JP2012093213A - 力覚センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の固定部A1のセンサ支持体5に受光素子を有するセンサ基板11が設けられている。第2の固定部A2は、外力の作用によりセンサ支持体5に対して変位する。第2の固定部A2の円筒部材6と、センサ支持体5とが弾性連結部7a,7b,7cで連結されている。第2の固定部A2の変換部材取付板3とセンサ支持体5との間には、変位方向変換部材10a,10b,10cが配置されている。各変位方向変換部材10a,10b,10cは、センサ支持体5に対する第2の固定部A2の垂直方向の変位によってセンサ支持体5に対して水平方向に変位する中間端部23を有している。そして、センサ基板11の各受光素子に対向するように、中間端部23の下面にスケール34a,34b,…が設けられている。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る力覚センサを示す斜視図である。図2は、力覚センサの内部構成を示す説明図であり、図2(a)は上蓋及び変換部材取付板を取り外した状態の力覚センサの平面図、図2(b)はX−Z面に沿う力覚センサの断面図である。
次に、本発明の第2実施形態に係る力覚センサ100Aについて詳細に説明する。図5は、本発明の第2実施形態に係る力覚センサを示す斜視図である。図6は、力覚センサの内部構成を示す説明図であり、図6(a)は上蓋及び変換部材取付板を取り外した状態の力覚センサの平面図、図6(b)はX−Z面に沿う力覚センサの断面図である。図6(c)は下蓋を取り外した状態の力覚センサの底面図である。なお、本第2実施形態において、上記第1実施形態と同様の構成については、同一符号を付してその説明を省略する。
次に、本発明の第3実施形態に係る力覚センサについて説明する。図9は、本第3実施形態に係る力覚センサの変位方向変換機構である変位方向変換部材を側面から見た断面図である。なお、本第3実施形態に係る力覚センサにおいて、変位方向変換部材を除く部分は、上記第1実施形態又は上記第2実施形態に係る力覚センサと同様であるので、変位方向変換部材についてのみ説明する。図9に示す変位方向変換部材10a,10b,10cは、すべて同一構造である。
次に、本発明の第4実施形態に係る力覚センサについて説明する。図10は、本第4実施形態に係る力覚センサの変位方向変換機構である変位方向変換部材の側面図である。なお、本第4実施形態に係る力覚センサにおいて、変位方向変換部材を除く部分は、上記第1実施形態又は上記第2実施形態に係る力覚センサと同様であるので、変位方向変換部材についてのみ説明する。図10に示す変位方向変換部材10a,10b,10cは、すべて同一構造である。
次に、本発明の第5実施形態に係る力覚センサについて説明する。図11は、本第5実施形態に係る力覚センサの変位方向変換機構である変位方向変換装置を側面から見た断面図である。なお、本第5実施形態においても変位方向変換装置を除く部分はすべて上記第1実施形態又は上記第2実施形態の力覚センサと同一の構成である。従って、同一構成の部分については説明を省略し、上記第1実施形態及び上記第2実施形態と異なる変位方向変換機構である変位方向変換装置51a,51b,51cについてのみ説明する。
Claims (6)
- 支持部と、
外力の作用により前記支持部に対して変位する受力部と、
前記支持部と前記受力部とを連結する弾性連結部と、
前記支持部と前記受力部との間に複数配置され、且つ前記支持部に対する前記受力部の垂直方向の変位によって前記支持部に対して水平方向に変位する変位部を有する変位方向変換機構と、
前記各変位方向変換機構の前記変位部の前記支持部側に設けられた検出対象体と、
前記各検出対象体に対向するように前記支持部に支持され、前記各検出対象体の移動を検出する変位検出素子と、を備えたことを特徴とする力覚センサ。 - 前記各変位方向変換機構は、Z字形状に折り曲げられ、前記支持部に対して水平な面で鏡面対称に配置された一対の弾性板材を有し、
前記一対の弾性板材のうちの一方の弾性板材の基端部が前記支持部に固定され、前記一対の弾性板材のうちの他方の弾性板材の基端部が前記受力部に固定され、
前記一対の弾性板材の先端部同士が接合されて前記変位部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の力覚センサ。 - 前記各変位方向変換機構はZ字形状に折り曲げられた第1の弾性板材と、コ字形状に折り曲げられた第2の弾性板材とからなる一対の弾性板材を有し、
前記第1の弾性板材の基端部が前記支持部に固定され、前記第2の弾性板材の基端部が前記受力部に固定され、
前記第1の弾性板材の先端部が前記変位部となるように、前記第2の弾性板材の先端部が前記第1の弾性板材の基端部と先端部との間の平坦部に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の力覚センサ。 - 前記一対の弾性板材のそれぞれには、折り曲げ部以外の部分に補強リブが形成されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の力覚センサ。
- 前記各変位方向変換機構は、前記支持部と前記受力部とにヒンジ部を介して接続される回転体を有し、
前記変位部として、前記回転体から前記支持部に対して水平に突出する突出部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の力覚センサ。 - 前記各変位方向変換機構は、
前記支持部に固定され、内部に液体が充填された容器と、
前記受力部に固定され、前記支持部に対して垂直方向に移動可能に前記容器を貫通した状態で配置された可動部材と、を有し、
前記変位部は、前記容器の内部の液体の圧力により前記支持部に対して水平方向に移動可能に前記容器を貫通した状態で配置されていることを特徴とする請求項1に記載の力覚センサ。
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---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (3)
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4072506B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2008-04-09 | ミネベア株式会社 | 光学式変位センサおよび外力検出装置 |
JP5489538B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2014-05-14 | キヤノン株式会社 | 力覚センサ |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4072506B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2008-04-09 | ミネベア株式会社 | 光学式変位センサおよび外力検出装置 |
JP5489538B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2014-05-14 | キヤノン株式会社 | 力覚センサ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014109305A1 (ja) * | 2013-01-10 | 2014-07-17 | Ntn株式会社 | 磁気式荷重センサおよび電動ブレーキ装置 |
JP2014134450A (ja) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Ntn Corp | 磁気式荷重センサおよび電動ブレーキ装置 |
CN104903690A (zh) * | 2013-01-10 | 2015-09-09 | Ntn株式会社 | 磁载荷传感器及电动制动装置 |
US9599523B2 (en) | 2013-01-10 | 2017-03-21 | Ntn Corporation | Magnetic load sensor and electric brake system |
US10156485B2 (en) | 2013-01-10 | 2018-12-18 | Ntn Corporation | Magnetic load sensor and electric brake system |
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