JP2012067502A - Window glass having temperature sensor - Google Patents

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Kensho Nagatomo
憲昭 長友
Hitoshi Inaba
均 稲場
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a window glass having a temperature sensor, capable of reducing irregularities on a glass surface, having high responsibility of temperature measurement, and achieving accurate temperature measurement.SOLUTION: A window glass having a temperature sensor comprises a plate glass body 2 used for a window, and a film-shaped temperature sensor 4 which is attached to a glass surface of the plate glass body 2 and has a heat-sensitive part which is spread out on the attached area and has electric resistance which changes responding to temperature. The film-shaped temperature sensor 4 comprises an insulating film 5, a film-shaped heat-sensitive part extending on the insulating film 5, and a couple of lead wires 6 connected to the heat-sensitive part.

Description

本発明は、窓ガラスの温度を計測することができる温度センサ付き窓ガラスに関する。   The present invention relates to a window glass with a temperature sensor capable of measuring the temperature of the window glass.

近年、窓ガラスの温度を測定してカーテン、ブラインドまたは空調機器などを制御するために、窓ガラスに温度センサを取り付けたセンサ付き窓ガラスが検討されている。
従来、例えば特許文献1には、窓に使用される板ガラスにおいて、室内側ガラス面あるいは室外側ガラス面に、温度センサと光センサとを設けた窓ガラスが提案されている。
In recent years, in order to measure the temperature of a window glass and control a curtain, a blind, an air conditioner, etc., the window glass with a sensor which attached the temperature sensor to the window glass is examined.
Conventionally, for example, Patent Document 1 proposes a window glass in which a temperature sensor and a light sensor are provided on an indoor side glass surface or an outdoor side glass surface in a plate glass used for a window.

この窓ガラスでは、温度センサと光センサとで検知した温度と光量とに基づいて、ブラインドの昇降等の自動調整を行っている。なお、この窓ガラスに取り付ける温度センサとしては、線径0.3mmの熱電対、サーミスタあるいは金属抵抗線などが用いられ、これを接着剤でガラス面に接着させている。   In this window glass, automatic adjustment such as raising and lowering of the blind is performed based on the temperature and light quantity detected by the temperature sensor and the optical sensor. As the temperature sensor attached to the window glass, a thermocouple, thermistor, metal resistance wire or the like having a wire diameter of 0.3 mm is used, and this is adhered to the glass surface with an adhesive.

特開2000−337048号公報JP 2000-337048 A

上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、上記特許文献1に記載の技術では、窓ガラスのガラス面に熱電対、サーミスタあるいは金属抵抗線をガラス面に接着剤で取り付けているが、これらをガラス面に取り付けると、窓ガラスのガラス面に局所的な凸部が生じ、掃除などの際に引っ掛かって外れやすい等の不都合があった。また、ガラス面に局所的な凸部状に設置された温度センサだけが、外気風などによって窓ガラス全体よりも急峻に温度変動しやすく、正確な温度測定ができないという問題もある。さらに、温度センサが窓ガラスに密着している面積が小さく、局所的であって熱伝導性も低くなるために窓ガラスの正確な温度を測定することが難しいと共に、凸部状である温度センサの体積に基づく熱容量によって応答性も低いという問題もある。
The following problems remain in the conventional technology.
That is, in the technique described in Patent Document 1, a thermocouple, thermistor, or metal resistance wire is attached to the glass surface with an adhesive on the glass surface of the window glass. There was a problem in that a local convex portion was formed on the surface, and it was easily caught and removed during cleaning. In addition, there is a problem that only the temperature sensor installed in a local convex shape on the glass surface is likely to fluctuate more rapidly than the whole window glass due to outside air or the like, and accurate temperature measurement cannot be performed. Furthermore, since the area where the temperature sensor is in close contact with the window glass is small, and it is local and has low thermal conductivity, it is difficult to measure the exact temperature of the window glass, and the temperature sensor is convex. There is also a problem that the responsiveness is low due to the heat capacity based on the volume.

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、ガラス面での凹凸を小さくでき、温度測定の応答性が高いと共に正確な温度測定が可能な温度センサ付き窓ガラスを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a window glass with a temperature sensor that can reduce unevenness on the glass surface, has high temperature measurement responsiveness, and is capable of accurate temperature measurement. And

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明の温度センサ付き窓ガラスは、窓に使用される板ガラス本体と、該板ガラス本体のガラス面に貼り付けられていると共にこの貼り付けられた領域に広がって配されて温度に応じて電気抵抗が変化する感熱部を有したフィルム状温度センサとを備えていることを特徴とする。   The present invention employs the following configuration in order to solve the above problems. That is, the window glass with a temperature sensor of the present invention is attached to the glass surface of the plate glass body used in the window and the glass surface of the plate glass body, and is spread over the attached region, depending on the temperature. And a film-like temperature sensor having a heat-sensitive part whose electrical resistance changes.

この温度センサ付き窓ガラスでは、板ガラス本体のガラス面に貼り付けられていると共にこの貼り付けられた領域に広がって配されて温度に応じて電気抵抗が変化する感熱部を有したフィルム状温度センサを備えているので、板ガラス本体に貼り付けられたフィルム状温度センサの広い貼付面で温度を測定でき、従来の局所的に温度センサを密着固定したものに比べて、窓ガラスの温度を正確に測定することができる。特に、フィルム状温度センサの感熱部を大面積にするほど、広い面積での平均温度を測定可能になり、窓ガラスの正確な温度を測定可能になる。また、フレキシブルで外形状の凹凸が小さく薄い構造のフィルム状温度センサであるため、掃除等による剥がれも少なくなると共に、外気風などを受ける場合でも温度変動が生じ難い。さらに、フィルム状温度センサが薄く熱容量も小さいことから、温度計測の応答性が高い。   In this window glass with a temperature sensor, a film-like temperature sensor having a heat-sensitive part that is attached to the glass surface of the plate glass main body and spreads over the attached region so that the electric resistance changes according to the temperature. Therefore, the temperature of the window glass can be measured with a wide surface of the film temperature sensor affixed to the plate glass body. Can be measured. In particular, the larger the heat sensitive part of the film-like temperature sensor, the more the average temperature in a wide area can be measured, and the accurate temperature of the window glass can be measured. Further, since the film-like temperature sensor is flexible and has a thin outer shape with a small unevenness, peeling due to cleaning or the like is reduced, and temperature fluctuations are unlikely to occur even when receiving outside air. Furthermore, since the film temperature sensor is thin and the heat capacity is small, the responsiveness of temperature measurement is high.

また、本発明の温度センサ付き窓ガラスは、前記フィルム状温度センサが、前記板ガラス本体の上下方向に延在して貼り付けられていることを特徴とする。
すなわち、この温度センサ付き窓ガラスでは、フィルム状温度センサが、板ガラス本体の上下方向に延在して貼り付けられているので、温度差が生じやすい窓ガラスの上下方向における平均温度が測定可能になり、上下方向の温度差による測定誤差を低減することができる。
Moreover, the window glass with a temperature sensor of the present invention is characterized in that the film-like temperature sensor is attached so as to extend in the vertical direction of the plate glass body.
That is, in this window glass with a temperature sensor, the film-like temperature sensor is attached so as to extend in the vertical direction of the plate glass main body, so that the average temperature in the vertical direction of the window glass that is likely to cause a temperature difference can be measured. Thus, measurement errors due to the temperature difference in the vertical direction can be reduced.

また、本発明の温度センサ付き窓ガラスは、前記フィルム状温度センサが、絶縁性フィルムと、該絶縁性フィルム上に延在して形成された薄膜状の前記感熱部と、該感熱部に接続された一対のリード線とを備えていることを特徴とする。
すなわち、この温度センサ付き窓ガラスでは、フィルム状温度センサが、絶縁性フィルム上に延在して形成された薄膜状の感熱部を有するので、高い柔軟性によって板ガラス本体のガラス面に容易にかつ高い密着状態でフィルム状温度センサを接着させることができ、高精度かつ高応答性な温度計測が可能になる。
In the window glass with a temperature sensor of the present invention, the film-like temperature sensor is connected to the insulating film, the thin-film heat-sensitive part formed on the insulating film, and the heat-sensitive part. And a pair of lead wires.
That is, in this window glass with a temperature sensor, the film-like temperature sensor has a thin film-like heat-sensitive portion formed on the insulating film, so that it can be easily applied to the glass surface of the plate glass main body with high flexibility. The film-like temperature sensor can be adhered in a high contact state, and temperature measurement with high accuracy and high response becomes possible.

また、本発明の温度センサ付き窓ガラスは、前記板ガラス本体の周縁部に取り付けられた枠部を備え、前記絶縁性フィルムが、前記枠部の近傍に配置され、前記リード線が、前記枠部内に配線されていることを特徴とする。
すなわち、この温度センサ付き窓ガラスでは、絶縁性フィルムが、枠部の近傍に配置され、リード線が、枠部内に配線されているので、絶縁性フィルムおよび感熱部が板ガラス本体からの採光の妨げになり難く目立たないと共に、配線が枠部内に隠れていることで、外観上の美観を損ねることなく配線することが可能になる。
Further, the window glass with a temperature sensor of the present invention includes a frame portion attached to a peripheral portion of the plate glass body, the insulating film is disposed in the vicinity of the frame portion, and the lead wire is disposed in the frame portion. It is characterized by being wired to.
That is, in this window glass with a temperature sensor, the insulating film is arranged in the vicinity of the frame portion, and the lead wires are wired in the frame portion, so that the insulating film and the heat sensitive portion prevent the lighting from the plate glass body. In addition, the wiring is hidden in the frame portion, so that the wiring can be performed without impairing the appearance.

また、本発明の温度センサ付き窓ガラスは、前記感熱部が、前記絶縁性フィルム上に形成され前記一対のリード線が接続された一対のパターン電極と、前記絶縁性フィルム上および前記一対のパターン電極上にパターン形成された薄膜サーミスタ部と、を備えていることを特徴とする。
すなわち、この温度センサ付き窓ガラスでは、感熱部が、絶縁性フィルム上にパターン形成された薄膜サーミスタ部を備えているので、絶縁性フィルム上に広範囲に薄膜サーミスタ部を広い面積で形成して、より高精度かつ高応答性な温度計測が可能になる。
Further, in the window glass with a temperature sensor of the present invention, the heat sensitive part is formed on the insulating film, and the pair of pattern electrodes to which the pair of lead wires are connected, the insulating film and the pair of patterns. And a thin film thermistor portion patterned on the electrode.
That is, in this window glass with a temperature sensor, since the heat sensitive part has a thin film thermistor part patterned on the insulating film, the thin film thermistor part is formed over a wide area on the insulating film, More accurate and responsive temperature measurement becomes possible.

また、本発明の温度センサ付き窓ガラスは、前記感熱部が、前記絶縁性フィルム上に白金膜でパターン形成された白金測温抵抗体であることを特徴とする。
すなわち、この温度センサ付き窓ガラスでは、感熱部が、絶縁性フィルム上に白金膜でパターン形成された白金測温抵抗体であるので、絶縁性フィルム上に広範囲にわたって延在する白金測温抵抗体により、より高精度かつ高応答性な温度計測が可能になる。
Moreover, the window glass with a temperature sensor of the present invention is characterized in that the heat sensitive part is a platinum resistance thermometer formed by patterning a platinum film on the insulating film.
That is, in this window glass with a temperature sensor, since the heat sensitive part is a platinum resistance thermometer that is patterned with a platinum film on the insulating film, the platinum resistance thermometer extending over a wide range on the insulating film. Thus, temperature measurement with higher accuracy and higher response becomes possible.

本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係る温度センサ付き窓ガラスによれば、板ガラス本体のガラス面に貼り付けられていると共にこの貼り付けられた領域に広がって配されて温度に応じて電気抵抗が変化する感熱部を有したフィルム状温度センサを備えているので、従来の局所的に温度センサを密着固定したものに比べて、窓ガラスの温度を正確に測定することができると共に応答性に優れ、外形状の凹凸を極力抑えて掃除等による剥がれや外気風による温度変動の抑制が可能になる。したがって、本発明の温度センサ付き窓ガラスを用いれば、窓ガラスの温度を高精度にかつ高応答性で測定でき、カーテン、ブラインドまたは空調機器などの制御を高精度に行うことが可能になる。
The present invention has the following effects.
That is, according to the window glass with a temperature sensor according to the present invention, the heat sensitive part that is attached to the glass surface of the plate glass main body and spreads over the attached area and the electric resistance changes according to the temperature. The temperature of the window glass can be accurately measured and the response of the outer shape is improved compared to the conventional local temperature sensor closely attached and fixed. It is possible to suppress unevenness as much as possible and suppress temperature fluctuations caused by peeling or cleaning by the outside air. Therefore, if the window glass with a temperature sensor of the present invention is used, the temperature of the window glass can be measured with high accuracy and high responsiveness, and it becomes possible to control curtains, blinds, air conditioners, and the like with high accuracy.

本発明に係る温度センサ付き窓ガラスの第1実施形態を示す正面図である。It is a front view which shows 1st Embodiment of the window glass with a temperature sensor which concerns on this invention. 第1実施形態において、フィルム状温度センサを示す斜視図である。In 1st Embodiment, it is a perspective view which shows a film-like temperature sensor. 第1実施形態において、フィルム状温度センサの製造方法を工程順に示す斜視図である。In 1st Embodiment, it is a perspective view which shows the manufacturing method of a film-form temperature sensor in order of a process. 本発明に係る温度センサ付き窓ガラスの第2実施形態において、フィルム状温度センサを示す斜視図である。In 2nd Embodiment of the window glass with a temperature sensor which concerns on this invention, it is a perspective view which shows a film-form temperature sensor. 第2実施形態において、フィルム状温度センサの製造方法を工程順に示す斜視図である。In 2nd Embodiment, it is a perspective view which shows the manufacturing method of a film-form temperature sensor in order of a process. 本発明に係る温度センサ付き窓ガラスの第3実施形態を示す正面図である。It is a front view which shows 3rd Embodiment of the window glass with a temperature sensor which concerns on this invention.

以下、本発明に係る温度センサ付き窓ガラスの第1実施形態を、図1から図3を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能又は認識容易な大きさとするために縮尺を適宜変更している。   Hereinafter, a first embodiment of a window glass with a temperature sensor according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. In each drawing used for the following description, the scale is appropriately changed in order to make each member recognizable or easily recognizable.

本実施形態の温度センサ付き窓ガラス1は、図1及び図2に示すように、窓に使用される板ガラス本体2と、該板ガラス本体2の周縁部に取り付けられた枠部2aと、該板ガラス本体2のガラス面に貼り付けられていると共にこの貼り付けられた領域に広がって配されて温度に応じて電気抵抗が変化する感熱部3を有したフィルム状温度センサ4とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the window glass 1 with a temperature sensor of the present embodiment includes a plate glass main body 2 used for a window, a frame portion 2 a attached to a peripheral portion of the plate glass main body 2, and the plate glass. A film-like temperature sensor 4 having a heat-sensitive portion 3 that is attached to the glass surface of the main body 2 and is spread over the attached region and changes its electrical resistance in accordance with the temperature.

上記フィルム状温度センサ4は、絶縁性フィルム5と、該絶縁性フィルム5上に延在して形成された薄膜状の上記感熱部3と、該感熱部3に接続された一対のリード線6とを備えている。
上記絶縁性フィルム5は、枠部2aの近傍に配置され、リード線6が、枠部2a内に配線されている。
The film-like temperature sensor 4 includes an insulating film 5, a thin-film heat-sensitive part 3 formed on the insulating film 5, and a pair of lead wires 6 connected to the heat-sensitive part 3. And.
The insulating film 5 is disposed in the vicinity of the frame portion 2a, and lead wires 6 are wired in the frame portion 2a.

上記感熱部3は、図2に示すように、絶縁性フィルム5上に形成され一対のリード線6が接続された一対のパターン電極7と、絶縁性フィルム5上および一対のパターン電極7上にパターン形成された薄膜サーミスタ部8と、を備えている。
上記絶縁性フィルム5は、例えばポリイミド樹脂シートで長方形状に形成されている。
As shown in FIG. 2, the heat sensitive part 3 is formed on a pair of pattern electrodes 7 formed on an insulating film 5 and connected to a pair of lead wires 6, and on the insulating film 5 and the pair of pattern electrodes 7. And a patterned thin film thermistor section 8.
The insulating film 5 is formed in a rectangular shape with, for example, a polyimide resin sheet.

上記一対のパターン電極7は、例えばNiCr膜とPt膜との積層金属膜でパターン形成され、互いに対向状態に配した櫛形パターンの櫛形電極部分を有している。これらパターン電極7の櫛形電極部分は、全体として長方形状の絶縁性フィルム5の延在方向(板ガラス本体2の上下方向)に沿って延在するように配置されている。また、一対のパターン電極7の基端部上には、リード線6の引き出し部としてめっき部10が形成されている。さらに、このめっき部10にリード線6の一端が半田材11で接合されている。   The pair of pattern electrodes 7 is formed by patterning a laminated metal film of, for example, a NiCr film and a Pt film, and has comb-shaped electrode portions having a comb-shaped pattern arranged in an opposed state. The comb-shaped electrode portions of these pattern electrodes 7 are arranged so as to extend along the extending direction of the rectangular insulating film 5 as a whole (the vertical direction of the plate glass body 2). Further, a plating part 10 is formed on the base end part of the pair of pattern electrodes 7 as a lead part of the lead wire 6. Furthermore, one end of the lead wire 6 is joined to the plated portion 10 with a solder material 11.

上記薄膜サーミスタ部8は、例えばTiAlN、TiN、NbAlN、NbN等の窒化物からなる薄膜サーミスタ材料で、互いに対向するパターン電極7の櫛形電極部分を覆うように矩形の帯状に絶縁性フィルム5にパターン形成されている。   The thin film thermistor portion 8 is made of a thin film thermistor material made of nitride such as TiAlN, TiN, NbAlN, NbN, etc. Is formed.

次に、本実施形態の温度センサ付き窓ガラス1の製造方法について、図2および図3を参照して説明する。
まず、例えば、図3の(a)に示す厚さ50μmのポリイミド樹脂シートの絶縁性フィルム5上に、スパッタ法によってNiCr膜(Ni:Cr=80mol%:20mol%)を厚さ10nm形成し、さらにその上にPt膜を厚さ200nm形成する。
Next, the manufacturing method of the window glass 1 with a temperature sensor of this embodiment is demonstrated with reference to FIG. 2 and FIG.
First, for example, a NiCr film (Ni: Cr = 80 mol%: 20 mol%) is formed to a thickness of 10 nm on the insulating film 5 of a polyimide resin sheet having a thickness of 50 μm shown in FIG. Further, a Pt film having a thickness of 200 nm is formed thereon.

次に、図3の(b)に示すように、積層されたNiCr膜とPt膜との上にレジスト液をバーコーターで塗布し、80℃で10minプリベークした後、露光装置で所定の櫛形電極構造のパターン形状に感光し、不要部分を除去する。さらに、Arによるドライエッチングによって一対のパターン電極7を所定パターンでパターニングする。   Next, as shown in FIG. 3B, a resist solution is applied onto the stacked NiCr film and Pt film with a bar coater, pre-baked at 80 ° C. for 10 minutes, and then a predetermined comb electrode is formed with an exposure apparatus. It is exposed to the pattern shape of the structure, and unnecessary portions are removed. Further, the pair of pattern electrodes 7 is patterned in a predetermined pattern by dry etching with Ar.

このパターン電極7が形成された絶縁性フィルム5上に、図3の(c)に示すように、メタルマスクを介して反応性スパッタ法によりTiAlNの薄膜サーミスタ部8を所定形状で厚さ500nm成膜する。
その後、図3の(d)に示すように、この薄膜サーミスタ部8を覆うように絶縁性フィルム5上に接着剤付きのポリイミドカバーレイフィルム12を載せ、プレス機によって150℃で2N/cmの圧力で30min加圧し、接着させる。なお、この際、めっき部10を形成する一対のパターン電極7の基端部上は除いてポリイミドカバーレイフィルム12を接着する。
On the insulating film 5 on which the pattern electrode 7 is formed, as shown in FIG. 3C, a TiAlN thin film thermistor portion 8 having a predetermined shape and a thickness of 500 nm is formed by reactive sputtering through a metal mask. Film.
Thereafter, as shown in FIG. 3 (d), a polyimide coverlay film 12 with an adhesive is placed on the insulating film 5 so as to cover the thin film thermistor portion 8, and 2N / cm at 150 ° C. by a press machine. Pressurize with pressure for 30 min to adhere. At this time, the polyimide cover lay film 12 is bonded except for the base end portions of the pair of pattern electrodes 7 forming the plating portion 10.

次に、図3の(e)に示すように、一対のパターン電極7の基端部上にめっき液によって厚さ3μmのNiめっき層および厚さ10μmのSnめっき層を形成して、一対のめっき部10とする。
さらに、これらめっき部10にそれぞれリード線6の一端を半田材11で接合することで、図2に示すフィルム状温度センサ4が作製される。
Next, as shown in FIG. 3E, a Ni plating layer having a thickness of 3 μm and a Sn plating layer having a thickness of 10 μm are formed on the base end portions of the pair of pattern electrodes 7 by a plating solution. The plating part 10 is used.
Furthermore, the film-like temperature sensor 4 shown in FIG. 2 is produced by joining one end of each lead wire 6 to the plated portion 10 with the solder material 11.

次に、図1に示す板ガラス本体2の枠部2a近傍に両面接着剤付きフィルム(図示略)を貼り付け、この両面接着剤付きフィルム上にフィルム状温度センサ4を接着させる。さらに、絶縁テープ13でフィルム状温度センサ4の絶縁性フィルム5を覆うようにしてラッピングし、絶縁テープ13を板ガラス本体2に貼り付ける。また、一対のリード線6は、枠部2a内に挿通させて配線することで、本実施形態の温度センサ付き窓ガラス1が作製される。なお、リード線6は、例えば、外部に設置された空調機器等の温度測定回路(図示略)に接続される。   Next, a film with a double-sided adhesive (not shown) is attached in the vicinity of the frame portion 2a of the plate glass main body 2 shown in FIG. 1, and the film-like temperature sensor 4 is adhered onto the film with the double-sided adhesive. Furthermore, the insulating tape 13 is wrapped so as to cover the insulating film 5 of the film temperature sensor 4, and the insulating tape 13 is attached to the plate glass body 2. Further, the pair of lead wires 6 is inserted and wired in the frame portion 2a, whereby the window glass 1 with a temperature sensor of the present embodiment is manufactured. The lead wire 6 is connected to a temperature measurement circuit (not shown) such as an air conditioner installed outside.

このように本実施形態の温度センサ付き窓ガラス1では、板ガラス本体2のガラス面に貼り付けられていると共にこの貼り付けられた領域に広がって配されて温度に応じて電気抵抗が変化する感熱部3を有したフィルム状温度センサ4を備えているので、板ガラス本体2に貼り付けられたフィルム状温度センサ4の広い貼付面で温度を測定でき、従来の局所的に温度センサを密着固定したものに比べて、窓ガラスの温度を正確に測定することができる。   Thus, in the window glass 1 with a temperature sensor of this embodiment, it is affixed to the glass surface of the plate glass main body 2 and is spread over the affixed region so that the electric resistance changes depending on the temperature. Since the film-like temperature sensor 4 having the portion 3 is provided, the temperature can be measured with a wide sticking surface of the film-like temperature sensor 4 attached to the plate glass body 2, and the conventional temperature sensor is fixedly adhered locally. It is possible to accurately measure the temperature of the window glass as compared to the one.

特に、フィルム状温度センサ4の感熱部3を大面積にするほど、広い面積での平均温度を測定可能になり、窓ガラスの正確な温度を測定可能になる。また、フレキシブルで外形状の凹凸が小さく薄い構造のフィルム状温度センサ4であるため、掃除等による剥がれも少なくなると共に、外気風などを受ける場合でも温度変動が生じ難い。さらに、フィルム状温度センサ4が薄く熱容量も小さいことから、温度計測の応答性が高い。   In particular, the larger the heat sensitive part 3 of the film-like temperature sensor 4 is, the more the average temperature in a wider area can be measured, and the more accurate the window glass temperature can be measured. In addition, since the film-shaped temperature sensor 4 is flexible and has a thin outer shape and a thin structure, it is less likely to be peeled off due to cleaning or the like, and temperature fluctuations are less likely to occur even when receiving outside air. Furthermore, since the film temperature sensor 4 is thin and the heat capacity is small, the temperature measurement response is high.

また、フィルム状温度センサ4が、絶縁性フィルム5上に延在して形成された薄膜状の感熱部3を有するので、高い柔軟性によって板ガラス本体2のガラス面に容易にかつ高い密着状態でフィルム状温度センサ4を接着させることができ、高精度かつ高応答性な温度計測が可能になる。   Moreover, since the film-like temperature sensor 4 has the thin film-like heat sensitive part 3 formed on the insulating film 5, it can be easily and highly adhered to the glass surface of the plate glass main body 2 by high flexibility. The film-like temperature sensor 4 can be adhered, and temperature measurement with high accuracy and high response becomes possible.

また、絶縁性フィルム5が、枠部2aの近傍に配置され、リード線6が、枠部2a内に配線されているので、絶縁性フィルム5および感熱部3が板ガラス本体2からの採光の妨げになり難く目立たないと共に、配線が枠部内に隠れていることで、外観上の美観を損ねることなく配線することが可能になる。
さらに、感熱部3が、絶縁性フィルム5上にパターン形成された薄膜サーミスタ部8を備えているので、絶縁性フィルム5上に広範囲に薄膜サーミスタ部8を広い面積で形成して、より高精度かつ高応答性な温度計測が可能になる。
Further, since the insulating film 5 is disposed in the vicinity of the frame portion 2a and the lead wire 6 is wired in the frame portion 2a, the insulating film 5 and the heat sensitive portion 3 hinder the lighting from the plate glass body 2. In addition, the wiring is hidden in the frame portion, so that the wiring can be performed without impairing the appearance.
Furthermore, since the heat sensitive part 3 includes the thin film thermistor part 8 patterned on the insulating film 5, the thin film thermistor part 8 is formed over a wide area on the insulating film 5 in a wide area, so that the accuracy is high. In addition, highly responsive temperature measurement is possible.

次に、本発明に係る温度センサ付き窓ガラスの第2実施形態および第3実施形態について、図4から図6を参照して以下に説明する。なお、以下の実施形態の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。   Next, 2nd Embodiment and 3rd Embodiment of the window glass with a temperature sensor which concern on this invention are described below with reference to FIGS. Note that, in the following description of the embodiment, the same components described in the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

第2実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態では、感熱部3が薄膜サーミスタ部8を備えた薄膜サーミスタであるのに対し、第2実施形態の温度センサ付き窓ガラスは、図4および図5に示すように、感熱部23が、絶縁性フィルム5上にPt(白金)膜でミアンダ形状の線状にパターン形成された白金測温抵抗体28である点である。   The difference between the second embodiment and the first embodiment is that, in the first embodiment, the heat sensitive part 3 is a thin film thermistor provided with a thin film thermistor part 8, whereas the window glass with a temperature sensor of the second embodiment. As shown in FIGS. 4 and 5, the heat-sensitive portion 23 is a platinum resistance temperature detector 28 that is patterned in a meander-shaped linear pattern with a Pt (platinum) film on the insulating film 5. .

すなわち、第2実施形態のフィルム状温度センサ24では、絶縁性フィルム5上に成膜されたPt膜をミアンダ状にパターン形成して白金測温抵抗体28が絶縁性フィルム5上の広範囲にわたって設けられている。   That is, in the film-like temperature sensor 24 of the second embodiment, the platinum resistance thermometer 28 is provided over a wide range on the insulating film 5 by patterning the Pt film formed on the insulating film 5 in a meander shape. It has been.

次に、第2実施形態の温度センサ付き窓ガラスの製造方法について、図4および図5を参照して説明する。
まず、図5の(a)に示すように、例えば厚さ50μmのポリイミド樹脂シートの絶縁性フィルム5上に、スパッタ法によってNiCr膜(Ni:Cr=80mol%:20mol%)を厚さ10nm形成し、さらにその上にPt膜を厚さ200nm形成する。
Next, the manufacturing method of the window glass with a temperature sensor of 2nd Embodiment is demonstrated with reference to FIG. 4 and FIG.
First, as shown in FIG. 5A, a NiCr film (Ni: Cr = 80 mol%: 20 mol%) is formed to a thickness of 10 nm on the insulating film 5 of, for example, a polyimide resin sheet having a thickness of 50 μm by sputtering. Further, a Pt film having a thickness of 200 nm is formed thereon.

次に、図5の(b)に示すように、積層されたNiCr膜とPt膜との上にレジスト液をバーコーターで塗布し、80℃で10minプリベークした後、露光装置で所定のミアンダ構造のパターン形状に感光し、不要部分を除去する。さらに、Arによるドライエッチングによって白金測温抵抗体28を所定パターンでパターニングする。   Next, as shown in FIG. 5B, a resist solution is applied onto the stacked NiCr film and Pt film with a bar coater, pre-baked at 80 ° C. for 10 minutes, and then subjected to a predetermined meander structure with an exposure apparatus. The pattern is exposed to light, and unnecessary portions are removed. Further, the platinum resistance thermometer 28 is patterned in a predetermined pattern by dry etching with Ar.

その後、図5の(c)に示すように、この白金測温抵抗体28を覆うように絶縁性フィルム5上に接着剤付きのポリイミドカバーレイフィルム12を載せ、プレス機によって150℃で2N/cmの圧力で30min加圧し、接着させる。なお、めっき部10が形成される白金測温抵抗体28の一対の基端部上は除いてポリイミドカバーレイフィルム12を接着する。   Thereafter, as shown in FIG. 5C, a polyimide coverlay film 12 with an adhesive is placed on the insulating film 5 so as to cover the platinum resistance thermometer 28, and 2N / Pressurize with a pressure of cm for 30 minutes to adhere. The polyimide cover lay film 12 is bonded except for the pair of base end portions of the platinum resistance thermometer 28 where the plated portion 10 is formed.

次に、図5の(d)に示すように、白金測温抵抗体28の一対の基端部上にめっき液によって厚さ3μmのNiめっき層および厚さ10μmのSnめっき層を形成して、一対のめっき部10とする。
さらに、これらめっき部10にそれぞれリード線6の一端を半田材11で接合することで、図4に示すフィルム状温度センサ24が作製される。
Next, as shown in FIG. 5D, a Ni plating layer having a thickness of 3 μm and a Sn plating layer having a thickness of 10 μm are formed on the pair of base end portions of the platinum resistance thermometer 28 by a plating solution. A pair of plating portions 10 is used.
Furthermore, the film-like temperature sensor 24 shown in FIG. 4 is produced by joining one end of each lead wire 6 to the plated portion 10 with the solder material 11.

次に、第1実施形態と同様に、板ガラス本体2に両面接着剤付きフィルム(図示略)を貼り付け、この両面接着剤付きフィルム(図示略)上にフィルム状温度センサ24を、板ガラス本体2に接着させる。さらに、絶縁テープ13でフィルム状温度センサ24の絶縁性フィルム5を覆うようにしてラッピングし、絶縁テープ13を板ガラス本体2に接着する。また、一対のリード線6は、枠部2a内に挿通させて配線することで、第2実施形態の温度センサ付き窓ガラスが作製される。   Next, as in the first embodiment, a film with a double-sided adhesive (not shown) is attached to the plate glass body 2, and the film-like temperature sensor 24 is placed on the film with a double-sided adhesive (not shown). Adhere to. Further, the insulating film 13 is wrapped with the insulating tape 13 so as to cover the insulating film 5 of the film temperature sensor 24, and the insulating tape 13 is bonded to the plate glass body 2. Further, the pair of lead wires 6 is inserted and wired in the frame portion 2a, whereby the window glass with a temperature sensor of the second embodiment is manufactured.

このように第2実施形態の温度センサ付き窓ガラスでは、感熱部23が、絶縁性フィルム5上にPt膜でパターン形成された白金測温抵抗体28であるので、絶縁性フィルム5上に広範囲にわたって延在する白金測温抵抗体28により、より高精度かつ高応答性な温度計測が可能になる。   Thus, in the window glass with a temperature sensor of the second embodiment, since the heat sensitive part 23 is the platinum resistance thermometer 28 patterned with the Pt film on the insulating film 5, a wide range is provided on the insulating film 5. The platinum resistance thermometer 28 extending over the temperature enables more accurate and responsive temperature measurement.

次に、第3実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態では、長方形状のフィルム状温度センサ4が板ガラス本体2の下部に貼り付けられているのに対し、第3実施形態の温度センサ付き窓ガラス31では、絶縁性フィルム35が帯状に形成され、フィルム状温度センサ34が、板ガラス本体2の上下方向に延在して貼り付けられている点である。   Next, the difference between the third embodiment and the first embodiment is that, in the first embodiment, the rectangular film-like temperature sensor 4 is attached to the lower part of the plate glass body 2 whereas the third embodiment is different from the third embodiment. In the window glass 31 with a temperature sensor of the embodiment, the insulating film 35 is formed in a band shape, and the film-like temperature sensor 34 is attached to extend in the vertical direction of the plate glass body 2.

すなわち、第3実施形態では、帯状の絶縁性フィルム35の延在方向(板ガラス本体2の上下方向)に感熱部3が帯状に延在している。特に、第3実施形態では、板ガラス本体2の上端近傍から下端近傍にわたって絶縁性フィルム35および感熱部3が延在している。
なお、第3実施形態では、感熱部3が板ガラス本体2の上端近傍から下端近傍にわたって上下に延在するようにフィルム状温度センサ34を接着した状態で、帯状の絶縁テープ33でフィルム状温度センサ24の絶縁性フィルム35を覆うようにしてラッピングし、絶縁テープ33を板ガラス本体2に接着する。
That is, in the third embodiment, the heat-sensitive portion 3 extends in a strip shape in the extending direction of the strip-shaped insulating film 35 (the vertical direction of the plate glass main body 2). In particular, in 3rd Embodiment, the insulating film 35 and the heat sensitive part 3 are extended from the upper end vicinity of the plate glass main body 2 to the lower end vicinity.
In the third embodiment, the film-like temperature sensor 34 is bonded with the strip-like insulating tape 33 in a state where the film-like temperature sensor 34 is bonded so that the heat-sensitive part 3 extends vertically from the vicinity of the upper end of the plate glass body 2 to the vicinity of the lower end. The insulating film 35 is wrapped so as to cover the insulating film 35, and the insulating tape 33 is bonded to the plate glass body 2.

このように第3実施形態の温度センサ付き窓ガラス31では、フィルム状温度センサ34が、板ガラス本体2の上下方向に延在して貼り付けられているので、温度差が生じやすい窓ガラスの上下方向における平均温度が測定可能になり、上下方向の温度差による測定誤差を低減することができる。   Thus, in the window glass 31 with a temperature sensor of 3rd Embodiment, since the film-like temperature sensor 34 is extended and affixed to the up-down direction of the plate glass main body 2, the upper and lower sides of the window glass which a temperature difference tends to produce is easy. The average temperature in the direction can be measured, and the measurement error due to the temperature difference in the vertical direction can be reduced.

なお、本発明の技術範囲は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記各実施形態では、平板状の板ガラス本体にフィルム状温度センサを貼り付けているが、フィルム状温度センサがフレキシブルな薄いフィルム状であるので、曲面状の板ガラス本体のガラス面にも容易に貼り付け可能である。
The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in each of the above embodiments, a film temperature sensor is attached to a flat plate glass body. However, since the film temperature sensor is a flexible thin film, it can be easily applied to the glass surface of a curved plate glass body. It can be pasted on.

1,31…温度センサ付き窓ガラス、2…板ガラス本体、2a…枠部、3,23…感熱部、4,24,34…フィルム状温度センサ、5,35…絶縁性フィルム、6…リード線、7…パターン電極、8…薄膜サーミスタ部、28…白金測温抵抗体   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,31 ... Window glass with temperature sensor, 2 ... Plate glass main body, 2a ... Frame part, 3, 23 ... Heat sensitive part, 4, 24, 34 ... Film temperature sensor, 5, 35 ... Insulating film, 6 ... Lead wire 7 ... Pattern electrode, 8 ... Thin film thermistor, 28 ... Platinum resistance thermometer

Claims (6)

窓に使用される板ガラス本体と、
該板ガラス本体のガラス面に貼り付けられていると共にこの貼り付けられた領域に広がって配されて温度に応じて電気抵抗が変化する感熱部を有したフィルム状温度センサとを備えていることを特徴とする温度センサ付き窓ガラス。
A sheet glass body used for windows;
A film-like temperature sensor having a heat-sensitive part that is attached to the glass surface of the plate glass body and that is spread over the attached region and changes its electrical resistance in accordance with the temperature. Characteristic window glass with temperature sensor.
請求項1に記載の温度センサ付き窓ガラスにおいて、
前記フィルム状温度センサが、前記板ガラス本体の上下方向に延在して貼り付けられていることを特徴とする温度センサ付き窓ガラス。
In the window glass with a temperature sensor according to claim 1,
A window glass with a temperature sensor, wherein the film-like temperature sensor is attached so as to extend in a vertical direction of the plate glass body.
請求項1または2に記載の温度センサ付き窓ガラスにおいて、
前記フィルム状温度センサが、絶縁性フィルムと、
該絶縁性フィルム上に延在して形成された薄膜状の前記感熱部と、
該感熱部に接続された一対のリード線とを備えていることを特徴とする温度センサ付き窓ガラス。
In the window glass with a temperature sensor according to claim 1 or 2,
The film temperature sensor is an insulating film,
The heat-sensitive portion in the form of a thin film extending on the insulating film;
A window glass with a temperature sensor, comprising: a pair of lead wires connected to the heat sensitive part.
請求項3に記載の温度センサ付き窓ガラスにおいて、
前記板ガラス本体の周縁部に取り付けられた枠部を備え、
前記絶縁性フィルムが、前記枠部の近傍に配置され、
前記リード線が、前記枠部内に配線されていることを特徴とする温度センサ付き窓ガラス。
In the window glass with a temperature sensor according to claim 3,
A frame portion attached to the peripheral edge of the plate glass body,
The insulating film is disposed in the vicinity of the frame;
The window glass with a temperature sensor, wherein the lead wire is wired in the frame portion.
請求項3または4に記載の温度センサ付き窓ガラスにおいて、
前記感熱部が、前記絶縁性フィルム上に形成され前記一対のリード線が接続された一対のパターン電極と、
前記絶縁性フィルム上および前記一対のパターン電極上にパターン形成された薄膜サーミスタ部と、を備えていることを特徴とする温度センサ付き窓ガラス。
In the window glass with a temperature sensor according to claim 3 or 4,
A pair of pattern electrodes formed on the insulating film and connected to the pair of lead wires;
A window glass with a temperature sensor, comprising: a thin film thermistor portion patterned on the insulating film and the pair of pattern electrodes.
請求項3または4に記載の温度センサ付き窓ガラスにおいて、
前記感熱部が、前記絶縁性フィルム上に白金膜でパターン形成された白金測温抵抗体であることを特徴とする温度センサ付き窓ガラス。
In the window glass with a temperature sensor according to claim 3 or 4,
A window glass with a temperature sensor, wherein the heat sensitive part is a platinum resistance thermometer that is patterned with a platinum film on the insulating film.
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