JP2012007973A - セラミック検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミック素子20を保持した取付板18を電極検査台22の所定の検査位置に位置決めして載置すると共に、セラミック素子20の一方の電極と接触して導通し、検査ステージ16に対し昇降自在なリフト部材26を下降させてコモンプローブ32を電極検査台22側に当接させ導通すると共に、プローブ28をセラミック素子20の他方の電極に接触して導通する。制御ボックス14は、検査電圧印加回路からセラミック素子20の両電極間に所定の検査電圧を印加し、検出電流が所定の閾値以上の場合に欠陥品と判定して警報を出力させると共に欠陥品と判定したセラミック素子20を素子位置表示部に表示させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、セラミック材料で形成された薄板の物理的欠陥を検査するセラミック検査装置に於いて、
前記薄板を保持する取付板と、
取付板を所定の検査位置に位置決めして載置すると共に、薄板の一方の面と接触して導通する電極検査台と、
電極検査台に対し昇降自在なリフト部材と、
リフト部材の下部に延在され、リフト部材を検査位置に下降させた場合に電極検査台側に接触して導通する第1接点と、
リフト部材の下部に延在され、リフト部材を検査位置に下降させた場合に取付板に保持された薄板の他方の面に接触して導通する1または複数の第2接点と、
第1接点及び第2接点を介して薄板の両面に所定の検査電圧を印加する検査電圧印加部と、
検査電圧印加部による印加電圧を制御する制御部と、
薄板の両面間に流れる電流を検出する電流検出部と、
電流検出部の検出電流が所定の閾値以上の場合に欠陥と判定して報知出力させると共に欠陥を判定した前記薄板を特定する欠陥判定部と、
を備え、
制御部は、欠陥判定部で特定した、欠陥を判定した薄板を識別可能に表示させること、
をことを特徴とする。
第2接点は前記取付板に配列された複数の薄板に対応して複数設けられ、
検査電圧印加部は複数の前記薄板毎に検査電圧を印加し、
電流検出部は複数の前記薄板毎に電極間に流れる電流を検出し、
欠陥判定部は前記複数の薄板毎に欠陥の有無を判定する。
欠陥判定部は、薄板の放電電流が所定の閾値以上であることを判定した場合に該薄板は正常と判定する。
本発明は、セラミック材料で形成された薄板の物理的欠陥を検査するセラミック検査方法に於いて、
薄板の両面間に所定の検査電圧を印加して両面間に流れる電流を検出し、検出電流が所定の閾値以上の場合に欠陥ありと判定することを特徴とする。
12:検査機構部
14:制御ボックス
16:検査ステージ
18:取付板
20:セラミック素子
22:24a〜24c:位置決め部材
26:リフト部材
28:プローブ
30:巻きバネ
32:コモンプローブ
34:セット位置検出部
36:旋回表示灯
38:電源スイッチ
40:緊急停止スイッチ
42:操作ボックス
44:起動スイッチ
46:リセットスイッチ
48:電圧表示器
50:時間表示器
52:素子位置表示部
54:検査表示灯
56:欠陥表示灯
58:正常表示灯
60:ブザー
62:プロセッサ
64:操作部
66:表示部
68:電源部
70:電源監視部
72:検査電圧印加部
74:電流検出部
76:放電スイッチ
78:制御部
80:欠陥判定部
Claims (8)
- セラミック材料で形成された薄板の物理的欠陥を検査するセラミック検査装置に於いて、
前記薄板を保持する取付板と、
前記取付板を所定の検査位置に位置決めして載置すると共に、前記薄板の一方の面と接触して導通する電極検査台と、
前記電極検査台に対し昇降自在なリフト部材と、
前記リフト部材の下部に延在され、前記リフト部材を検査位置に下降させた場合に前記電極検査台側に接触して導通する第1接点と、
前記リフト部材の下部に延在され、前記リフト部材を検査位置に下降させた場合に前記取付板に保持された前記薄板の他方の面に接触して導通する1または複数の第2接点と、
前記第1接点及び第2接点を介して前記薄板の両面に所定の検査電圧を印加する検査電圧印加部と、
前記検査電圧印加部による印加電圧を制御する制御部と、
前記薄板の両面間に流れる電流を検出する電流検出部と、
前記電流検出部の検出電流が所定の閾値以上の場合に欠陥と判定して報知出力させると共に欠陥を判定した前記薄板を特定する欠陥判定部と、
を備え、
前記制御部は、前記欠陥判定部で特定した、前記欠陥を判定した前記薄板を識別可能に表示させること、
を特徴とするセラミック検査装置。
- 請求項1記載のセラミック検査装置に於いて、
前記取付板は複数の前記薄板を配列して保持し、
前記第2接点は前記取付板に配列された複数の前記薄板に対応して複数設けられ、
前記検査電圧印加部は前記複数の前記薄板毎に検査電圧を印加し、
前記電流検出部は前記複数の前記薄板毎に電極間に流れる電流を検出し、
前記欠陥判定部は前記複数の前記薄板毎に欠陥の有無を判定することを特徴とするセラミック検査装置。
- 請求項1記載のセラミック検査装置に於いて、前記制御部は、前記検査電圧印加部から前記前記薄板の電極間に印加する電圧を、所定以下の電圧上昇率により昇圧して前記検査電圧に到達させることを特徴とするセラミック検査装置。
- 請求項1記載のセラミック検査装置に於いて、
前記制御部は、前記検査電圧の印加による検査終了後に、前記薄板の電極間を導通接続して前記薄板に充電された電荷を放電し、
前記欠陥判定部は、前記薄板の放電電流が所定の閾値以上であることを判定した場合に該薄板は正常と判定することを特徴とするセラミック検査装置。
- セラミック材料で形成された薄板の物理的欠陥を検査するセラミック検査方法に於いて、
前記薄板の両面間に所定の検査電圧を印加して両面間に流れる電流を検出し、検出電流が所定の閾値以上の場合に欠陥ありと判定することを特徴とするセラミック検査方法。
- 請求項5記載のセラミック検査方法に於いて、前記薄板の両面間に印加する電圧を、所定以下の電圧上昇率により昇圧して前記検査電圧に到達させることを特徴とするセラミック検査方法。
- 請求項5記載のセラミック検査方法に於いて、更に、前記検査電圧の印加による欠陥検査終了後に、前記薄板の両面間を導通接続して前記薄板に充電された電荷を放電し、該放電電流が所定の閾値以上であることを判定した場合に該薄板は正常と判定することを特徴とするセラミック検査方法。
- 請求項5記載のセラミック検査方法に於いて、前記薄板を形成するセラミックが強誘電体である場合、欠陥検査終了後に、所定のキュリー点以上の温度で所定時間加熱して検査前の非分極状態に戻すことを特徴とするセラミック検査方法。
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