JP2012079721A - Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】まず、c面を主面とするサファイア基板10表面に凹凸加工を施す。凹凸の深さは1〜2μm、凹凸側面の傾斜角度は40〜80°とする。次にサファイア基板10上に、バッファ層11を形成し、バッファ層11上に、GaNからなる防止層12を、600〜1050℃で形成し、バッファ層11の全面を被覆する。次に、防止層12上に、1050〜1200℃でn型層13をMOCVD法によって形成する。このとき、バッファ層11の全面が防止層12に覆われているため、バッファ層11のマストランスポートが抑制される。そのため、結晶にピットが発生するのを抑制することができる。
【選択図】図1
Description
11:バッファ層
12:防止層
13:n型層
14:発光層
15:p型層
16:透明電極
17:n電極
18:p電極
19:凸部
Claims (4)
- 凹凸加工されたc面を主面とするサファイア基板上に、バッファ層を介してIII 族窒化物半導体からなるn型層、発光層、p型層を順に積層するIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記サファイア基板の前記凹凸は、凹凸側面の傾斜角度が40〜80°、凹凸の深さが1〜2μmとなるよう形成し、
前記バッファ層上に、そのバッファ層のマストランスポートを防止するIII 族窒化物半導体からなる防止層を、600〜1050℃の温度で前記バッファ層の全面を被覆するように形成し、
その後、前記防止層上に前記n型層を1050〜1200℃の温度で形成する、
ことを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記バッファ層は、AlNであり、前記防止層は、900〜1050℃で形成することを特徴とする請求項1に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記バッファ層は、GaNであり、前記n型層を形成するために昇温する際、キャリアガスとして窒素を用いる、ことを特徴とする請求項1に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記防止層の厚さは、20〜1000nmであることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
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