JP2012023147A - 樹脂モールド装置及びワーク板厚測定装置 - Google Patents
樹脂モールド装置及びワーク板厚測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012023147A JP2012023147A JP2010158959A JP2010158959A JP2012023147A JP 2012023147 A JP2012023147 A JP 2012023147A JP 2010158959 A JP2010158959 A JP 2010158959A JP 2010158959 A JP2010158959 A JP 2010158959A JP 2012023147 A JP2012023147 A JP 2012023147A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thickness
- molded product
- resin
- semiconductor chip
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 120
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 120
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 106
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 97
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 92
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 44
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 101
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 91
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 43
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 14
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920009441 perflouroethylene propylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】厚さ計測部Bは、ローダー25から半導体チップが基板実装された被成形品1を移載されて保持したまま搬送する搬送プレート9と、当該搬送プレートをX−Y方向に走査可能なX−Y走査機構10と、搬送プレート9の搬送路下に被成形品1に対応して配置され、半導体チップを含む基板の総厚を測定する第1レーザー変位計44と基板のみの厚さを測定する第2レーザー変位計44を備えている。
【選択図】図1
Description
また、パッケージ部の厚さが薄くなると、キャビティの容積に占める半導体チップの高さや、基板の厚さによるクランプ位置によって樹脂量が変動して成形品質がばらつくおそれがあった。
半導体素子が基板実装された被成形品を供給ステージへ対向させて供給する供給部と、前記供給ステージに供給された被成形品がローダーによって搬入されて樹脂モールドされるプレス部と、前記供給部からプレス部へ搬送される間に被成形品の厚さを計測する厚さ計測部と、装置各部の動作を制御する制御部と、を具備し、前記厚さ計測部は、前記ローダーから被成形品を移載されて保持したまま搬送する搬送プレートと、当該搬送プレートをX−Y方向に走査可能なX−Y走査機構と、前記搬送プレートの搬送路に前記被成形品に対応して配置され、前記半導体チップエリアの総厚と基板エリアの板厚を測定する第1,第2の測定装置を備えたことを特徴とする。
また、第1,第2レーザー変位計を用いて貫通孔を通じて基板エリアの両面にレーザー光を照射して反射光を計測して基板エリアの板厚を精度よく計測することができる。この基板板厚情報より、プレス部におけるモールド金型の基板クランプ位置制御を精度よく行うことも可能である。
図1は、本発明に係る樹脂モールド装置の一実施形態の各部の平面配置を示す。本実施形態の樹脂モールド装置は、被成形品の供給部A、被成形品の厚さ計測部B、被成形品のプレス部C、樹脂モールド後の成形品の収納部D及び搬送機構Eを備える。また、厚さ計測部Bとプレス部Cとの間にプリヒート部Fが設けられている。また、プレス部Cとプリヒート部Fとの間、及び、プレス部Cと収納部Dとの間には後述する金型駆動機構16aのメンテナンスエリアとして用いられるダミーモジュール部Gが設けられている。以下各部の構成について具体的に説明する。
被成形品の供給部Aは、短冊状に形成された被成形品1を収納した供給マガジン2を複数備えた供給ストッカ3と、供給マガジン2から被成形品1を突き出すプッシャ4と、プッシャ4によって突き出された被成形品1を向かい合わせに並べ替えるターンテーブル5とを備える。ターンテーブル5の奥側には、対向配置された一対の被成形品1を、相互の配置位置を保持した状態でセットする供給ステージ(セット台)6が配置されている。供給ステージ6の側方には後述するモールド金型のポットの平面配置に合わせて樹脂タブレット7を供給するための樹脂タブレットの供給部8が設けられている。
被成形品1の厚さ計測部Bは、供給部Aからプレス部Cへ搬送される間に被成形品1の厚さを計測する。具体的には図2に示すようにローダー25から被成形品1を移載されて保持したまま搬送する搬送プレート9と、当該搬送プレート9をX−Y方向に走査可能なX−Y走査機構10と、搬送プレート9の搬送路下に被成形品1に対応して配置され、半導体チップを含む基板の総厚及び基板のみの厚さを測定する測定装置11を備えている。
厚さ計測部Bにおいて被成形品1の厚さが計測された被成形品1は、移載部12において、後述するピックアンドプレース12aによって被成形品1が搬送プレート9から移送機構に支持されたヒータブロック13に移載される。ヒータブロック13は、被成形品1を載置したまま後述する移送機構により受取位置からローダー25への引渡し位置まで移送される。そして、ヒータブロック13は移送路の途中に設けられたトンネルカバー14にて所定時間停止することで集中的にプリヒートされて、ローダー25が待機する引渡し位置まで搬送される。
プレス部Cは、被成形品1をクランプして樹脂モールドするモールド金型が装着されたプレス装置15が設けられている。プレス装置15は、例えば下型を型開閉方向に押動するプレス機構、モールド金型のポット内で溶融した樹脂をポットからキャビティに充填するトランスファ機構を備える。プレス装置15におけるプレス機構及びトランスファ機構は、公知の樹脂モールド装置に用いられているプレス部の機構と同様である。本実施形態の樹脂モールド装置において特徴とする構成は、被成形品1を樹脂モールドする際に、前述した被成形品の厚さ計測部Fにおける計測結果に基づいて、上型のキャビティインサート(キャビティ深さを規定するインサートブロック)の移動量を制御するようになっている。プレス装置15には例えば上型のインサート部材を型開閉方向に押動する金型駆動機構16aと、下型のインサート部材を型開閉方向に押動する金型駆動機構16bと、キャビティインサートのクランプ面を覆う長尺状のリリースフィルムをリール間で繰り出し及び巻き取りを繰り返すフィルム供給機構17が設けられている。尚、モールド金型は下型にキャビティが形成されていても良い。
成形品の収納部Dは、アンローダー26によって樹脂モールド後の成形品18を移載する取り出し部19、成形品18からゲート等の不要樹脂を除去するゲートブレイク部20、不要樹脂が除去された製品21を収納する収納マガジン22を備える。製品21は収納マガジン22に収納され、該収納マガジン22は収納ストッカ23に順次収容される。
搬送機構Eはプレス部Cへ被成形品1を搬送するローダー25とプレス部Cから成形品を搬送するアンローダー26を備えている。ローダー25及びアンローダー26は、直列に配置された供給部A、厚さ計測部B、プリヒート部F、ダミーモジュール部G、プレス部C、ダミーモジュール部G、収納部D間に連結されたガイドレール27を共用して装置奥側を移動し、プレス部Cに対して各々進退移動可能に設けられている。ローダー25は、供給部Aから被成形品1である基板を受け取って被成形品1を搬送テーブル9へ受け渡し、樹脂タブレット7を受け取ってからヒータブロック13でプリヒートされた被成形品1を受け取って、これらをプレス部Cの型開きしたモールド金型へ搬入する動作を繰り返す。また、アンローダー26は、樹脂モールド後に離型した成形品18をモールド金型より受け取って、収納部Dの取り出し部19へ移載する動作を繰り返す。
ここで、厚さ計測部Bの具体的な構成例について、図2乃至図11を参照して説明する。図2において、X−Y走査機構10の構成例について説明する。ベース部10aの長手方向にはY軸レール29が敷設されている。このY軸レール29には走査台28が直動ガイドを介して往復動可能に連繋している。また、走査台28には、X軸レール30がY軸レール29と直交するように敷設されている。このX軸レール30には、搬送テーブル31が直動ガイドを介して往復動可能に連繋している。搬送テーブル31には、後述するように搬送プレート9が図示しないボルトなどの連結具で固定されている。
図2,図6,図7に示すように、ベース部47とこれに立設された支持部材42に対して第1レーザー変位計43(第1の測定装置)と第2レーザー変位計44(第2の測定装置)がX軸方向及びY軸方向に各々シフトして位置決め固定されている。具体的には、第1レーザー変位計43と第2レーザー変位計44とは、X軸方向において搬送プレート9に対する被成形品1の保持間隔に相当する所定間隔だけ隔てて配置されると共に、Y軸方向において搬送プレート9に保持された被成形品1どうしの測定点のずれ分に相当する距離だけシフトして配置されている。第1,第2レーザー変位計43,44は、被形成品1の上下面に上下で光軸を一致させるように対向配置された一対の第1レーザー変位センサ43a,43bと第2レーザー変位センサ44a,44bを各々備えている。レーザー変位センサは、発光素子より照射されたレーザー光が被成形品1より反射して得られた反射光の結像位置を受光素子(PSD)により検出することで変位量を検出する変位センサである。上下の変位センサの結像位置が変化すると出力バランスが変化し、各出力値を用いた演算処理により変位量が算出されるようになっている。
尚、第1レーザー変位計43と第2レーザー変位計44を搬送プレート9の搬送方向(X軸方向)にシフト配置することも可能であるが、測定点の数の多さを考慮すると、半導体チップエリアPを1回の搬送動作で測定する方が測定時間を短縮化するうえで有効である。
また、被成形品1の厚さ計測にレーザー変位計を用いるかわりに、接触式などの計測方法を利用することもできる。また、レーザー変位計を固定として搬送テーブル31をX−Y方向に走査するようにしたが、搬送テーブルを定位置にしてレーザー変位計を走査する構成としても良い。
供給ステージ6に対向して載置された被成形品1は、ローダー25によって保持され、搬送プレート9に搬送されて、被成形品1は搬送プレート9に移載される。
搬送プレート9は、X−Y走査機構10によりY軸レール29に沿って第1レーザー変位計43,第2レーザー変位計44を通過する際に往路で2個の被成形品1の半導体チップエリアPの総厚が計測され、復路と再度往路において個々の被成形品の基板エリアQの板厚計測が行なわれる。厚さ計測の結果は制御部50に転送され、制御部50は計測結果に応じて金型駆動機構16を作動させてキャビティインサートの移動量(キャビティ深さ)を調整する。
そして、予め樹脂タブレット供給部8より供給された樹脂タブレット7を保持したローダー25はヒータブロック13からプリヒートされた被成形品1を受け取ってプレス部Cまでガイドレール27に沿って移動すると、公知の進退機構によってモールド金型へ被成形品1と樹脂タブレット7が搬入される。
制御部50は、第1レーザー変位計43,第2レーザー変位計44による測定結果から、プレス部Cにおける樹脂モールドに必要なキャビティ深さを規定するキャビティインサート、及び、基板1bをクランプする際の上型70と下型80とのクランプ領域の隙間の大きさを規定する下型インサートブロックの移動量を調整するようになっている。
上型キャビティインサート73と可動テーパプレート75との間に、テーパ面を可動テーパプレート75に対向させて固定テーパプレート77が配置される。可動テーパプレート75と固定テーパプレート77とが、協働して上型キャビティインサート73を型開閉方向に押動する押動部材として作用する。駆動部76は、先端が可動テーパプレート75の側面に係合する伝動軸76aと伝動軸76aに進退動を与える動力部76bとを主体に構成され、可動テーパプレート75を進退動させることにより上型キャビティインサート73を型開閉方向に押動する。本実施形態においては、金型駆動機構16aは、図12,13に示すように、キャビティの配置に対応する複数(例えば3つ)の駆動部76で構成され、各被成形品1の配置に対応してプレス装置15の両側に配置されている。
ベースブロック79の下面が上型キャビティインサート73の基準面に設定されているから、ベースブロック79と可動テーパプレート75との間に厚さ調整用のプレート78を共通に配置することによって、上型70における上型キャビティインサート73の位置を一括して正確に調整することができる。
製品によっては、半導体チップ1aの外面に接続用のパッドが形成されているような場合があり、このような製品においては半導体チップ1aの外面に樹脂ばりが生じることは不良に直結する。本実施形態の樹脂モールド方法は、このような製品の製造に有効に適用できる。
また、通常は、上型キャビティインサート73と下型インサートブロック83を所定位置に位置合わせした後に被成形品1をクランプするが、上型70と下型80とを型合わせした後に、駆動部76,86を駆動して上型キャビティインサート73と下型インサートブロック83を所定の型開閉方向の位置に移動させて樹脂モールドすることも可能である。
また、厚さ計測部Bは、被成形品1を予備加熱されるプレヒート前に計測が行なわれるので、熱による膨張の影響が少ない段階で被成形品1の総厚及び基板板厚を正確に計測することができる。
また、樹脂モールド装置はトランスファモールド装置に限らず圧縮成形装置であっても良い。
B 厚さ計測部
C プレス部
D 収納部
E 搬送機構
F プリヒート部
G ダミーモジュール部
1 被成形品
1a 半導体チップ
1b 基板
2 供給マガジン
3 供給ストッカ
4 プッシャ
5 ターンテーブル
6 供給ステージ
7 樹脂タブレット
8 樹脂タブレット供給部
9 搬送プレート
9a 切欠き
9b ワーク支持部
9c 吸着孔
9d,31d 貫通孔
10 X−Y走査機構
11 測定装置
12 移載部
13 ヒータブロック
14 トンネルカバー
15 プレス装置
16a,16b 金型駆動機構
17 フィルム供給機構
18 成形品
19 取り出し部
20 ディゲート部
21 製品
22 収納マガジン
23 収納ストッカ
25 ローダー
26 アンローダー
27 ガイドレール
28 走査台
29 Y軸レール
30 X軸レール
31 搬送テーブル
31a 吸引溝
31b 孔
31c 突部
32 Y軸ボールねじ
33 Y軸モータ
34 Y軸ナット
35 X軸ボールねじ
36 X軸モータ
37 X軸ナット
39 コンプレッサ
40 Z軸方向ブロックゲージ
41 X軸−Y軸方向ブロックゲージ
41a 突起
41b 透明シート
42 支持部材
43 第1レーザー変位計
43a,43b 第1レーザー変位センサ
44 第2レーザー変位計
44a,44b 第2レーザー変位センサ
45a,45b 第1撮像カメラ
46a,46b 第2撮像カメラ
47 ベース部
47a,47b 支持部
48 センサ固定部
49 カメラ固定部
48a,49a 位置決めプレート
50 制御部
70 上型
80 下型
83 下型インサートブロック
91 リリースフィルム
92 プランジャ
Claims (9)
- 半導体素子が基板実装された被成形品を供給ステージへ対向させて供給する供給部と、
前記供給ステージに供給された被成形品がローダーによって搬入されて樹脂モールドされるプレス部と、
前記供給部からプレス部へ搬送される間に被成形品の厚さを計測する厚さ計測部と、
装置各部の動作を制御する制御部と、を具備し、
前記厚さ計測部は、前記ローダーから被成形品を移載されて保持したまま搬送する搬送プレートと、当該搬送プレートをX−Y方向に走査可能なX−Y走査機構と、前記搬送プレートの搬送路に前記被成形品に対応して配置され、前記半導体チップエリアの総厚と基板エリアの板厚を測定する第1,第2の測定装置を備えたことを特徴とする樹脂モールド装置。 - 前記搬送プレートには被成形品の保持位置に貫通孔が各々穿孔され貫通孔周縁部に基板が吸着保持されており、前記搬送プレートの搬送方向にシフト配置された第1,第2レーザー変位計を用いて前記被成形品のチップ搭載面及び基板面の双方に各々レーザー光を照射して反射光を計測して厚さ計測が行なわれる請求項1記載の樹脂モールド装置。
- 前記搬送プレートを往動させる際に、前記第1,第2レーザー変位計は前記X−Y走査機構によって搬送プレートをX−Y方向に走査しながら複数の被成形品の半導体チップエリアにおいてつづら折れ状に連続する軌跡に沿って被成形品ごとに各半導体チップエリアにおいてX−Y方向に対応する共通の測定点において総厚の測定が同時に行なわれる請求項1又は2項記載の樹脂モールド装置。
- 前記搬送プレートを復動及び再往動させる際に、前記X−Y走査機構によって搬送プレートをX−Y方向に走査しながら複数の被成形品の半導体チップエリアの周囲に形成された基板エリアにおいてつづら折れ状に連続する軌跡に沿って前記第1レーザー変位計と2レーザー変位計とで交互に板厚の測定が行なわれる請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の樹脂モールド装置。
- 前記被成形品の厚さ計測に先立ってZ軸方向ブロックゲージ及びX軸−Y軸方向ブロックゲージが順次搬送プレートに装着されて第1,第2レーザー変位計の光軸の位置合わせが行われている請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の樹脂モールド装置。
- 前記厚さ計測部は、被成形品を予備加熱されるプレヒート前に計測が行なわれる請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の樹脂モールド装置。
- 前記制御部は、前記第1,第2の測定装置による測定結果から、前記プレス部における樹脂モールドに必要なキャビティ深さを規定するキャビティインサートの移動量を調整するか又は前記プレス部に供給する液状樹脂の樹脂量を調整する請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載の樹脂モールド装置。
- ワークを保持したまま搬送する搬送プレートと、
前記搬送プレートをX−Y方向に走査可能なX−Y走査機構と、
前記搬送プレートの搬送路に前記ワークに対応して配置され、前記ワークの異なる被測定エリアの板厚を各々測定する複数の測定装置を備えたことを特徴とするワーク板厚測定装置。 - 前記ワークは基板に半導体チップが搭載されたワークの半導体チップエリアと基板エリアの板厚を各々測定する第1,第2測定装置を備えた請求項8記載のワーク板厚測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010158959A JP5544585B2 (ja) | 2010-07-13 | 2010-07-13 | 樹脂モールド装置及びワーク板厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010158959A JP5544585B2 (ja) | 2010-07-13 | 2010-07-13 | 樹脂モールド装置及びワーク板厚測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012023147A true JP2012023147A (ja) | 2012-02-02 |
JP5544585B2 JP5544585B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=45777186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010158959A Active JP5544585B2 (ja) | 2010-07-13 | 2010-07-13 | 樹脂モールド装置及びワーク板厚測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5544585B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190099143A (ko) * | 2018-02-16 | 2019-08-26 | 아피쿠 야마다 가부시키가이샤 | 수지 몰드 장치 및 수지 몰드 방법 |
JP2019145550A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 |
KR20200057645A (ko) * | 2018-11-16 | 2020-05-26 | 서우테크놀로지 주식회사 | 두께 측정이 가능한 반도체 패키지 |
JP2021089915A (ja) * | 2019-12-02 | 2021-06-10 | アサヒ・エンジニアリング株式会社 | 樹脂封止装置 |
CN113547691A (zh) * | 2020-04-24 | 2021-10-26 | 东和株式会社 | 定位装置及方法、树脂成形系统及树脂成形品的制造方法 |
KR20230073478A (ko) * | 2021-11-19 | 2023-05-26 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 자재 연삭장치의 두께 측정방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102049563B1 (ko) * | 2018-12-20 | 2020-01-08 | 알에스이 | Pcb 제조 공정에서의 기판 겹침 검출 시스템 및 방법 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187377A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-30 | New Japan Radio Co Ltd | 樹脂封止パッケージの未充填検知方法及び装置 |
JP2000058568A (ja) * | 1998-08-17 | 2000-02-25 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法および半導体装置用製造装置 |
JP2005150350A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2006315184A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Apic Yamada Corp | 樹脂封止装置 |
JP2009130342A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Towa Corp | 基板の切断方法及び装置 |
JP2009253128A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 樹脂量決定装置、および、当該樹脂量決定装置を備えた樹脂封止装置 |
-
2010
- 2010-07-13 JP JP2010158959A patent/JP5544585B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187377A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-30 | New Japan Radio Co Ltd | 樹脂封止パッケージの未充填検知方法及び装置 |
JP2000058568A (ja) * | 1998-08-17 | 2000-02-25 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法および半導体装置用製造装置 |
JP2005150350A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2006315184A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Apic Yamada Corp | 樹脂封止装置 |
JP2009130342A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Towa Corp | 基板の切断方法及び装置 |
JP2009253128A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 樹脂量決定装置、および、当該樹脂量決定装置を備えた樹脂封止装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190099143A (ko) * | 2018-02-16 | 2019-08-26 | 아피쿠 야마다 가부시키가이샤 | 수지 몰드 장치 및 수지 몰드 방법 |
JP2019145550A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 |
JP7088687B2 (ja) | 2018-02-16 | 2022-06-21 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 |
KR102521504B1 (ko) * | 2018-02-16 | 2023-04-13 | 아피쿠 야마다 가부시키가이샤 | 수지 몰드 장치 및 수지 몰드 방법 |
KR20200057645A (ko) * | 2018-11-16 | 2020-05-26 | 서우테크놀로지 주식회사 | 두께 측정이 가능한 반도체 패키지 |
KR102278951B1 (ko) | 2018-11-16 | 2021-07-20 | 서우테크놀로지 주식회사 | 두께 측정이 가능한 반도체 패키지 |
JP2021089915A (ja) * | 2019-12-02 | 2021-06-10 | アサヒ・エンジニアリング株式会社 | 樹脂封止装置 |
TWI753678B (zh) * | 2019-12-02 | 2022-01-21 | 日商朝日科技股份有限公司 | 樹脂密封裝置 |
CN113547691A (zh) * | 2020-04-24 | 2021-10-26 | 东和株式会社 | 定位装置及方法、树脂成形系统及树脂成形品的制造方法 |
KR20230073478A (ko) * | 2021-11-19 | 2023-05-26 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 자재 연삭장치의 두께 측정방법 |
KR102646886B1 (ko) * | 2021-11-19 | 2024-03-12 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 자재 연삭장치의 두께 측정방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5544585B2 (ja) | 2014-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5544585B2 (ja) | 樹脂モールド装置及びワーク板厚測定装置 | |
KR102173980B1 (ko) | 수지몰드장치 | |
US20210185824A1 (en) | Method and apparatus for automatically adjusting dispensing units of a dispenser | |
TWI787411B (zh) | 樹脂模製裝置 | |
TWI593541B (zh) | 樹脂模封裝置 | |
JP4235623B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
KR101560322B1 (ko) | 기판 상에 물질을 분배하는 방법 및 장치 | |
JP5001172B2 (ja) | ワーク加工装置およびワーク加工方法 | |
KR101332141B1 (ko) | 수지 몰딩 장치 및 수지 몰딩 방법 | |
JP6989409B2 (ja) | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 | |
KR20160013202A (ko) | 수지 몰드 장치 및 수지 몰드 방법 | |
JP7088687B2 (ja) | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 | |
CN107538667B (zh) | 树脂成型装置、树脂成型品的制造方法以及产品的制造方法 | |
CN110099777A (zh) | 框体治具、树脂供给治具和其计量方法、模制树脂的计量装置和方法、树脂供给装置、树脂供给计量装置和方法、以及树脂模制装置和方法 | |
KR102288581B1 (ko) | 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 | |
KR20050085520A (ko) | 분배 시스템 및 방법 | |
JP6989410B2 (ja) | 樹脂モールド装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130415 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140313 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140415 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5544585 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |