JP2012014107A - 光学部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テラヘルツ波を取り扱う光学系に用いられる光学部材10であって、フィルム状のフッ素樹脂基材12の表面に、互いに平行にかつ所定のピッチPで形成された、長さ方向に直交する断面の形状が三角形の複数の凸条14(凸部)からなる反射防止構造を有し、凸条14がフッ素樹脂からなる。
【選択図】図1
Description
そこで、光学部材の表面におけるテラヘルツ波の反射率を低減するために、光学部材の表面に、複数の凸部(断面三角形の凸条、円錐形、角錐形、角錐台形等の突起等)からなる反射防止構造(モスアイ構造等)を形成することが提案されている(特許文献1、2)。
前記フッ素樹脂は、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体であることが好ましい。
本発明の光学部材は、テラヘルツ波を取り扱う光学系に用いられる光学部材であって、ピッチが使用波長以下の複数の凸部からなる反射防止構造を表面に有し、凸部がフッ素樹脂からなるものである。具体的には、フッ素樹脂基材の表面に複数の凸部からなる反射防止構造が形成されたものであり、フッ素樹脂基材の裏面側に支持基材を有していてもよい。
フッ素樹脂としては、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体(ETFE)、プロピレン−テトラフルオロエチレン共重合体、ビニルエーテル−クロロトリフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体等が挙げられ、屈折率が低い点から、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体またはETFEが好ましく、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体が特に好ましい。
主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有するとは、重合体における含フッ素脂肪族環の環を構成する炭素原子の1個以上が重合体の主鎖を構成する炭素原子であることをいう。含フッ素脂肪族環の環を構成する原子は、炭素原子以外に酸素原子、窒素原子等を含んでいてもよい。含フッ素脂肪族環としては、1〜2個の酸素原子を有する含フッ素脂肪族環が好ましい。含フッ素脂肪族環を構成する原子の数は、4〜7個が好ましい。
CF2=CF−Q−CF=CF2 ・・・(3)。
ただし、Qは、炭素原子数1〜3のペルフルオロアルキレン基(エーテル性酸素原子を有していてもよい。)を示す。エーテル性酸素原子を有するペルフルオロアルキレン基である場合、エーテル性酸素原子は該基の一方の末端に存在していてもよく、該基の両末端に存在していてもよく、該基の炭素原子の間に存在していてもよい。環化重合性の点からは、該基の一方の末端に存在しているのが好ましい。
CF2=CFOCF2CF=CF2 ・・・(3−1)、
CF2=CFOCF(CF3)CF=CF2 ・・・(3−2)、
CF2=CFOCF2CF2CF=CF2 ・・・(3−3)、
CF2=CFOCF(CF3)CF2CF=CF2 ・・・(3−4)、
CF2=CFOCF2CF(CF3)CF=CF2 ・・・(3−5)、
CF2=CFOCF2OCF=CF2 ・・・(3−6)、
CF2=CFOC(CF3)2OCF=CF2 ・・・(3−7)、
CF2=CFCF2CF=CF2 ・・・(3−8)、
CF2=CFCF2CF2CF=CF2 ・・・(3−9)。
フッ素樹脂基材の材料は、上述したフッ素樹脂である。
フッ素樹脂基材の形状としては、フィルム状、シート状、平板状、曲板状、半球状等が挙げられる。
フッ素樹脂基材の厚さは、光学部材の用途に応じて適宜設計すればよい。
凸部としては、フッ素樹脂基材の表面に延在する長尺の凸条、フッ素樹脂基材の表面に点在する突起等が挙げられる。
凸条の形状としては、直線、曲線、折れ曲がり形状等が挙げられ、反射防止の点から、直線が好ましい。凸条は、反射防止の点から、複数が平行に存在して縞状をなしていることが好ましい。
凸条の長手方向に直交する断面の形状としては、三角形、台形、長方形、半円形等が挙げられ、反射防止の点から、三角形または台形が好ましい。
突起の形状としては、円錐形、角錐形、角錐台形、角柱形、円柱形、半球形等が挙げられ、反射防止の点から、円錐形、角錐形または角錐台形が好ましい。
凸部のピッチPとは、凸部の底部の幅と、凸部間に形成される溝の底部の幅との合計である。
凸部の底部の幅Wとは、凸条の場合は、長手方向に直交する断面における底辺の長さであり、突起の場合は、突起の底面における最大長さである。
支持基材の材料としては、従来のテラヘルツ波用の光学部材の材料として用いられているものが挙げられ、たとえば、高抵抗シリコン、ガリウム−ゲルマニウム合金、合成石英、樹脂(ポリエチレン、ポリフルオロエチレン等)等が挙げられる。
支持基材の形状としては、フィルム状、シート状、平板状、曲板状、半球状等が挙げられる。
支持基材の厚さは、光学部材の用途に応じて適宜設計すればよい。
図1は、本発明の光学部材の一例を示す斜視図である。
光学部材10は、フィルム状のフッ素樹脂基材12の表面に、互いに平行にかつ所定のピッチPで形成された、長さ方向に直交する断面の形状が三角形の複数の凸条14(凸部)からなる反射防止構造を有するものである。複数の凸条14間には、断面V字形の溝が形成される。凸条14とフッ素樹脂基材12とは、一体化しており、同じフッ素樹脂からなる。また、凸条14のピッチPは、光学部材の使用波長以下である。
図2は、本発明の光学部材の一例を示す斜視図である。
光学部材11は、板状の支持基材20の表面に形成されたフッ素樹脂膜22(フッ素樹脂基材)の表面に、互いに平行にかつ所定のピッチPで形成された、長さ方向に直交する断面の形状が三角形の複数の凸条14(凸部)からなる反射防止構造を有するものである。複数の凸条14間には、断面V字形の溝が形成される。凸条14とフッ素樹脂膜22とは、一体化しており、同じフッ素樹脂からなる。支持基材20は、高抵抗シリコン等からなる。また、凸条14のピッチPは、光学部材の使用波長以下である。
本発明の光学部材を製造する方法としては、たとえば、下記の方法(α)〜(δ)が挙げられる。
以上説明した本発明の光学部材にあっては、ピッチが使用波長以下の複数の凸部からなる反射防止構造を表面に有しているため、テラヘルツ波の反射率が低く抑えられ、テラヘルツ波の透過率が高くなる。また、凸部が、従来の高抵抗シリコン等比べ、屈折率が充分に低いフッ素樹脂からなるため、反射防止構造と空気との界面における屈折率の差が小さくなり、テラヘルツ波の透過率がさらに高くなる。
例1〜8は実施例であり、例9、10は比較例である。
テラヘルツ分光装置(ニコン社製)を用い、波長150μm、500μmにおける透過率を測定し、下記の基準にて評価した。
○:透過率が80%以上。
×:透過率が80%未満。
フッ素樹脂フィルムまたはフッ素樹脂膜の表面の断面三角形の凸条のサイズを、触針式表面形状測定機(Dektak150 Ulvac社製)で測定し、下記の基準にて評価した。
○:モールドの表面の断面V字形の溝のサイズと、フッ素樹脂フィルムまたはフッ素樹脂膜の表面の凸条のサイズが同じ。
×:モールドの表面の断面V字形の溝のサイズと、フッ素樹脂フィルムまたはフッ素樹脂膜の表面の凸条のサイズが異なる。
約10mmφの大きさにまとめ、表面が均一になるようにカットし、摩擦して均した#0000のスチールウールを、フッ素樹脂フィルムまたはフッ素樹脂膜の表面に、500gの荷重で押し付けながら、ストローク幅:25mm、速度:30mm/secにて10回往復させた後、フッ素樹脂フィルムまたはフッ素樹脂膜の表面を、触針式表面形状測定機(Dektak150 Ulvac社製)で観察し、下記の基準にて評価した。
○:フッ素樹脂フィルムまたはフッ素樹脂膜の表面の凸条の形状に変化なし。
×:フッ素樹脂フィルムまたはフッ素樹脂膜の表面の凸条の形状に変化あり。
4インチφ、厚さ:1mmの石英基板(旭硝子社製、AQ)の片面にダイシングソーを用いて同一方向に延びる複数の断面V字形の溝を形成した。
CF2=CFOCF2CF=CF2の単独重合体(旭硝子社製、サイトップ(登録商標)、波長150μmにおける屈折率:1.5)の3gを、200℃にてプレス成型し、無色透明のフッ素樹脂フィルム(70mm×70mm×500μm)を得た。
シランカップリング剤(信越シリコーン社製、KBE903)の0.5gを混合溶媒(水:400mL、エタノール:600mL)の中に滴下し、2時間室温で撹拌した。シランカップリング溶液を、4インチφ、厚さ:535μmの高抵抗シリコンウエハ(信越化学社製、波長150μmにおける屈折率:3.4)の表面にスピンコート法により塗布し、115℃で40分熱処理した。該シリコンウエハの表面に、フッ素樹脂(旭硝子社製、サイトップ(登録商標)CTX−807AP、波長150μmにおける屈折率:1.49)の溶液(固形分濃度:7質量%)をスピンコート法により塗布し、180℃で1時間熱処理し、シリコンウエハの表面に厚さ:150μmのフッ素樹脂膜を形成した。
ナノインプリント装置(東芝機械社製、ST−50)のプレス部の下側の面板に、フッ素樹脂フィルムを取り付け、130℃に加熱した。該装置のプレス部の上側の面板に、モールドの表面の断面V字形の溝が下側の面板に向くようにモールドを取り付け、120℃に加熱した。モールドを、10MPaの圧力(ゲージ圧)でフッ素樹脂フィルムに押し付け、そのまま5分間保持した。フッ素樹脂フィルムを80℃に冷却してからモールドを剥離し、モールドの断面V字形の溝が反転した断面三角形の複数の凸条からなる反射防止構造が形成されたフッ素樹脂フィルムを得た。
モールドの溝のサイズ、フッ素樹脂フィルムの凸条のサイズ、反射防止構造が形成されたフッ素樹脂フィルムの透過率、加工性、耐擦傷性を表1にまとめた。
モールドの溝のサイズを変更した以外は、例1と同様にして反射防止構造を表面に有するフッ素樹脂フィルムを得た。
モールドの溝のサイズ(ピッチP(単位:μm)、高さH(単位:μm)、H/P)、フッ素樹脂フィルムの凸条のサイズ(ピッチP(単位:μm)、高さH(単位:μm)、H/P)、反射防止構造が形成されたフッ素樹脂フィルムの透過率、加工性、耐擦傷性を表1にまとめた。
ナノインプリント装置のプレス部の下側の面板に、フッ素樹脂膜を表面に有するシリコンウエハを取り付けた以外は、例1と同様にして反射防止構造が形成されたフッ素樹脂膜を表面に有するシリコンウエハを得た。
モールドの溝のサイズ、フッ素樹脂膜の凸条のサイズ、反射防止構造が形成されたフッ素樹脂膜を表面に有するシリコンウエハの透過率、フッ素樹脂膜の加工性、耐擦傷性を表1にまとめた。
モールドの溝のサイズを変更した以外は、例1と同様にして反射防止構造を表面に有するフッ素樹脂フィルムを得た。
モールドの溝のサイズ、フッ素樹脂フィルムの凸条のサイズ、反射防止構造が形成されたフッ素樹脂フィルムの透過率、加工性、耐擦傷性を表1にまとめた。
4インチφ、厚さ:535mmの高抵抗シリコンウエハ(信越化学社製、波長150μmにおける屈折率:3.4)の片面にダイシングソーを用いて同一方向に延びる複数の断面V字形の溝を形成し、反射防止構造を表面に有するシリコンウエハを得た。
シリコンウエハの凸条のサイズ、シリコンウエハの透過率を表1にまとめた。
溝のサイズを変更した以外は、例1と同様にして反射防止構造を表面に有するシリコンウエハを得た。
シリコンウエハの凸条のサイズ、シリコンウエハの透過率を表1にまとめた。
11 光学部材
12 フッ素樹脂基材
14 凸条(凸部)
20 支持基材
22 フッ素樹脂膜(フッ素樹脂基材)
Claims (3)
- テラヘルツ波用の光学部材であって、
ピッチが使用波長以下の複数の凸部からなる反射防止構造を表面に有し、
前記凸部が、フッ素樹脂からなる、光学部材。 - 前記凸部のアスペクト比(凸部の高さ/凸部のピッチ)が、1.3以下である、請求項1に記載の光学部材。
- 前記フッ素樹脂が、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体である、請求項1または2に記載の光学部材。
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