JP2012045527A - 脱臭処理装置及び脱臭処理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】濃縮装置の内部の多孔物質の孔又はその端面に堆積した粒径が数μm〜数１０μm程度のダストを効率よく系外に排出させて、濃縮装置のＶＯＣ除去能力を維持しながら、脱臭処理を可能とする脱臭処理装置及び脱臭処理方法を提供する。
【解決手段】本発明の脱臭処理装置は、多孔物質を有してなり、該多孔物質内にＶＯＣ含有ガスを吸着し、浄化したガスを通過させると共に、吸着されたガスを脱着できる濃縮装置と、濃縮装置から脱着されたＶＯＣ含有脱着ガスを燃焼する脱臭燃焼装置と、を具備し、濃縮装置が、前記多孔物質に堆積されたダストを除去するための、エアーブロー式又はエアー吸引式のダスト除去手段を備えたことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、ＶＯＣ（Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ：揮発性有機化合物）含有ガスを脱臭処理する脱臭処理装置及び脱臭処理方法に関するものである。

塗装ライン等において使用される揮発性有機化合物（ＶＯＣ）は大気汚染防止により排出抑制が求められている。排出抑制の方法として、ＶＯＣを含有するガス（以下、「ＶＯＣ含有ガス」という）を８００〜９００℃程度の高温で燃焼してＨ_２ＯとＣＯ_２に分解する方法が一般に採用されている。

また、ＶＯＣ含有ガス中にＶＯＣ濃度が低い（〜１０００ｐｐｍＣ程度）場合、脱臭燃焼装置を小型化するため、予めＶＯＣを吸着して濃縮し、体積を減じてから燃焼する方法が採られている。ＶＯＣを吸着濃縮するのに用いられる吸着濃縮装置には、少なくとも吸着部と脱着部を有する回転式吸着濃縮装置が一般に用いられる（例えば、特許文献１、２）。

図２に、回転式吸着濃縮装置と脱臭燃焼装置とを組み合わせた従来のＶＯＣ含有ガスの脱臭処理装置の一例のフロー図を示す。
吸入ファン１０１を用いてＶＯＣ含有ガス流入管１０３を介して回転式吸着濃縮装置１０２の吸着部１０２ａへ送られた被処理ＶＯＣ含有ガスは、ＶＯＣがその吸着部１０２ａに吸着され、浄化されたガスは外部へ放出される。吸着部１０２ａに吸着して濃縮されたＶＯＣは、回転により連続的に吸着部１０２ａから脱着部１０２ｂへ移動され、熱交換器１１０ｂ及び加熱手段１０４で加熱され吸入ファン１０６を用いて供給される脱着用気体によって脱着される。脱着されたＶＯＣを含む脱着濃縮ガスは、吸入ファン１０８を介して脱臭燃焼装置１１０に通気される。この脱着濃縮ガスは脱臭燃焼装置１１０の熱交換器１１０ｃで予備加熱され、燃焼室１１０ａで濃縮ガス中のＶＯＣが酸化分解（燃焼）されることにより浄化され、熱交換器１１０ｂを経て排出される。

回転式吸着濃縮装置としては、ハニカム式吸着濃縮装置あるいは流動式吸着濃縮装置など種々のものが提供されているが、これらの中で装置の大きさや操作性などからハニカム式吸着濃縮装置が一般に使用されている。
ハニカム式吸着濃縮装置は、図３に示すように、ＶＯＣを吸着する活性炭やゼオライトなどの吸着材をシートの波形に型付け加工したものと未加工のものとを重ねて多数の孔Ｐを有するハニカム状にした吸着ロータ１０２Ａを用いる。
図３で示した回転式吸着濃縮装置において、被処理ガスであるＶＯＣ含有ガスを吸着ロータ１０２Ａを通過させ、ＶＯＣを吸着部の多数の孔Ｐに吸着させ、浄化されたガスのみが外部へ排気される。再生（脱着）用ガスとして取り入れた外気を加熱手段で加熱し、供給ダクト１１１を介して吸着ロータ１０２Ａの脱着部に供給し、吸着ロータ１０２ＡからＶＯＣを分離して排気ダクト１１３から濃縮ガスとして排出する。

このように、回転式吸着濃縮装置の内部には活性炭やゼオライト等の多孔物質からなる吸着ロータが組み込まれており、常温下で多孔物質にＶＯＣ含有ガスを通すと孔ＰにＶＯＣが捕捉され、ＶＯＣ濃度が低下した排気ガスはそのまま大気に放散される（例えば、特許文献３）。
多孔物質は１５０〜２００℃程度の温度下にさらすと、捕捉されたＶＯＣを放出する特性を有している。上述の通り、吸着ロータをＶＯＣ含有ガスの通過範囲（ＶＯＣ捕捉範囲）である吸着部１０２ａと１５０〜２００℃程度の温度下にさらす範囲（ＶＯＣ放出範囲）である脱着部１０２ｂとを仕切り、吸着ロータを回転させながら、ＶＯＣ含有ガスを通過させることにより、ＶＯＣを吸着させ、次いで、高温の空気を通すことで吸着濃縮したＶＯＣを脱着させて取り出すことができる。そして、ＶＯＣ捕捉時間と放出時間の比と、ＶＯＣ放出用気体（高温空気）の温度とを調整することでＶＯＣの濃縮の制御を行い、大気へのＶＯＣ放出を抑制することができる。

特開２００２−２４８３１７号公報 特開２００１−３１０１１１号公報 特開平１０−２４４１２５号公報

ＶＯＣ含有ガスは有機化合物を製造、もしくは消費する工程において発生するが、例えば塗料のように、有機化合物以外に防錆、防腐剤等のＶＯＣ以外の不純物が含まれる場合もある。この場合、これらは不純物として濃縮装置内の多孔物質の孔Ｐ又はその端面１０２ｃに堆積し又は孔Ｐを塞ぎ、濃縮機能（吸着効率）を低下させることがある。そのため、図４に示すように、濃縮装置の入側にプレ活性炭フィルタ１１３やロールフィルタ１１４を設けられている。これらのフィルタにより、大きな不純物を取り除くことはできるが、粒径が数μm〜数１０μm程度の細かな不純物（以下「ダスト」という）についてはフィルタの目をすり抜けてしまう。長期にわたり、このような状態が続くと、ダストが多孔物質表面に堆積し、孔を塞いでしまい、濃縮機能を低下させることになる。結果として、十分なＶＯＣの濃縮を行うことができなくなり、大気放散されるＶＯＣの削減も不十分となる。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、濃縮装置の内部の多孔物質の孔又はその端面に堆積した粒径が数μm〜数１０μm程度のダストを効率よく系外に排出させて、濃縮装置のＶＯＣ除去能力を維持し又は低下した能力を回復しつつ、脱臭処理を可能とする脱臭処理装置及び脱臭処理方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明の要旨は、以下の通りである。
（１）多孔物質を有してなり、該多孔物質内にＶＯＣ含有ガスを吸着し、浄化したガスを通過させると共に、吸着されたガスを脱着できる濃縮装置と、前記濃縮装置から脱着されたＶＯＣ含有脱着ガスを燃焼する脱臭燃焼装置と、を具備し、前記濃縮装置が、前記多孔物質に堆積されたダストを除去するための、エアーブロー式又はエアー吸引式のダスト除去手段を備えたことを特徴とする脱臭処理装置。
（２）前記濃縮装置の入側に、大気を吸引するための大気吸引口と、前記濃縮装置へのＶＯＣ含有ガスの吸引と大気の吸引とを切り替える切替手段と、を備えたことを特徴とする（１）に記載の脱臭処理装置。
（３）前記ダスト除去手段に定期的に起動信号を出力する第１起動制御手段を備えたことを特徴とする（１）又は（２）のいずれかに記載の脱臭処理装置。
（４）前記濃縮装置の浄化したガスの出側に、ダスト回収装置を備えたことを特徴とする（１）から（３）のいずれか一つに記載の脱臭処理装置。
（５）前記濃縮装置の入側及び浄化したガスの出側のそれぞれに、ガスのＶＯＣ濃度を測定する入側濃度計と出側濃度計とを備え、前記入側濃度計で測定された入側ＶＯＣ濃度と前記出側濃度計で測定された出側ＶＯＣ濃度とからＶＯＣ除去効率を計算し、そのＶＯＣ除去効率の値に応じて前記ダスト除去手段に起動信号を出力する第２起動制御手段を備えたことを特徴とする（１）から（４）のいずれか一つに記載の脱臭処理装置；ここで、

（６）多孔物質を有してなり該多孔物質内に被処理ＶＯＣ含有ガスを吸着し、浄化したガスを通過させると共に吸着されたガスを脱着できる濃縮装置に、被処理ＶＯＣ含有ガスを通気して吸着させた吸着ガスを脱着してその脱着されたＶＯＣを含む脱着ガスを脱臭燃焼装置で燃焼して脱臭する脱臭処理方法において、エアーブロー式又はエアー吸引式で前記多孔物質に気体を流通させることによって前記多孔物質に堆積されたダストを除去するダスト除去工程を含むことを特徴とする脱臭処理方法。
（７）前記ダスト除去工程を、前記濃縮装置にＶＯＣ含有ガスを吸引する吸引手段の吸引力を増大することによって行うことを特徴とする（６）に記載の脱臭処理方法。
（８）前記流通をさせる気体として大気を用いることを特徴とする（６）又は（７）のいずれかに記載の脱臭処理方法。

本発明の脱臭処理装置によれば、濃縮装置が、多孔物質に堆積されたダストを除去するための、エアーブロー式又はエアー吸引式のダスト除去手段を備えた構成なので、定期的に又は不定期にダスト除去手段を駆動してＶＯＣの吸着を妨げるダストを除去することによってＶＯＣ除去能力を維持し又は低下した能力を回復することができるので、高効率の脱臭処理が可能となるとと共に、濃縮装置の長寿命化により設備コストの削減、また、メンテナンス回数の低減を図ることができる。

本発明の脱臭処理装置によれば、濃縮装置の入側に、大気を吸引するための大気吸引口と、濃縮装置へのＶＯＣ含有ガスの吸引と大気の吸引とを切り替える切替手段とを備えた構成とすることにより、ＶＯＣ含有ガスの発生工程の稼働を一時中断して、濃縮装置の入側の切替手段を大気吸引側とするだけで、未処理のＶＯＣが系外に排出されることなく、濃縮装置内の多孔物質に堆積したダストを排出することができる。

本発明の脱臭処理装置によれば、濃縮装置の浄化したガスの出側に、ダスト回収装置を備えた構成とすることにより、除去したダストを系外に排出する設備を設けることなく、除去したダストを回収することができる。

本発明の脱臭処理装置によれば、ダスト除去手段に定期的に起動信号を出力する第１起動制御手段を備えた構成とすることにより、定期的に濃縮装置のＶＯＣ除去能力を回復して、高効率の脱臭処理を行うことができる。

本発明の脱臭処理装置によれば、入側濃度計で測定された入側ＶＯＣ濃度と出側濃度計で測定された出側ＶＯＣ濃度とからＶＯＣ除去効率を計算し、そのＶＯＣ除去効率の値に応じてダスト除去手段に起動信号を出力する第２起動制御手段を備えた構成とすることにより、一定水準以上の濃縮装置の吸着濃縮能力で脱臭処理を行うことができる。

本発明の脱臭処理方法によれば、高効率の脱臭処理作業が可能となるとと共に、濃縮装置の長寿命化により設備コストの削減、メンテナンスの回数の低減を図ることができる。
本発明の脱臭処理方法によれば、ダスト除去工程を、濃縮装置にＶＯＣ含有ガスを吸引する吸引手段の吸引力を増大することによって行う構成とすることにより、脱臭処理装置が有する吸引手段を利用して濃縮装置のダスト除去が可能となる。
本発明の脱臭処理方法によれば、多孔物質に流通をさせる気体として大気を用いる構成とすることにより、清浄な気体を用いた濃縮装置のダスト除去作業が可能となる。

本発明を適用した一実施形態である脱臭処理装置のフロー図である。 従来の脱臭処理装置の一例のフロー図である。 従来のハニカム式吸着ロータの概略斜視図である。 従来の回転式吸着濃縮装置の概略斜視図である。

以下、本発明を適用した一実施形態である脱臭処理装置及び脱臭処理方法について、図１を用いて詳細に説明する。

本発明を適用した一実施形態である脱臭処理装置は、吸入ファン（吸引手段）１によって濃縮装置２へ送られるＶＯＣ含有ガスが流通するＶＯＣ含有ガス流入管３と、ＶＯＣ含有ガスを吸着部２ａに吸着して濃縮すると共にその吸着ガスを脱着できる濃縮装置２と、濃縮装置２に吸着されたＶＯＣを脱着するために、熱交換器１０ｂ及び加熱手段４によって加熱された脱着用気体を吸入ファン６を用いて濃縮装置２の脱着部２ｂに供給する脱着用気体供給手段７と、濃縮装置２から脱着されたＶＯＣを含む脱着濃縮ガスを吸入ファン８を用いて脱臭燃焼装置１０へ送る脱着濃縮ガス流入管９と、燃焼室１０ａで脱着濃縮ガスを燃焼すると共に、脱着濃縮ガスが燃焼後のガスと熱交換する熱交換器１０ｃを備えた脱臭燃焼装置１０と、濃縮装置２の入側に設けられた大気を吸引するための大気吸引口１１及び濃縮装置へのＶＯＣ含有ガスの吸引と大気の吸引とを切り替える切替手段Ａ１と、濃縮装置２の浄化したガスの出側に設けられたダスト回収装置１２及び系外への放散とダスト回収装置へとを切り替える切替手段Ａ２と、濃縮装置２の入側及び浄化したガスの出側のそれぞれに設けられたガスのＶＯＣ濃度を測定する入側濃度計Ｂ１と出側濃度計Ｂ２と、第１起動制御手段及び第２起動制御手段を具備する制御手段１３と、を備えている。

第１起動制御手段は、定期的に吸入ファン１の回転数を上げるトリガーとなる起動信号を出力すると共に、これと同時に切替手段Ａ１をＶＯＣ含有ガスの吸引から大気の吸引へと切り替え、さらに、切替手段Ａ２を系外への放散からダスト回収装置へと切り替えることができる。
これによって、未処理のＶＯＣが系外に排出されずに、濃縮装置内の多孔物質のダストを除去でき、また、除去したダストを系外に排出する設備を設けることなく、回収でき、定期的に濃縮装置のＶＯＣ除去能力を回復することができる。

第２起動制御手段は、入側濃度計Ｂ１で測定された入側ＶＯＣ濃度と出側濃度計Ｂ２で測定された出側ＶＯＣ濃度とからＶＯＣ除去効率を計算し、そのＶＯＣ除去効率の値に応じて吸入ファン１の回転数を上げるトリガーとなる起動信号を出力すると共に、これと同時に切替手段Ａ１をＶＯＣ含有ガスの吸引から大気の吸引へと切り替え、さらに、切替手段Ａ２を系外への放散からダスト回収装置へと切り替えることができる。
これによって、所定のＶＯＣ除去能力以上で濃縮装置を用いて脱臭処理を行うことができる。

制御手段１３は第１起動制御手段と第２起動制御手段を備えており、自動又は手動で第１起動制御手段及び第２起動制御手段の一方を選択して運転を行うことができる。

本実施形態では、吸入ファン１がダスト除去手段を兼ね、エアー吸引式のダスト除去手段となっているが、ダスト除去手段は別個に設けられてもよく、また、エアーブロー式でもよい。本実施形態では、吸入ファン１は濃縮装置２の入側にあるが、濃縮装置２の出側にあってもよい。

本実施形態では、ダストを除去するために系外から大気を取り入れて用いているが、清浄な気体であればよいので、濃縮装置の浄化したガスを利用してもよい。

本実施形態では、切替手段Ａ１及びＡ２の切り替えを制御手段１３を用いて自動で行う構成であるが、手動で行う構成であってもよい。

入側濃度計Ｂ１で測定された入側ＶＯＣ濃度と出側濃度計Ｂ２で測定された出側ＶＯＣ濃度とからＶＯＣ除去効率を表示する構成となっているのが好ましい。
ダスト除去工程実施の効果を確認することができるし、また、濃縮装置のメンテナンスの目安として利用することもできるからである。
脱臭燃焼装置は、蓄熱式のものでもよく、熱交換器１０ｂの代わりに、蓄熱体を用いてもよい。

ダスト除去手段を定期的に起動する場合、操業条件にもよるが、例えば、塗装ラインで８時間／日の連続操業という条件で用いるときは、１〜３日毎に稼働するのが好ましい。

ダスト除去手段をＶＯＣ除去効率に応じて起動する場合、９０％以下に低下したときに起動するのが好ましい。

ダストの除去は市販の拡大鏡等で確認することができる。

図１に示した脱臭処理装置において、吸入ファン（吸引手段）１によって切替手段Ａ１を介して導入された被処理ガスであるＶＯＣ含有ガスは、濃縮装置２の吸着部２ａに送られ、ＶＯＣが吸着され、浄化されたガスは切替手段Ａ２を介して放出される。
脱臭処理装置の運転中又は運転停止中に、定期的に又は不定期に、濃縮装置２の入側に設置された入側濃度計Ｂ１及び出側に設置された出側濃度計Ｂ２によって、濃縮装置２の入側及び出側のＶＯＣ濃度が測定され、測定された入側ＶＯＣ濃度及び出側ＶＯＣ濃度は第２起動制御手段に送られ、第２起動制御手段ではＶＯＣ除去効率が計算されて、そのＶＯＣ除去効率の値に応じてダスト除去手段に起動信号を出力する。ダスト除去手段に起動信号を出力するＶＯＣ除去効率の値は予め所定の値に設定しておくこともできるし、運転状況例えば、連続運転時間によって変更するように設定できるのが好ましい。
尚、制御手段１３は、定期的に吸入ファン１の回転数を上げるトリガーとなる起動信号を出力する第１起動制御手段を備えており、ＶＯＣ濃度の測定を行わずにダスト除去工程を行ってもよい。

図１に示した脱臭処理装置においては、吸入ファン（吸引手段）１をダスト除去手段として用い、その吸入量を通常運転時よりも増大することによって濃縮装置の多孔物質に堆積したダストを導入ガスの風圧によって吹き飛ばすことによってダスト除去工程を行う。

制御手段１３が第２起動制御手段を選択して脱臭処理装置が運転されているときは、ＶＯＣ除去効率が所定の値以下になると、第２起動制御手段から吸入ファン１の回転数を上げるトリガーとなる起動信号が出力されると共に、切替手段Ａ１をＶＯＣ含有ガスの吸引から大気の吸引へと切り替え、さらに、切替手段Ａ２を系外への放散からダスト回収装置へと切り替えられ、ダスト除去工程が行われる。

表１に、図１に示した構成の脱臭処理装置を用いて、ダスト除去工程を含む脱臭処理装置の連続運転を行い、連続運転の前後のＶＯＣ除去効率〔％〕の変化を示す。
いずれも、塗装ラインにおいて脱臭処理装置を一日２４時間、１ヶ月連続運転を行った場合の例であり、１ヶ月の連続運転の前後のそれぞれのＶＯＣ除去効率を示している。
ここで、本発明の実施例１及び２における「一日２４時間」の運転とは、７．５時間通常運転をした後、０．５時間ダスト除去工程を行うという「８時間の運転サイクル」を３セット行う運転をいう。
尚、比較例は、ダスト除去工程を行わないで一日２４時間、１ヶ月連続運転を行った従来技術の例である。
表１中で、実施例３の「連続運転前」、「連続運転後」のＶＯＣ除去効率は、比較例と同様の一日２４時間、１ヶ月連続運転を行った後にエアーブロー（ダスト除去工程）を行い、そのエアーブロー前後のそれぞれのＶＯＣ除去効率である。

実施例１は、「８時間の運転サイクル」において行う０．５時間のダスト除去工程を、吸入ファン１の吸引量（回転数）を通常運転の１．５倍として実施した例である。
実施例２は、「８時間の運転サイクル」において行う０．５時間のダスト除去工程を、吸入ファン１の吸引量（回転数）を通常運転の２倍として実施した例である。
実施例１及び２は、エアー吸引式でダスト除去工程を行った例である。

実施例３は、比較例と同様に一日２４時間、１ヶ月連続運転を行った後、比較例と異なり、０．６ＭＰａの高圧エアーで１時間ブローイングを実施することによりダスト除去工程を実施した例である。
実施例３は、エアーブロー式でダスト除去工程を行った例である。

ダスト除去工程を行わない従来の場合（比較例）では、１ヶ月の連続運転前にＶＯＣ除去効率が９５％であったが、１ヶ月の連続運転後は７０％となり、ＶＯＣ除去効率が大幅に低下した。

これに対して、実施例１では、１ヶ月の連続運転前に９５％であったＶＯＣ除去効率が１ヶ月の連続運転後も９１．５％とわずかに低下しただけであった。このように、ＶＯＣ除去効率の低下が大幅に抑制されたのは、「８時間の運転サイクル」において行う０．５時間のダスト除去工程を、吸入ファン１の吸引量（回転数）を通常運転の１．５倍として実行したことにより、濃縮装置の多孔物質の孔又はその端面に堆積したダストが除去された効果である。

また、実施例２では、１ヶ月の連続運転前に９５％であったＶＯＣ除去効率が１ヶ月の連続運転後も９２％を維持しており、ＶＯＣ除去効率の低下の程度はさらに抑制されていた。

さらに、実施例３は比較例と同様に一日２４時間、１ヶ月連続運転を行った後に７０％にまで低下したＶＯＣ除去効率はエアーブロー後は９０％にまで回復した。

１ 吸入ファン
２ 濃縮装置
３ ＶＯＣ含有ガス流入管
４ 加熱手段
６ 吸入ファン
７ 脱着用気体供給手段
８ 吸入ファン
９ 脱着濃縮ガス流入管
１０ 脱臭燃焼装置
１０ａ 燃焼室
１０ｂ 熱交換器
１０ｃ 熱交換器
１１ 大気吸引口
１２ ダスト回収装置
１３ 制御手段
Ａ１ 切替手段
Ａ２ 切替手段
Ｂ１ 入側濃度計
Ｂ２ 出側濃度計

上記課題を解決するための本発明の要旨は、以下の通りである。
（１）多孔物質を有してなり、該多孔物質内にＶＯＣ含有ガスを吸着し、浄化したガスを通過させると共に、吸着されたガスを脱着できる濃縮装置と、前記濃縮装置から脱着されたＶＯＣ含有脱着ガスを燃焼する脱臭燃焼装置と、を具備し、前記濃縮装置が、前記多孔物質に堆積されたダストを除去するための、エアーブロー式又はエアー吸引式のダスト除去手段を備え、前記ダスト除去手段に定期的に起動信号を出力する第１起動制御手段を備えたことを特徴とする脱臭処理装置。
（２）前記濃縮装置の上流側であってかつ被処理ガスの入側に、大気を吸引するための大気吸引口と、前記濃縮装置へのＶＯＣ含有ガスの吸引と大気の吸引とを切り替える切替手段と、を備えたことを特徴とする（１）に記載の脱臭処理装置。
（３）前記濃縮装置の下流側であってかつ浄化したガスの出側に、ダスト回収装置を備えたことを特徴とする（１）又は（２）のいずれかに記載の脱臭処理装置。
（４）前記濃縮装置の上流側であってかつ被処理ガスの入側、及び、前記濃縮装置の下流側であってかつ浄化したガスの出側のそれぞれに、ガスのＶＯＣ濃度を測定する入側濃度計と出側濃度計とを備え、前記入側濃度計で測定された入側ＶＯＣ濃度と前記出側濃度計で測定された出側ＶＯＣ濃度とからＶＯＣ除去効率を計算し、そのＶＯＣ除去効率の値に応じて前記ダスト除去手段に起動信号を出力する第２起動制御手段を備えたことを特徴とする（１）から（３）のいずれか一つに記載の脱臭処理装置；
ここで、

（５）多孔物質を有してなり、該多孔物質内にＶＯＣ含有ガスを吸着し、浄化したガスを通過させると共に、吸着されたガスを脱着できる濃縮装置と、前記濃縮装置から脱着されたＶＯＣ含有脱着ガスを燃焼する脱臭燃焼装置と、を具備し、前記濃縮装置が、前記多孔物質に堆積されたダストを除去するための、エアーブロー式又はエアー吸引式のダスト除去手段を備え、前記濃縮装置の上流側であってかつ被処理ガスの入側、及び、前記濃縮装置の下流側であってかつ浄化したガスの出側のそれぞれに、ガスのＶＯＣ濃度を測定する入側濃度計と出側濃度計とを備え、前記入側濃度計で測定された入側ＶＯＣ濃度と前記出側濃度計で測定された出側ＶＯＣ濃度とからＶＯＣ除去効率を計算し、そのＶＯＣ除去効率の値に応じて前記ダスト除去手段に起動信号を出力する第２起動制御手段を備えたことを特徴とする脱臭処理装置。
ここで、

（６）前記濃縮装置の上流側であってかつ被処理ガスの入側に、大気を吸引するための大気吸引口と、前記濃縮装置へのＶＯＣ含有ガスの吸引と大気の吸引とを切り替える切替手段と、を備えたことを特徴とする（５）に記載の脱臭処理装置。
（７）前記濃縮装置の下流側であってかつ浄化したガスの出側に、ダスト回収装置を備えたことを特徴とする（５）又は（６）のいずれかに記載の脱臭処理装置。
（８）多孔物質を有してなり該多孔物質内に被処理ＶＯＣ含有ガスを吸着し、浄化したガスを通過させると共に吸着されたガスを脱着できる濃縮装置に、被処理ＶＯＣ含有ガスを通気して吸着させた吸着ガスを脱着してその脱着されたＶＯＣを含む脱着ガスを脱臭燃焼装置で燃焼して脱臭する脱臭処理方法において、エアーブロー式又はエアー吸引式で前記多孔物質に気体を流通させることによって前記多孔物質に堆積されたダストを除去するダスト除去工程を含み、前記ダスト除去工程を、前記濃縮装置にＶＯＣ含有ガスを吸引する吸引手段の吸引力を増大することによって行うことを特徴とする脱臭処理方法。
（９）前記流通をさせる気体として大気を用いることを特徴とする（８）に記載の脱臭処理方法。

Claims (8)

1. 多孔物質を有してなり、該多孔物質内にＶＯＣ含有ガスを吸着し、浄化したガスを通過させると共に、吸着されたガスを脱着できる濃縮装置と、
   前記濃縮装置から脱着されたＶＯＣ含有脱着ガスを燃焼する脱臭燃焼装置と、を具備し、
   前記濃縮装置が、前記多孔物質に堆積されたダストを除去するための、エアーブロー式又はエアー吸引式のダスト除去手段を備えたことを特徴とする脱臭処理装置。
2. 前記濃縮装置の入側に、大気を吸引するための大気吸引口と、前記濃縮装置へのＶＯＣ含有ガスの吸引と大気の吸引とを切り替える切替手段と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の脱臭処理装置。
3. 前記ダスト除去手段に定期的に起動信号を出力する第１起動制御手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の脱臭処理装置。
4. 前記濃縮装置の浄化したガスの出側に、ダスト回収装置を備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の脱臭処理装置。
5. 前記濃縮装置の入側及び浄化したガスの出側のそれぞれに、ガスのＶＯＣ濃度を測定する入側濃度計と出側濃度計とを備え、
   前記入側濃度計で測定された入側ＶＯＣ濃度と前記出側濃度計で測定された出側ＶＯＣ濃度とからＶＯＣ除去効率を計算し、そのＶＯＣ除去効率の値に応じて前記ダスト除去手段に起動信号を出力する第２起動制御手段を備えたことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の脱臭処理装置；
   ここで、
   

   
6. 多孔物質を有してなり該多孔物質内に被処理ＶＯＣ含有ガスを吸着し、浄化したガスを通過させると共に吸着されたガスを脱着できる濃縮装置に、被処理ＶＯＣ含有ガスを通気して吸着させた吸着ガスを脱着してその脱着されたＶＯＣを含む脱着ガスを脱臭燃焼装置で燃焼して脱臭する脱臭処理方法において、
   エアーブロー式又はエアー吸引式で前記多孔物質に気体を流通させることによって前記多孔物質に堆積されたダストを除去するダスト除去工程を含むことを特徴とする脱臭処理方法。
7. 前記ダスト除去工程を、前記濃縮装置にＶＯＣ含有ガスを吸引する吸引手段の吸引力を増大することによって行うことを特徴とする請求項６に記載の脱臭処理方法。
8. 前記流通をさせる気体として大気を用いることを特徴とする請求項６又は７のいずれかに記載の脱臭処理方法。

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