JP2012035592A

JP2012035592A - フィルター、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置

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Publication number: JP2012035592A
Application number: JP2010180106A
Authority: JP
Inventors: Kazuto Yoshimura; 和人吉村; Satoshi Masai; 智正井; Katsunori Ono; 克徳大野
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2010-08-11
Filing date: 2010-08-11
Publication date: 2012-02-23

Abstract

【課題】フィルターの捕集能力を高めるとともに、吐出圧力の損失を抑制し、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物を捕集する。
【解決手段】フィルター３２は金属ガラスからなるので、金属材料からなるフィルター３２と同一の厚みで比べると、強度を高く維持することができるフィルター３２を得ることができる。これにより、捕集能力を高めるとともに、液滴吐出による圧力損失を抑制したフィルター３２を得ることができる。特に、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物を捕集するために、このフィルター３２は有効に機能する。
【選択図】図１

Description

本発明は、フィルター、これを用いた液滴吐出ヘッド、およびこれを用いた液滴吐出装置に関する。

従来から液滴吐出ヘッドに用いるフィルターは、金属材料からなり、その金属材料に多数の貫通孔が形成されている。フィルターの貫通孔の内径を小さくすることで、吐出される液滴に含まれた異物などを捕集する能力を高めることができる。このようなフィルターの製造方法として、プレス加工またはエッチング加工などの方法が一般的に用いられている（たとえば、特許文献１参照）。

特開２００６−５２０７８号公報（４頁〜１０頁、図１）

しかしながら、貫通孔の内径を小さくして、フィルターの捕集能力を高めると、液滴吐出に用いられる吐出圧力の損失を大きくしてしまう。特に、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物などを捕集する能力は低下する。そこで、フィルターの捕集能力を高めるとともに、吐出圧力の損失を抑制するために、金属材料のフィルターの厚みを薄くすることが考えられるが、フィルターの強度が低下してしまうというという課題がある。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものである。以下の形態または適用例により実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかるフィルターは、金属ガラスからなる基板と、前記基板に形成された複数の貫通孔とを備えることを要旨とする。

これによれば、フィルターは金属ガラスからなるので、金属材料からなるフィルターと同一の厚みで比べると、強度を高く維持することができるフィルターを得ることができる。これにより、捕集能力を高めるとともに、液滴吐出による圧力損失を抑制したフィルターを得ることができる。特に、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物などを捕集するために、このフィルターは有効に機能する。

［適用例２］本適用例にかかる液滴吐出ヘッドは、金属ガラスからなる基板と、前記基板に形成された複数の貫通孔とを備えるフィルターと、前記フィルターに連通する導入流路とを備えることを要旨とする。

これによれば、捕集能力を高めるとともに、液滴吐出による圧力損失を抑制したフィルターを用いることにより、特に、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物などを捕集するので、高粘度の液滴を液滴吐出することが可能な液滴吐出ヘッドを得ることができる。

［適用例３］本適用例にかかる液滴吐出装置は、金属ガラスからなる基板と、前記基板に形成された複数の貫通孔とを備えるフィルターと、前記フィルターに連通する導入流路とを備える液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドが取り付けられるキャリッジとを備えることを要旨とする。

これによれば、捕集能力を高めるとともに、液滴吐出による圧力損失を抑制したフィルターを用いることにより、特に、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物などを捕集するので、高粘度の液滴を液滴吐出することが可能な液滴吐出装置を得ることができる。

第１実施形態にかかるフィルターを示す概略構成図。第１実施形態にかかるフィルターの製造方法の一例を示す概略断面図。第１実施形態にかかるフィルターの製造方法の一例を示す概略断面図。第２実施形態にかかるフィルターの製造方法の一例を示す概略断面図。第２実施形態にかかるフィルターの製造方法の一例を示す概略断面図。第２実施形態にかかるフィルターの製造方法の一例を示す概略断面図。第３実施形態にかかる液滴吐出ヘッドの記録ヘッドを示す概略構成図。第３実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを示す概略構成図。第４実施形態にかかる液滴吐出装置を示す概略構成図。

（第１実施形態）
以下、第１実施形態のフィルターについて、図１を参照して説明する。
図１（ａ）は、第１実施形態のフィルターを示す概略平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面を示す概略断面図である。

図１に示すように、フィルター３２は、金属ガラスからなる基板５１と、基板５１に形成された複数の貫通孔５２とを備えている。

金属ガラスの材料としては、Ｚｒ基金属ガラス、Ｃｕ基金属ガラス、Ｎｉ基金属ガラス、Ｆｅ基金属ガラスなどが挙げられる。
Ｃｕ基金属ガラスは、たとえばＰｄ−Ｓｉ−Ｃｕ−Ｐｔ金属ガラス、Ｐｄ₅₆−Ｓｉ₁₈−Ｃｕ₆−Ｐｔ₂₀が一例として挙げられる。
Ｚｒ基金属ガラスまたはＮｉ基金属ガラスは、たとえばＺｒ−Ａｌ−Ｎｉ−Ｃｕ金属ガラス、Ｚｒ₅₅−Ａｌ₁₀−Ｎｉ₁₀−Ｃｕ₂₅が一例として挙げられる。
Ｆｅ基金属ガラスは、たとえばＣｏ−Ｆｅ−Ｔａ−Ｂ金属ガラスで、Ｃｏ₄₃−Ｆｅ₂₀−Ｔａ_5.5−Ｂ_31.5が一例として挙げられる。

ここで、図１（ａ）に示すように、貫通孔５２は円形状を成しているが、これに限定されることなく、多角形状、楕円形状など、様々な形状を成していてもよい。また、複数の貫通孔５２は、同一の形状ではなく、それぞれ異なる形状を成していてもよい。さらに、貫通孔５２の配置は、図１（ａ）に限定されることなく適宜選択することができ、規則的な配置あるいは不規則な配置であってもよい。

また、図１（ｂ）に示すように、貫通孔５２の直径が同一に図示したが、これに限るものでなく、貫通孔５２の直径が相違するとしてもよい。

次に、第１実施形態にかかるフィルターの製造方法について、図２および図３を参照して説明する。

第１実施形態にかかるフィルターの製造方法では、図２に示すプレス機６０を用いる。プレス機６０は、土台６１と、パンチ６２とを備えている。

図２（ａ）に示すように、樹脂板６３を、土台６１上に配置する。そして、基板５１を、樹脂板６３上に配置する。その後、パンチ６２を実線矢印の方向へ移動させ、パンチ６２を基板５１に押し付ける。樹脂板６３は、たとえばポリイミドからなる樹脂である。土台６１は、たとえば超硬からなる。ここで、樹脂板６３は、土台６１上に配置され固定されるとしても良い。そして、基板５１は、樹脂板６３上に配置され固定されるとしても良い。

続けてパンチ６２を基板５１に押し付ける。そして、図２（ｂ）に示すように、パンチ６２と樹脂板６３とにより挟み込むように、パンチ６２に超音波振動を加える。超音波振動は、パンチ６２を基板５１に押し付ける方向に対して、同じ方向と逆方向とを繰り返して加える（図示実線矢印）。パンチ６２は、たとえば超硬からなる。

引き続きパンチ６２を基板５１に押し付け、図３（ｃ）に示すように、実線矢印で図示する方向に超音波振動を加える。このようにして、パンチ６２の押し付けにより基板５１が弾性変形し、超音波振動による圧縮膨張運動により基板５１および樹脂板６３が発熱する。
基板５１が発熱することにより、パンチ６２が押し付けられた基板５１の部分が、基板５１のガラス転移点以上になることで、基板５１の剛性と粘度とが低下し、基板５１の流動性が増す。流動性が増すことにより、パンチ６２の押し付けおよび超音波振動による基板５１の弾性変形が促進される。
そして、樹脂板６３が発熱することにより、パンチ６２が押し付けられた基板５１に接する樹脂板６３の部分が、樹脂板６３のガラス転移点以上になることで、樹脂板６３の剛性と粘度とが低下し、樹脂板６３の流動性が増す。流動性が増すことにより、樹脂板６３の弾性変形が促進される。

このように、押し付けて超音波振動を加えたパンチ６２が、弾性変形を促進された基板５１を貫通することにより、基板５１から打ち抜かれた打抜部５３は、樹脂板６３に押し込められる。
これにより、図３（ｃ）に示すように、パンチ６２が基板５１を貫通し、基板５１に貫通孔５２が形成される。ここで、樹脂板６３の厚み、つまり打ち抜かれる方向（図示実線矢印の方向）の寸法は、打抜部５３が押し込められるため、基板５１の厚みを超える寸法であることが好ましく、適宜決定することができる。

その後、図３（ｄ）に示すように、パンチ６２を実線矢印の方向へ移動させ、パンチ６２を基板５１から、離して外す。そして、基板５１を樹脂板６３から外す。このようにして、図１に示すフィルター３２を得る。

本実施形態によれば、フィルター３２は金属ガラスからなるので、金属材料からなるフィルター３２と同一の厚みで比べると、強度を高く維持することができるフィルター３２を得ることができる。これにより、捕集能力を高めるとともに、液滴吐出による圧力損失を抑制したフィルター３２を得ることができる。特に、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物などを捕集するために、このフィルター３２は有効に機能する。

（第２実施形態）
以下、第２実施形態のフィルターについて、図４から図６を参照して説明する。

第２実施形態のフィルターは、図１に示した第１実施形態と同様の構成であるが、図２および図３に示した第１実施形態の製造方法が相違する。このため、同様の構成および製造方法については、同一の符号を付与し、構成および製造方法などの説明を省略する。

第２実施形態にかかるフィルターの製造方法について、図４から図６を参照して説明する。第２実施形態にかかるフィルターの製造方法では、第１実施形態に示した図２と同様に、図４に示すプレス機６０を用いる。

図４（ａ）に示すように、図２（ａ）と同様に、樹脂板６３を、土台６１上に配置する。そして、基板５１を、樹脂板６３上に配置する。その後、パンチ６２を実線矢印の方向へ移動させ、パンチ６２を基板５１に押し付ける。

続けてパンチ６２を、基板５１に押し付ける。そして、図２（ｂ）と同様に、図４（ｂ）に示すように、パンチ６２と樹脂板６３とにより挟み込むように、パンチ６２に超音波振動を加える。超音波振動は、パンチ６２を基板５１に押し付ける方向に対して、同じ方向と逆方向とを繰り返して加える（図示実線矢印）。パンチ６２は、たとえば超硬からなる。

引き続きパンチ６２を、基板５１、詳しくは基板５１の面５１Ａに押し付け、図３（ｃ）と同様に、図５（ｃ）に示すように、実線矢印で図示する方向に超音波振動を加える。このようにして、パンチ６２の押し付けにより基板５１が弾性変形し、超音波振動による圧縮膨張運動により基板５１および樹脂板６３が発熱する。
基板５１が発熱することにより、パンチ６２が押し付けられた基板５１の部分が、基板５１のガラス転移点以上になることで、基板５１の剛性と粘度とが低下し、基板５１の流動性が増す。流動性が増すことにより、パンチ６２の押し付けおよび超音波振動による基板５１の弾性変形が促進される。
そして、樹脂板６３が発熱することにより、パンチ６２が押し付けられた基板５１に接する樹脂板６３の部分が、樹脂板６３のガラス転移点以上になることで、樹脂板６３の剛性と粘度とが低下し、樹脂板６３の流動性が増す。流動性が増すことにより、樹脂板６３の弾性変形が促進される。

このように、押し付けて超音波振動を加えたパンチ６２が、弾性変形を促進された基板５１を打ち込むことにより、基板５１に打ち込まれた打抜部（図５（ｃ）、図示省略）は、基板５１の面５１Ｂに起伏を生じさせる、樹脂板６３に起伏を生じさせる、または樹脂板６３に押し込められる。ここで、基板５１の面５１Ｂは、基板５１の面５１Ａに対向する面である。
これにより、図５（ｃ）に示すように、パンチ６２が基板５１を打ち込み、基板５１に凹部５４が形成される。

そして、図５（ｄ）に示すように、図３（ｄ）と同様に、パンチ６２を実線矢印の方向へ移動させ、パンチ６２を基板５１から、離して外す。そして、土台６１から、凹部５４が形成された基板５１を、外して取り出す。

その後、図６に示すラップ盤７０を用いて、基板５１の面５１Ｂを研磨する。図６に示すように、ラップ盤７０は、ラップ７１と押付部７２とを備えている。

図６に示すように、ラップ７１上に、砥粒および加工液などを混合したラップ剤７３を供給する。
そして、凹部５４が形成された基板５１の面５１Ａを押付部７２に固定し、面５１Ｂをラップ７１に対向させる。その後、図６（ｅ）に示すように、押付部７２を実線矢印で示す方向に押し付けることにより、基板５１の面５１Ｂを、ラップ剤７３が供給されたラップ７１上に、押し付ける。
または、ラップ剤７３が供給されたラップ７１上に、基板５１の面５１Ｂを、ラップ７１に対向させて配置する。その後、図６（ｅ）に示すように、押付部７２を実線矢印で示す方向に押し付けることにより、基板５１の面５１Ｂを、ラップ剤７３が供給されたラップ７１上に、押し付ける。

ラップ７１上に基板５１を押し付けた後、たとえば破線矢印で図示する方向に、ラップ７１を往復運動させることにより、基板５１の面５１Ｂを研磨する。

引き続き、基板５１の面５１Ｂを研磨することにより、凹部５４が貫通される。このようにして、図６（ｆ）に示すように、基板５１に貫通孔５２が形成される。

その後、押付部７２を実線矢印で示す方向と逆の方向に移動させ、押付部７２を基板５１から、離して外す。そして、基板５１をラップ７１から外す。このようにして、図１に示すフィルター３２を得る。

（第３実施形態）
以下、第３実施形態の液滴吐出ヘッドの全体構成について、図７および図８を参照して説明する。
第３実施形態の液滴吐出ヘッドは、図１に示した第１実施形態のフィルターを備える構成である。このため、同様の構成については、同一の符号を付与し、構成および製造方法などの説明を省略する。

図７に示すように、キャリッジに相当するヘッドホルダー４１に記録ヘッド４が結合された状態で液滴吐出ヘッド５が構成されている。ヘッドホルダー４１の上部には板状部材４１ａが配置され、板状部材４１ａにはインクカートリッジに進入するインク供給針３１が取り付けられている。インク供給針３１の内部通路はフィルター３２を介して導入流路３３に連通し、導入流路３３は板状部材４１ａの下側に設けた導入管３４により形成されている。

図７および図８に示すように、制御基板１５にはヘッドケース１８の上部の環状突起４２が貫通し、ヘッド流路２７と導入流路３３は同軸状に配置されている。ヘッド流路２７と導入流路３３はパッキン部材３５によりシールされた状態で接続され、パッキン部材３５はエラストマー等の弾性材料で構成されている。パッキン部材３５を介してヘッドケース１８をヘッドホルダー４１に取り付けることにより、導入管３４の端面と環状突起４２の端面との間でパッキン部材３５は圧縮された状態となる。このような流路構造により、流体供給源であるインクカートリッジにインク供給針３１が相対的に差し込まれると、インクが流路ユニット１７に供給される。

液滴吐出ヘッド５には制御基板１５が設けられ、制御基板１５を介して制御装置からの動作信号を圧電振動子１６に入力する。制御基板１５は流路ユニット１７とは反対側のヘッドケース１８の部位、即ち、ヘッドケース１８の上面に沿った状態で配置されている。

図８に示すように、圧電振動子１６は、駆動信号の入力により充電状態で長手方向に収縮し、充電状態から放電する過程で長手方向に伸張する、所謂、縦振動モードの振動子である。圧電振動子１６は、その先端が圧力発生室２１の一部を形成する振動板２５の島部２５ａに固着された状態で他端が基台２６に固定されている。尚、縦振動モードの圧電振動子１６をたわみ振動モードの圧電振動子に変更することも可能である。

ヘッドケース１８にはインク貯留室２２に対応する部分にヘッド流路２７が形成され、ヘッド流路２７を介してインクカートリッジのインクがインク貯留室２２に導入される。圧電振動子１６にはフレキシブル回路板２８が接続され、制御基板１５からの駆動信号が入力される。また、液滴吐出装置の全体を動作する制御装置からの動作信号を制御基板１５に送るフレキシブル回路板２９は、ターミナル３０を介して制御基板１５に接続されている。

インクカートリッジから送られてきたインクは、ヘッド流路２７からインク貯留室２２に流入し、その後、圧力発生室２１において圧電振動子１６の動作で加圧され、ノズル開口２０から記録紙に向かってインク滴の状態で吐出され印刷が進行する。

記録ヘッド４の構造について、図８を参照して説明する。
図８に示すように、記録ヘッド４には先端部に流路ユニット１７が配置され、流路ユニット１７にはノズル形成面１９ａにノズル開口２０が列設されたノズルプレート１９が設けられている。また、ノズル開口２０に連通し圧電振動子１６によりインクを加圧する圧力発生室２１が設けられ、圧力発生室２１にはインク貯留室２２からインクが供給される。

即ち、流路ユニット１７は、ノズル開口２０が穿設されたノズル形成面１９ａを有するノズルプレート１９と、圧力発生室２１との共通の液体貯留室であるインク貯留室２２並びにこれらを連通させるインク供給路２３とに対応する空間が形成された圧力発生室形成板２４と、圧力発生室２１やインク貯留室２２の開口を封止する封止板、即ち、振動板２５とが積層されている。そして、ノズル形成面１９ａは平坦面とされている。流路ユニット１７は接着剤を用いてヘッドケース１８の先端面１８ａに接合されている。

記録ヘッド４では、圧電振動子１６の収縮・伸張を受けて圧力発生室２１が収縮・伸張し、圧力発生室２１の圧力変動によりインクの吸引とインク滴の吐出とが行われる。ノズルプレート１９には２列のノズル列が一対となり、複数対のものが形成されている。ノズル形成面１９ａを保護するヘッドカバー１４が設けられ、ノズル形成面１９ａをワイピングする時に流路ユニット１７の角部にワイパーブレードが擦れて滑らかに動作しないことや流路ユニット１７の角部に傷が付くことがヘッドカバー１４により防止されている。

本実施形態によれば、捕集能力を高めるとともに、液滴吐出による圧力損失を抑制したフィルター３２を用いることにより、特に、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物などを捕集するので、高粘度の液滴を液滴吐出することが可能な液滴吐出ヘッド５を得ることができる。

（第４実施形態）
以下、第４実施形態の液滴吐出装置について、図９を参照して説明する。
第４実施形態の液滴吐出装置は、図７および図８に示した第３実施形態の液滴吐出ヘッドを備える構成である。このため、同様の構成については、同一の符号を付与し、構成および製造方法などの説明を省略する。

図９に示すように、液滴吐出装置１は、インクカートリッジ２が搭載されるキャリッジ３と、キャリッジ３に取り付けられた記録ヘッド４等が一体化された液滴吐出ヘッド５を有している。キャリッジ３は、タイミングベルト６を介してステッピングモーター７に接続され、ガイドバー８に案内されて記録紙９の紙幅方向（主走査方向）に往復移動するようになっている。キャリッジ３は、上部に開放する箱型をなし、記録紙９と対面する面（下面）に記録ヘッド４のノズル形成面１９ａが露呈するよう取り付けられると共に、インクカートリッジ２が収容されるようになっている。

記録ヘッド４には、インクカートリッジ２からインクが供給され、キャリッジ３を移動させながら記録紙９の上面にインク滴を吐出させて記録紙９に画像や文字をドットマトリックスにより印刷するようになっている。キャップ１０は、印刷休止中に記録ヘッド４のノズル開口を封止することによりノズルの乾燥を防止すると共に記録ヘッド４のノズル形成面１９ａに負圧を作用させてクリーニング動作をする。ワイパーブレード１１は、記録ヘッド４のノズル形成面１９ａをワイピングする。廃インク貯留部１２は、クリーニング動作で吸引した廃インクを貯留する。制御装置１３は、液滴吐出装置１の動作を制御する。

液滴吐出ヘッド５には制御基板１５が設けられ、制御基板１５を介して制御装置１３からの動作信号を圧電振動子１６に入力する。制御基板１５は流路ユニット１７とは反対側のヘッドケース１８の部位、即ち、ヘッドケース１８の上面に沿った状態で配置されている。

ヘッドケース１８にはインク貯留室２２に対応する部分にヘッド流路２７が形成され、ヘッド流路２７を介してインクカートリッジ２のインクがインク貯留室２２に導入される。圧電振動子１６にはフレキシブル回路板２８が接続され、制御基板１５からの駆動信号が入力される。また、液滴吐出装置１の全体を動作する制御装置１３からの動作信号を制御基板１５に送るフレキシブル回路板２９は、ターミナル３０を介して制御基板１５に接続されている。

記録ヘッド４では、圧電振動子１６の収縮・伸張を受けて圧力発生室２１が収縮・伸張し、圧力発生室２１の圧力変動によりインクの吸引とインク滴の吐出とが行われる。ノズルプレート１９には２列のノズル列が一対となり、複数対のものが形成されている。ノズル形成面１９ａを保護するヘッドカバー１４が設けられ、ノズル形成面１９ａをワイピングする時に流路ユニット１７の角部にワイパーブレード１１が擦れて滑らかに動作しないことや流路ユニット１７の角部に傷が付くことがヘッドカバー１４により防止されている。

インクカートリッジ２から送られてきたインクは、ヘッド流路２７からインク貯留室２２に流入し、その後、圧力発生室２１において圧電振動子１６の動作で加圧され、ノズル開口２０から記録紙９に向かってインク滴の状態で吐出され印刷が進行する。

本実施形態によれば、捕集能力を高めるとともに、液滴吐出による圧力損失を抑制したフィルター３２を用いることにより、特に、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物などを捕集するので、高粘度の液滴を液滴吐出することが可能な液滴吐出装置１を得ることができる。

なお、上記課題の少なくとも一部を解決できる範囲での変形、改良などは前述の実施形態に含まれるものである。

たとえば、図２（ａ）、図３（ｄ）、図４（ａ）、および図５（ｄ）において、パンチ６２を実線矢印の方向へ移動させる際に、超音波振動を加えない、または超音波振動を加える、いずれであってもよく、適宜選択することができる。また、超音波振動の方向は、パンチ６２を基板５１に押し付ける方向に対して、垂直であっても良い。なお、超音波振動を加えない場合は、パンチ６２、基板５１、土台６１の全体もしくは一部を加熱炉等に入れて加熱して、基板５１の温度をガラス転移点以上にする。そして、パンチ６２を実線矢印の方向へ移動させるとして説明したが、これに限るものではなく、土台６１を実線矢印で示す方向と逆の方向に移動させるとしてもよい。また、パンチ６２を実線矢印の方向へ移動させるとともに、土台６１を実線矢印で示す方向と逆の方向に移動させるとしてもよい。

また、図６において、破線矢印で図示する方向に、ラップ７１を往復運動させるとしたが、これに限るものではなく、押付部７２を、一点鎖線矢印で図示する方向に往復運動させるとしてもよい。また、破線矢印および一点鎖線矢印で図示する方向を組み合わせてもよい。そして、一点鎖線矢印で図示する方向に、ラップ７１および／または押付部７２を往復運動させるとしたが、これに限るものではなく、回転運動させる、または往復運動および回転運動させるとしてもよい。
さらには、押付部７２を実線矢印の方向へ移動させるとして説明したが、これに限るものではなく、ラップ７１を実線矢印で示す方向と逆の方向に移動させるとしてもよい。また、押付部７２を実線矢印の方向へ移動させるとともに、ラップ７１を実線矢印で示す方向と逆の方向に移動させるとしてもよい。

１…液滴吐出装置、２…インクカートリッジ、３…キャリッジ、４…記録ヘッド、５…液滴吐出ヘッド、６…タイミングベルト、７…ステッピングモーター、８…ガイドバー、９…記録紙、９ａ…ノズル形成面、１０…キャップ、１１…ワイパーブレード、１２…廃インク貯留部、１３…制御装置、１４…ヘッドカバー、１５…制御基板、１６…圧電振動子、１７…流路ユニット、１８…ヘッドケース、１８ａ…先端面、１９…ノズルプレート、１９ａ…ノズル形成面、２０…ノズル開口、２１…圧力発生室、２２…インク貯留室、２３…インク供給路、２４…圧力発生室形成板、２５…振動板、２５ａ…島部、２６…基台、２７…ヘッド流路、２８，２９…フレキシブル回路板、３０…ターミナル、３１…インク供給針、３２…フィルター、３３…導入流路、３４…導入管、３５…パッキン部材、４１…ヘッドホルダー、４１ａ…板状部材、４２…環状突起、５１…基板、５１Ａ…基板の面、５１Ｂ…基板の面、５２…貫通孔、５３…打抜部、５４…凹部、６０…プレス機、６１…土台、６２…パンチ、６３…樹脂板、７０…ラップ盤、７１…ラップ、７２…押付部、７３…ラップ剤。

Claims

金属ガラスからなる基板と、
前記基板に形成された複数の貫通孔とを備えることを特徴とするフィルター。
金属ガラスからなる基板と、
前記基板に形成された複数の貫通孔とを備えるフィルターと、
前記フィルターに連通する導入流路とを備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
金属ガラスからなる基板と、
前記基板に形成された複数の貫通孔とを備えるフィルターと、
前記フィルターに連通する導入流路とを備える液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドが取り付けられるキャリッジとを備えることを特徴とする液滴吐出装置。