JP2012044188A - 接合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面活性化された接合表面を有する被接合物どうしを接合するときに、真空チャンバー内において、少なくとも一方の被接合物に金属をスパッタして金属膜を形成することにより、金属膜により当該被接合物の表面活性化された接合表面を形成して、被接合物どうしを接合する。
【選択図】図2
Description
2 Z軸昇降機構
3 θ軸回転機構
4 圧力検出手段
5 ベローズ
6 XYアライメントテーブル
7 ヘッド
8 ステージ
9 下ウエハー
10 上ウエハー
11 真空チャンバー
12 ヘッド側認識手段
13 ステージ側認識手段
14 ガラス窓
15 排気管
16 排気弁
17 真空ポンプ
18 吸気管
19 吸気弁
20 吸入ガス切り替え弁
21 Ar
22 O2
23 大気
27 上アライメントマーク
28 下アライメントマーク
29 スライド移動手段
Claims (3)
- 表面活性化された接合表面を有する被接合物どうしを接合する接合方法において、
真空チャンバー内において、少なくとも一方の前記被接合物に金属をスパッタして金属膜を形成することにより、前記金属膜により当該被接合物の表面活性化された前記接合表面を形成して、前記被接合物どうしを接合することを特徴とする接合方法。 - 前記真空チャンバー内において、前記被接合物に前記金属をスパッタする際に、当該被接合物をエネルギー波によりエッチングして洗浄することを特徴とする請求項1に記載の接合方法。
- 前記被接合物に前記金属を対向配置し、前記金属をプラズマ電極としてプラズマを発生させることにより前記被接合物に前記金属をスパッタすることを特徴とする請求項1または2に記載の接合方法。
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