JP2012080030A - 電子部品内蔵基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品と、電子部品を覆う部品内蔵絶縁層と、部品内蔵絶縁層の下面側に設けられた第1配線と、部品内蔵絶縁層の上面側に設けられた第2配線と、第2配線および電子部品の端子に電気的に接続する第1接続ビアと、第1配線および前記第2配線に電気的に接続する第2接続ビアを有し、電子部品の端子は保護絶縁膜に覆われ、この保護絶縁膜上に前記部品内蔵絶縁層が設けられ、第1接続ビアは、部品内蔵絶縁層と保護絶縁膜を貫通して電子部品の端子に接している、電子部品内蔵基板。
【選択図】図1
Description
端子を有する電子部品と、
前記電子部品を覆う部品内蔵絶縁層と、
前記部品内蔵絶縁層の下面側に設けられた第1配線と、
前記部品内蔵絶縁層の上面側に設けられた第2配線と、
前記第2配線および前記端子に電気的に接続する第1接続ビアと、
前記第1配線および前記第2配線に電気的に接続する第2接続ビアを含み、
前記端子は保護絶縁膜に覆われ、該保護絶縁膜上に前記部品内蔵絶縁層が設けられ、前記第1接続ビアは、該部品内蔵絶縁層と該保護絶縁膜を貫通して該端子に接している、電子部品内蔵基板が提供される。
支持体上にベース絶縁層を形成する工程と、
端子が保護絶縁膜に覆われた電子部品を用意し、該電子部品を前記ベース絶縁層上に搭載する工程と、
前記電子部品を覆う部品内蔵絶縁層を設ける工程と、
前記部品内蔵絶縁層と前記保護絶縁膜を貫通するホールを形成し、該ホール内に導電材料を設けて前記端子に接する接続ビアを形成する工程と、
前記部品内蔵絶縁層上に、前記接続ビアに電気的に接続する配線層を形成する工程と、
前記支持体を除去する工程を含む、電子部品内蔵基板の製造方法が提供される。
ベース絶縁層と該ベース絶縁層上に設けられた第1配線層を有する配線基板を用意する工程と、
端子が保護絶縁膜に覆われた電子部品を用意し、該電子部品を前記配線基板上に搭載する工程と、
前記電子部品を覆う部品内蔵絶縁層を設ける工程と、
前記部品内蔵絶縁層と前記保護絶縁膜を貫通するホールを形成し、該ホール内に導電材料を設けて前記端子に接する接続ビアを形成する工程と、
前記部品内蔵絶縁層上に、前記接続ビアに電気的に接続する第2配線層を形成する工程を含む、電子部品内蔵基板の製造方法が提供される。
12:接続ビア
13:絶縁層
14,15:配線層
16:貫通ビア
17:ビア
18:ソルダーレジスト
19,20:外部端子
21:接続端子
22:保護絶縁膜
23:パッシベーション膜
24:接続端子
25:チップ部品
26:接続端子
27:支持体
28:内蔵層
Claims (10)
- 端子を有する電子部品と、
前記電子部品を覆う部品内蔵絶縁層と、
前記部品内蔵絶縁層の下面側に設けられた第1配線と、
前記部品内蔵絶縁層の上面側に設けられた第2配線と、
前記第2配線および前記端子に電気的に接続する第1接続ビアと、
前記第1配線および前記第2配線に電気的に接続する第2接続ビアを有し、
前記端子は保護絶縁膜に覆われ、該保護絶縁膜上に前記部品内蔵絶縁層が設けられ、前記第1接続ビアは、該部品内蔵絶縁層と該保護絶縁膜を貫通して該端子に接している、電子部品内蔵基板。 - 前記保護絶縁膜は、前記端子を覆うとともに前記電子部品の少なくとも上面全体に設けられている、請求項1に記載の電子部品内蔵基板。
- 前記保護絶縁膜は、前記端子を覆うとともに前記電子部品の少なくとも周囲側面に設けられている、請求項1又は2に記載の電子部品内蔵基板。
- 前記保護絶縁膜の弾性率は、前記部品内蔵絶縁層の弾性率より大きい、請求項1から3のいずれか一項に記載の電子部品内蔵基板。
- 前記第1接続ビアのビア径は、前記第2接続ビアのビア径より小さい、請求項1から4のいずれか一項に記載の電子部品内蔵基板。
- 支持体上にベース絶縁層を形成する工程と、
端子が保護絶縁膜に覆われた電子部品を用意し、該電子部品を前記ベース絶縁層上に搭載する工程と、
前記電子部品を覆う部品内蔵絶縁層を設ける工程と、
前記部品内蔵絶縁層と前記保護絶縁膜を貫通するホールを形成し、該ホール内に導電材料を設けて前記端子に接する接続ビアを形成する工程と、
前記部品内蔵絶縁層上に、前記接続ビアに電気的に接続する配線層を形成する工程と、
前記支持体を除去する工程を含む、電子部品内蔵基板の製造方法。 - 前記電子部品を搭載する前に、前記ベース絶縁層上に導電層を形成する工程と、
前記部品内蔵絶縁層に、前記導電層に電気的に接続する部品側方ビアを形成する工程をさらに含み、該部品側方ビアは前記配線層に電気的に接続される、請求項6に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。 - ベース絶縁層と該ベース絶縁層上に設けられた第1配線層を有する配線基板を用意する工程と、
端子が保護絶縁膜に覆われた電子部品を用意し、該電子部品を前記配線基板上に搭載する工程と、
前記電子部品を覆う部品内蔵絶縁層を設ける工程と、
前記部品内蔵絶縁層と前記保護絶縁膜を貫通するホールを形成し、該ホール内に導電材料を設けて前記端子に接する接続ビアを形成する工程と、
前記部品内蔵絶縁層上に、前記接続ビアに電気的に接続する第2配線層を形成する工程を含む、電子部品内蔵基板の製造方法。 - 前記部品内蔵絶縁層に、前記第1配線層に電気的に接続する部品側方ビアを形成する工程をさらに含み、該部品側方ビアは前記第2配線層に電気的に接続される、請求項8に記載の電子部品内蔵基板の製造方法。
- 前記ホールは、レーザを用いて形成され、前記保護絶縁膜は、前記レーザの波長に吸収を有するフィラーを含有している、請求項6から9のいずれか一項に記載の部品内蔵基板の製造方法。
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