JP2012028133A - X線管 - Google Patents
X線管 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012028133A JP2012028133A JP2010165042A JP2010165042A JP2012028133A JP 2012028133 A JP2012028133 A JP 2012028133A JP 2010165042 A JP2010165042 A JP 2010165042A JP 2010165042 A JP2010165042 A JP 2010165042A JP 2012028133 A JP2012028133 A JP 2012028133A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray tube
- housing
- conductive film
- electron gun
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
【解決手段】X線管1Aでは、第1の面32aと内側面4aとの間の距離D1は、第2の面32bと端面19aとの間の距離D2に比べて2倍程度に大きくなっている。また、集束電極32の各面のうち、内側面4aと対向する第1の面32aの全体と、端面19aと対向する第2の面32bの全体と、第1の面32aの下部に連続してカソードユニット31側に回り込む第3の面32cのうち、絶縁体33の頂部に面する下側部分とが、チタンを含む導電材料によって形成された導電膜36によって被覆されている。これにより、距離D1及び距離D2をそれぞれ小さくした場合であっても異常放電の発生を抑えることができ、装置の小型化・軽量化を実現できる。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明に係るX線管の第1実施形態を示す断面図である。同図に示すように、X線管1Aは、カソードユニット31やターゲット24などの消耗品を交換できるように、大気圧となる開放状態と排気による真空状態との選択を可能とした、いわゆる開放型のX線管である。
続いて、本発明に係るX線管の第2実施形態について説明する。図6は、本発明に係るX線管の第2実施形態を示す断面図である。
Claims (5)
- 電子銃から出射した電子線がターゲットに入射することによってX線を発生させるX線管であって、
絶縁部材を介して前記電子銃を内部に保持すると共に、前記電子線を通過させる電子線通過孔を有する筐体と、
前記筐体に固定され、前記電子線通過孔を通過した前記電子線の入射によって前記ターゲットで発生した前記X線を外部に出射させるX線照射窓とを備え、
前記筐体は、前記電子銃を包囲する内側面と前記電子線通過孔が位置する端面とを有する導電性の内壁面を有し、
前記電子銃は、
前記電子線の放出源となるカソードと、
前記カソードを覆うように設けられ、前記内側面と対向する第1の面及び前記端面と対向する第2の面を有するカップ状電極とを有し、
前記第1の面と前記内側面との距離は、前記第2の面と前記端面との距離よりも大きくなっており、
前記カップ状電極の表面のうち、少なくとも前記第1の面がチタンを含む導電材料によって形成されていることを特徴とするX線管。 - 前記第2の面は、チタンを含む導電材料によって形成されていることを特徴とする請求項1記載のX線管。
- 前記カップ状電極は、導電性の基部と、前記基部の表面を覆うように形成された前記導電材料からなる導電膜とを有していることを特徴とする請求項1又は2記載のX線管。
- 前記導電膜は、窒化チタンによって形成されていることを特徴とする請求項3記載のX線管。
- 前記基部は、ステンレスによって形成されていることを特徴とする請求項3又は4記載のX線管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010165042A JP2012028133A (ja) | 2010-07-22 | 2010-07-22 | X線管 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010165042A JP2012028133A (ja) | 2010-07-22 | 2010-07-22 | X線管 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012028133A true JP2012028133A (ja) | 2012-02-09 |
Family
ID=45780838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010165042A Pending JP2012028133A (ja) | 2010-07-22 | 2010-07-22 | X線管 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012028133A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014064748A1 (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-01 | 株式会社島津製作所 | X線管装置 |
CN103871808A (zh) * | 2012-12-18 | 2014-06-18 | 西门子公司 | X射线管 |
WO2021015036A1 (ja) * | 2019-07-24 | 2021-01-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線管 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5387661A (en) * | 1977-01-12 | 1978-08-02 | Shiakii Sa | Electron gun |
JPS6443952A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Hitachi Ltd | Electron gun for electronic tube |
JP2002343289A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-29 | Hamamatsu Photonics Kk | カソードユニット及び開放型x線発生装置 |
JP2005346942A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 冷陰極電子源及びそれを用いた電子管 |
JP2007294324A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Nuflare Technology Inc | 電子銃及びその電子銃を用いた電子ビーム描画装置 |
-
2010
- 2010-07-22 JP JP2010165042A patent/JP2012028133A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5387661A (en) * | 1977-01-12 | 1978-08-02 | Shiakii Sa | Electron gun |
JPS6443952A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Hitachi Ltd | Electron gun for electronic tube |
JP2002343289A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-29 | Hamamatsu Photonics Kk | カソードユニット及び開放型x線発生装置 |
JP2005346942A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 冷陰極電子源及びそれを用いた電子管 |
JP2007294324A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Nuflare Technology Inc | 電子銃及びその電子銃を用いた電子ビーム描画装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014064748A1 (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-01 | 株式会社島津製作所 | X線管装置 |
JP5880727B2 (ja) * | 2012-10-22 | 2016-03-09 | 株式会社島津製作所 | X線管装置 |
US9437390B2 (en) | 2012-10-22 | 2016-09-06 | Shimadzu Corporation | X-ray tube device |
CN103871808A (zh) * | 2012-12-18 | 2014-06-18 | 西门子公司 | X射线管 |
KR20140079320A (ko) * | 2012-12-18 | 2014-06-26 | 지멘스 악티엔게젤샤프트 | X선관 |
KR101584411B1 (ko) * | 2012-12-18 | 2016-01-11 | 지멘스 악티엔게젤샤프트 | X선관 |
US9673592B2 (en) | 2012-12-18 | 2017-06-06 | Siemens Aktiengesellschaft | X-ray tube |
WO2021015036A1 (ja) * | 2019-07-24 | 2021-01-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線管 |
JP2021022428A (ja) * | 2019-07-24 | 2021-02-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線管 |
CN114127886A (zh) * | 2019-07-24 | 2022-03-01 | 浜松光子学株式会社 | X射线管 |
US11875965B2 (en) | 2019-07-24 | 2024-01-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5670111B2 (ja) | X線発生用ターゲット、x線発生装置、及びx線発生用ターゲットの製造方法 | |
WO2015016019A1 (ja) | X線発生用ターゲット及びx線発生装置 | |
EP1233658B1 (en) | X-ray generator of open type | |
JP2009245806A (ja) | X線管及びこのx線管を具備したx線発生装置 | |
JP2012028133A (ja) | X線管 | |
JP6889619B2 (ja) | X線発生装置 | |
EP1233659B1 (en) | Nondestructive inspection apparatus | |
CN100343941C (zh) | 阴极单元和开放型x射线发生装置 | |
JP5555083B2 (ja) | X線管 | |
JP6100611B2 (ja) | X線発生装置 | |
CN114341607B (zh) | 电离真空计和匣盒 | |
TWI801535B (zh) | X光產生裝置 | |
JP4850542B2 (ja) | 電子銃、エネルギー線発生装置、電子線発生装置、及びx線発生装置 | |
JP6840603B2 (ja) | 核融合中性子発生装置 | |
JP2004165052A (ja) | X線発生装置 | |
JP2001124899A (ja) | 開放型x線発生装置 | |
JP6807998B1 (ja) | X線発生装置、電源装置、及びx線発生装置の製造方法 | |
JP7434041B2 (ja) | エネルギー線照射装置 | |
JP2018060622A (ja) | X線管 | |
JP2009087667A (ja) | 荷電粒子ビーム用偏向器、荷電粒子ビーム用アセンブリおよび荷電粒子ビーム装置 | |
JP2013080587A (ja) | パルス電子ビーム発生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130708 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140114 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140603 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20141007 |