・タイマー
５０・・比較部
５５、６４・・供給孔
５９・・スポイドポンプ
６１・・プラグ
６２・・ゴムバンド
６７・・被削材
６９・・吸引パッド

Claims (8)

1. 支柱と、該支柱に移動可能に取付けられるヘッドと、該ヘッドを支柱に沿って移動させる送り装置と、前記ヘッドに回転自在に軸支されるシャフトと、前記ヘッドに設けられ、シャフトを回転駆動させる駆動モータを有する駆動装置と、前記シャフトに取外し可能に取付けられ、先端にチップよりなる刃先部を備えたコアビットよりなるコアドリルを用い、前記コアビットを回転駆動させながら前記送り装置で送って被削材へ穿孔する方法において、コアビットの送り又は回転速度が低下し、或いは送り又は回転の負荷ないしトルクが上昇したときにコアビット内に刃先部を構成するチップに使用されるダイヤモンド砥粒の外径の１／３以下の粒径の研磨剤を供給することを特徴とする研磨剤の供給方法。
2. コアビットの送り又は回転速度が低下し、或いは送り又は回転の負荷ないしトルクが上昇したときに送り装置による送りを停止すると共に、前記駆動装置の駆動モータを停止してコアビットを一旦停止し、該停止状態でコアビットに形成した供給孔より研磨剤をコアビット内に供給することを特徴とする請求項１記載の研磨剤の供給方法。
3. 送り装置が送りモータを備えて送りが送りモータを駆動源として行われ、該送りモータの回転数又は負荷ないしトルクを検出手段により検出して、その検出値がしきい値を超えたときに制御装置が送り装置の送りモータと駆動装置の駆動モータを停止させることを特徴とする請求項２記載の研磨剤の供給方法。
4. 前記検出手段が送りモータに代えて駆動装置の駆動モータの回転数に負荷ないしトルクを検出し、該検出値がしきい値を超えたときに制御装置が送り装置の送りモータと駆動装置の駆動モータを停止させることを特徴とする請求項３記載の研磨剤の供給方法。
5. 請求項１ないし４記載の研磨剤の供給方法で用いるコアビットであって、該コアビットにはシャフトへの連結部付近にコアビットの内外に通ずる研磨剤の供給孔が形成されることを特徴とするコアビット。
6. 前記供給孔には取外し可能な閉塞手段が設けられることを特徴とする請求項５記載の研磨剤の供給方法。
7. 前記シャフトは、中空シャフトでスイベルジョイントを備え、研磨剤が研磨剤供給装置よりスイベルジョイント及び中空シャフトを介してコアビット内に供給されるようになっており、また送り装置が送りモータを備えて送りが送りモータを駆動源として行われ、該送りモータの回転数又は負荷を検出手段により検出して、その検出値がしきい値を超えたとき、前記供給装置から研磨剤がコアビット内に供給されることを特徴とする請求項１記載の研磨剤の供給方法。
8. 請求項７記載の研磨剤の供給方法を実施する装置であって、研磨剤が入れられる容器及び開閉可能な電磁弁を備え、該電磁弁が開くと、前記容器から研磨剤をコアビットに供給する研磨剤の供給装置と、送り装置を構成する送りモータの回転数又は負荷を検出する検出手段と、該検出手段により検出した検出値がしきい値を超えたとき、前記電磁弁を開く制御装置を設けたことを特徴とする研磨剤の供給装置。