JP2012018816A - 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012018816A JP2012018816A JP2010155416A JP2010155416A JP2012018816A JP 2012018816 A JP2012018816 A JP 2012018816A JP 2010155416 A JP2010155416 A JP 2010155416A JP 2010155416 A JP2010155416 A JP 2010155416A JP 2012018816 A JP2012018816 A JP 2012018816A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- observation
- image
- magnification
- sample
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 170
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 836
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 566
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 claims abstract description 372
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 413
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 168
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 119
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 claims description 88
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 71
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 52
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 25
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 699
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 139
- 230000006870 function Effects 0.000 description 136
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 129
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 128
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 96
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 84
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 67
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 60
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 53
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 43
- 230000008859 change Effects 0.000 description 39
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 37
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 35
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 33
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 30
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 24
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 21
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 description 19
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 18
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 14
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 13
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 13
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 11
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 11
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 10
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 9
- 238000010977 unit operation Methods 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 7
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 6
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 4
- 230000004397 blinking Effects 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 4
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 4
- 230000008676 import Effects 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 210000003811 finger Anatomy 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 2
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- PXFBZOLANLWPMH-UHFFFAOYSA-N 16-Epiaffinine Natural products C1C(C2=CC=CC=C2N2)=C2C(=O)CC2C(=CC)CN(C)C1C2CO PXFBZOLANLWPMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003821 2-(trimethylsilyl)ethoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])[Si](C([H])([H])[H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C(OC([H])([H])[*])([H])[H] 0.000 description 1
- 206010047555 Visual field defect Diseases 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002524 electron diffraction data Methods 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 210000004247 hand Anatomy 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 208000035824 paresthesia Diseases 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920001690 polydopamine Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 210000003813 thumb Anatomy 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010155416A JP2012018816A (ja) | 2010-07-08 | 2010-07-08 | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010155416A JP2012018816A (ja) | 2010-07-08 | 2010-07-08 | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012018816A true JP2012018816A (ja) | 2012-01-26 |
| JP2012018816A5 JP2012018816A5 (enExample) | 2013-05-30 |
Family
ID=45603938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010155416A Pending JP2012018816A (ja) | 2010-07-08 | 2010-07-08 | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2012018816A (enExample) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014056060A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Keyence Corp | 光学顕微鏡 |
| JP2020034736A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
| JP2020034734A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0868798A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Shimadzu Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JP2005229291A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録装置及び撮像装置並びに画像ファイル保存方法 |
| JP2007026885A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Keyence Corp | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
| JP2010080144A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Lasertec Corp | 複合型顕微鏡装置及び試料観察方法 |
-
2010
- 2010-07-08 JP JP2010155416A patent/JP2012018816A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0868798A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Shimadzu Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JP2005229291A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録装置及び撮像装置並びに画像ファイル保存方法 |
| JP2007026885A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Keyence Corp | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
| JP2010080144A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Lasertec Corp | 複合型顕微鏡装置及び試料観察方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014056060A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Keyence Corp | 光学顕微鏡 |
| JP2020034736A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
| JP2020034734A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
| JP7092619B2 (ja) | 2018-08-30 | 2022-06-28 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5690086B2 (ja) | 拡大観察装置 | |
| JP5517790B2 (ja) | 拡大観察装置 | |
| JP5744821B2 (ja) | 電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース | |
| JP2012018813A (ja) | 拡大観察装置、カラー合成方法及びカラー画像合成プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
| JP4753711B2 (ja) | ３次元画像表示装置、３次元画像表示装置の操作方法、３次元画像表示プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 | |
| JP5422506B2 (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
| JP5564346B2 (ja) | 拡大観察装置 | |
| JP5624815B2 (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法 | |
| JP2012018817A (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
| JP4855726B2 (ja) | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 | |
| JP2012018816A (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
| JP2012018812A (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
| JP4460436B2 (ja) | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 | |
| JP2012018815A (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
| JP2012018814A (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
| JP4456962B2 (ja) | 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 | |
| JP4522251B2 (ja) | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 | |
| JP2012015031A (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法 | |
| JP5517791B2 (ja) | 拡大観察装置 | |
| JP2006049155A (ja) | ３次元画像生成装置、３次元画像生成方法、３次元画像生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 | |
| JP4355634B2 (ja) | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の操作方法、荷電粒子線装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 | |
| JP2012015032A (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法 | |
| JP2012015030A (ja) | 拡大観察装置及び拡大観察方法 | |
| JP4460394B2 (ja) | ３次元画像生成装置、３次元画像生成方法、３次元画像生成プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 | |
| JP2004158367A (ja) | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の観察像表示方法、電子顕微鏡の観察像表示プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130409 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130409 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131031 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140311 |