JP2012108143A - 真円度測定装置及び先端子良否判定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定物の表面に接触する先端子の球状の先端部の形状の良否を判定する先端子良否判定方法であって、形状が既知の基準被測定物を基準被測定物の円形の断面の中心が載物台の回転中心に一致するように載置して(101)、基準被測定物の無偏心外形形状を測定し(102)、基準被測定物の円形の断面の中心を載物台の回転中心に対して所定量偏心させて(103)、基準被測定物の偏心外形形状を測定し(104)、無偏心外形形状と偏心外形形状との差から、先端子の球状からの変形量を算出し(105)、算出した変形量が所定の範囲を超えた時に(106)、不良と判定する(108)真円度測定装置の先端子良否判定方法。
【選択図】図9
Description
測定子の出力(すなわち先端子のMの位置)は、式(2)で表される。
実際に接触している位置Cは、次の式(3)で表される。
なお、この時の位置Cは、測定開始点Sから、θ+δの回転角度にあることになる。
11 先端子
12 測定子
14 A/D変換器
15 演算処理部
W ワーク
Claims (2)
- 真円度測定装置で、被測定物の表面に接触する先端子の球状の先端部の形状の良否を判定する先端子良否判定方法であって、
形状が既知の基準被測定物を前記基準被測定物の円形の断面の中心が載物台の回転中心に一致するように載置して前記基準被測定物の無偏心外形形状を測定し、
前記基準被測定物の円形の断面の中心を前記載物台の回転中心に対して所定量偏心させて前記基準被測定物の偏心外形形状を測定し、
前記無偏心外形形状と前記偏心外形形状との差から、前記先端子の球状からの変形量を算出し、
算出した前記変形量が所定の範囲を超えた時に不良と判定することを特徴とする真円度測定装置の先端子良否判定方法。 - 円形の断面を有する被測定物を載置して回転する載物台と、
球状の先端部を有し、前記載物台の回転軸と平行な第1の平面内を変位可能で、前記載物台に載置された前記被測定物の表面に接触し、前記被測定物の回転に従って変位する先端子と、
前記先端子の変位を検出して測定データを出力する測定子と、前記測定データを処理して前記被測定物の真円度を算出する処理制御部と、を備え、
前記処理制御部は、
円形の断面の中心が前記載物台の回転中心に一致するように前記載物台に載置された形状が既知の基準被測定物の無偏心外形形状を測定した測定結果を記録し、
前記基準被測定物の円形の断面の中心が前記載物台の回転中心に対して所定量偏心した状態で、前記基準被測定物の偏心外形形状を測定した測定結果を記録し、
前記無偏心外形形状と前記偏心外形形状との差から、前記先端子の球状からの変形量を算出し、
算出した前記変形量が所定の範囲を超えた時に不良と判定して、不良を報知することを特徴とする真円度測定装置。
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