JP2012034302A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012034302A5
JP2012034302A5 JP2010174098A JP2010174098A JP2012034302A5 JP 2012034302 A5 JP2012034302 A5 JP 2012034302A5 JP 2010174098 A JP2010174098 A JP 2010174098A JP 2010174098 A JP2010174098 A JP 2010174098A JP 2012034302 A5 JP2012034302 A5 JP 2012034302A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal film
electrode
piezoelectric vibrating
axis side
vibrating piece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010174098A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5514663B2 (ja
JP2012034302A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010174098A priority Critical patent/JP5514663B2/ja
Priority claimed from JP2010174098A external-priority patent/JP5514663B2/ja
Publication of JP2012034302A publication Critical patent/JP2012034302A/ja
Publication of JP2012034302A5 publication Critical patent/JP2012034302A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5514663B2 publication Critical patent/JP5514663B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2010174098A 2010-08-03 2010-08-03 圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法 Active JP5514663B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010174098A JP5514663B2 (ja) 2010-08-03 2010-08-03 圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010174098A JP5514663B2 (ja) 2010-08-03 2010-08-03 圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012034302A JP2012034302A (ja) 2012-02-16
JP2012034302A5 true JP2012034302A5 (cg-RX-API-DMAC10.html) 2013-08-15
JP5514663B2 JP5514663B2 (ja) 2014-06-04

Family

ID=45847145

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010174098A Active JP5514663B2 (ja) 2010-08-03 2010-08-03 圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5514663B2 (cg-RX-API-DMAC10.html)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6570379B2 (ja) * 2015-09-07 2019-09-04 株式会社東芝 電子部品
JP2017212612A (ja) * 2016-05-26 2017-11-30 京セラ株式会社 圧電デバイス及びその製造方法
WO2018003315A1 (ja) 2016-06-29 2018-01-04 株式会社大真空 圧電振動デバイス、及び圧電振動デバイスの製造方法
JP6358293B2 (ja) * 2016-07-27 2018-07-18 株式会社大真空 圧電振動デバイスの製造方法
JP2018019417A (ja) * 2017-09-25 2018-02-01 株式会社大真空 圧電振動デバイス
JP7406341B2 (ja) * 2019-10-21 2023-12-27 太陽誘電株式会社 電子部品、フィルタおよびマルチプレクサ
JP7591434B2 (ja) * 2021-03-09 2024-11-28 太陽誘電株式会社 電子部品、フィルタおよびマルチプレクサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3700616B2 (ja) 圧電型電気音響変換器およびその製造方法
KR101630353B1 (ko) 질량체를 가진 압전 스피커 및 그 제조 방법
KR101598927B1 (ko) 압전 스피커
CN206948610U (zh) 一种压电麦克风及电子设备
BR112012032825B1 (pt) Gerador acústico e unidade de alto-falante
TW201832467A (zh) 晶體振動元件
JP2010087573A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP2001238291A (ja) 圧電音響部品およびその製造方法
JPWO2017094520A1 (ja) 圧電素子、圧電マイクロフォン、圧電共振子及び圧電素子の製造方法
JP3770111B2 (ja) 圧電型電気音響変換器
JP2011211672A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP2007060465A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
US11342897B2 (en) Piezoelectric resonator device and method for manufacturing piezoelectric resonator device
WO2014051006A1 (ja) 音響発生器、音響発生装置および電子機器
JP6838990B2 (ja) マイクロホンユニット
JP2012090252A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
WO2015098150A1 (ja) 圧電音響素子及び圧電スピーカ
JP2018032944A (ja) 水晶振動板、及び水晶振動デバイス
JP2004015767A (ja) 圧電発音体およびこの圧電発音体を用いた圧電型電気音響変換器
JP2006304021A (ja) 圧電型電気音響変換器
JP6725208B2 (ja) 圧電振動デバイス
JP2010093675A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP2012199872A (ja) アクチュエータ
CN103945314B (zh) 麦克风
US9392374B2 (en) Acoustic generator, acoustic generation device, and electronic device