JP2012040466A - System and method of imaging two or more objective side surfaces - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電気物体などの物体、および特に、限定はしないがキャパシタなどの小型でかつ長尺の電気物体を検査するシステムおよび方法に関する。 The present invention relates to systems and methods for inspecting objects such as electrical objects, and in particular, small and long electrical objects such as but not limited to capacitors.
外観は、被検査物体の画像を参照画像と比較することによって行われる検査方法の1つである。たとえば、ウェハまたはプリント回路板を片面または両面撮像する場合、画像は検査のために、垂直視野から、または、下側視野から取込まれ、これは単純な作業である。 Appearance is one of inspection methods performed by comparing an image of an object to be inspected with a reference image. For example, when a wafer or printed circuit board is imaged on one or both sides, the image is taken from a vertical field or from a lower field for inspection, which is a simple task.
6面物体の場合、手順はより複雑である。多くの製品に対してかかる検査が必要とされるが、そのような製品の一部は、非常に小さいか、または大量になる。たとえば、マイクロエレクトロニクス製品で使用される電気物体(セラミックキャパシタ、チップ、および抵抗器)の全ての側面を検査する必要性が存在する。すなわち、寸法測定、セラミック欠陥、および終端欠陥などの広範囲の欠陥が、自動光検査システムを使用することによって認識されうる。 For a six-sided object, the procedure is more complex. Although such testing is required for many products, some of such products are very small or bulky. For example, there is a need to inspect all aspects of electrical objects (ceramic capacitors, chips, and resistors) used in microelectronic products. That is, a wide range of defects such as dimensional measurements, ceramic defects, and termination defects can be recognized by using an automated optical inspection system.
限定はしないが、小型キャパシタなどの物体は、検査プロセス中かまたは検査プロセス前に損傷を受ける可能性がある。汚れならびに物体片は、検査デバイスを故障させる可能性がある。 Without limitation, objects such as small capacitors can be damaged during or prior to the inspection process. Dirt as well as object pieces can cause the inspection device to fail.
キャパシタなどの物体の絶対電気特性の測定は、検査プロセスのスループットを制限する比較的長いプロセスである。 Measuring the absolute electrical properties of objects such as capacitors is a relatively long process that limits the throughput of the inspection process.
物体を検査する効率的なシステムおよび方法を提供する必要性が増大している。 There is an increasing need to provide efficient systems and methods for inspecting objects.
本発明の実施形態によれば、物体の複数の画像を獲得するシステムが提供される。システムは、(a)物体を第1の撮像領域に搬送する第1の長手方向移送器と、(b)物体を第2の撮像領域に搬送する第2の長手方向移送器と、(c)第1および第2の撮像領域のそれぞれに位置する物体の画像を取得する撮像装置と、(d)物体の第1側面が撮像装置に向いている間に第1の長手方向移送器から物体を受取り、物体の第2側面が撮像装置に向くように物体の長手方向軸を中心に各物体を回転させ、物体を第2の長手方向移送器に提供するように構成された回転モジュールと、(e)ガス供給ユニットとを備えてもよく、第1および第2の長手方向移送器の各々は、複数のトンネルを備え、各トンネルは、(i)物体伝播部分および(ii)物体アクセス防止ガス搬送部分を備え、各トンネルは、物体が、物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させることを防止し、かつ長手方向に物体伝播部分内での物体の伝播を容易にするように形作られ、物体伝播部分はミリメートル幅を有し、ガス供給ユニットは、各トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給するように構成され、ガスの供給は、各トンネルの物体伝播部分内での物体の伝播を補助する。 According to an embodiment of the present invention, a system for acquiring multiple images of an object is provided. The system includes (a) a first longitudinal transporter that transports an object to a first imaging region, (b) a second longitudinal transporter that transports an object to a second imaging region, and (c). An imaging device for acquiring an image of an object located in each of the first and second imaging regions; and (d) removing the object from the first longitudinal transporter while the first side of the object faces the imaging device. A rotation module configured to receive and rotate each object about the longitudinal axis of the object so that the second side of the object faces the imaging device and to provide the object to a second longitudinal transporter; e) a gas supply unit, wherein each of the first and second longitudinal transporters comprises a plurality of tunnels, each tunnel comprising (i) an object propagation portion and (ii) an object access prevention gas Each tunnel is equipped with a transport part to prevent object access The gas carrying part is shaped to prevent obstruction and to facilitate the propagation of objects in the object propagation part in the longitudinal direction, the object propagation part has a millimeter width, and the gas supply unit is connected to each tunnel An object access prevention gas delivery portion is configured to supply gas, the gas supply assisting in the propagation of the object within the object propagation portion of each tunnel.
本発明の実施形態によれば、物体の複数の画像を獲得する方法が提供される。方法は、(a)第1の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第1の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、長手方向に移送することは、トンネルの物体ア
クセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られ、物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、(b)第1の撮像領域において物体の第1側面の画像を取得する工程と、(c)物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第1の回転モジュールによって物体を回転させる工程と、(d)第2の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第2の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、長手方向に移送することは、トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られ、物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、(e)第2の撮像領域において物体の第2側面の画像を取得する工程とを含んでもよい。
According to an embodiment of the present invention, a method for acquiring a plurality of images of an object is provided. The method comprises the steps of (a) longitudinally transporting an object to a first imaging region through object propagation portions of a plurality of tunnels of a first longitudinal transporter, wherein the longitudinal transporting comprises: Supplying gas to the object access prevention gas transport portion, wherein each tunnel is shaped such that the object does not block the object access prevention gas transport portion, and the object propagation portion has a millimeter width; and (b) ) Acquiring an image of the first side of the object in the first imaging region; (c) rotating the object with a first rotation module that rotates the object about the longitudinal axis of the object; ) Longitudinally transporting the object to the second imaging region through the object propagation portions of the plurality of tunnels of the second longitudinal transporter, the longitudinal transport being the object of the tunnel Supplying gas to the anti-access gas transport portion, wherein each tunnel is shaped such that the object does not block the object access gas transport portion, and the object propagation portion has a millimeter width; and (e) Acquiring an image of the second side surface of the object in the second imaging region.
本発明は、本明細書で、添付図面を参照して単に例として述べられる。ここで図面を特に参照すると、示される詳細が、例のためであり、また、本発明の種々の実施形態の例証的な説明のためのものであることが強調される。 The invention will now be described by way of example only with reference to the accompanying drawings. With particular reference now to the drawings, it is emphasized that the details shown are for purposes of illustration and for illustrative description of various embodiments of the invention.
以下の詳細で、本発明を、本発明の実施形態の特定の実施例を参照して説明する。しかし、種々の修正および変更を、添付特許請求の範囲に記載する本発明のより広い精神および範囲から逸脱することなく、本発明において行われてもよいことが明らかである。 In the following details, the invention will be described with reference to specific examples of embodiments of the invention. However, it will be apparent that various modifications and changes may be made in the present invention without departing from the broader spirit and scope of the invention as set forth in the appended claims.
本発明を実施する装置は、ほとんど、当業者に知られている電子物体および回路からなるため、本発明の基礎になる概念の理解および認識のため、また、本発明の教示を曖昧にさせないか、または、教示から注目をそらさせないように、回路細部は、先に示したように、必要と考えられる程度を超えては説明されないであろう。 Since the apparatus embodying the invention consists mostly of electronic objects and circuits known to those skilled in the art, it may be necessary to understand and recognize the underlying concepts of the invention and to obscure the teachings of the invention. Or, to avoid distracting from the teachings, circuit details will not be described to the extent deemed necessary, as indicated above.
電気物体、特に、小型で長尺の電気物体などの物体の複数の側面が撮像される。小型で長尺の電気物体の長さは、通常、数ミリメートルを超えない。以下の説明は、こうした物体を参照する。これらの物体は、好都合には、PCBなどの電気回路の一部を後で形成する、ミリメートルのキャパシタなどの小型で長尺の電気物体であることに留意する。こうしたミリメートルのキャパシタは、0.06インチ長で0.03インチ幅である多層セラミックキャパシタ(MLCC)、0.04インチ長で0.02インチ幅であるMLCC、0.02インチ長で0.01インチ幅であるMLCC、0.01インチ長で0.005インチ幅であるMCLL、ならびにミリメートルの抵抗器でありうるが、それに限定されない。 A plurality of sides of an object, such as an electric object, in particular a small and long electric object, are imaged. The length of a small, long electrical object usually does not exceed a few millimeters. The following description refers to such objects. Note that these objects are conveniently small, long electrical objects such as millimeter capacitors that later form part of an electrical circuit such as a PCB. These millimeter capacitors are 0.06 inch long and 0.03 inch wide multilayer ceramic capacitor (MLCC), 0.04 inch long and 0.02 inch wide MLCC, 0.02 inch long and 0.012 inch wide. It can be, but is not limited to, MLCCs that are inches wide, MCLL that is 0.01 inches long and 0.005 inches wide, and millimeter resistors.
物体の複数の側面(面)が撮像され、これらの画像は、その後、たとえば、これらの物体の機能を決定するために処理される。好都合には、物体の複数の側面を照明し、これらの側面を撮像することによって、1秒当たり多くの物体が撮像されうる。 Multiple side surfaces of the object are imaged and these images are then processed, for example, to determine the function of these objects. Conveniently, many objects can be imaged per second by illuminating multiple sides of the object and imaging these sides.
頑健でかつ高スループットの撮像システムは、物体が内部を通って伝播しうる複数のトンネルを含む。トンネルは、トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分を通してガスを誘導することによって、トンネルを通した物体のスムーズな伝播を容易にするように形作られる。 A robust and high throughput imaging system includes multiple tunnels through which objects can propagate through. The tunnel is shaped to facilitate smooth propagation of objects through the tunnel by directing gas through the object access prevention gas transport portion of the tunnel.
システム10の略図である図1aを参照すると、システム10は、撮像装置30、第1の長手方向移送器110、第1の回転モジュール210、第2の長手方向移送器120、第2の回転モジュール220、第3の長手方向移送器130、第3の回転モジュール230、第4の長手方向移送器140、遅延要素150、ソーティングユニット170、およびプロセッサ160を含む。 Referring to FIG. 1 a, which is a schematic illustration of the system 10, the system 10 includes an imaging device 30, a first longitudinal transfer device 110, a first rotation module 210, a second longitudinal transfer device 120, and a second rotation module. 220, a third longitudinal transfer device 130, a third rotation module 230, a fourth longitudinal transfer device 140, a delay element 150, a sorting unit 170, and a processor 160.
撮像装置30は、第1の撮像領域510、第2の撮像領域520、第3の撮像領域530、および第4の撮像領域540に位置する物体の画像を取得しうる。撮像装置30は、これらの画像を、直列にまたは並列に取得しうる。 The imaging device 30 can acquire images of objects located in the first imaging area 510, the second imaging area 520, the third imaging area 530, and the fourth imaging area 540. The imaging device 30 can acquire these images in series or in parallel.
第1の長手方向移送器110、第2の長手方向移送器120、第3の長手方向移送器130、および第4の長手方向移送器140のそれぞれ1つは、複数のトンネルを含む。物体は、これらのトンネルを通って、特に、これらのトンネルの物体伝播部分を通って伝播する。物体伝播部分は、物体より少し幅広であるが、物体が伝播中に自身の長手方向軸を中心として回転することを防止するのに十分に狭くてもよい。たとえば、各物体の断面がT×Tミリメートルである場合、物体伝播部分の幅は、Tを超えるが、その断面の対角線(T×√2)より狭くてもよい。 Each one of the first longitudinal transporter 110, the second longitudinal transporter 120, the third longitudinal transporter 130, and the fourth longitudinal transporter 140 includes a plurality of tunnels. Objects propagate through these tunnels, in particular through the object propagation portions of these tunnels. The object propagation portion is slightly wider than the object, but may be sufficiently narrow to prevent the object from rotating about its longitudinal axis during propagation. For example, when the cross section of each object is T × T millimeters, the width of the object propagation portion exceeds T, but may be narrower than the diagonal line (T × √2) of the cross section.
各トンネルはまた、伝播する物体によって閉塞されず、また、物体の伝播を補助するガスを提供するように形作られた1つまたは複数の物体アクセス防止ガス搬送部分を含む。物体は、物体アクセス防止ガス搬送部分に入ることができないか、またはそうでなければ、物体アクセス防止ガス搬送部分を通るガスの通過を完全に閉塞させることができない。 Each tunnel also includes one or more object access prevention gas transport portions that are not occluded by the propagating object and are configured to provide a gas that assists in the propagation of the object. The object cannot enter the object access prevention gas transport part or otherwise cannot completely block the passage of gas through the object access prevention gas transport part.
好都合には、システム10は、パイプラインで動作する。すなわち、要素のグループは、撮像領域から他の撮像領域に移動し、複数の撮像領域からの画像が、各撮像サイクル中に取得されうる。 Conveniently, the system 10 operates in a pipeline. That is, the group of elements moves from the imaging area to another imaging area, and images from multiple imaging areas can be acquired during each imaging cycle.
表1は、システム100が動作するパイプラインプロセスの初期化を示す。「サイクル」は、あるステージがその間に発生する検査サイクルを示す。LTS1〜LTS4は、第1から第4までの長手方向移送器110〜140であり、「画像」は、どの画像が取得されるかを示す。Sx(Gy)は、電気回路のy番目のグループのx番目の側面の画像を意味する。説明を簡単にするために、電気回路の回転モジュールは示されない。 Table 1 shows the initialization of the pipeline process in which the system 100 operates. “Cycle” refers to an inspection cycle during which a certain stage occurs. LTS1 to LTS4 are first to fourth longitudinal transfer devices 110 to 140, and “image” indicates which image is acquired. Sx (Gy) means an image of the xth side of the yth group of the electrical circuit. For ease of explanation, the rotating module of the electrical circuit is not shown.
撮像装置30は、種々の方式で、1つの撮像領域から別の撮像領域へ移動しうる。たとえば、図1bに示すように、撮像装置30は、傾斜部分12を含む支持要素11と、傾斜部分12に結合するレール13などの少なくとも1つの移動制御コンポーネントと、少なくとも1つの移動制御コンポーネントに沿って移動する可動要素14との組合せによって、1つの場所から他の場所へ移動しうる。可動要素14は、撮像装置を支持する。可動要素14が撮像装置を支持するとき、可動要素14と撮像装置の組合せの重心は、傾斜部分の上に、または、傾斜部分の付近に配置される。こうした要素の組合せの例は、参照により本明細書に組込まれる「METHOD AND SYSTEM FOR SUPPORTING A MOVING OPTICAL COMPONENT ON A SLOPED PORTION」という名称のPCT特許出願WO2008/090559に示される。 The imaging device 30 can move from one imaging area to another in various ways. For example, as shown in FIG. 1b, the imaging device 30 is along a support element 11 including an inclined portion 12, at least one movement control component such as a rail 13 coupled to the inclined portion 12, and at least one movement control component. In combination with the movable element 14 that moves in a moving manner, it can move from one place to another. The movable element 14 supports the imaging device. When the movable element 14 supports the imaging device, the center of gravity of the combination of the movable element 14 and the imaging device is arranged on or near the inclined portion. An example of such a combination of elements is shown in PCT patent application WO 2008/090559, entitled “METHOD AND SYSTEM FOR SUPPORTING A MOVING OPTIONAL COMPONENT ON A SLOPED PORTION”, which is incorporated herein by reference.
図2aは、本発明の実施形態による、第1の長手方向移送器110のトンネル5101の断面図である。図2bは、本発明の別の実施形態による、第1の長手方向移送器110のトンネル5101の断面図である。図2cは、本発明のさらなる実施形態による、第1の長手方向移送器110のトンネル5101の断面図である。図2a〜2cの断面図は、トンネルの長手方向軸に垂直な仮想平面に沿って切断されている。 FIG. 2a is a cross-sectional view of tunnel 5101 of first longitudinal transfer device 110, according to an embodiment of the present invention. FIG. 2b is a cross-sectional view of tunnel 5101 of first longitudinal transfer device 110, according to another embodiment of the present invention. FIG. 2c is a cross-sectional view of tunnel 5101 of first longitudinal transfer device 110, according to a further embodiment of the present invention. The cross-sectional views of FIGS. 2a-2c are cut along a virtual plane perpendicular to the longitudinal axis of the tunnel.
図2aは、トンネル5101を、T形状断面を有するものとして示す。トンネル510
1は、物体伝播部分5111および一対の物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131を含む。一対の物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131は、物体伝播部分5111の上側部分の付近に位置する。
FIG. 2a shows the tunnel 5101 as having a T-shaped cross section. Tunnel 510
1 includes an object propagation portion 5111 and a pair of object access prevention gas transport portions 5121 and 5131. The pair of object access preventing gas transfer parts 5121 and 5131 is located in the vicinity of the upper part of the object propagation part 5111.
トンネル5101は、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131を閉塞させないように形作られている。その理由は、物体が部分5121および5131に入ることができないように、これらの部分(5121および5131)が、物体より狭く、かつ、物体伝播部分5111の両側に位置するからである。 Tunnel 5101 is shaped so that objects do not block object access prevention gas transport portions 5121 and 5131. The reason is that these parts (5121 and 5131) are narrower than the object and located on both sides of the object propagation part 5111 so that the object cannot enter the parts 5121 and 5131.
各トンネルは、1つの1つの物体アクセス防止ガス搬送部分か、または、3つ以上の物体アクセス防止ガス搬送部分を有してもよいことに留意する。1つまたは複数の物体アクセス防止ガス搬送部分が、トンネルの底部、トンネルの上部、あるいは、トンネルの1つまたは複数の側面に位置してもよい。 Note that each tunnel may have one single object access prevention gas delivery portion or more than two object access prevention gas delivery portions. One or more object access prevention gas transport portions may be located at the bottom of the tunnel, the top of the tunnel, or one or more sides of the tunnel.
図2aでは、トンネル5101は、底面5101(1)、底面5101(1)の2つの両端部から延びる2つの垂直壁5101(2)および5101(3)、2つの垂直壁5101(2)および5101(3)の上端から延びる2つの水平壁5101(4)および5101(5)、ならびに、2つの垂直壁5101(4)および5101(5)の先端から延びる2つの垂直壁5101(6)および5101(7)を含む。トンネル5101はまた、上部壁5101(12)を有する。この上部壁は、取外し可能であり、トンネル5101の他の壁から取外されてもよい。この壁が、取外され、トンネルが容易に洗浄されてもよい。 In FIG. 2a, the tunnel 5101 includes a bottom surface 5101 (1), two vertical walls 5101 (2) and 5101 (3) extending from two ends of the bottom surface 5101 (1), and two vertical walls 5101 (2) and 5101. Two horizontal walls 5101 (4) and 5101 (5) extending from the upper end of (3), and two vertical walls 5101 (6) and 5101 extending from the tips of the two vertical walls 5101 (4) and 5101 (5) (7) is included. The tunnel 5101 also has an upper wall 5101 (12). This top wall is removable and may be removed from other walls of the tunnel 5101. This wall may be removed and the tunnel may be easily cleaned.
壁5101(1)、5101(2)、および5101(3)は、物体伝播部分5111を画定し、一方、5101(4)〜5101(7)は、物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131を画定する。物体伝播部分5111と、物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131との間の仮想境界は、垂直壁5101(2)および5101(3)の上側端から延びる破線によって示される。 Walls 5101 (1), 5101 (2), and 5101 (3) define an object propagation portion 5111, while 5101 (4) -5101 (7) define an object access prevention gas transport portion 5121 and 5131. To do. The virtual boundary between the object propagation portion 5111 and the object access prevention gas transport portions 5121 and 5131 is indicated by a broken line extending from the upper end of the vertical walls 5101 (2) and 5101 (3).
これらの壁は、90°とは異なる角度で互いに対して向けられてもよいこと、および、一部の壁(または壁の組合せ)は、湾曲した表面で置換えられてもよいことを当業者は理解する。 Those skilled in the art will appreciate that these walls may be oriented with respect to each other at an angle other than 90 °, and that some walls (or combinations of walls) may be replaced with curved surfaces. to understand.
図2aの下の部分は、物体伝播部分5111内に位置する物体5を示す。
図2bは、トンネル5101を、「+」形状断面を有するものとして示す。一対の物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131は、物体伝播部分5111の中心の付近に位置する。
The lower part of FIG. 2 a shows the object 5 located in the object propagation part 5111.
FIG. 2 b shows the tunnel 5101 as having a “+” shaped cross section. The pair of object access preventing gas transfer parts 5121 and 5131 is located near the center of the object propagation part 5111.
図2bでは、トンネル5101は、底面5101(1)、底面5101(1)の2つの両端部から延びる2つの垂直壁5101(2)および5101(3)、2つの垂直壁5101(2)および5101(3)の上側端から延びる2つの水平壁5101(4)および5101(5)、2つの水平壁5101(4)および5101(5)の先端から延びる2つの垂直壁5101(6)および5101(7)、壁5101(6)および5101(7)の上側端から延びる2つの水平壁5101(8)および5101(9)、ならびに、壁5101(8)および5101(9)の内側端から延びる2つの垂直壁5101(10)および5101(11)を含む。トンネル5101はまた、上部壁5101(12)を有する。この上部壁は、取外し可能であり、トンネル5101の他の壁から取外されてもよい。この壁が、取外され、トンネルが容易に洗浄されてもよい。 In FIG. 2b, the tunnel 5101 has a bottom surface 5101 (1), two vertical walls 5101 (2) and 5101 (3) extending from two ends of the bottom surface 5101 (1), and two vertical walls 5101 (2) and 5101. Two horizontal walls 5101 (4) and 5101 (5) extending from the upper end of (3), two vertical walls 5101 (6) and 5101 (2) extending from the tips of the two horizontal walls 5101 (4) and 5101 (5) 7), two horizontal walls 5101 (8) and 5101 (9) extending from the upper end of the walls 5101 (6) and 5101 (7), and 2 extending from the inner ends of the walls 5101 (8) and 5101 (9) It includes two vertical walls 5101 (10) and 5101 (11). The tunnel 5101 also has an upper wall 5101 (12). This top wall is removable and may be removed from other walls of the tunnel 5101. This wall may be removed and the tunnel may be easily cleaned.
壁5101(1)、5101(2)、5101(3)、5101(10)、および51
01(11)は、物体伝播部分5111を画定し、一方、5101(4)〜5101(9)は、物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131を画定する。物体伝播部分5111と、物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131との間の仮想境界は、壁5101(2)と5101(10)との間、および壁5101(3)と5101(11)との間の破線によって示される。
Walls 5101 (1), 5101 (2), 5101 (3), 5101 (10), and 51
01 (11) defines an object propagation portion 5111, while 5101 (4) -5101 (9) define object access prevention gas transport portions 5121 and 5131. The virtual boundaries between the object propagation part 5111 and the object access prevention gas transport parts 5121 and 5131 are between the walls 5101 (2) and 5101 (10) and between the walls 5101 (3) and 5101 (11). Indicated by the dashed line between.
図2bの下の部分は、物体伝播部分5111内に位置する物体5を示す。
図2cは、トンネル5101を、逆T形状断面を有するものとして示す。一対の物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131は、物体伝播部分5111の底部に位置する。
The lower part of FIG. 2 b shows the object 5 located in the object propagation part 5111.
FIG. 2c shows the tunnel 5101 as having an inverted T-shaped cross section. A pair of object access prevention gas transfer parts 5121 and 5131 is located at the bottom of the object propagation part 5111.
図2cでは、トンネル5101は、底面5101(1)、底面5101(1)の2つの両端部から延びる2つの垂直壁5101(2)および5101(3)、2つの垂直壁5101(2)および5101(3)の上端から延びる2つの水平壁5101(4)および5101(5)、ならびに、2つの水平壁5101(4)および5101(5)の先端から延びる2つの垂直壁5101(6)および5101(7)を含む。トンネル5101はまた、上部壁5101(12)を有する。この上部壁は、取外し可能であり、トンネル5101の他の壁から取外されてもよい。この壁が、取外され、トンネルが容易に洗浄されてもよい。 In FIG. 2c, the tunnel 5101 has a bottom surface 5101 (1), two vertical walls 5101 (2) and 5101 (3) extending from two ends of the bottom surface 5101 (1), and two vertical walls 5101 (2) and 5101. Two horizontal walls 5101 (4) and 5101 (5) extending from the upper end of (3), and two vertical walls 5101 (6) and 5101 extending from the tips of the two horizontal walls 5101 (4) and 5101 (5) (7) is included. The tunnel 5101 also has an upper wall 5101 (12). This top wall is removable and may be removed from other walls of the tunnel 5101. This wall may be removed and the tunnel may be easily cleaned.
壁5101(1)、5101(2)、および5101(3)は、物体伝播部分5111を画定し、一方、5101(1)〜5101(5)は、物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131を画定する。物体伝播部分5111と、物体アクセス防止ガス搬送部分5121および5131との間の仮想境界は、垂直壁5101(2)および5101(3)の上側端から延びる破線によって示される。 Walls 5101 (1), 5101 (2), and 5101 (3) define an object propagation portion 5111, while 5101 (1) -5101 (5) define object access prevention gas transport portions 5121 and 5131. To do. The virtual boundary between the object propagation portion 5111 and the object access prevention gas transport portions 5121 and 5131 is indicated by a broken line extending from the upper end of the vertical walls 5101 (2) and 5101 (3).
図2cの下の部分は、物体伝播部分5111内に位置する物体5を示す。
図2a〜2cは、同じ高さに位置する一対の物体アクセス防止ガス搬送部分を示すが、これは必ずしもそうでなくてもよく、異なる物体アクセス防止ガス搬送部分が、異なる高さに位置してもよいことに留意する。
The lower part of FIG. 2 c shows the object 5 located in the object propagation part 5111.
2a-2c show a pair of object access prevention gas transport portions located at the same height, this need not be the case, but different object access prevention gas transport portions may be located at different heights. Note that it is also good.
図3aは、本発明の実施形態による、第1の長手方向移送器110のトンネル5101の断面図である。図3bは、本発明の別の実施形態による、トンネル5101の断面図である。図3aおよび図3bの断面図は、トンネルの長手方向軸に平行な仮想平面に沿って切断される。 FIG. 3a is a cross-sectional view of the tunnel 5101 of the first longitudinal transfer device 110 according to an embodiment of the present invention. FIG. 3b is a cross-sectional view of a tunnel 5101 according to another embodiment of the present invention. The cross-sectional views of FIGS. 3a and 3b are cut along a virtual plane parallel to the longitudinal axis of the tunnel.
図3aは、物体アクセス防止ガス搬送部分5121を、物体伝播部分5111全体を通して延びるものとして示す。物体アクセス防止ガス搬送部分5121は、底面5101(1)に平行であるものとして示される。 FIG. 3 a shows the object access prevention gas transport portion 5121 as extending through the entire object propagation portion 5111. Object access prevention gas transport portion 5121 is shown as being parallel to bottom surface 5101 (1).
物体アクセス防止ガス搬送部分5121が、底面5101(1)に対して向かっていてもよいことを当業者は理解するであろう。
物体アクセス防止ガス搬送部分5121は、湾曲形状を有してもよく、ジグザグ形状を有してもよく、または、直線形状と異なる任意の他の形状を有してもよい。物体アクセス防止ガス搬送部分5121の形状(および/またはサイズ)は、物体アクセス防止ガス搬送部分5131の形状(および/またはサイズ)と異なってもよい。
One skilled in the art will appreciate that the object access prevention gas transport portion 5121 may be toward the bottom surface 5101 (1).
The object access prevention gas transport portion 5121 may have a curved shape, a zigzag shape, or any other shape different from the linear shape. The shape (and / or size) of the object access prevention gas transfer portion 5121 may be different from the shape (and / or size) of the object access prevention gas transfer portion 5131.
図3bは、物体アクセス防止ガス搬送部分5121を、物体伝播部分5111全体を通して延びるものとして示す。物体アクセス防止ガス搬送部分5121は、一連の開口5141を含むものとして示される。これらの開口(アパーチャ)は、同じ形状およびサイズ
を有してもよく、または、形状および/またはサイズが互いに異なってもよい。図3bは、開口514を、同じ高さに配置されるものとして示すが、必ずしもそうでなくてもよい。開口514は物体より小さい。複数の開口が、物体より小さい領域内に位置してもよいが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。破線は、物体アクセス防止ガス搬送部分5121の構造を示す。図3bはまた、物体アクセス防止ガス搬送部分5131の開口5151を示す。
FIG. 3 b shows the object access prevention gas transport portion 5121 as extending through the entire object propagation portion 5111. Object access prevention gas transport portion 5121 is shown as including a series of openings 5141. These apertures may have the same shape and size, or may have different shapes and / or sizes. Although FIG. 3b shows the openings 514 as being located at the same height, this need not be the case. The opening 514 is smaller than the object. The plurality of openings may be located in a region smaller than the object, but this is not necessarily so. The broken line shows the structure of the object access preventing gas transport portion 5121. FIG. 3 b also shows the opening 5151 of the object access prevention gas transport portion 5131.
図3cは、複数のトンネルおよびこれらのトンネルにガスを供給するガス供給要素920を示す。
図3cでは、各トンネル(5101、5102、51015、および51016など)は、物体伝播部分(5111、5112、51115、および51116)および2つの物体アクセス防止ガス搬送部分(5121、5131、5122、5132、51215、51315、51216、および51316)を含むものとして示される。
FIG. 3c shows a plurality of tunnels and a gas supply element 920 that supplies gas to these tunnels.
In FIG. 3c, each tunnel (such as 5101, 5102, 51015, and 51016) has an object propagation portion (5111, 5112, 51115, and 51116) and two object access prevention gas transport portions (5121, 5131, 5122, 5132, 51215, 51315, 51216, and 51316).
ガス供給要素920は、開口922を介して、全ての物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを提供する。
ガス供給要素920は、各側方移送器の側壁に位置してもよい1つまたは複数のガス入口を含んでもよい。1つまたは複数のガス入口は、システム内に含まれてもよく、各側方移送器は、1つまたは複数の入口を含んでもよい。
The gas supply element 920 provides gas to all object access prevention gas transport portions via the opening 922.
The gas supply element 920 may include one or more gas inlets that may be located on the side walls of each side transfer. One or more gas inlets may be included in the system and each side transfer may include one or more inlets.
ガス供給要素920は、第1の長手方向移送器510のトンネルの下に位置してもよいが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。ガス供給要素920は、1つまたは複数の狭いトンネルとして形成されてもよいが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。ガス供給要素920は、種々の形状、種々のサイズを有してもよく、また、値などの種々の成分を含んでもよい。側方移送器の側壁に配置されるガス入口の例は、参照により本明細書に組込まれるPCT特許出願WO2009/098688に示される。 The gas supply element 920 may be located under the tunnel of the first longitudinal transferer 510, but this is not necessarily so. The gas supply element 920 may be formed as one or more narrow tunnels, but this is not necessarily so. The gas supply element 920 may have various shapes, various sizes, and may include various components such as values. An example of a gas inlet located on the side wall of a side transfer is shown in PCT patent application WO 2009/098688, which is incorporated herein by reference.
図4は、停止要素148および149を示す。1つの要素は、第3の回転モジュール230の直後に位置し、他の要素は、遅延ユニット150で終るトンネルに向かって、第4の長手方向移送器140の対向端に位置する。 FIG. 4 shows stop elements 148 and 149. One element is located immediately after the third rotation module 230 and the other element is located at the opposite end of the fourth longitudinal transferor 140 towards the tunnel ending with the delay unit 150.
これらの停止要素は、上げ下げされうるピンでありうる。すなわち、上げられると、ピンは、物体がトンネルを通過することを防止する。各停止要素の上部部分が、図4で明確に示される。これらの停止要素は、図4に同様に示される凹所内に位置しうる。 These stop elements can be pins that can be raised and lowered. That is, when raised, the pin prevents the object from passing through the tunnel. The upper part of each stop element is clearly shown in FIG. These stop elements may be located in recesses that are also shown in FIG.
下側部分112、122、132、および142は、透明であってもよく、下側部分を通して画像を取得することが可能になることに留意する。こうした画像は、長手方向移送器120および130の上に位置する撮像装置30によって獲得される画像と並列に獲得されうる。 Note that the lower portions 112, 122, 132, and 142 may be transparent, allowing images to be acquired through the lower portion. Such images can be acquired in parallel with images acquired by the imaging device 30 located on the longitudinal transporters 120 and 130.
好都合には、システム10は、第1、第2、第3、および第4の長手方向移送器110、120、130、および140内で、第1、第2、および第3の回転モジュール210、220、および230の付近、かつ遅延ユニット150の付近に位置しうる停止要素(図示せず)を含む。これらの停止要素は、トンネル内にポッピングして入り(または、その他の方法で入り)、1つのモジュールから他のモジュールへの物体の伝播を一時的に防止する。これらの停止要素は、弁であってよい。 Conveniently, the system 10 includes first, second, and third rotation modules 210, within the first, second, third, and fourth longitudinal transporters 110, 120, 130, and 140, respectively. Stop elements (not shown) that may be located near 220 and 230 and near the delay unit 150 are included. These stop elements pop into the tunnel (or otherwise) and temporarily prevent the propagation of objects from one module to the other. These stop elements may be valves.
図5aは、本発明による、第1の回転モジュール210の回転要素212(1)〜212(16)ならびに第1および第2の長手方向移送器110および120の部分を示す。
回転モジュール210は、16個の回転要素212(1)〜212(16)−第1の長
手方向移送器110の各トンネル当たり1つの回転要素−を含む。トンネル5101は、第1の回転要素212(1)を介してトンネル5201に接続される。トンネル5201は、第2の回転要素212(2)を介してトンネル5202に接続される、などにより、ついには、トンネル5116が回転要素212(16)を介してトンネル5216に接続される。
FIG. 5a shows the rotating elements 212 (1) -212 (16) of the first rotating module 210 and parts of the first and second longitudinal transferers 110 and 120 according to the invention.
The rotation module 210 includes 16 rotation elements 212 (1)-212 (16) —one rotation element for each tunnel of the first longitudinal transfer device 110. The tunnel 5101 is connected to the tunnel 5201 through the first rotating element 212 (1). Tunnel 5201 is connected to tunnel 5202 via second rotating element 212 (2), etc., and eventually tunnel 5116 is connected to tunnel 5216 via rotating element 212 (16).
図5bは、本発明の実施形態による回転要素212(1)を示す。
回転要素212(1)は、約90°の回転を実施する螺旋溝213(1)を含む。第1の長手方向移送器110のトンネルからの物体は、螺旋溝の一端に入り、螺旋溝213(1)を出る前に、その長手方向軸の回りに約90°回転して、第2の長手方向移送器120の対応するトンネルに入る。
FIG. 5b shows a rotating element 212 (1) according to an embodiment of the invention.
The rotating element 212 (1) includes a helical groove 213 (1) that performs a rotation of about 90 °. The object from the tunnel of the first longitudinal transferer 110 enters one end of the spiral groove and rotates about 90 ° about its longitudinal axis before exiting the spiral groove 213 (1), resulting in a second Enter the corresponding tunnel of the longitudinal transporter 120.
図5cは、本発明の別の実施形態による回転要素212'(1)を示す。
回転要素212'(1)は、約90°の回転を実施する物体回転部分214(1)を含
む螺旋トンネル213'(1)および螺旋トンネル213'(1)を通って物体が伝播するように誘導するガスを提供する2つの物体アクセス防止ガス搬送部分215(1)を含む。
FIG. 5c shows a rotating element 212 ′ (1) according to another embodiment of the invention.
The rotating element 212 ′ (1) allows the object to propagate through a helical tunnel 213 ′ (1) and a helical tunnel 213 ′ (1) that includes an object rotating portion 214 (1) that performs a rotation of about 90 °. It includes two object access prevention gas transport portions 215 (1) that provide gas to be guided.
第1の長手方向移送器110のトンネルからの物体は、螺旋溝213(1)または螺旋トンネル213'(1)の一端に入り、螺旋溝213(1)または螺旋トンネル213'(1)を出る前に、その長手方向軸の回りに約90°回転して、第2の長手方向移送器120の対応するトンネルに入る。 An object from the tunnel of the first longitudinal transferer 110 enters one end of the spiral groove 213 (1) or spiral tunnel 213 ′ (1) and exits the spiral groove 213 (1) or spiral tunnel 213 ′ (1). Before, it rotates about 90 ° about its longitudinal axis and enters the corresponding tunnel of the second longitudinal transfer device 120.
螺旋トンネル213'(1)は、種々の形状を有してもよく、その一部が、図2a〜2
cおよび3a〜3bに示される。
図6は、本発明の実施形態によるシステム2000を示す。
The spiral tunnel 213 ′ (1) may have various shapes, some of which are shown in FIGS.
c and 3a-3b.
FIG. 6 illustrates a system 2000 according to an embodiment of the present invention.
図6のシステム2000は、側方に、さらなる撮像領域250に物体を移送する側方移送器310を含む。撮像装置30は、4つの撮像領域510、520、530、および540で撮像される物体の側面と異なる物体の2つの対向する側面の画像を取得するように構成されている。 The system 2000 of FIG. 6 includes a lateral transporter 310 that laterally transports an object to a further imaging area 250. The imaging device 30 is configured to acquire images of two opposing side surfaces of an object different from the side surfaces of the object imaged in the four imaging regions 510, 520, 530, and 540.
好都合には、さらなる撮像領域は、傾斜ミラー間に物体が配置されるように配置された照明用傾斜ミラーを含む。物体の対向する側面から散乱するかまたは反射した光は、これらの傾斜ミラーから撮像装置の方に誘導される。 Conveniently, the further imaging area comprises an illumination tilting mirror arranged such that an object is placed between the tilting mirrors. Light scattered or reflected from opposite sides of the object is guided from these tilted mirrors towards the imaging device.
側方移送器310は、物体が側方移送器310によって移送されている(または、単に支持されている)間に、物体を電気的に試験することができる電気試験器に接続された複数の電気接点を装備してもよい。 The side transfer device 310 has a plurality of devices connected to an electrical tester that can electrically test the object while the object is being transferred (or simply supported) by the side transfer device 310. Electrical contacts may be provided.
システム2000は、バスと呼ばれる種々のプッシュプルストライプ2010、モータ2020、マルチクラッチ2030、容器2040、バスプラットフォーム2050、ロードバスなどのロード要素2060、さらなる撮像領域550、バスアンローダ2065、第1の長手方向移送器110、第1の回転要素210、第2の長手方向移送器120、第2の回転要素220、第3の長手方向移送器130、第1の回転要素230、第4の長手方向移送器140、遅延ユニット150、プロセッサ160、およびソーティングユニット170を含む。 The system 2000 includes various push-pull stripes 2010 referred to as a bus, a motor 2020, a multi-clutch 2030, a container 2040, a bus platform 2050, a load element 2060 such as a load bus, a further imaging area 550, a bus unloader 2065, a first longitudinal direction. Transporter 110, first rotating element 210, second longitudinal transporter 120, second rotating element 220, third longitudinal transporter 130, first rotating element 230, fourth longitudinal transporter 140, a delay unit 150, a processor 160, and a sorting unit 170.
バスプッシュプルストライプ2010は、電気物体を(撮像されるように)右に、次に、(撮像された後に)左に移動させる側方移送器を形成する複数の側方移送器要素であり
、プッシュプルストライプは、これらのバスを左および右に移動させる。これらのバスプッシュプルストライプは、複数の電気接点を装備してもよい。
The bus push-pull stripe 2010 is a plurality of side transfer elements that form a side transfer that moves electrical objects to the right (as imaged) and then to the left (after being imaged); Push-pull stripes move these buses to the left and right. These bus push-pull stripes may be equipped with a plurality of electrical contacts.
バスモータ2020およびマルチクラッチ2030は、ストライプ2010を左および右に移動させ、マルチクラッチ2030は、バスモータ2020の機械的動きを左および右の運動に変換する。容器2040は、電気物体を含んだ。バスプラットフォーム2050は、複数のバスを含み、各バスは、長いベース部および一連の等間隔の突出部を有し、隣接する突出部の各対は、1つの電気物体を支持しうる空間を画定した。ロードバス2060は、電気物体の長手方向軸がバスの移送軸に垂直になるように、電気物体をバスにロードする。バスアンローダ2065は、撮像装置30によって電気物体が撮像された後に電気物体をアンロードし、(90°だけ)回転させ、第1の長手方向移送器110まで(好都合には、第1の撮像領域の下に)移送する。 The bus motor 2020 and the multi-clutch 2030 move the stripe 2010 to the left and right, and the multi-clutch 2030 converts the mechanical motion of the bus motor 2020 into left and right motion. Container 2040 contained an electrical object. The bus platform 2050 includes a plurality of buses, each bus having a long base and a series of equally spaced protrusions, each pair of adjacent protrusions defining a space that can support one electrical object. did. The load bus 2060 loads an electrical object onto the bus so that the longitudinal axis of the electrical object is perpendicular to the transport axis of the bus. The bus unloader 2065 unloads the electrical object after it has been imaged by the imaging device 30 and rotates it (by 90 °) to the first longitudinal transferer 110 (conveniently the first imaging area). (Under).
物体は、さらなる撮像領域550に提供され、その後、この撮像前の位置に戻って、アンロードされ、第1の長手方向コンベア110まで(好都合には、バスの下に)提供される。 The object is provided in a further imaging area 550 and then returned to this pre-imaging position, unloaded and provided to the first longitudinal conveyor 110 (conveniently under the bus).
物体の2つの異なる側面は、異なる撮像領域で取得される。たとえば、6つの側面が、側面A、B、C、D、E、およびFと呼ばれると仮定すると、側面AおよびCは、第1の撮像領域で撮像され、側面BおよびDは、第2の撮像領域で撮像され、側面EおよびFは、第3の撮像領域で撮像される。これらの画像は、ボックス305および306で示され、一方、他の4つの撮像領域510〜540で取得される画像が、ボックス301、302、303、および304で示される。 Two different sides of the object are acquired with different imaging areas. For example, assuming that six side surfaces are referred to as side surfaces A, B, C, D, E, and F, side surfaces A and C are imaged in a first imaging region and side surfaces B and D are second Images are captured in the imaging region, and the side surfaces E and F are captured in the third imaging region. These images are shown in boxes 305 and 306, while the images acquired in the other four imaging areas 510-540 are shown in boxes 301, 302, 303, and 304.
図7a、7b、および8は、本発明の実施形態による、バス820、ローダ2060のローディング要素、およびアンローダ2065のアンローディング要素を示す。
さらなる撮像領域550は、バス820の右に位置すると仮定する。
FIGS. 7 a, 7 b, and 8 show a bus 820, a loader 2060 loading element, and an unloader 2065 unloading element, according to an embodiment of the present invention.
Assume further imaging area 550 is located to the right of bus 820.
図7aは、撮像が起こる前に物体をバスにロードするローディング要素812および824を示し、(物体802'などの物体をロードされた)バス820は、右に移動する。
撮像が終了すると、バス820は、その初期位置に戻り(図8に示すように、左に移動し)、アンローディング要素832および834が、撮像済み物体をバス820からアンロードする。
FIG. 7a shows loading elements 812 and 824 that load objects onto the bus before imaging occurs, with the bus 820 (loaded with an object, such as object 802 ') moved to the right.
When imaging is complete, bus 820 returns to its initial position (moves to the left as shown in FIG. 8), and unloading elements 832 and 834 unload the imaged object from bus 820.
ローディング要素812は、容器2040の近くで始まるトンネルであり、ローディング要素824は、(低ガス圧を導入することによって)要素をバス820の方へ吸引する。 The loading element 812 is a tunnel that starts near the container 2040 and the loading element 824 draws the element toward the bath 820 (by introducing a low gas pressure).
アンローディング要素832は、第1の長手方向移送器110の方に(好ましくは、バス820の下に)延びるトンネルである。アンローディング要素834は、バス820からアンローディング要素832の方に物体を押すガスパルスを発生する。 The unloading element 832 is a tunnel that extends toward the first longitudinal transporter 110 (preferably under the bus 820). The unloading element 834 generates a gas pulse that pushes the object from the bus 820 toward the unloading element 832.
バス820は、物体の長手方向軸が、バスの移動に実質的に垂直になるように物体を搬送する。
バス820または他の移送要素は、コンベアベルトの一部でありうる、複数のパーティションを含みうる、または、機械、磁気、またはガス圧ベースの手段によって、さらなる撮像領域550の方に移動されうる。
Bus 820 carries the object such that the longitudinal axis of the object is substantially perpendicular to the movement of the bus.
The bus 820 or other transport element can be part of a conveyor belt, can include multiple partitions, or can be moved toward a further imaging area 550 by mechanical, magnetic, or gas pressure based means.
本発明の別の実施形態によれば、ローディングおよびアンローディング要素は、撮像される物体をロードしながら、既に撮像した物体をバスから取外すために、並列に動作しう
る。
According to another embodiment of the present invention, the loading and unloading elements may operate in parallel to remove an already imaged object from the bus while loading the object being imaged.
バス820は、物体が内部に配置される複数の空間823を画定するための、低部821および底部821から延びる複数の壁822を含む。物体802'は、その長手方向軸
が壁822に平行になるように所定空間内に配置される。
The bus 820 includes a plurality of walls 822 extending from the lower portion 821 and the bottom portion 821 for defining a plurality of spaces 823 in which an object is disposed. The object 802 ′ is arranged in a predetermined space so that its longitudinal axis is parallel to the wall 822.
図7aおよび7bおよび8は、電気接点の種々の構成を示す。たとえば、電気接点9001および9002は、バスの底部821でかつ境界823および824の近くに位置するため、空間823内に配置される物体802'の両端は、電気接点9001および90
02に接触することになる。なお別の実施例の場合、電気接点9003および9004が、壁822内に位置する(壁822に接続される)。
Figures 7a and 7b and 8 show various configurations of electrical contacts. For example, the electrical contacts 9001 and 9002 are located at the bottom 821 of the bus and near the boundaries 823 and 824, so that both ends of the object 802 ′ disposed in the space 823 are connected to the electrical contacts 9001 and 902.
02 will come into contact. In yet another embodiment, electrical contacts 9003 and 9004 are located within wall 822 (connected to wall 822).
全ての物体の電気試験を容易にするために、全ての空間823が、1つまたは複数の電気接点を有してもよいことに留意する。一部の空間823だけが、物体をサンプリングするために、電気接点を装備してもよいことに留意する。 Note that all spaces 823 may have one or more electrical contacts to facilitate electrical testing of all objects. Note that only some of the spaces 823 may be equipped with electrical contacts to sample the object.
電気接点9001〜9004は、電気試験器2222などの電気試験回路に接続される。図7bは、空間のうちの1つの空間内の物体802'を示すが、ロードされると、全て
の空間823(または、複数の空間)は、物体で部分的に満たされることがさらに留意される。
Electrical contacts 9001-9004 are connected to an electrical test circuit such as electrical tester 2222. FIG. 7b shows an object 802 ′ in one of the spaces, but it is further noted that when loaded, all spaces 823 (or multiple spaces) are partially filled with objects. The
図9aおよび9bは、本発明の実施形態による方法1500を示す。方法1500は、複数の物体を第1の長手方向移送器に提供するステージ1510で始まる。
これらの物体は、供給要素の入口に吸引され(または、その他の方法で提供され)、物体が、供給要素の出口を通って第1の長手方向移送器のトンネルの方へ向かうことを可能にする。
Figures 9a and 9b illustrate a method 1500 according to an embodiment of the invention. The method 1500 begins with a stage 1510 that provides a plurality of objects to a first longitudinal transferer.
These objects are aspirated (or otherwise provided) at the inlet of the supply element, allowing the object to go through the outlet of the supply element towards the tunnel of the first longitudinal transferer. To do.
ステージ1510に続いて、第1の長手方向移送器の複数のトンネルを通って第1の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ1520が起こる。長手方向に移送することは、第1の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを提供することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。 Following stage 1510 is a stage 1520 that longitudinally transports an object through a plurality of tunnels of a first longitudinal transporter to a first imaging region. The longitudinal transfer includes providing gas to the object access prevention gas transport portion of the tunnel of the first longitudinal transferer. Each tunnel is shaped so that the object does not block the object access prevention gas transport portion. The object propagation portion has a millimeter width. Since the object is too small and fragile, it may not be able to move by contacting the object propagation part and applying force.
好都合には、十分な物体が集められると、ステージ1520に続いて、ステージ1530が起こりうる。
ステージ1520は、物体が第1の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第1の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、1つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第1の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。
Conveniently, stage 1530 may occur following stage 1520 when sufficient objects have been collected.
Stage 1520 may include positioning the stop element of the first longitudinal transporter in a stop position such that the stop element prevents an object from being sent to the first rotation module. Subsequent to this arrangement, the objects are aspirated to form a row of objects for one tunnel. Arrangement may include moving these stop elements into the tunnel of the first longitudinal transporter.
ステージ1530は、第1の撮像領域において物体の第1側面の画像を取得することを含む。第1の撮像領域は、第1の長手方向移送器全体または第1の長手方向移送器の一部分に相当しうる。したがって、長手方向移送器内に位置する物体の全てまたは一部だけが撮像されうる。 Stage 1530 includes obtaining an image of the first side of the object in the first imaging region. The first imaging region may correspond to the entire first longitudinal transporter or a portion of the first longitudinal transporter. Thus, all or only a part of the object located in the longitudinal transporter can be imaged.
ステージ1530は、電気物体の一方の側面を撮像することを含む。ステージ1530は、第1の長手方向移送器の透明部分を介して画像を取得することを含む。
ステージ1530に続いて、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第1の回転モジュールによって物体を回転させるステージ1540が起こる。
Stage 1530 includes imaging one side of the electrical object. Stage 1530 includes acquiring an image through the transparent portion of the first longitudinal transporter.
Following the stage 1530 is a stage 1540 where the object is rotated by a first rotation module that rotates the object about the longitudinal axis of the object.
ステージ1540は、物体を90°だけ回転させることを含みうるが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。回転は、90°小さい角度や90°よりも大きい角度などだけ回転させることを含みうる。 Stage 1540 may include rotating the object by 90 °, but this is not necessarily so. Rotation can include rotating by an angle that is less than 90 °, an angle that is greater than 90 °, and the like.
ステージ1540の前に、第1の撮像領域で撮像された物体が、第1の回転モジュールまで移動することを可能にするために、第1の長手方向移送器の停止要素の位置を変更することが起こりうる。この再配置は、これらの停止要素を、第1の長手方向移送器のトンネルから取除くことを含みうる。 Before the stage 1540, changing the position of the stop element of the first longitudinal transferer in order to allow the object imaged in the first imaging area to move to the first rotation module Can happen. This relocation may include removing these stop elements from the tunnel of the first longitudinal transferer.
ステージ1540に続いて、第2の長手方向移送器の複数のトンネルを通して第2の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ1550が起こる。長手方向に移送することは、第2の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。 Following stage 1540 is a stage 1550 that longitudinally transports the object through the plurality of tunnels of the second longitudinal transporter to the second imaging region. Transferring in the longitudinal direction includes supplying gas to the object access prevention gas transport portion of the tunnel of the second longitudinal transferer. Each tunnel is shaped so that the object does not block the object access prevention gas transport portion. The object propagation portion has a millimeter width. Since the object is too small and fragile, it may not be able to move by contacting the object propagation part and applying force.
ステージ1540は、物体が第2の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第2の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、1つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第2の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。通常、停止要素は、物体が第1の長手方向移送器から送られる前に停止位置に設置される。 Stage 1540 may include placing the stop element of the second longitudinal transporter in a stop position so that the stop element prevents an object from being sent to the second rotation module. Subsequent to this arrangement, the objects are aspirated to form a row of objects for one tunnel. Arrangement may include moving these stop elements into the tunnel of the second longitudinal transferer. Usually the stop element is placed in the stop position before the object is sent from the first longitudinal transporter.
ステージ1550に続いて、第2の撮像領域において物体の第2側面の画像を取得するステージ1560が起こる。
ステージ1560に続いて、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第2の回転モジュールによって物体を回転させるステージ1570が起こる。
Following stage 1550, stage 1560 occurs where an image of the second side of the object is acquired in the second imaging region.
Following stage 1560 is a stage 1570 in which the object is rotated by a second rotation module that rotates the object about the longitudinal axis of the object.
ステージ1560の前に、第2の撮像領域で撮像された物体が、第2の回転モジュールまで移動することを可能にするために、第2の長手方向移送器の停止要素の位置を変更することが起こりうる。この再配置は、これらの停止要素を、第2の長手方向移送器のトンネルから取除くことを含みうる。 Before the stage 1560, changing the position of the stop element of the second longitudinal transferer in order to allow the object imaged in the second imaging area to move to the second rotation module Can happen. This relocation may include removing these stop elements from the tunnel of the second longitudinal transporter.
ステージ1570に続いて、第3の長手方向移送器の複数のトンネルを通して第3の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ1580が起こる。長手方向に移送することは、第3の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。 Following stage 1570, stage 1580 occurs where the object is longitudinally transferred through the plurality of tunnels of the third longitudinal transporter to the third imaging region. Transferring in the longitudinal direction includes supplying gas to the object access prevention gas transport portion of the tunnel of the third longitudinal transferer. Each tunnel is shaped so that the object does not block the object access prevention gas transport portion. The object propagation portion has a millimeter width. Since the object is too small and fragile, it may not be able to move by contacting the object propagation part and applying force.
ステージ1580は、物体が第3の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第3の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、1つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第3の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。 Stage 1580 may include placing the stop element of the third longitudinal transporter in a stop position so that the stop element prevents an object from being sent to the third rotation module. Subsequent to this arrangement, the objects are aspirated to form a row of objects for one tunnel. Arrangement may include moving these stop elements into the tunnel of the third longitudinal transporter.
ステージ1580に続いて、第3の撮像領域において物体の第3側面の画像を取得するステージ1590が起こる。
ステージ1590に続いて、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させる第3の回転モジュールによって物体を回転させるステージ1600が起こる。
Following the stage 1580, a stage 1590 occurs where an image of the third side of the object is acquired in the third imaging region.
Following stage 1590 is a stage 1600 where the object is rotated by a third rotation module that rotates the object about the longitudinal axis of the object.
ステージ1590の前に、第3の撮像領域で撮像された物体が、第3の回転モジュールまで移動することを可能にするために、第3の長手方向移送器の停止要素の位置を変更することが起こりうる。この再配置は、これらの停止要素を、第3の長手方向移送器のトンネルから取除くことを含みうる。 Before the stage 1590, changing the position of the stop element of the third longitudinal transporter in order to allow the object imaged in the third imaging area to move to the third rotation module Can happen. This relocation may include removing these stop elements from the tunnel of the third longitudinal transporter.
ステージ1600に続いて、第4の長手方向移送器の複数のトンネルを通して第4の撮像領域まで物体を長手方向に移送するステージ1610が起こる。長手方向に移送することは、第4の長手方向移送器のトンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含む。各トンネルは、物体が物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られる。物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する。物体は、小さ過ぎかつもろ過ぎるため、物体伝播部分に接触し、力を加えることによって移動することができなくてもよい。 Following stage 1600 is a stage 1610 that longitudinally transports an object through a plurality of tunnels of a fourth longitudinal transporter to a fourth imaging region. Transferring in the longitudinal direction includes supplying gas to the object access prevention gas transport portion of the tunnel of the fourth longitudinal transferer. Each tunnel is shaped so that the object does not block the object access prevention gas transport portion. The object propagation portion has a millimeter width. Since the object is too small and fragile, it may not be able to move by contacting the object propagation part and applying force.
ステージ1610は、物体が第4の回転モジュールに送られることを停止要素が防止するように、第4の長手方向移送器の停止要素を停止位置に配置することを含みうる。この配置に続いて、1つのトンネルについて複数の物体からなる列を形成するように、物体を吸引することが起こる。配置は、これらの停止要素を第4の長手方向移送器のトンネル内に移動させることを含みうる。 Stage 1610 may include placing the stop element of the fourth longitudinal transporter in a stop position so that the stop element prevents an object from being sent to the fourth rotation module. Subsequent to this arrangement, the objects are aspirated to form a row of objects for one tunnel. Arrangement may include moving these stop elements into the tunnel of the fourth longitudinal transporter.
ステージ1610に続いて、第4の撮像領域において物体の第4側面の画像を取得するステージ1620が起こる。
ステージ1620に続いて、ステージ1630および1640が起こる。ステージ1630は、物体を評価するために、ステージ1540、1570、および1620のうちの少なくとも1つのステージ中に取得された画像を処理することを含む。ステージ1630は、目に見える欠陥を探索すること、予想されるサイズまたは形状からの偏差(deviation)を探索することなどを含みうる。ステージ1630は、物体の機能を判定すること、お
よび、特に、物体を、限定はしないが、「機能(functional)」、「欠陥(defective)」、
または「疑わしい機能(questionable functionality)」などの機能クラスに分類することを含みうる。この分類は、これらの物体がどのようにソーティングされることになるかを決定することになる。
Following stage 1610, stage 1620 occurs where an image of the fourth side of the object is acquired in the fourth imaging region.
Following stage 1620, stages 1630 and 1640 occur. Stage 1630 includes processing images acquired during at least one of stages 1540, 1570, and 1620 to evaluate the object. Stage 1630 may include searching for visible defects, searching for deviations from expected sizes or shapes, and the like. Stage 1630 determines the function of the object, and in particular, the object may include, but is not limited to, “functional”, “defective”,
Or it may include classifying into functional classes such as “questionable functionality”. This classification will determine how these objects will be sorted.
ステージ1640は、物体をソーティングする前に、物体を遅延させることを含む。遅延は、ソーティング決定が行われることを可能にする。
ステージ1640および1630に続いて、ステージ1630の結果を考慮して物体をソーティングするステージ1650が起こる。
Stage 1640 includes delaying the object before sorting the object. The delay allows a sorting decision to be made.
Following stages 1640 and 1630 is a stage 1650 that sorts objects taking into account the results of stage 1630.
少なくとも1つの長手方向移送器は、ある位置に設置されると、少なくとも1つのトン
ネルの少なくとも実質的部分を露出させる可動部分を有してもよい。
好都合には、ステージ1520、1540、1550、1570、1580、および1610はそれぞれ、それぞれが実質的に垂直側壁を含む複数のトンネルを通して物体を側方に移送することを含む。
The at least one longitudinal transferer may have a movable portion that, when installed at a position, exposes at least a substantial portion of the at least one tunnel.
Conveniently, stages 1520, 1540, 1550, 1570, 1580, and 1610 each include transferring an object laterally through a plurality of tunnels each including a substantially vertical sidewall.
好都合には、ステージ1520、1540、1550、1570、1580、および1610は、4つの撮像領域を形成する4つの長手方向移送器の複数のトンネルを通して物
体を移送することを含み、4つの長手方向移送器はそれぞれ、各回転モジュールよりずっと長い。
Conveniently, stages 1520, 1540, 1550, 1570, 1580, and 1610 include transferring objects through multiple tunnels of four longitudinal transferers that form four imaging regions, and four longitudinal transfers. Each vessel is much longer than each rotating module.
好都合には、ステージ1530、1560、1590、および1620はそれぞれ、物体の1つの側面の画像を取得することを含み、これらのステージは、撮像装置に向かって物体当たり2つ以上の側面視野を投影するのを補助しうる傾斜ミラーまたは他の光学要素を含まない。 Conveniently, stages 1530, 1560, 1590, and 1620 each include acquiring an image of one side of the object, and these stages project two or more side fields per object toward the imaging device. It does not include tilting mirrors or other optical elements that can help.
ガス圧の差は、パルス方式で導入されうる。通常、上述したステージは、異なる撮像領域に位置する複数のグループの電気回路の画像の獲得を可能にするために、パイプラインで実行される。これらのガスパルスは、停止要素の動きと同期して適用されうる。 The difference in gas pressure can be introduced in a pulsed manner. Normally, the above-described stage is performed in a pipeline to allow acquisition of images of multiple groups of electrical circuits located in different imaging areas. These gas pulses can be applied in synchronism with the movement of the stop element.
ステージのいずれか1つは、長手方向移送器の透明部分(可動であろうとなかろうと)を介して物体を撮像することを含みうる。
好都合には、上述したステージは、パイプラインで実行される。たとえば、1つのグループの物体が、第1の撮像領域で撮像されている間に、別のグループの物体が、別の撮像領域で撮像される。これらのグループの物体は、第4のグループが遅延ユニットまたはソーティングユニットに送られている間に、(撮像が終了した後)次の撮像領域に移動するべきである。これは、別のグループの物体がその場所を占めうる前に、システムの後のステージに配置されるグループを移動させることを必要とする。好都合には、これは、異なる長手方向移送器の停止要素の配置の間の時間差を維持することによって達成されうる。たとえば、方法1500は、(i)第4の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、遅延ユニットまたはソーティングユニットの方へ吸引されることを可能にするステージと、(ii)第4の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、第3の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、第3の撮像領域から第4の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージと、(iii)第3の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、第2の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、第2の撮像領域から第3の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージと、(iv)第2の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、第1の長手方向移送器の停止要素を非停止位置に設置し、電気要素が、第1の撮像領域から第2の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージと、(v)第1の長手方向移送器の停止要素を停止位置に設置し、電気要素が、第2の撮像領域から第1の撮像領域へ吸引されることを可能にするステージとを含みうる。
Any one of the stages may include imaging an object through a transparent portion (whether movable or not) of the longitudinal transferer.
Conveniently, the above-described stages are performed in a pipeline. For example, while one group of objects is imaged in the first imaging area, another group of objects is imaged in another imaging area. These groups of objects should move to the next imaging area (after imaging is complete) while the fourth group is being sent to the delay unit or sorting unit. This requires moving a group that is placed on a later stage of the system before another group of objects can occupy the place. Conveniently this can be achieved by maintaining a time difference between the arrangement of the stop elements of the different longitudinal transporters. For example, the method 1500 includes (i) a stage that places the stop element of the fourth longitudinal transporter in a non-stop position and allows the electrical element to be aspirated toward the delay unit or the sorting unit; (Ii) The stop element of the fourth longitudinal transfer device is installed at the stop position, the stop element of the third longitudinal transfer device is installed at the non-stop position, and the electrical element is moved from the third imaging region to the fourth position. A stage that allows the imaging area to be aspirated, and (iii) a stop element of the third longitudinal transporter is placed in the stop position and the stop element of the second longitudinal transporter is in the non-stop position Installing a stage that allows an electrical element to be aspirated from the second imaging area to the third imaging area; and (iv) installing a stop element of the second longitudinal transferer in the stop position; Non-stop position of stop element of first longitudinal transferer A stage allowing electrical elements to be aspirated from the first imaging area to the second imaging area, and (v) installing a stop element of the first longitudinal transporter in the stop position. A stage that allows the electrical element to be aspirated from the second imaging area to the first imaging area.
1520などのステージ中に物体を移送することは、負圧を必要とする場合があり、トンネルは、実質的にシールされるべきである。したがって、ステージ1520〜1630のさらなる反復を容易にするように、可動部分は、その以前の位置に戻るべきである。これは、弾性部材または他のシール要素などを使用して、可動部分を、システムの他の部分に押し付けることによって達成されうる。 Transferring an object into a stage such as 1520 may require negative pressure and the tunnel should be substantially sealed. Thus, the movable part should return to its previous position to facilitate further iterations of stages 1520-1630. This can be accomplished by pressing the movable part against other parts of the system, such as using elastic members or other sealing elements.
好都合には、可動部分は、剛性があり、クリップによってシステムの他の部分に留められる。
図10は、本発明の実施形態による方法1800を示す。方法1800は、物体の6つ
の側面を撮像することを可能にする。方法1600のステージ1620〜1730に加えて、方法1800は、ステージ1810、1820、1840、および1850を含む。
Conveniently, the movable part is rigid and is fastened to other parts of the system by clips.
FIG. 10 illustrates a method 1800 according to an embodiment of the invention. The method 1800 allows to image six sides of the object. In addition to stages 1620-1730 of method 1600, method 1800 includes stages 1810, 1820, 1840, and 1850.
図10は、ステージ1620に先行するものとしてステージ1810〜1850を示すが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。
ステージ1810は、複数の物体を側方移送器に提供することを含む。これは、電気物体が、長手方向に、複数のトンネルに沿って伝播することを可能にすること、および、電
気物体を側方移送器に提供するために、これらのトンネルを出て、トンネルの側面に形成された入口から側方移送器まで電気物体を吸引することを含みうる。これは、これらの物体を、1つの物体を別の物体から分離する一定間隔の軌跡を有するバス上に設置することを含みうる。
Although FIG. 10 shows stages 1810-1850 as preceding stage 1620, this is not necessarily so.
Stage 1810 includes providing a plurality of objects to a side transfer device. This allows electrical objects to propagate along multiple tunnels in the longitudinal direction and exits these tunnels to provide electrical objects to the lateral transport. It may include sucking an electrical object from an inlet formed in the side to a side transfer. This may include placing these objects on a bus with a regularly spaced trajectory that separates one object from another.
こうした側方移送器の例は、参照により本明細書に組込まれる、「System and method for imaging objects」という名称のPCT特許出願WO2007/129322に示される。 An example of such a lateral transfer device is shown in PCT patent application WO2007 / 129322 entitled “System and method for imaging objects”, which is incorporated herein by reference.
ステージ1810に続いて、側方移送器の複数のトンネルを通してさらなる撮像領域へ物体を側方に移送するステージ1820が起こる。これは、バスが電気物体を別の撮像領域に配置するまで、物体を次々と受取るバスによって達成されうる。 Following stage 1810 is a stage 1820 where the object is laterally transferred through the multiple tunnels of the lateral transferer to a further imaging area. This can be achieved by a bus that receives objects one after another until the bus places electrical objects in different imaging areas.
ステージ1820は、物体の2つの対向する側面を撮像することを可能にする傾斜ミラーの対の間で物体を側方に移送することを含みうる。
ステージ1820に続いて、4つの撮像領域で撮像される物体の側面と異なる物体の2つの対向する側面の画像を取得するステージ1830が起こる。
Stage 1820 may include transferring the object laterally between a pair of tilting mirrors that allow imaging of two opposing sides of the object.
Following the stage 1820, a stage 1830 occurs where images of two opposing side surfaces of an object that is different from the side surfaces of the object imaged in the four imaging regions are acquired.
好都合には、ステージ1830は、(i)物体の対向する側面の方に光を誘導し、かつ、物体の対向する側面から反射されたまたは散乱された光を撮像装置の方へ誘導する少なくとも一対の傾斜ミラーを照明すること、(ii)複数の角度から物体を照明すること、(iii)異なる波長、異なる偏光、異なる強度などを含みうる、複数の照明方式で物体を照明すること、(iv)各長手方向移送器について、物体の対向する側面の方に光を誘導し、かつ、物体の対向する側面から反射されたまたは散乱された光を撮像装置の方へ誘導する一対の傾斜ミラーを照明すること、(v)45°に向けられた複数の傾斜ミラーを照明すること、のうちの少なくとも1つまたはその組合せを含む。 Conveniently, the stage 1830 (i) directs light toward opposite sides of the object and at least a pair that directs light reflected or scattered from the opposite side of the object towards the imaging device. (Ii) illuminating an object from multiple angles; (iii) illuminating an object with multiple illumination schemes, which may include different wavelengths, different polarizations, different intensities, etc. (iv) ) For each longitudinal transporter, a pair of tilted mirrors that guide light towards the opposite side of the object and guide light reflected or scattered from the opposite side of the object towards the imaging device Illuminating, (v) illuminating a plurality of tilted mirrors oriented at 45 °, or at least one or a combination thereof.
ステージ1830に続いて、第1の長手方向コンベアのトンネルに物体を提供するステージ1840が起こる。
ステージ1840は、電気物体が第1の長手方向移送器のトンネルの方に伝播させられている間に、バスをその初期位置に移動させることを含みうる。
Following stage 1830 is a stage 1840 that provides objects to the tunnel of the first longitudinal conveyor.
Stage 1840 may include moving the bus to its initial position while an electrical object is being propagated toward the tunnel of the first longitudinal transferer.
ステージ1630はまた、ステージ1830中に取得される画像に応答しうることに留意する。
方法1800は、側方移送器の少なくとも1つのトンネルを、清浄できるように露出するため、側方移送器の少なくとも1つの可動部分を移動することを含みうることにさらに留意する。
Note that stage 1630 may also be responsive to images acquired during stage 1830.
It is further noted that the method 1800 may include moving at least one movable part of the side transfer to expose at least one tunnel of the side transfer so that it can be cleaned.
図11は、本発明の実施形態による方法1900を示す。方法1900は、方法1600のステージ1610〜1730を含むが、物体を電気的に試験するステージ1910も含む。ステージ1910は、ステージ1630に先行する。ステージ1910は、ステージ1620に続きうるが、これは、必ずしもそうでなくてもよい。 FIG. 11 shows a method 1900 according to an embodiment of the invention. Method 1900 includes stages 1610-1730 of method 1600, but also includes stage 1910 for electrically testing the object. Stage 1910 precedes stage 1630. Stage 1910 may follow stage 1620, but this is not necessarily so.
ステージ1630は、これらの電気試験の結果に応答しうる。
ステージ1910は、電気試験結果を得るために、物体の電気的特性を参照物体の電気的特性と比較することによって電気物体を電気的に試験するステージ1912を含む。
Stage 1630 may respond to the results of these electrical tests.
Stage 1910 includes a stage 1912 that electrically tests the electrical object by comparing the electrical characteristics of the object with the electrical characteristics of the reference object to obtain electrical test results.
物体がキャパシタである場合、ステージ1910は、キャパシタのキャパシタンスを参照キャパシタのキャパシタンスと比較することを含みうる。この比較は、特に、絶対容量測定と比較して、非常に短時間で実行されうる。 If the object is a capacitor, stage 1910 may include comparing the capacitance of the capacitor with the capacitance of the reference capacitor. This comparison can be performed in a very short time, in particular compared to absolute volume measurements.
ステージ1910は、方法1800に含まれうることに留意する。
電気試験は、その機能に基づいて、物体の一部に対してだけ実行されてもよいことにも留意する。そのため、物体が故障していることを画像解析が示す場合、電気試験は省かれうる。しかし別の実施例の場合、物体が機能していることを画像処理と電気試験が共に示した後にだけ、物体は、機能しているとして分類されうる。
Note that stage 1910 can be included in method 1800.
Note also that the electrical test may be performed on only a portion of the object based on its function. Thus, the electrical test can be omitted if the image analysis indicates that the object is faulty. However, in another embodiment, an object can be classified as functioning only after both image processing and electrical testing indicate that the object is functioning.
ステージ1910は、画像を生成したシステム内に位置する電気試験点を利用することによって実行されうる。これらの電気試験点は、側方移送器内、長手方向移送器内、ソーティングユニット内、回転モジュール内などに位置しうる。これらの試験点の場所は、電気試験および画像獲得ステージの相対的な順序を決定する。 Stage 1910 may be performed by utilizing electrical test points located within the system that generated the image. These electrical test points may be located in the lateral transporter, in the longitudinal transporter, in the sorting unit, in the rotating module, etc. These test point locations determine the relative order of electrical testing and image acquisition stages.
さらに、上述した動作の機能間の境界は例に過ぎないことを当業者は認識するであろう。複数の動作の機能は、結合して、1つの動作になってもよく、かつ/または、1つの動作の機能は、さらなる複数の動作に分配されてもよい。さらに、代替の実施形態は、特定の動作の複数のインスタンスを含んでもよく、複数の動作の順序は、種々の他の実施形態において変更されてもよい。 Furthermore, those skilled in the art will recognize that the boundaries between the functions of operation described above are only examples. The functions of multiple operations may be combined into one operation and / or the functions of one operation may be distributed to additional multiple operations. Further, alternative embodiments may include multiple instances of a particular operation, and the order of the multiple operations may be changed in various other embodiments.
そのため、本明細書で示すアーキテクチャは、例示に過ぎないこと、および、実際には、同じ機能を達成する多くの他のアーキテクチャが、実施されうることが理解される。抽象的であるが、依然として明確な意味で、同じ機能を達成するコンポーネントの任意の配置構成は、所望の機能が達成されるように事実上「関連する(associated)」。したがって、特定の機能を達成するために本明細書で組合わされる任意の2つのコンポーネントは、アーキテクチャまたは中間コンポーネントによらず、所望の機能が達成されるように互いに「関連する(associated with)」ものとして見られうる。同様に、そのように関連する
任意の2つのコンポーネントはまた、所望の機能を達成するために、互いに「動作可能に接続される(operably connected)」または「動作可能に結合される(operably coupled)」ものと見なされうる。
As such, it is understood that the architecture shown herein is exemplary only, and in fact that many other architectures that achieve the same functionality can be implemented. In an abstract but still clear sense, any arrangement of components that accomplish the same function is effectively “associated” such that the desired function is achieved. Thus, any two components combined herein to accomplish a particular function are “associated with” each other so that the desired function is achieved, regardless of architecture or intermediate components. Can be seen as a thing. Similarly, any two components so related may also be "operably connected" or "operably coupled" to each other to achieve a desired function. Can be considered.
さらに、本発明は、プログラマブルでないハードウェアで実施される物理的デバイスまたはユニットに限定されるのではなく、適したプログラムコードに従って作動することによって所望のデバイス機能を実施できるプログラマブルデバイスまたはユニットにおいて適用されうる。さらに、デバイスは、1つのデバイスとして機能的に作動しながら、多数の装置にわたって物理的に分配されてもよい。 Further, the present invention is not limited to physical devices or units implemented with non-programmable hardware, but applies to programmable devices or units that can perform desired device functions by operating according to suitable program code. sell. Further, the devices may be physically distributed across multiple devices while functionally operating as one device.
しかし、他の変更、変形、および代替も可能である。したがって、明細書および図面は、制限的な意味ではなく、例証的な意味とみなされる。
言葉「備える(comprising)」は、特許請求の範囲に挙げられる以外の他の要素またはステップの存在を排除しない。さらに、説明および特許請求の範囲内の、用語「前(front)
」、「後(back)」、「上部(top)」、「底部(bottom)」、「の上(over)」、「の下(under)」などは、もしあれば、説明のために使用され、必ずしも永久的な相対的位置を述べるために使用されるわけではない。こうして使用される用語は、適切な環境下で互換可能であるため、本明細書で述べる本発明の実施形態は、たとえば、本明細書で示すかまたはその他の方法で述べる向き以外の向きで作動することが可能であることが理解される。
However, other changes, variations, and alternatives are possible. The specification and drawings are accordingly to be regarded in an illustrative rather than a restrictive sense.
The word “comprising” does not exclude the presence of other elements or steps than those listed in a claim. Further, within the description and claims, the term “front”
``, `` Back '', `` top '', `` bottom '', `` over '', `` under '', etc. are used for illustration, if any And not necessarily used to describe a permanent relative position. The terminology thus used is interchangeable under appropriate circumstances, so that the embodiments of the invention described herein operate in orientations other than those shown, for example, or otherwise described herein. It is understood that it is possible.
さらに、本明細書で使用される数詞を限定しない用語は、1つまたは2つ以上として規定される。同様に、特許請求項における「少なくとも1つの」および「1つまたは複数の」などの導入的成句の使用は、不定冠詞による別の特許請求項の要素の導入が、たとえかかる請求項が導入的成句「1つまたは複数の」または「少なくとも1つの」、および不定冠詞を含むときでも、導入された請求項の要素を含む任意の特定の請求項をこうした要素
1つだけを含む発明に限定することを意味すると考えるべきではない。同じことが、定冠詞の使用について当てはまる。別途述べない限り、「第1の(first)」および「第2の(second)」などの用語は、こうした用語が述べる要素を任意に区別するのに使用される。そ
のため、これらの用語は、こうした要素の一時的なまたは他の優先順序を示すことを必ずしも意図されない。いくつかの対策が互いに異なる特許請求項で再引用されるという事実だけでは、これらの対策の組合せが有利に使用されることができないことを示さない。
Further, terms that do not limit a number as used herein are defined as one or more. Similarly, the use of introductory phrases such as “at least one” and “one or more” in a claim is the use of an indefinite article to introduce another claim element, even if such claim is introductory. Limit any particular claim, including an introduced claim element, to an invention containing only one such element, even if it includes the phrase “one or more” or “at least one” and the indefinite article Should not be considered to mean that. The same is true for the use of definite articles. Unless stated otherwise, terms such as “first” and “second” are used to arbitrarily distinguish between the elements such terms describe. As such, these terms are not necessarily intended to indicate a temporary or other order of preference for such elements. The fact that several measures are re-cited in different claims does not indicate that a combination of these measures cannot be used to advantage.
Claims (14)
前記物体を第1の撮像領域に搬送する第1の長手方向移送器と、
前記物体を第2の撮像領域に搬送する第2の長手方向移送器と、
前記第1および第2の撮像領域のそれぞれに位置する物体の画像を取得する撮像装置と、
前記物体の第1側面が撮像装置に向いている間に前記第1の長手方向移送器から前記物体を受取り、前記物体の第2側面が撮像装置に向くように前記物体の長手方向軸を中心に各物体を回転させ、かつ前記物体を前記第2の長手方向移送器に提供するように構成された回転モジュールと、
ガス供給ユニットとを備え、
前記第1および第2の長手方向移送器の各々は、複数のトンネルを備え、
各トンネルは、物体伝播部分および物体アクセス防止ガス搬送部分を備え、
各トンネルは、物体が、前記物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させることを防止し、かつ長手方向への前記物体伝播部分内での物体の伝播を容易にするように形作られ、
前記物体伝播部分はミリメートル幅を有し、
前記ガス供給ユニットは、各トンネルの前記物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給するように構成され、
ガスの供給は、各トンネルの前記物体伝播部分内での前記物体の伝播を補助する、システム。 A system for acquiring multiple images of an object,
A first longitudinal transporter for transporting the object to a first imaging area;
A second longitudinal transporter for conveying the object to a second imaging region;
An imaging device for acquiring an image of an object located in each of the first and second imaging regions;
Receiving the object from the first longitudinal transporter while the first side of the object is facing the imaging device and centering the longitudinal axis of the object so that the second side of the object is facing the imaging device A rotation module configured to rotate each object and to provide the object to the second longitudinal transferer;
A gas supply unit,
Each of the first and second longitudinal transporters comprises a plurality of tunnels;
Each tunnel comprises an object propagation part and an object access prevention gas transport part,
Each tunnel is shaped to prevent an object from blocking the object access prevention gas transport portion and to facilitate the propagation of the object in the object propagation portion in the longitudinal direction;
The object propagation portion has a millimeter width;
The gas supply unit is configured to supply gas to the object access prevention gas transport portion of each tunnel;
The gas supply assists in the propagation of the object within the object propagation portion of each tunnel.
第1の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第1の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、前記長手方向に移送することは、前記トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が前記物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させないように形作られ、前記物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、
前記第1の撮像領域において前記物体の第1側面の画像を取得する工程と、
前記物体の長手方向軸を中心に前記物体を回転させる第1の回転モジュールによって前記物体を回転させる工程と、
第2の長手方向移送器の複数のトンネルの物体伝播部分を通して第2の撮像領域に物体を長手方向に移送する工程であって、前記長手方向に移送することは、前記トンネルの物体アクセス防止ガス搬送部分にガスを供給することを含み、各トンネルは、物体が前記物体アクセス防止ガス搬送部分を閉塞させることを防止するに形作られ、前記物体伝播部分は、ミリメートル幅を有する、工程と、
前記第2の撮像領域において前記物体の第2側面の画像を取得する工程と、
を含む方法。 A method for acquiring multiple images of an object,
A step of longitudinally transporting an object to a first imaging region through an object propagation portion of a plurality of tunnels of a first longitudinal transporter, wherein the longitudinal transport is an object access prevention gas in the tunnel Supplying a gas to the transport portion, each tunnel is shaped such that an object does not block the object access prevention gas transport portion, and the object propagation portion has a millimeter width; and
Obtaining an image of the first side of the object in the first imaging region;
Rotating the object by a first rotation module that rotates the object about a longitudinal axis of the object;
Transporting an object longitudinally to a second imaging region through object propagation portions of a plurality of tunnels of a second longitudinal transporter, wherein the longitudinal transport is an object access prevention gas in the tunnel Including supplying gas to a transport portion, wherein each tunnel is shaped to prevent an object from blocking the object access prevention gas transport portion, the object propagation portion having a millimeter width; and
Obtaining an image of a second side surface of the object in the second imaging region;
Including methods.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010181423A JP2012040466A (en) | 2010-08-13 | 2010-08-13 | System and method of imaging two or more objective side surfaces |
KR1020100087042A KR20120015976A (en) | 2010-08-13 | 2010-09-06 | Systems and method for imaging multiple sides of objects |
CN2010102817945A CN102375104A (en) | 2010-08-13 | 2010-09-14 | Systems and method for imaging multiple sides of objects |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010181423A JP2012040466A (en) | 2010-08-13 | 2010-08-13 | System and method of imaging two or more objective side surfaces |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012040466A true JP2012040466A (en) | 2012-03-01 |
Family
ID=45793994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010181423A Pending JP2012040466A (en) | 2010-08-13 | 2010-08-13 | System and method of imaging two or more objective side surfaces |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012040466A (en) |
KR (1) | KR20120015976A (en) |
CN (1) | CN102375104A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2010
- 2010-08-13 JP JP2010181423A patent/JP2012040466A/en active Pending
- 2010-09-06 KR KR1020100087042A patent/KR20120015976A/en not_active Application Discontinuation
- 2010-09-14 CN CN2010102817945A patent/CN102375104A/en active Pending
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN102375104A (en) | 2012-03-14 |
KR20120015976A (en) | 2012-02-22 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A621 | Written request for application examination |
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|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A02 | Decision of refusal |
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