JP2012037441A - 半導体試験装置および半導体試験方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レート信号が高速になった場合でも、タイミングエッジ発生回路のタイムラグの影響を抑制して、試験速度の高速化を図ることを目的とする。
【解決手段】DUTの試験を行うための波形を発生させる半導体試験装置1は、それぞれ異なるタイミングをタイミングデータとして記憶し、1周期の間に波形を変化させる最大回数分の個数を設けた複数のタイミングメモリ10と、レート信号を基準としてタイミングデータのタイミングでタイミングエッジを発生し、タイミングメモリよりも多くの個数を設けた複数のタイミングエッジ発生回路11と、任意のタイミングメモリから任意のタイミングエッジ発生回路11にタイミングデータを入力させるマトリクス回路5と、タイミングエッジ発生回路11が発生したタイミングエッジに基づいて波形を出力する波形出力部6と、を備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】DUTの試験を行うための波形を発生させる半導体試験装置1は、それぞれ異なるタイミングをタイミングデータとして記憶し、1周期の間に波形を変化させる最大回数分の個数を設けた複数のタイミングメモリ10と、レート信号を基準としてタイミングデータのタイミングでタイミングエッジを発生し、タイミングメモリよりも多くの個数を設けた複数のタイミングエッジ発生回路11と、任意のタイミングメモリから任意のタイミングエッジ発生回路11にタイミングデータを入力させるマトリクス回路5と、タイミングエッジ発生回路11が発生したタイミングエッジに基づいて波形を出力する波形出力部6と、を備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置および半導体試験方法に関するものである。
被試験デバイス(DUT:Device Under Test)の試験を行う半導体試験装置が従来から用いられている。この種の半導体試験装置は、所定パターンの波形をDUTに印加することにより、DUTは印加した波形に基づいて内部動作を行い、応答信号を出力する。そして、半導体試験装置内で応答信号を所定の基準パターンと比較することで、DUTの良否判定を行う。
一般的には、DUTの試験を行うために複数種類の波形パターンが用いられる。例えば、NRZ(Non Return to Zero)、RZ(Return to Zero)、R1(Return to one)、SBC(Surround-by-Complement)等がある。NRZはゼロには戻らない波形であり、RZはゼロに戻る波形である。R1は1に戻る波形であり、SBCは「0」→「1」→「0」または「1」→「0」→「1」のように変化する波形である。
また、前記の4種類以外にもさらに複雑に変化するようなパターンの波形もある。DUTに印加する波形は一定周期ごとに発生しており、1周期の間に1回または複数回のタイミングエッジを発生させることで、任意のパターンの波形出力を行っている。この種の技術が特許文献1に開示されている。
特許文献1の図3に示されるように、それぞれ異なる遅延時間を記憶したメモリから出力される遅延データを切り替え回路で切り替えて、任意のタイミング調整用のディレーラインに遅延データを入力させている。これにより、切り替え回路は信号経路上ではなく遅延データの経路上に設けているため、タイミング精度のよい信号出力を行うことが可能になり、且つタイミング精度の良い信号出力を行うことができるため、非常に有利な効果を奏するものになる。
この種の技術においては、タイミングエッジを発生させるタイミングエッジ発生回路(特許文献1のディレーラインに相当)に対応してタイミングエッジの時間を規定するタイミングメモリ(特許文献1のメモリに相当)を設けている。特許文献1の技術では、4つのメモリおよび同数のディレーラインを設けている。
つまり、タイミングエッジ発生回路とタイミングメモリとは1対1の関係で設けられており、切り替え回路により出力先が切り替えられるとしても、各タイミングメモリで発生したタイミングデータはそれぞれ異なるタイミングエッジ発生回路に入力させるようにしている。従って、タイミングエッジ発生回路とタイミングメモリとは同数になる。タイミングメモリの個数は1周期の間に波形変化を生じさせる最大回数と一致させており、これと同数のタイミングエッジ発生回路が設けられる。
例えば、前述のNRZ、RZ、R1、SBCの4種類の波形を出力する場合には、レート信号の間にNRZは1回、RZおよびR1は2回、SBCは3回の波形変化を生じる。よって、レート信号の間に最大3回の波形変化を生じ、このため3つのタイミングエッジを発生させる必要がある。従って、タイミングエッジ発生回路およびタイミングメモリは3つを設けるようにしている。
タイミングエッジ発生回路およびタイミングメモリは1周期の間の波形変化の最大回数の分だけを設ける必要があるが、逆にそれ以上の個数を設ける必要はない。タイミングエッジ発生回路およびタイミングメモリはそれぞれ所定の回路を構成しており、1周期の間の波形変化の最大回数よりも多くの個数を設けたとしても、それは不要な回路になる。このため、余分な回路により回路規模の複雑化・大型化を招来し、且つ回路の配置スペースに余裕がなくなる。従って、不要な回路は配置されない。
ところで、近年のDUTの高速化に伴い、半導体試験装置も高速化の一途を辿っている。これに伴い、レート信号の周期も非常に短くなっている(高速になっている)。一方で、タイミングエッジ発生回路はレート信号を基準にして所定のタイミングでタイミングエッジを発生させているが、回路の連続駆動には時間的な制約がある。
つまり、タイミングエッジ発生回路は、タイミングエッジを発生させた後には所定時間経過後でなければ、次のタイミングエッジを発生させることはできない。これがタイミングエッジ発生回路のタイムラグになり、当該タイムラグは不可避的に発生する。従って、レート信号が高速化するのに伴い、タイミングエッジ発生回路のタイムラグがレート信号と同程度或いはそれよりも長くなる場合がある。
この場合、直前の周期で全てのタイミングエッジ発生回路を使用していると、次の周期では使用可能なタイミングエッジ発生回路が1つも存在しなくなる。例えば、NRZ、RZ、R1、SBCの4種類の波形の場合にはタイミングエッジ発生回路を3つ設けるようにするが、直前の周期でSBCを出力すると、直後の周期で全てのタイミングエッジ発生回路が使用不能な状態になる。これにより、タイムラグが経過するまでタイミングエッジ発生回路を使用することができず、所望の波形を出力するまでに無駄な待ち時間を生じる。これが、半導体試験装置の試験速度の低速化を招く要因となる。
そこで、本発明は、レート信号が高速になった場合でも、タイミングエッジ発生回路のタイムラグの影響を抑制して、試験速度の高速化を図ることを目的とする。
以上の課題を解決するため、本発明の第1の半導体試験装置は、被試験デバイスの試験を行うための波形を発生させる半導体試験装置であって、それぞれ異なるタイミングをタイミングデータとして記憶し、1周期の間に前記波形を変化させる最大回数分の個数を設けた複数のタイミングメモリと、レート信号を基準として前記タイミングデータのタイミングでタイミングエッジを発生し、前記タイミングメモリよりも多くの個数を設けた複数のタイミングエッジ発生回路と、任意の前記タイミングメモリから任意の前記タイミングエッジ発生回路に前記タイミングデータを入力させるマトリクス回路と、前記タイミングエッジ発生回路が発生した前記タイミングエッジに基づいて前記波形を出力する波形出力部と、を備えたことを特徴とする。
この半導体試験装置によれば、タイミングメモリは1周期の間に波形を変化させる最大回数の個数分を設けており、タイミングエッジ発生回路はタイミングメモリよりも多くの個数を設けている。これにより、直前の周期で最大回数の波形変化を生じたとしても、使用されないタイミングエッジ発生回路を確保することができ、直後の周期でこのタイミングエッジ発生回路により早期にタイミングエッジを発生させることができる。従って、無駄な待ち時間を抑制でき、試験速度の高速化を図ることができる。
また、本発明の第2の半導体試験装置は、第1の半導体試験装置であって、前記波形出力部から出力される波形が使用する前記タイミングエッジ発生回路の最大個数よりも前記タイミングメモリの個数を1つだけ多く設けたことを特徴とする。
この半導体試験装置によれば、タイミングエッジ発生回路の個数をタイミングメモリの個数よりも1つだけ多く設けている。これにより、直前のレート信号の周期で波形に最大回数の変化を生じさせても、1つのタイミングエッジ発生回路は確保することができる。タイミングエッジ発生回路の個数を最小限にすることでハードウェアの複雑化を抑制しつつ、試験速度の高速化の効果を得ることができるようになる。
また、本発明の第3の半導体試験装置は、第1または第2の半導体試験装置であって、前記タイミング発生回路のうち最も使用されていない時間の長いタイミング発生回路から優先的に前記タイミングエッジを発生させるように前記マトリクス回路の制御を行うマトリクス制御部を備えたことを特徴とする。
この半導体試験装置によれば、使用していない時間が最も長いタイミングエッジ発生回路から優先的に使用している。これにより、タイミングエッジ発生回路のタイムラグの影響を最も少なくすることができ、試験速度を最も高速化することができるようになる。
また、本発明の第4の半導体試験装置は、被試験デバイスの試験を行うための波形を発生させる半導体試験装置であって、それぞれ異なるタイミングをタイミングデータとして記憶する複数のタイミングメモリと、レート信号を基準として前記タイミングデータのタイミングでタイミングエッジを発生する複数のタイミングエッジ発生回路と、任意の前記タイミングメモリから任意の前記タイミングエッジ発生回路に前記タイミングデータを入力させるマトリクス回路と、前記タイミングエッジ発生回路が発生した前記タイミングエッジに基づいて波形を出力する波形出力部と、前記タイミングメモリのうち1周期の間に前記波形を変化させる最大回数分の個数のタイミングメモリを使用して、当該タイミングメモリよりも多くの前記タイミングエッジ発生回路に前記タイミングメモリから前記タイミングデータに入力させる制御を行うマトリクス制御部と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明の第5の半導体試験方法は、被試験デバイスに印加する波形を発生させて前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験方法であって、1周期の間に前記波形を変化させる最大個数分のタイミングメモリからそれぞれ異なるタイミングのタイミングデータを出力する工程と、任意の前記タイミングメモリから前記タイミングメモリよりも多くの個数を設けた任意のタイミングエッジ発生回路に対して前記タイミングデータを入力させる工程と、前記タイミングデータに基づいて前記タイミングエッジ発生回路がタイミングエッジを発生させる工程と、前記タイミングエッジ発生回路が発生した前記タイミングエッジに基づいて前記波形を出力する工程と、を有することを特徴とする。
また、本発明の第6の半導体試験方法は、第5の半導体試験方法であって、前記タイミングデータを前記タイミングエッジ発生回路に入力させるときに、最も使用されていない時間の長いタイミングエッジ発生回路に対して優先的に前記タイミングデータを入力させて前記タイミングエッジを発生させることを特徴とする。
本発明は、タイミングメモリをレート信号の間に波形を変化させる最大回数分の個数を設けて、タイミングエッジ発生回路をタイミングメモリより多く設けている。これにより、直前のレート信号の周期で最大回数の波形変化を生じさせても、使用可能なタイミングエッジ発生回路を確保することができる。従って、タイミングエッジを早期に発生させることができ、無駄な待ち時間を生じることがなくなるため、試験速度の高速化を図ることができるようになる。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1は本発明の半導体試験装置1の概略構成を示している。半導体試験装置1は図示しないDUT(Device Under Test)の試験を行う装置であり、レート信号発生部2とタイミングメモリ部3とタイミングエッジ発生回路部4とマトリクス回路5と波形出力部6と制御装置7とフォーマットデコード回路8とを備えて概略構成している。
半導体試験装置1はDUTに波形を印加して試験を行う。DUTには種々の波形を印加することが可能であるが、ここではNRZ(Non Return to Zero)、RZ(Return to Zero)、R1(Return to one)、SBC(Surround-by-Complement)の4種類の波形を用いるものとする。これらの波形は全て1周期の間に所定の変化を生じる波形であり、波形の周期はレート信号により規定される。
NRZは1周期の終了時にゼロに戻らない波形であり、RZは1周期の終了時にゼロに戻る波形になる。R1は1周期の終了時に1に戻る波形である。SBCは1周期の間に「0」→「1」→「0」または「1」→「0」→「1」のように変化する波形である。従って、1周期の間に波形が変化する回数は、NRZが1回、RZおよびR1が2回、SBCが3回になる。勿論、前記の4種類以外の波形を用いてもよい。
レート信号発生部2はレート信号を発生している。レート信号は波形の周期(時間)を規定しており、所定時間ごとにパルス(レート信号)を発生させて1周期を規定している。ここでは、1周期の時間をTRとする。よって、レート信号発生部2は時間TRごとにパルスを発生する。
タイミングメモリ部3はN(Nは自然数)個のタイミングメモリ10を備えている。タイミングメモリ10の個数Nは出力する波形に依存する。具体的には、出力する波形が1周期の間に波形変化を生じる最大回数の個数分を設けるようにする。ここでは、NRZ、RZ、R1、SBCの4種類の波形が用いられ、このうちSBCが1周期の間に最大3回の波形変化を生じる。よって、N=3になるため、3つのタイミングメモリ10−1〜10−3が備えられる。
各タイミングメモリ10はそれぞれ異なる遅延時間をタイミングデータとして記憶している。タイミングメモリ10−1は時間T1を、10−2は時間T2を、10−3は時間T3を記憶している。そして、時間T1〜T3は「T1<T2<T3<TR」の関係を満たすものとする。
タイミングエッジ発生回路部4はM(Mは2以上の自然数)個のタイミングエッジ発生回路11を備えて構成している。タイミングエッジ発生回路11の個数はタイミングメモリ10の個数よりも多くしている。つまり、「M>N」になる。ここでは、M=4として、タイミングエッジ発生回路11−1〜11−4を構成している。
タイミングエッジ発生回路11はタイミングメモリ10のタイミングデータおよびレート信号発生部2からレート信号を入力している。そして、レート信号を基準にしてタイミングデータの時間だけ遅延させてタイミングエッジを発生させる。これにより、レート信号のパルスのタイミングから時間T1、T2、T3の経過後にタイミングエッジを発生させることが可能になる。
マトリクス回路5は各タイミングメモリ10のタイミングデータを任意のタイミングエッジ発生回路11に入力可能にするために出力先を切り替えている。マトリクス回路5の出力先の切り替え制御はフォーマットデコード回路8が行っている。
波形出力部6はタイミングエッジ発生回路11が発生したタイミングエッジに基づいて波形を出力してDUTに印加する。波形出力部6はDMX部21と第1論理和ゲート22と第2論理和ゲート23とSRフリップフロップ24とを備えて概略構成している。
DMX部21はM個(4個)のDMX31を備えて構成しており、DMX31−1〜31−4はタイミングエッジ発生回路11−1〜11−4に1対1で対応している。DMX31はタイミングエッジ発生回路11から入力したタイミングエッジを第1論理和ゲート22と第2論理和ゲート23とのうち何れかに選択的に出力させるデマルチプレクサ(出力先選択部)になっている。DMX31の出力先の選択制御はフォーマットデコード回路8が行っている。
第1論理和ゲート22および第2論理和ゲート23は全てのDMX31からタイミングエッジを入力することが可能になっており、入力したタイミングエッジに対して論理和の演算を行っている。第1論理和ゲート22は入力したタイミングエッジを合成(論理和)してセット側(立ち上げ側)の出力タイミングを生成しており、第2論理和ゲート23は入力したタイミングエッジを合成(論理和)してリセット側(立ち下げ側)の出力タイミングを生成している。
SRフリップフロップ24はセット側が第1論理和ゲート22に接続されており、リセット側が第2論理和ゲート23に接続されている。そして、セット側に入力した出力タイミングおよびリセット側に入力した出力タイミングに基づいて所定の波形をDUTに印加している。
制御装置7はタイミングメモリ部3およびフォーマットデコード回路8に所定のデータを出力しており、タイミングアドレス指定部41とフォーマット指定部42とドライバパターン発生部43とを備えて構成している。タイミングアドレス指定部41はタイミングデータT1〜T3をタイミングメモリ10に出力している。
フォーマット指定部42は波形フォーマットを指定しており、波形フォーマットの指定はレート信号ごとに行われる。前述したように、NRZ、RZ、R1、SBCの4種類の波形が用いられているため、波形フォーマットは4種類の波形のうち何れであるかを指定している。ここでは、波形フォーマットは2ビットの信号を用いており、「00」はNRZ、「01」はRZ、「10」はR1、「11」はSBCを表しているものとする。
ドライバパターン発生部43はレート信号ごとにドライバパターンを発生している。ドライバパターンは波形フォーマットで指定された波形の論理(値)を指定するものであり、同じ波形フォーマットであっても、ドライバパターンによって波形が逆転する。ドライバパターンは1ビットの信号を用いており、「0」または「1」により波形フォーマットの波形の論理を指定するものとする。
フォーマットデコード回路8はマトリクス回路5を制御するマトリクス制御部および各DMX31を制御する選択制御部としての機能を有している。また、タイミングエッジ発生回路部4の各タイミングエッジ発生回路11の制御も行っている。フォーマットデコード回路8には波形フォーマットおよびドライバパターンがレート信号ごとに入力される。従って、レート信号ごとに出力される波形を認識している。
この認識した波形に基づいて、フォーマットデコード回路8は、マトリクス回路5を制御してタイミングデータの出力先の切り替え制御を行っている。出力する波形はレート信号ごとに変化するため(同じ波形を出力する場合もある)、フォーマットデコード回路8はレート信号ごとにマトリクス回路5の制御を行っている。
また、不要なタイミングエッジ発生回路11を駆動させないために、フォーマットデコード回路8はタイミングデータを入力したタイミングエッジ発生回路11のみを駆動し、タイミングデータを入力していないタイミングエッジ発生回路11を駆動しないように制御している。フォーマットデコード回路8はマトリクス回路5の切り替え制御を行っており、タイミングデータの出力先を認識している。この認識した出力先のタイミングエッジ発生回路11の情報に基づいて、フォーマットデコード回路8は必要なタイミングエッジ発生回路11のみを駆動させる制御を行っている。
フォーマットデコード回路8は各DMX31の出力先の選択制御も行っている。これは、出力する波形によってDMX31のタイミングエッジをセット側とリセット側との何れに出力するかの制御になる。出力する波形はレート信号ごとに変化するため(同じ場合を出力する場合もある)、レート信号ごとにフォーマットデコード回路8は出力先の選択制御を行う。
このフォーマットデコード回路8は論理回路により構成している。また、フォーマットデコード回路8は各タイミングエッジ発生回路11の使用履歴情報を管理している。4つのタイミングエッジ発生回路11−1〜11−4は同時にタイミングエッジを発生することはなく、時間をずらしてタイミングエッジを発生させる。
フォーマットデコード回路8は、タイミングエッジ発生回路11の使用順番の履歴を記憶して管理している。特に、使用していない時間(未使用時間)が最も長いタイミングエッジ発生回路11を記憶するようにしている。フォーマットデコード回路8は論理回路で構成している。従って、使用履歴情報は多段(ここでは、タイミングエッジ発生回路11の個数に合わせた4段)で構成したフリップフロップ等を用いることができる。
以上が概略構成である。次に、図2のタイムチャートを用いて本発明の動作について説明する。図2の11−1〜11−4はタイミングエッジ発生回路を示しており、それぞれレート信号を基準としてT1、T2、T3のタイミングでタイミングエッジを発生させることが可能になっている。また、図中のDPはドライバパターンを示しており、FMは波形フォーマットを示している。
タイミングアドレス指定部41はタイミングメモリ10−1〜10−3に予めタイミングデータT1〜T3を記憶させておく。これにより、各タイミングメモリ10からタイミングデータT1〜T3が出力される(タイミングデータを出力する工程)。各タイミングメモリ10のタイミングデータの内容は変更可能になっているが、レート信号ごとには変化しない。
図2の第1周期ではRZ波形を出力する。フォーマットデコード回路8は波形フォーマットおよびドライバパターンに基づいて出力する波形を認識する。この波形はレート信号から時間T1の経過後に立ち上がり、時間T2の経過後に立ち下がるRZ波形になる。よって、タイミングメモリ10−1のタイミングデータT1およびタイミングメモリ10−2のタイミングデータT2を用いる。
フォーマットデコード回路8は、各タイミングエッジ発生回路11のうち使用していない時間が最も長いタイミングエッジ発生回路11から優先的に使用するようにマトリクス回路5を制御している。第1周期では何れのタイミングエッジ発生回路11も使用されていない状態になっている。よって、任意の2つのタイミングエッジ発生回路11(ここでは、11−1、11−2)にタイミングデータT1、T2を入力するように制御する(タイミングデータを入力させる工程)。
このとき、必要なタイミングエッジ発生回路11のみを駆動させるべく、フォーマットデコード回路8はタイミングデータT1、T2を入力したタイミングエッジ発生回路11−1、11−2を駆動し、11−3、11−4は駆動しないように制御する。そして、使用履歴情報を更新する。つまり、最初にタイミングエッジ発生回路11−1を使用し、次にタイミングエッジ発生回路11−2を使用したことを記憶させる。例えば、フリップフロップに使用したことを示す値を保持させるようにする。
タイミングエッジ発生回路11−1はタイミングデータT1を入力する。よって、レート信号を基準にして時間T1の経過後にタイミングエッジを発生させる(タイミングエッジを発生させる工程)。そして、このタイミングエッジはDMX31−1に入力される。一方、タイミングエッジ発生回路11−2はタイミングデータT2を入力する。よって、レート信号を基準にして時間T2の経過後にタイミングエッジを発生させる。そして、このタイミングエッジはDMX31−2に入力される。
フォーマットデコード回路8はDMX31−1のタイミングエッジを第1論理和ゲート22に出力し、DMX31−2のタイミングエッジを第2論理和ゲート23に出力するように制御する。これにより、SRフリップフロップ24のセット側およびリセット側にそれぞれタイミングエッジが入力され、レート信号を基準にして時間T1の経過後に立ち上がり、時間T2の経過後に立ち下がる波形が出力される(波形を出力する工程)。そして、この波形がDUTに印加される。
第2周期も同様の処理を行う。第2周期はSBC波形であるため、3つのタイミングエッジ発生回路11が使用される。このとき、フォーマットデコード回路8は使用履歴情報に基づいて、使用していない時間が最も長いタイミングエッジ発生回路11から優先的に使用するように制御している。ここでは、タイミングエッジ発生回路11−3および11−4が未使用状態になっているため、11−3にタイミングデータT1を入力させ、11−4にタイミングデータT2を入力させる。
これに伴い、タイミングエッジ発生回路11−3、11−4のみを駆動させると共に、使用履歴情報を更新する。この時点で、全てのタイミングエッジ発生回路11が使用されたことになるが、第2周期ではタイミングデータT3にタイミングエッジを発生させる必要がある。そこで、使用履歴情報に基づいて、使用していない時間が最も長いタイミングエッジ発生回路11−1にタイミングデータT3を入力させるようにする。
これにより、タイミングエッジ発生回路11−3、11−4、11−1がそれぞれタイミングエッジを発生させ、フォーマットデコード回路8がDMX31−3、31−4、31−1の出力先を制御することで、SRフリップフロップ24から第2周期の波形が出力される。
第3周期も同様である。SBC波形であるため、3つのタイミングエッジ発生回路11を使用する。このとき、使用履歴情報に基づいて、使用していない時間が最も長いタイミングエッジ発生回路11から優先的に使用する。このため、タイミングエッジ発生回路11−2、11−3、11−4を使用してタイミングエッジを発生する。これにより、第3周期の波形が最終的にSRフリップフロップ24から出力される。
ここで、タイミングエッジ発生回路11を連続駆動させる場合には所定の制約が存在する。つまり、タイミングエッジを発生させた後に次のタイミングエッジを発生させるまでの間には所定のタイムラグ(時間TL)を必要とする。換言すれば、タイムラグTLの経過後でなくては次のタイミングエッジを発生させることはできない。
近年のDUTの高速化に伴い、1周期の時間(レート信号の周期:時間TR)は短時間化の傾向にあり、タイムラグTLと1周期の時間TRとはほぼ同程度、或いはタイムラグTLの方が長くなる場合がある。タイムラグTLが1周期の時間TRよりも僅かに長い場合(例えば、「TR+T1<TL<TR+T2」のような場合)、直前の周期で全てのタイミングエッジ発生回路11を使用してしまうと、直後の周期で使用可能なタイミングエッジ発生回路11が存在しなくなり、タイムラグTLの時間が経過するまではタイミングエッジを発生させることができなくなる。このため、所定の波形を発生させるまでに無駄な待ち時間を生じる。
本発明では、タイミングエッジ発生回路11の個数はタイミングメモリ10の個数よりも多く設けている。つまり、1つのタイミングエッジ発生回路11を余分に設けている。これにより、ハードウェア的には1つの余分な回路を構成していることになる。ただし、1つの余分なタイミングエッジ発生回路11を設けることにより、直前の周期で波形変化の最大回数(N)のタイミングエッジ発生回路11を使用していたとしても、必ず1つのタイミングエッジ発生回路11は余っている状態になる。
図2の第2周期では3つのタイミングエッジ発生回路11−1、11−3、11−4が使用されているが、タイミングエッジ発生回路11−2は使用されていない状態になっている。これにより、第3周期の開始時にはタイミングエッジ発生回路11−2は使用可能な状態になっており、このタイミングエッジ発生回路11−2を用いてタイミングエッジを発生させることができる。これにより、無駄な待機時間を持つことなく、タイミングエッジを早期に発生させることが可能になる。
DUTに入力させる波形は異なる種類の波形を組み合わせる場合もあるが、1種類の波形を連続させる場合もある。例えば、SBC波形を連続させるような場合であっても、1周期の開始時にはタイミングエッジ発生回路11が必ず1つは余っているようになる。これにより、無駄な対時間による試験速度の低速化の要因を大幅に排除することができ、試験速度の高速化に大きく貢献する。
ここでは、タイミングエッジ発生回路11の個数Mをタイミングメモリ10の個数Nよりも1つ多く設けているが、MはNよりも2つ以上多く設けてもよい。例えば、タイムラグTLがレート信号TRの周期よりも大幅に長いような場合、換言すれば1周期の時間TRが極端に短くなったような場合には、余らせるタイミングエッジ発生回路11の個数は1つでは不足する可能性もある。
このため、タイミングエッジ発生回路11の個数MをNよりも2つ、或いはそれ以上多く設けるようにする。これにより、ハードウェア構成としては複雑化を招来するが、DUTおよび半導体試験装置1の超高速化にも対応することができ、無駄な待機時間を排除して、試験速度の高速化を図ることができる。
従って、出力する波形の種類に応じて設けられるタイミングメモリ10よりもタイミングエッジ発生回路11を多く設けるようにすることで、直前の周期で使用されるタイミングエッジ発生回路11の数が最大になったとしても、余りのタイミングエッジ発生回路11が存在しているため、次の周期で無駄な待機時間を生じることなくタイミングエッジを発生させることができるようになる。これにより、試験速度の高速化を図ることができるようになる。
以上において、フォーマットデコード回路8は使用していない時間が最も長いタイミングエッジ発生回路11から優先的に使用するようにしている。未使用時間が最も長いタイミングエッジ発生回路は最も早く使用可能な状態になることから、これを優先的に使用することで、非常に高い試験速度の高速化の効果が得られる。ただし、これ以外にも、例えば使用可能な状態になったタイミングエッジ発生回路11から使用するようにしても、無駄な待機時間を抑制できる。
また、タイミングメモリ10−1〜10−3に対応したタイミングエッジ発生回路11−1〜11−4を通常使用として、タイミングエッジ発生回路11−4を予備使用として設けるようにしてもよい。図3はこの場合のタイムチャートを示している。
第1周期は図2と同じであるが、第2周期のタイミングデータT2はタイミングエッジ発生回路11−4ではなく11−1に入力させている。この図に示すように、直前の周期でタイミングエッジ発生回路11−1は時間T1にタイミングエッジを発生させており、次の周期の時間T2の時点では既にレート信号TRよりも長い時間が経過している。
タイムラグTLの時間にもよるが、この時点ではタイミングエッジ発生回路11−1は使用可能な状態になっている場合がある。そこで、予備的に使用するタイミングエッジ発生回路11−4ではなく、通常的に使用するタイミングエッジ発生回路11−1にタイミングエッジを発生させる。
一方、第3周期においては、直前の第2周期でタイミングエッジ発生回路11−1〜11−3の全てを使用しており、これらは全てタイミングエッジを発生させることができなくなっている場合がある。そこで、予備使用のタイミングエッジ発生回路11−4にタイミングエッジを発生させる。これにより、無駄な待ち時間をなくしてタイミングエッジを発生させることができる。
第4周期も直前の第3周期で3つのタイミングエッジ発生回路11−1、11−3、11−4を使用しているため、タイミングデータT2については予備使用のタイミングエッジ発生回路11−4を使用する。
以上のように、タイミングエッジ発生回路11−4はあくまでも予備的に使用するようにフォーマットデコード回路8が制御し、必要なときにのみタイミングエッジ発生回路11−4を使用するようにすることもできる。
また、図1では、タイミングメモリ10は3つを備えており、タイミングエッジ発生回路11は4つを備えた構成を示しているが、タイミングメモリ10とタイミングエッジ発生回路11とは同数(例えば、4つ)を設ける場合にも本発明を適用できる。ただし、4つのタイミングメモリ10のうち実質的に使用されるのは3つのタイミングメモリ10のみであるものとする。
つまり、ハードウェア構成的にはタイミングメモリ10とタイミングエッジ発生回路11とは同数の4つを備えているが、4つのタイミングメモリ10のうち3つのタイミングメモリ10を用いて、タイミングデータT1、T2、T3を発生させるような場合に適用できる。
この場合には、機能的には図1と同じ構成になる。つまり、タイミングデータの個数(3つ)よりも多くのタイミングエッジ発生回路11を用いており、これにより1周期の開始時に1つのタイミングエッジ発生回路11を余らせるようにしている。このような場合も、図1の場合と同様に、無駄な待ち時間を抑制でき、試験速度の高速化の効果が得られる。
また、フォーマットデコード回路8は論理回路で構成したが、これ以外の手段(例えば、ソフトウェア等)で構成してもよい。要は、マトリクス制御部および選択制御部としての機能を有するものであれば、任意の手段を用いてもよい。ただし、レート信号TRは非常に高速であり、ソフトウェアの制御速度が追いつかないことが多い。よって、論理回路でフォーマットデコード回路8を構成することが望ましい。
1 半導体試験装置
2 レート信号発生部
5 マトリクス回路
6 波形出力部
7 制御装置
8 フォーマットデコード回路
10 タイミングメモリ
11 タイミングエッジ発生回路
31 DMX
41 タイミングアドレス指定部
42 フォーマット指定部
43 ドライバパターン発生部
2 レート信号発生部
5 マトリクス回路
6 波形出力部
7 制御装置
8 フォーマットデコード回路
10 タイミングメモリ
11 タイミングエッジ発生回路
31 DMX
41 タイミングアドレス指定部
42 フォーマット指定部
43 ドライバパターン発生部
Claims (6)
- 被試験デバイスの試験を行うための波形を発生させる半導体試験装置であって、
それぞれ異なるタイミングをタイミングデータとして記憶し、1周期の間に前記波形を変化させる最大回数分の個数を設けた複数のタイミングメモリと、
レート信号を基準として前記タイミングデータのタイミングでタイミングエッジを発生し、前記タイミングメモリよりも多くの個数を設けた複数のタイミングエッジ発生回路と、
任意の前記タイミングメモリから任意の前記タイミングエッジ発生回路に前記タイミングデータを入力させるマトリクス回路と、
前記タイミングエッジ発生回路が発生した前記タイミングエッジに基づいて前記波形を出力する波形出力部と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。 - 前記波形出力部から出力される波形が使用する前記タイミングエッジ発生回路の最大個数よりも前記タイミングメモリの個数を1つだけ多く設けたこと
を特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。 - 前記タイミング発生回路のうち最も使用されていない時間の長いタイミング発生回路から優先的に前記タイミングエッジを発生させるように前記マトリクス回路の制御を行うマトリクス制御部を備えたこと
を特徴とする請求項1または2記載の半導体試験装置。 - 被試験デバイスの試験を行うための波形を発生させる半導体試験装置であって、
それぞれ異なるタイミングをタイミングデータとして記憶する複数のタイミングメモリと、
レート信号を基準として前記タイミングデータのタイミングでタイミングエッジを発生する複数のタイミングエッジ発生回路と、
任意の前記タイミングメモリから任意の前記タイミングエッジ発生回路に前記タイミングデータを入力させるマトリクス回路と、
前記タイミングエッジ発生回路が発生した前記タイミングエッジに基づいて波形を出力する波形出力部と、
前記タイミングメモリのうち1周期の間に前記波形を変化させる最大回数分の個数のタイミングメモリを使用して、当該タイミングメモリよりも多くの前記タイミングエッジ発生回路に前記タイミングメモリから前記タイミングデータに入力させる制御を行うマトリクス制御部と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。 - 被試験デバイスに印加する波形を発生させて前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験方法であって、
1周期の間に前記波形を変化させる最大個数分のタイミングメモリからそれぞれ異なるタイミングのタイミングデータを出力する工程と、
任意の前記タイミングメモリから前記タイミングメモリよりも多くの個数を設けた任意のタイミングエッジ発生回路に対して前記タイミングデータを入力させる工程と、
前記タイミングデータに基づいて前記タイミングエッジ発生回路がタイミングエッジを発生させる工程と、
前記タイミングエッジ発生回路が発生した前記タイミングエッジに基づいて前記波形を出力する工程と、
を有することを特徴とする半導体試験方法。 - 前記タイミングデータを前記タイミングエッジ発生回路に入力させるときに、最も使用されていない時間の長いタイミングエッジ発生回路に対して優先的に前記タイミングデータを入力させて前記タイミングエッジを発生させること
を特徴とする請求項5記載の半導体試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010179265A JP2012037441A (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | 半導体試験装置および半導体試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010179265A JP2012037441A (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | 半導体試験装置および半導体試験方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012037441A true JP2012037441A (ja) | 2012-02-23 |
Family
ID=45849574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010179265A Pending JP2012037441A (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | 半導体試験装置および半導体試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012037441A (ja) |
-
2010
- 2010-08-10 JP JP2010179265A patent/JP2012037441A/ja active Pending
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