JP2012049312A - 半導体単結晶基板の欠陥観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体単結晶基板2上に観察層1をエピタキシャル成長させ、その上にショットキー電極層3を設けることによって作成した観察試料に電子線を照射して発生した誘起電流を検出するに当たって、観察層1の層厚を電子線の飛程以下とし、且つ、ショットキー電極層3、観察層1、半導体単結晶基板2の仕事関数をφm、φs1、φs2とし、観察層1、半導体単結晶基板2の電子親和力をχs1、χs2とし、観察層1、半導体単結晶基板2のバンドギャップをEg1、Eg2とするとき、半導体単結晶基板2がn型である場合、φm>φs1>φs2、且つ、Eg1≦Eg2+χs2−χs1+(φs1−φs2)の関係が成立するように、観察層1の材料及び不純物濃度を選択する。
【選択図】図1
Description
φm>φs1>φs2 式(1)
χs1≦χs2+(φs1−φs2) 式(2)
Eg1≦Eg2+χs2−χs1+(φs1−φs2) 式(3)
φm:ショットキー電極3を形成する金属材料の仕事関数
φs1:エピタキシャル層1の仕事関数
χs1:エピタキシャル層1の電子親和力
Eg1:エピタキシャル層1のエネルギーバンドギャップ
φs2:半導体単結晶基板2の仕事関数
χs2:半導体単結晶基板2の電子親和力
Eg2:半導体単結晶基板2のエネルギーバンドギャップ
をそれぞれ示している。
[p型半導体の場合]
φm<φs1<φs2 式(4)
χs1≧χs2+(φs1−φs2) 式(5)
Eg1≧Eg2+χs2−χs1+(φs1−φs2) 式(6)
A)観測層の膜厚が電子線の飛程以下であること、
B)ショットキー電極層の仕事関数φm、観測層の仕事関数φs1、基板の仕事関数φs2間に、半導体材料がn型である場合、φm>φs1>φs2の関係が成立し、半導体材料がp型である場合、φm<φs1<φs2の関係が成立すること、
C)観測層の電子親和力χs1、観測層のエネルギーバンドギャップEg1、基板の電子親和力χs2、基板のエネルギーバンドギャップEg2間に、半導体材料がn型である場合、Eg1≦Eg2+χs2−χs1+(φs1−φs2)の関係が成立し、半導体材料がp型である場合、Eg1≧Eg2+χs2−χs1+(φs1−φs2)の関係が成立すること、である。
D)半導体材料がn型である場合、χs1≦χs2+(φs1−φs2)の関係が成立すること、半導体材料がp型である場合、χs1≧χs2+(φs1−φs2)の関係が成立すること、
E)観察層のドーピング密度(不純物濃度)が1017cm-3以下であること、が必要となる。
[実施例1]
図3〜図5を参照して、本発明の実施例1について説明する。図3は実施例1の試料構図を示す概略断面図である。試料10Aは、n+−4H−SiC半導体単結晶基板2A上にn−4H−SiCエピタキシャル層1Aを成長させ、その上にNiのショットキー電極3Aを形成し、且つ、試料10Aの裏面にはAlのオーミック電極4Aを形成した構造を有する。基板2Aには、<11−20>方向に8度オフした350μm厚のn+型4H−SiC単結晶を用いており、そのドーピング密度は1×1019cm-3以上である。n型エピタキシャル層1Aは、基板2A上に1.8μmの厚さに堆積されており、そのドーピング密度は〜7.7×1015cm-3とした。ショットキー電極層3Aは、直径2mm、厚さ10nmに形成されており、オーミック電極層4Aは直径2mm、厚さ200nmに形成されている。
φm=5.2eV
φs1=3.8eV
φs2=3.61eV
χs1=χs2=3.6eV
Eg1=Eg2=3.26eV
図7は、比較試料100の構造を示す図である。比較試料100は、Niショットキー電極103/n+基板102/Alオーミック電極104の三層構造を有している。n+基板102は、<11−20>方向に8度オフした350μm厚の4H−SiC単結晶を用いており、そのドーピング密度は1×1019cm-3以上である。ショットキー電極103は、厚さ10nm、直径(φ)2mmのNi層で構成した。オーミック電極104は、厚さ200nm、直径(φ)2mmのAl層で構成した。
図9は、比較例2の試料構造を示す図である。比較例2として、J.Material Science:Material Electron(2008)19:S219−S223に報告されたものを示す。試料200は、Niショットキー電極層203/エピタキシャル層201/n+基板202/Alオーミック電極204の4層構造を有しており、n+基板202として<11−20>方向に8度オフした4H−SiC結晶を用いており、そのドーピング密度は(1〜10)×1018cm-3以上であると推測される。ショットキー電極203は、厚さ10nm、直径(φ)2mmのNi層で構成した。オーミック電極204は、厚さ200nm、直径(φ)2mmのAl層で構成した。エピタキシャル層201の層厚は6μmであった。この試料では電極材料がNiのため、φm=5.2eVとなる。また、エピタキシャル層201のドーピング密度が1.86×1016cm−3であるため、φs1=3.78eV、χs1=3.60eVとなる。n+基板202は、実施例1の基板とほぼ同じものであり、従ってφs2=3.61eV、χs2=3.60eVである。
2 半導体単結晶基板
3 ショットキー電極層
4 オーミック電極装置
5 電子線
6 検出回路
7 電子線の飛程
Claims (7)
- 半導体単結晶基板上に観察層をエピタキシャル成長させ、
当該観察層上にショットキー電極層を設けることによって観察試料を作成し、
前記観察試料に電子線を照射して発生した誘起電流を検出する、半導体単結晶基板の欠陥観察方法において、
前記観察層の層厚を電子線の飛程以下とし、さらに、
前記ショットキー電極層の仕事関数φm、前記観測層の仕事関数φs1、前記半導体単結晶基板の仕事関数φs2間に、前記半導体単結晶基板がn型である場合、
φm>φs1>φs2
の関係が成立し、p型である場合、
φm<φs1<φs2
の関係が成立し、且つ、前記観察層の仕事関数φs1、前記半導体単結晶基板の仕事関数φs2、前記観測層の電子親和力χs1、前記観測層のエネルギーバンドギャップEg1、前記半導体単結晶基板の電子親和力χs2、前記半導体単結晶基板のエネルギーバンドギャップEg2間に、前記半導体単結晶基板がn型である場合、
Eg1≦Eg2+χs2−χs1+(φs1−φs2)
の関係が成立し、p型である場合、
Eg1≧Eg2+χs2−χs1+(φs1−φs2)
の関係が成立する様に、前記観察層の材料及び不純物濃度を選択することを特徴とする、半導体単結晶基板の欠陥観察方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記観察層の材料及び不純物濃度の選択は、さらに、前記観察層の仕事関数φs1、前記半導体単結晶基板の仕事関数φs2、前記観測層の電子親和力χs1、前記半導体単結晶基板の電子親和力χs2間に、前記半導体単結晶基板がn型である場合、
χs1≦χs2+(φs1−φs2)
の関係が成立し、前記半導体単結晶基板がp型である場合、
χs1≧χs2+(φs1−φs2)
の関係が成立するように行うことを特徴とする、半導体単結晶基板の欠陥観察方法。 - 請求項1又は2に記載の方法において、前記観察層の不純物濃度は1017cm-3以下であることを特徴とする、半導体単結晶基板の欠陥観察方法。
- 請求項1乃至3の何れか1項に記載の方法において、前記観察試料に印加するバイアス条件を調整することにより、前記半導体単結晶基板と前記観察層における結晶欠陥の同時観察を可能とすることを特徴とする、半導体単結晶基板の欠陥観察方法。
- 請求項1乃至3の何れか1項に記載の方法において、前記観察試料に印加するバイアス条件を調整して前記観察層全体に空乏層を形成することにより、前記半導体単結晶基板のみの結晶欠陥の観察を可能とする、半導体単結晶基板の欠陥観察方法。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載の方法において、前記半導体単結晶基板の前記観察層が形成されない側の表面にオーミック電極層を形成することを特徴とする、半導体単結晶基板の欠陥観察方法。
- 請求項1乃至6の何れか1項に記載の方法において、前記半導体単結晶基板と前記観察層はSiCで形成されていることを特徴とする、半導体単結晶基板の欠陥観察方法。
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---|---|---|---|---|
JPS51132087A (en) * | 1975-05-12 | 1976-11-16 | Mitsubishi Electric Corp | Observing method of semiconductor surface defect |
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JP2008525298A (ja) * | 2004-12-22 | 2008-07-17 | クリー インコーポレイテッド | 増大した少数キャリアライフタイムを有する炭化珪素結晶を製造するプロセス |
-
2010
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