JP2012078200A - 分光計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分光計測装置は、測定対象の光を左円偏光と右円偏光の2つに分離する円偏光スプリッター(3,4)と、スリットに入射した光を分光する分散素子及び分散素子によって分光された光を受光する2次元CCDアレイからなる分光器(11)と、左円偏光、右円偏光を導く光ファイバー(6,9)と、光ファイバー(6,9)の出射側の端面から出射する2つの円偏光を分光器(11)のスリットに集光するファイバー集光光学系(10)とを備える。ファイバー集光光学系(10)は、光ファイバー(6,9)の出射側の端面を、2つの円偏光による干渉の影響を受けない間隔であって、かつ2つの円偏光を2次元CCDアレイの受光面上の別々の位置に独立に集光可能な間隔で並べて配置する。
【選択図】 図1
Description
また、本発明の分光計測装置の1構成例において、前記円偏光スプリッターは、測定対象となる光が入射するλ/4波長板と、このλ/4波長板を通過した光が入射する偏光ビームスプリッターとから構成され、前記λ/4波長板と前記偏光ビームスプリッターとは、前記λ/4波長板の偏光方向の高速軸または低速軸が前記偏光ビームスプリッターの辺に対して45°の角度を成すように配置されることを特徴とするものである。
また、本発明の分光計測装置の1構成例において、前記分光器は、前記スリットの開閉が可能なスリット開閉機構を備え、前記ファイバー集光光学系は、前記分光器のスリットに集光される2つの光スポットが並ぶ方向が前記スリットの開閉方向に対して垂直になるように、ファイバー列の方向を回動調整可能なファイバー固定具を備えることを特徴とするものである。
本発明の光学系は、偏光ビームスプリッタと、λ/4波長板で構成される円偏光スプリッターとを使用して左右の円偏光を2方向に分離し、この分離した2つの光をそれぞれ独立に2本のファイバ端面に結像させて入射させ、この2本のファイバの他端を、2つの光による干渉の影響を受けない間隔であって、かつCCDアレイ受光面上の別々の位置に独立に集光可能な間隔で並べて配置することで、分離した2つの光を同時に分光器内へ導入し、分光した後に2次元CCDアレイ上の縦軸方向に独立して再結像させることを特徴とする。この光学系により、左右それぞれの円偏光に分離した上で、それぞれの分光データを一括して取得することができる。さらに、時間的変動のない測定対象に対しても、1回の測定でデータ取得が完了するため、測定時間の短縮が見込める。
図1は本発明の実施の形態に係る分光計測装置の構成を示すブロック図である。分光計測装置は、対物レンズ2と、λ/4波長板3と、偏光ビームスプリッター4と、レンズ5と、光ファイバー6と、ミラー7と、レンズ8と、光ファイバー9と、ファイバー集光光学系10と、分光器11とから構成される。
λ/4波長板3と偏光ビームスプリッター4とは、円偏光スプリッターとして機能し、対物レンズ2から入射した光を左円偏光と右円偏光の2つに分離する。図2は円偏光スプリッターの構成を示す図であり、対物レンズ2側から円偏光スプリッターを見た図である。図2において、13はλ/4波長板3の高速軸、14はλ/4波長板3の低速軸を示し、15は円偏光スプリッターに入射する光の伝播方向を示している。図2に示すように、λ/4波長板3と偏光ビームスプリッター4とは、λ/4波長板3の偏光方向の高速軸(または低速軸)が偏光ビームスプリッター4の辺に対して45°の角度を成すように配置される。
こうして、本実施の形態では、分離した2つの円偏光の分光データの取得が1回の測定で完了するので、光学特性が時間的に変動する測定対象について左右両方の円偏光の情報を得ることが可能となる。また、本実施の形態では、時間的変動のない測定対象についても測定時間を従来の1/2に短縮することができる。
Claims (3)
- 測定対象となる光を左円偏光と右円偏光の2つに分離する円偏光スプリッターと、
スリットに入射した光を分光する分散素子及びこの分散素子によって分光された光を受光する2次元CCDアレイからなる分光器と、
前記円偏光スプリッターによって分離された左円偏光を導く第1の光ファイバーと、
前記円偏光スプリッターによって分離された右円偏光を導く第2の光ファイバーと、
前記第1、第2の光ファイバーの出射側の端面から出射する2つの円偏光を前記分光器のスリットに集光するファイバー集光光学系とを備え、
前記ファイバー集光光学系は、前記第1の光ファイバーの出射側の端面と前記第2の光ファイバーの出射側の端面とを、前記2つの円偏光による干渉の影響を受けない間隔であって、かつ前記2つの円偏光を前記2次元CCDアレイの受光面上の別々の位置に独立に集光可能な間隔で並べて配置することを特徴とする分光計測装置。 - 請求項1記載の分光計測装置において、
前記円偏光スプリッターは、測定対象となる光が入射するλ/4波長板と、このλ/4波長板を通過した光が入射する偏光ビームスプリッターとから構成され、
前記λ/4波長板と前記偏光ビームスプリッターとは、前記λ/4波長板の偏光方向の高速軸または低速軸が前記偏光ビームスプリッターの辺に対して45°の角度を成すように配置されることを特徴とする分光計測装置。 - 請求項1または2記載の分光計測装置において、
前記分光器は、前記スリットの開閉が可能なスリット開閉機構を備え、
前記ファイバー集光光学系は、前記分光器のスリットに集光される2つの光スポットが並ぶ方向が前記スリットの開閉方向に対して垂直になるように、ファイバー列の方向を回動調整可能なファイバー固定具を備えることを特徴とする分光計測装置。
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