JP2012053975A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 媒体上にサーボパターンを生成するための装置であって、
   マスタディスクライタと、
   前記マスタディスクライタに結合されるコントローラとを備え、前記コントローラは、前記マスタディスクライタを制御して、マスタディスクの回転の間に前記マスタディスク上にサーボパターンを露光するように構成され、前記サーボパターンは、前記マスタディスク上の異なる径方向位置に複数のサーボバーストを有し、各々のサーボバーストは複数の遷移を含み、
   前記コントローラは、第２の径方向位置に少なくとも１つのサーボバーストの少なくとも１つの遷移が露光される、前記マスタディスクの同じ回転において、第１の径方向位置に少なくとも１つのサーボバーストの少なくとも１つの遷移が露光されるように構成される、装置。
2. 前記コントローラは、前記マスタディスクライタを制御して、前記マスタディスクに１回目の回転をさせ、前記１回目の回転の間に第１の径方向位置に複数のサーボバーストの第１のものの第１の遷移を形成し、前記１回目の回転の間に第２の径方向位置に前記複数のサーボバーストの第２のものの第１の遷移を形成することによって前記マスタディスク上にサーボパターンを露光するように構成される、請求項１に記載の装置。
3. 前記コントローラは、前記マスタディスクライタを制御して、前記マスタディスクに２回目の回転をさせ、前記２回目の回転の間に前記第１の径方向位置に前記複数の前記サーボバーストの前記第１のものの第２の遷移を形成し、前記２回目の回転の間に前記第２の径方向位置に前記複数のサーボバーストの前記第２のものの第２の遷移を形成することによって前記マスタディスク上にサーボパターンを露光するように構成される、請求項２に記載の装置。
4. 各々の遷移は前記遷移内の異なるそれぞれの径方向位置に複数のスポットを備え、前記コントローラは、
   前記マスタディスクライタを制御して、前記マスタディスクの同じ回転の間に前記遷移内の前記異なるそれぞれの径方向位置にバースト内の隣接する遷移のスポットを露光するか、または
   前記マスタディスクライタを制御して、前記マスタディスクの別個の回転においてバースト内の同じ公称径方向位置に隣接する遷移のスポットを露光するように構成される、請求項１に記載の装置。
5. 前記コントローラは、前記マスタディスク上の異なる径方向位置にサーボバーストを露光する際に、前記マスタディスクライタを制御して、露光ビームをほぼ斜め方向に動かすように構成される、請求項１に記載の装置。
6. サーボパターニングされたマスタを形成する方法であって、
   マスタを回転するステップと、
   前記マスタが回転する間に前記マスタ上にサーボパターンを露光するステップとを備え、前記サーボパターンは前記マスタ上の異なる径方向位置に複数のサーボバーストを有し、各々のサーボバーストは複数の遷移を備え、
   第１の径方向位置に少なくとも１つのサーボバーストの少なくとも１つの遷移は、第２の径方向位置に少なくとも１つのサーボバーストの少なくとも１つの遷移が露光される、前記マスタの同じ回転において露光される、方法。
7. 公称径方向位置からの、サーボバーストの前記複数の遷移の個別のものの変位はランダム化される、請求項６に記載の方法。
8. 各々の遷移は前記遷移内の異なるそれぞれの径方向位置に複数のスポットを備え、
   前記方法は、
   前記マスタの同じ回転の間に前記遷移内の前記異なるそれぞれの径方向位置にバースト内の隣接する遷移のスポットを露光するステップ、または
   前記マスタの別個の回転においてバースト内の同じ公称径方向位置に隣接する遷移のスポットを露光するステップをさらに備える、請求項７に記載の方法。
9. 前記サーボパターンを露光するステップは、前記マスタに１回目の回転をさせ、前記１回目の回転の間に前記第１の径方向位置に複数のサーボバーストの第１のものの第１の遷移を形成し、前記１回目の回転の間に前記第２の径方向位置に前記複数のサーボバーストの第２のものの第１の遷移を形成するステップを含む、請求項６に記載の方法。
10. 前記サーボパターンを露光するステップは、前記マスタに２回目の回転をさせ、前記２回目の回転の間に前記第１の径方向位置に前記複数の前記サーボバーストの前記第１のものの第２の遷移を形成し、前記２回目の回転の間に前記第２の径方向位置に前記複数のサーボバーストの前記第２のものの第２の遷移を形成するステップを含む、請求項９に記載の方法。
11. 前記マスタのｎ回目の回転の間に、前記第１の径方向位置に第ｎの遷移を形成するとともに前記第２の径方向位置に第ｎの遷移を形成するステップをさらに備え、ｎは２より大きな整数である、請求項１０に記載の方法。
12. １からｎまでの回転の間に、ｋ個のそれぞれの径方向位置に１からｎ個の遷移を形成するステップをさらに備え、ｋは２より大きい、請求項１１に記載の方法。