JP2012043672A - 質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】中間真空室4内及びコリジョンセル12が配設された分析室10内にそれぞれ真空計31、32を設置し、ガス圧判定部34は分析に先立って真空計31、32で検出したガス圧がそれぞれ閾値以下であるか否かを判定し、閾値以下である場合に警告を出す。コリジョンセル12内へのCIDガスの供給が滞ると分析室10内に流出するCIDガス量が減るため、分析室10内の真空度が高くなり過ぎる。一方、加熱キャピラリ3が目詰まりすると大気圧雰囲気であるイオン化室1から中間真空室4内へ流れ込むガス量が減るため、中間真空室4内の真空度が高くなり過ぎる。従って、いずれもガス圧が低過ぎることを検知することで、不具合を認識することが可能である。
【選択図】図1
Description
a)前記真空室の内部のガス圧を検出する圧力検出手段と、
b)分析実行前に前記圧力検出手段により検出されたガス圧が所定閾値以下である場合に、前記操作領域へのガス供給の異常であると判断して注意喚起を行う異常判定手段と、
を備えることを特徴としている。
a)前記次段の中間真空室の内部のガス圧を検出する圧力検出手段と、
b)分析実行前に前記圧力検出手段により検出されたガス圧が所定閾値以下である場合に、前記イオン導入部を通してのイオン導入が異常であると判断して注意喚起を行う異常判定手段と、
を備えることを特徴としている。
分析対象の試料成分を含む液体試料はエレクトロスプレイノズル2からイオン化室1中に帯電噴霧され、それにより発生するイオンは加熱キャピラリ3を通して第1中間真空室4内に運ばれる。さらに第1及び第2イオンガイド5、7による電場の作用により、イオンは第2中間真空室7、分析室10と、真空度の高い領域へと送られる。分析室10内においてイオンは四重極マスフィルタ11の長軸方向の空間に導入され、四重極マスフィルタ11に印加されている高周波電圧と直流電圧とにより形成される電場の作用により、特定の質量電荷比を有するイオン(プリカーサイオン)のみが四重極マスフィルタ11を通り抜けてコリジョンセル12に導入される。
2…エレクトロスプレイノズル
3…加熱キャピラリ
4…第1中間真空室
5…第1イオンガイド
6…スキマー
7…第2中間真空室
8…第2イオンガイド
9…イオン通過孔
10…分析室
11…第1段四重極マスフィルタ
12…コリジョンセル
13…第2段四重極
14…ガス供給管
15…ガス供給弁
16…第3段四重極マスフィルタ
17…検出器
20…データ処理部
21…ロータリポンプ
22、23…ターボ分子ポンプ
31、32…真空計
33…制御部
34…ガス圧判定部
35…表示部
36…入力部
Claims (3)
- 真空排気される真空室と、該真空室内と連通され、質量分析前のイオンに対する所定の操作を行うために外部から供給されたガスを保持する操作領域と、前記真空室内に配設され、前記操作領域で操作を受けたあとのイオンを質量電荷比に応じて分離する質量分析器及び分離されたイオンを検出する検出器と、を具備する質量分析装置において、
a)前記真空室の内部のガス圧を検出する圧力検出手段と、
b)分析実行前に前記圧力検出手段により検出されたガス圧が所定閾値以下である場合に、前記操作領域へのガス供給の異常であると判断して注意喚起を行う異常判定手段と、
を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載の質量分析装置であって、前記操作領域はイオンを所定ガスと衝突させることにより該イオンを解離させるために前記真空室内に配設されたコリジョンセルであり、前記質量分析器は前記コリジョンセルで生成されたプロダクトイオンを質量電荷比に応じて分離する後段の質量分析器であり、前記コリジョンセルの前段に各種イオンの中から特定の質量電荷比を有するプリカーサイオンを選別して該コリジョンセルに送り込む前段の質量分析器をさらに備えることを特徴とする質量分析装置。
- 大気圧雰囲気中で試料をイオン化する大気圧イオン源と、イオンを質量電荷比に応じて分離して検出する質量分析部と、前記大気圧イオン源から前記質量分析部にイオンを輸送する少なくとも1つのイオン輸送光学系と、前記大気圧イオン源を内装する略大気圧雰囲気であるイオン化室と、前記質量分析部を内装する高真空雰囲気である分析室と、前記イオン化室と前記分析室との間に配設され、前記イオン輸送光学系を内装する1乃至複数の中間真空室と、前記イオン化室から次段の中間真空室へイオンを輸送するためのイオン導入部と、を具備する多段差動排気系の質量分析装置において、
a)前記次段の中間真空室の内部のガス圧を検出する圧力検出手段と、
b)分析実行前に前記圧力検出手段により検出されたガス圧が所定閾値以下である場合に、前記イオン導入部を通してのイオン導入が異常であると判断して注意喚起を行う異常判定手段と、
を備えることを特徴とする質量分析装置。
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