JP2012018319A - アクチュエータユニット、撮像装置及びアクチュエータユニットの調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】コストを抑えることができるにも関わらず、高画質な画像を得ることができる撮像装置及びそれに用いるアクチュエータユニット並びにアクチュエータユニットの調整方法を提供する。
【解決手段】オートコリメータＡＣより検査光を出射させ、アクチュエータユニットＡＵの内筒２２の上端で反射させ、その反射光を入射する。このとき、図３（ａ）に示すように、内筒２２の軸線Ｘ１が、上枠基準面２３ｃの直交線Ｘ２に対して傾いていた場合、オートコリメータＡＣが受光した反射光の受光位置が基準位置からずれることとなる。そこで、図３（ｂ）に示すように、枠状体２４に光軸直交方向に力を与えると、第１のバネ２５により内筒２２の上端が同じ方向に変位する。このとき、内筒２２の下端は、第２のバネ２６により変位が抑制されるので、その結果、内筒２２は傾くこととなる。このとき、オートコリメータＡＣが受光した反射光の受光位置が基準位置に合致するように枠状体２４を変位させることで、内筒２２の傾きを調整できる。
【選択図】図３

Description

本発明は、アクチュエータユニット、撮像装置及びアクチュエータユニットの調整方法に関し、特に小型で大量生産に好適な撮像装置及びそれに用いるアクチュエータユニット並びにアクチュエータユニットの調整方法に関する。

小型でかつ薄型の撮像装置が、携帯電話機やＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）等の携帯端末に用いられている。これらの撮像装置に使用される撮像素子としては、ＣＣＤ型イメージセンサやＣＭＯＳ型イメージセンサ等の固体撮像素子が知られている。このような撮像装置は、近年では撮像素子の高画素化が進んでおり、高解像、高性能化が図られてきているが、被写体合焦用のＡＦ機構が組み込まれているものもある。

このような撮像装置のＡＦ機構に用いるアクチュエータユニットとしては、例えば特許文献１に、撮像レンズを保持するホルダを板バネにて支持すると共に、アクチュエータにてホルダを光軸方向に駆動するものが開示されている。

特開２００７−６５４３２号公報

ところで、特許文献１には具体的な記載がないが、板バネは無調整でカバーに取り付けられていると解釈される。従って、部品精度や組み付け精度が悪いと、板バネがホルダを光軸直交方向に付勢することで、レンズをホルダに組み付けた際に、組み付けられたレンズにチルトが発生する恐れがある。従来の低画素の固体撮像素子では、そのようなレンズチルトが生じても特に問題はなかったが、近年における小型・高画素の固体撮像素子においては、以下のような問題が顕在化した。即ち、撮像素子の高画素化によって被写界深度はより狭くなるため、レンズにはより高いチルト精度が求められる。ところが、近年の小型の固体撮像素子においては、画素の狭ピッチ化が促進されており、それによる弊害が問題となってきた。例えば画素ピッチ1.75μｍの固体撮像素子において、30'の光軸チルトが許容されるレンズがあった場合、これを画素ピッチ1.1μｍの固体撮像素子に適用するためには、その比率でチルト精度を高くする必要があるため、許容チルトは19'となり、それを実現するためには部品精度や組み付け精度を高めなくてはならず、コスト高を招くこととなった。また、画素の狭ピッチ化とともに、Ｆ値については小さくなる傾向にあり、それにより被写界深度は一層狭くなり、これが光学チルトの要求精度を一層高める要因となっている。

本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、コストを抑えることができるにも関わらず、高画質な画像を得ることができる撮像装置及びそれに用いるアクチュエータユニット並びにアクチュエータユニットの調整方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載のアクチュエータユニットは、
撮像レンズを支持可能な内筒と、
前記内筒の周囲に配置された外筒と、
前記外筒の端部と前記内筒とを連結する第１のバネ手段と、
前記第１のバネ手段に対して前記撮像レンズの光軸方向に離れて、前記外筒と前記内筒とを連結する第２のバネと、
前記外筒に対して前記内筒を前記光軸方向に駆動するアクチュエータと、を有し、
前記第１のバネ手段と前記外筒との間には、両者が固定される前において、前記光軸に交差する方向において所定範囲でシフト可能なクリアランスが設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、前記第１のバネ手段と前記外筒との間には、両者が固定される前において、前記光軸に交差する方向において所定範囲でシフト可能なクリアランスが設けられているので、前記第１のバネ手段と前記外筒とが固定される前に、前記クリアランスの範囲で前記外筒に対して前記第１のバネ手段を相対変位させることにより、前記第１のバネ手段を介して連結された前記内筒が変位して、前記内筒に取り付けられるべき撮像レンズの光軸のチルトを調整することができる。このようにして調整されたアクチュエータユニットを用いた撮像装置により、高画質な画像を得ることができる。

請求項２に記載のアクチュエータユニットは、請求項１に記載の発明において、前記第１のバネ手段は、第１のバネと、前記第１のバネに連結されてなり前記外筒に固定される枠状体とを有し、前記枠状体と前記外筒との間に前記クリアランスが形成されていることを特徴とする。但し、第１のバネにより前記外筒と前記内筒とを直接連結していても良い。

請求項３に記載のアクチュエータユニットは、請求項２に記載の発明において、前記枠状体の外形は、前記外筒の外形よりも小さいことを特徴とする。これにより、チルト調整後に、前記枠状体が前記外筒の外形から外方にはみ出す恐れが少なく、他部品との組付けの邪魔になることが抑制される。尚、枠状体はクリアランスの範囲で最大限ずれた場合でも、外筒の外形からはみださないことが望ましい。

請求項４に記載の撮像装置は、請求項１〜３のいずれかに記載のアクチュエータユニットと、前記アクチュエータユニットに組み付けた撮像レンズと、固体撮像素子とを有することを特徴とする。

請求項５に記載のアクチュエータユニットの調整方法は、撮像レンズを支持可能な内筒と、前記内筒の周囲に配置された外筒と、前記外筒の端部と前記内筒とを連結する第１のバネ手段と、前記第１のバネ手段に対して前記撮像レンズの光軸方向に離れて、前記外筒と前記内筒とを連結する第２のバネと、前記外筒に対して前記内筒を前記光軸方向に駆動するアクチュエータと、を有するアクチュエータユニットの調整方法であって、
前記内筒の端面に向かって検査光を照射して、その反射光の入射位置に基づいて、前記第１のバネ手段を前記外筒に対して前記光軸に交差する方向に変位させた後、固定することを特徴とする。

本発明によれば、前記内筒の端面に向かって検査光を照射して、その反射光の入射位置に基づいて、前記第１のバネ手段を前記外筒に対して前記光軸に交差する方向に変位させた後、固定するので、前記外筒に対して前記第１のバネ手段を相対変位させることにより、前記第１のバネ手段を介して連結された前記内筒が変位して、前記内筒に取り付けられるべき撮像レンズの光軸のチルトを調整することができる。このようにして調整されたアクチュエータユニットを用いた撮像装置により、高画質な画像を得ることができる。

請求項６に記載のアクチュエータユニットの調整方法は、請求項５に記載の発明において、前記第１のバネ手段は、第１のバネと、前記第１のバネに連結されてなり前記外筒に固定される枠状体とを有し、前記枠状体と前記外筒との間に前記クリアランスが形成されていることを特徴とする。但し、第１のバネにより前記外筒と前記内筒とを直接連結していても良い。

請求項７に記載のアクチュエータユニットの調整方法は、請求項５又は６に記載の発明において、前記内筒に前記撮像レンズを組み付ける前に、前記第１のバネ手段を変位させることを特徴とする。前記撮像レンズを組み付ける前に、前記内筒の位置を調整することで、そのチルト調整を容易に行える。

請求項８に記載のアクチュエータユニットの調整方法は、請求項５〜７のいずれかに記載の発明において、前記外筒は基準平面を有し、前記内筒の端面が前記基準平面に対して平行になるように、前記第１のバネ手段を変位させることを特徴とする。これにより、調整されたアクチュエータユニットを組み付けた撮像装置において、固体撮像素子の撮像面とレンズの光軸とを精度良く直交させることができる。

請求項９に記載のアクチュエータユニットの調整方法は、請求項５〜８のいずれかに記載の発明において、前記外筒に対して前記内筒を前記光軸方向の所定位置に配置した状態で、前記第１のバネ手段を変位させることを特徴とする。

請求項１０に記載のアクチュエータユニットの調整方法は、請求項９に記載の発明において、前記所定位置とは、前記アクチュエータを通電して前記内筒を最大限移動させた位置であることを特徴とする。これにより、前記撮像レンズをストローク端へ移動させた状態における光軸のチルトを抑制できる。

請求項１１に記載のアクチュエータユニットの調整方法は、請求項９に記載の発明において、前記所定位置とは、前記アクチュエータの無通電時における前記内筒の位置であることを特徴とする。これにより、前記アクチュエータの無通電時における前記撮像レンズの光軸のチルトを抑制できる。

請求項１２に記載のアクチュエータユニットの調整方法は、請求項９に記載の発明において、前記所定位置とは、前記内筒の移動範囲の中間位置であることを特徴とする。これにより、中間位置における前記撮像レンズの光軸のチルトを抑制できる。

本発明によれば、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、コストを抑えることができるにも関わらず、高画質な画像を得ることができる撮像装置及びそれに用いるアクチュエータユニット並びにアクチュエータユニットの調整方法を提供することを目的とする。

本実施の形態にかかる撮像装置５０の断面図である。 第１のバネ２５の斜視図である。 アクチュエータユニットの調整工程を説明するための図である。 変形例にかかる撮像装置５０’の断面図である。 撮像装置５０をデジタル機器である携帯端末としての携帯電話機１００に装備した状態を示す図である。 携帯電話機１００の制御ブロック図である。

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態にかかる撮像装置５０の断面図である。図１に示すように、撮像装置５０は、光電変換部５１ａを有する固体撮像素子としてのＣＭＯＳ型イメージセンサ５１と、このイメージセンサ５１の光電変換部５１ａに被写体像を撮像させる撮像レンズＯＵと、撮像レンズＯＵを保持するホルダ２１と、ホルダ２１を支持する内筒２２と、内筒２２の周囲に設けられた上枠２３と、上枠２３の上端に固定された枠状体２４と、内筒２２の上端と枠状体２４とを連結する第１のバネ２５と、内筒２２の下端と上枠２３の下部とを連結する第２のバネ２６と、上枠２３に対して内筒２２を駆動するアクチュエータ３０と、上枠２３を支持する下枠２７と、イメージセンサ５１を保持すると共にその電気信号の送受を行う外部接続用端子（不図示）を有する基板５２とを備え、これらは一体的に組み立てられている。

上記イメージセンサ５１は、その受光側の平面の中央部に、画素（光電変換素子）が２次元的に配置された、受光部としての光電変換部５１ａが形成されており、不図示の信号処理回路に接続されている。かかる信号処理回路は、各画素を順次駆動し信号電荷を得る駆動回路部と、各信号電荷をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換部と、このデジタル信号を用いて画像信号出力を形成する信号処理部等から構成されている。また、イメージセンサ５１の受光側の平面の外縁近傍には、多数のパッド（図示略）が配置されており、不図示のワイヤを介して基板５２に接続されている。イメージセンサ５１は、光電変換部５１ａからの信号電荷をデジタルＹＵＶ信号等の画像信号等に変換し、ワイヤ（不図示）を介して基板５２上の所定の回路に出力する。ここで、Ｙは輝度信号、Ｕ（＝Ｒ−Ｙ）は赤と輝度信号との色差信号、Ｖ（＝Ｂ−Ｙ）は青と輝度信号との色差信号である。なお、固体撮像素子は上記ＣＭＯＳ型のイメージセンサに限定されるものではなく、ＣＣＤ等の他のものを使用しても良い。

基板５２は、不図示の外部接続用端子を介して外部回路（例えば、撮像装置を実装した携帯端末の上位装置が有する制御回路）と接続し、外部回路からイメージセンサ５１を駆動するための電圧やクロック信号の供給を受けたり、また、デジタルＹＵＶ信号を外部回路へ出力したりすることを可能とする。

ホルダ２１は、物体側（図１で上側）に光軸直交方向内方に延在するフランジ部２１ａを有し、その中央に形成された円形開口が絞りＳとなっている。撮像レンズＯＵは、物体側からレンズＬ１，レンズＬ２，レンズＬ３をこの順序で積層接着してなり、レンズＬ１の周囲をフランジ部２１ａに当接するようにして、ホルダ２１の内周に固着されているため、撮像レンズＯＵとホルダ２１との同軸性は高くなっている。又、ホルダ２１は、外周に雄ねじ部２１ｂを有している。

円筒状の内筒２２は、内周に雌ねじ部２２ａを有し、雄ねじ部２１ｂを雌ねじ部２２ａに螺合させることによって、ホルダ２１が内筒２２に対して光軸方向に変位可能に取り付けられている。内筒２２は、その下部外周に、光軸直交方向外方に延在するフランジ部２２ｂを有している。尚、内筒２２の上端は、雌ねじ部２２ａの軸線に対して精度良く直交しているものとする。

環状のボイスコイルモータであるアクチュエータ３０は、内筒２２のフランジ部２２ｂに端部が取り付けられ同軸に延在する筒状のコイル３１と、コイル３１の外方を包囲するようにして、上枠２３の内周に取り付けられた磁石３２と、磁石３２の外周面側から、磁石３２及びコイル３１の上方側を通過して、コイル３１の内周側に至るヨーク３３とを有する。ボイスコイルモータの駆動原理は良く知られているので省略するが、外部より第１のばね２５，２６，不図示の配線を介してコイル３１に電力を供給することで発生する磁力により、磁石３２に対してコイル３１を内筒２２と共に、供給された電力に応じて図１で上下方向に変位させることができるものであり、これにより撮像レンズＯＵの光軸方向移動が可能となる。

角筒状の上枠２３は、その上端の内周側を全周にわたって抉っており、内周段部２３ａを形成している。一方、矩形状の枠状体２４は、筒部２４ａとフランジ部２４ｂとからなり、フランジ部２４ｂに第１のバネ２５の外周側を接着している。枠状体２４と第１のバネ２５により、第１のバネ手段を構成する。筒部２４ａは、その下端の外周側を全周にわたって抉っており、外周段部２４ｃを形成している。外周段部２４ｃの光軸直交方向外方に内周段部２３ａが位置するようにして、上枠２３に対して枠状体２４が組み付けられている。尚、外周段部２４ｃと筒部２４ａとの間には、面取り部２４ｄを形成している。

ここで、上枠２３の外寸Ａと、枠状体２４の外寸Ｂとの間には、Ａ＞Ｂなる関係がある。又、内周段部２３ａの内寸Ｃと、外周段部２４ｃの外寸Ｄとの間には、Ｃ＞Ｄなる関係がある。以上の寸法関係は、直交する断面においても同様である。従って、内周段部２３ａと外周段部２４ｃとの間には、寸法差に応じたクリアランスがあり、固定前においては、このクリアランスの範囲内で、上枠２３に対して枠状体２４が光軸直交方向に変位可能となっている。一例として、第１のバネ２５と第２のバネ２６間の距離が3mmのアクチュエータにおいて、±30’のチルトを補正するのに必要な調芯量は±26μｍとなる（3*tan30'）。この約1.5倍の調整代を確保するため、クリアランスとしては±40μｍ以上確保することが望ましい。

更に、上枠２３の下部内周には、光軸直交方向内方に延在するフランジ部２３ｂが形成されており、その下面の一部が矩形状に突出して上枠基準面（基準平面）２３ｃを形成している。第２のバネ２６の外周側は、フランジ部２３ｂの上面に接着され、第２のバネ２６の内周側は、内筒２２の下端にねじ止め又は接着されている。

一方、略環状の下枠２７は、その上面の一部が環状に突出して下枠基準面２７ａを形成し、また上部外周に段部２７ｂを有している。上枠基準面２３ｃが下枠基準面２７ａに当接し、また上枠２３の下端内周２３ｄが段部２７ｂに嵌合するようにして、上枠２３と下枠２７とが結合されて接着され、外筒を構成している。ここで、上枠２３の下端面と下枠２７との間には隙間Δがあるが、その隙間Δは全周にわたってバラツキがなく一様であり、この隙間Δに接着剤を塗布した際の強度バラツキを抑え、また異物などの侵入を阻止することができる。下枠２７の下部から突出した環状の脚部２７ｃが、イメージセンサ５１の周囲の基板５２の上面に当接し接着されている。下枠２７の中央には、ＩＲカットフィルタＦが取り付けられている。

図２は、第１のバネ２５の斜視図である。第１のバネ２５は、薄い板材からなり、枠状体２４に接着される外側環状部２５ａと、内筒２２に接着される内側環状部２５ｂと、外側環状部２５ａと内側環状部２５ｂとを、径方向に重ならない位置で連結する円弧状の３つのバネ部２５ｃとを有する。このような形状を有する第１のバネ２５は、小面積で軸線方向のバネ定数を下げることができる。尚、第２のバネ２６も同様の形状を有する。

次に、アクチュエータユニットの調整方法について述べる。図３に示すように、環状の基準面ＪＧ１を有する治具ＪＧと、オートコリメータＡＣを用意する。オートコリメータＡＣは、出射した検査光が被測定平面で反射され、その反射光が基準位置に入射した場合、被測定平面が出射光に対して直交することを検出できるものであるが、ここでは治具ＪＧの基準面ＪＧ１に対して精度良く正対しているものとする。

ここで、調整対象となるアクチュエータユニットＡＵは、撮像レンズＯＵを含むホルダ２１及び下枠２７を組み付ける前の状態で、治具ＪＧの基準面ＪＧ１に、上枠２３の上枠基準面２３ｃを当接させて治具ＪＧにセットする。尚、かかる状態では、枠状体２４は、上枠２３の上端に嵌合しているが固定されておらず、クリアランスＣＬの範囲内で光軸直交方向に変位可能となっているから、枠状体２４を上枠２３に対して不図示の治具で仮固定する。ここでは、アクチュエータ３０に通電して、内筒２２をストローク端まで移動させても良く。逆にアクチュエータ３０を無通電状態としても良く、或いは、内筒２２を中間位置に保持するように、アクチュエータ３０に通電しても良い。

次いで、上方からオートコリメータＡＣより検査光を出射させ、アクチュエータユニットＡＵの内筒２２の上端で反射させ、その反射光を入射する。このとき、図３（ａ）に示すように、内筒２２の軸線Ｘ１が、上枠基準面２３ｃの直交線Ｘ２に対して傾いていた場合、オートコリメータＡＣが受光した反射光の受光位置が基準位置からずれることとなる。

そこで、図３（ｂ）に矢印で示すように、枠状体２４に光軸直交方向に力を与えて変位させると、第１のバネ２５により内筒２２の上端が同じ方向に変位する。このとき、内筒２２の下端は、第２のバネ２６により変位が抑制されるので、その結果、内筒２２は傾頭することとなる。このように、オートコリメータＡＣが受光した反射光の受光位置が基準位置に合致するように枠状体２４を変位させることで、基準面ＪＧ１に対する円筒２２の端面が平行になり、よって内筒２２の傾きを調整できる。かかる状態では、上枠２３の半径方向外方に枠状体２４ははみ出すことがないので、外形形状が安定する。更に、面取り部２４ｄに接着剤を付与することで、枠状体２４は上枠２３に固定される。

その後、撮像レンズＯＵを嵌合したホルダ２１を内筒２２内に進入させ、雄ねじ部２１ｂを雌ねじ部２２ａに螺合させることによって、ホルダ２１が保持する撮像レンズＯＵの光軸を、内筒２２の軸線と精度良く一致させることができる。尚、撮像レンズＯＵは、内筒２２の調整前に組み付けておいても良い。

アクチュエータユニットＡＵを、治具ＪＧから取り外した後、上枠基準面２３ｃが下枠基準面２７ａに当接させるようにして、上枠２３を下枠２７に組み付けることが出来る。その後、イメージセンサ５１を取り付けた基板５２上に、下枠２７を載置して接着する（図１参照）。下枠２７は、精度良く形成された脚部２７ｃを基板５２の上面に当接させているので、イメージセンサ５１の受光部に対して、撮像レンズＯＵの光軸を精度良く直交させることができる。

図４は、変形例にかかる撮像装置５０’の図１と同様な断面図である。本変形例においては、上枠２３’の下端を伸ばして基板５２の上面に当接させている。変形例の場合、上枠２３’の下端面が、上述した実施の形態の基準面２３ｃの代わりとなる。これに伴い、上枠２３’に固定された下枠２７’は、ＩＲカットフィルタＦを支持する機能のみを有する。尚、上枠と下枠とを一体成形しても良い。それ以外の構成は、上述した実施の形態と同様である。

次に、上述した撮像装置５０の使用態様について説明する。図５は、撮像装置５０をデジタル機器である携帯端末としての携帯電話機１００に装備した状態を示す図である。また、図６は携帯電話機１００の制御ブロック図である。

撮像装置５０は、例えば、撮像レンズＯＵの物体側端面が携帯電話機１００の背面（液晶表示部側を正面とする）に設けられ、液晶表示部の下方に相当する位置になるよう配設される。

撮像装置５０の外部接続用端子（不図示）は、携帯電話機１００の制御部１０１と接続され、輝度信号や色差信号等の画像信号を制御部１０１側に出力する。

一方、携帯電話機１００は、図６に示すように、各部を統括的に制御すると共に、各処理に応じたプログラムを実行する制御部（ＣＰＵ）１０１と、番号等をキーにより支持入力するための入力部６０と、撮像した画像や映像等を表示する表示部７０と、外部サーバとの間の各種情報通信を実現するための無線通信部８０と、携帯電話機１００のシステムプログラムや各種処理プログラム及び端末ＩＤ等の必要な諸データを記憶している記憶部（ＲＯＭ）９１と、制御部１０１によって実行される各種処理プログラムやデータ、若しくは処理データ、或いは撮像装置５０による撮像データ等を一時的に格納する作業領域として用いられる一時記憶部（ＲＡＭ）９２とを備えている。

携帯電話機１００を把持する撮影者が、被写体に対して撮像装置５０の撮像レンズＯＵを向けると、イメージセンサ５１に静止画又は動画の画像信号が取り込まれるが、このとき像面ＡＦ機能によりアクチュエータ３０が駆動されて、撮像レンズＯＵが合焦位置へと移動する。所望のシャッタチャンスで、図５に示すボタンＢＴを撮影者が押すことでレリーズが行われ、画像信号が撮像装置５０に取り込まれることとなる。撮像装置５０から入力された画像信号は、上記携帯電話機１００の制御系に送信され、記憶部９２に記憶されたり、或いは表示部７０で表示され、さらには、無線通信部８０を介して映像情報として外部に送信されることとなる。

本発明は、明細書に記載の実施例に限定されるものではなく、他の実施例・変形例を含むことは、本明細書に記載された実施例や思想から本分野の当業者にとって明らかである。

２１ ホルダ
２１ａ フランジ部
２１ｂ 雄ねじ部
２２ 内筒
２２ａ 雌ねじ部
２２ｂ フランジ部
２３ 上枠
２３ａ 内周段部
２３ｂ フランジ部
２３ｃ 上枠基準面
２４ 枠状体
２４ａ 筒部
２４ｂ フランジ部
２４ｃ 外周段部
２４ｄ 面取り部
２５ 第１のバネ
２５ａ 外側環状部
２５ｂ 内側環状部
２５ｃ バネ部
２６ 第２のバネ
２７ 下枠
２７ａ 下枠基準面
２７ｂ 段部
２７ｃ 脚部
３０ アクチュエータ
３１ コイル
３２ 磁石
３３ ヨーク
５０ 撮像装置
５１ イメージセンサ
５１ａ 光電変換部
５２ 基板
６０ 入力部
７０ 表示部
８０ 無線通信部
９２ 記憶部
１００ 携帯電話機
１０１ 制御部
ＡＣ オートコリメータ
ＡＵ アクチュエータユニット
ＢＴ ボタン
ＣＬ クリアランス
Ｆ ＩＲカットフィルタ
ＪＧ 治具
ＪＧ１ 基準面
Ｌ１ レンズ
Ｌ２ レンズ
Ｌ３ レンズ
ＯＵ 撮像レンズ
Ｓ 絞り
Ｘ１ 軸線
Ｘ２ 直交線

Claims (12)

1. 撮像レンズを支持可能な内筒と、
   前記内筒の周囲に配置された外筒と、
   前記外筒の端部と前記内筒とを連結する第１のバネ手段と、
   前記第１のバネ手段に対して前記撮像レンズの光軸方向に離れて、前記外筒と前記内筒とを連結する第２のバネと、
   前記外筒に対して前記内筒を前記光軸方向に駆動するアクチュエータと、を有し、
   前記第１のバネ手段と前記外筒との間には、両者が固定される前において、前記光軸に交差する方向において所定範囲でシフト可能なクリアランスが設けられていることを特徴とするアクチュエータユニット。
2. 前記第１のバネ手段は、第１のバネと、前記第１のバネに連結されてなり前記外筒に固定される枠状体とを有し、前記枠状体と前記外筒との間に前記クリアランスが形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータユニット。
3. 前記枠状体の外形は、前記外筒の外形よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータユニット。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のアクチュエータユニットと、前記アクチュエータユニットに組み付けた撮像レンズと、固体撮像素子とを有することを特徴とする撮像装置。
5. 撮像レンズを支持可能な内筒と、前記内筒の周囲に配置された外筒と、前記外筒の端部と前記内筒とを連結する第１のバネ手段と、前記第１のバネ手段に対して前記撮像レンズの光軸方向に離れて、前記外筒と前記内筒とを連結する第２のバネと、前記外筒に対して前記内筒を前記光軸方向に駆動するアクチュエータと、を有するアクチュエータユニットの調整方法であって、
   前記内筒の端面に向かって検査光を照射して、その反射光の入射位置に基づいて、前記第１のバネ手段を前記外筒に対して前記光軸に交差する方向に変位させた後、固定することを特徴とするアクチュエータユニットの調整方法。
6. 前記第１のバネ手段は、第１のバネと、前記第１のバネに連結されてなり前記外筒に固定される枠状体とを有し、前記枠状体と前記外筒との間に前記クリアランスが形成されていることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータユニットの調整方法。
7. 前記内筒に前記撮像レンズを組み付ける前に、前記第１のバネ手段を変位させることを特徴とする請求項５又は６に記載のアクチュエータユニットの調整方法。
8. 前記外筒は基準平面を有し、前記内筒の端面が前記基準平面に対して平行になるように、前記第１のバネ手段を変位させることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のアクチュエータユニットの調整方法。
9. 前記外筒に対して前記内筒を前記光軸方向の所定位置に配置した状態で、前記第１のバネ手段を変位させることを特徴とする請求項５〜８のいずれかに記載のアクチュエータユニットの調整方法。
10. 前記所定位置とは、前記アクチュエータを通電して前記内筒を最大限移動させた位置であることを特徴とする請求項９に記載のアクチュエータユニットの調整方法。
11. 前記所定位置とは、前記アクチュエータの無通電時における前記内筒の位置であることを特徴とする請求項９に記載のアクチュエータユニットの調整方法。
12. 前記所定位置とは、前記内筒の移動範囲の中間位置であることを特徴とする請求項９に記載のアクチュエータユニットの調整方法。

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