JP2012007230A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012007230A5
JP2012007230A5 JP2010146862A JP2010146862A JP2012007230A5 JP 2012007230 A5 JP2012007230 A5 JP 2012007230A5 JP 2010146862 A JP2010146862 A JP 2010146862A JP 2010146862 A JP2010146862 A JP 2010146862A JP 2012007230 A5 JP2012007230 A5 JP 2012007230A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fine particles
rotating disk
turntable
bucket
discharged
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010146862A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5497553B2 (ja
JP2012007230A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010146862A priority Critical patent/JP5497553B2/ja
Priority claimed from JP2010146862A external-priority patent/JP5497553B2/ja
Publication of JP2012007230A publication Critical patent/JP2012007230A/ja
Publication of JP2012007230A5 publication Critical patent/JP2012007230A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5497553B2 publication Critical patent/JP5497553B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

JP2010146862A 2010-06-28 2010-06-28 微粒子の皮膜形成方法及びその装置 Expired - Fee Related JP5497553B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010146862A JP5497553B2 (ja) 2010-06-28 2010-06-28 微粒子の皮膜形成方法及びその装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010146862A JP5497553B2 (ja) 2010-06-28 2010-06-28 微粒子の皮膜形成方法及びその装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012007230A JP2012007230A (ja) 2012-01-12
JP2012007230A5 true JP2012007230A5 (enExample) 2013-01-24
JP5497553B2 JP5497553B2 (ja) 2014-05-21

Family

ID=45538089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010146862A Expired - Fee Related JP5497553B2 (ja) 2010-06-28 2010-06-28 微粒子の皮膜形成方法及びその装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5497553B2 (enExample)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6301053B2 (ja) * 2012-08-29 2018-03-28 日立化成株式会社 ドラムスパッタ装置
WO2023162503A1 (ja) * 2022-02-22 2023-08-31 芝浦機械株式会社 表面処理装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0187065U (enExample) * 1987-11-30 1989-06-08
JPH0823069B2 (ja) * 1992-06-25 1996-03-06 双葉電子工業株式会社 粉体攪拌器
JP3456562B2 (ja) * 1996-11-11 2003-10-14 株式会社安川電機 固体潤滑膜の製造方法およびその装置
JPH10204613A (ja) * 1997-01-21 1998-08-04 Shibafu Eng Kk 複合粉末製造装置
JP2007204784A (ja) * 2006-01-31 2007-08-16 Bridgestone Corp 粒子コーティング方法及び粒子コーティング装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI612165B (zh) 成膜裝置以及成膜工件製造方法
JP6106266B2 (ja) 球形部品にコーティングを施すための方法およびテーブルアセンブリ
JP2008163451A5 (enExample)
JP2008538515A5 (enExample)
JP2012007230A5 (enExample)
TWI251031B (en) Sputter target having modified surface texture
TW202020198A (zh) 具有薄且高純度塗層的濺鍍阱及其製造方法
CN108291310A (zh) 层叠体以及层叠体的制造方法
JP5497553B2 (ja) 微粒子の皮膜形成方法及びその装置
CN104810228B (zh) 螺旋形磁控管及磁控溅射设备
CN106661721B (zh) 用于制造涂层的方法以及具有涂层的光电子半导体部件
JPS59500304A (ja) 発泡化されゼラチン化されたデンプン製品を製造する方法
JP6946529B2 (ja) 膜の形成方法および電子部品の製造方法
TW200632881A (en) Sputtering apparatus and film deposition method
CN108611608B (zh) 靶材组件及加工方法
CN207592775U (zh) 一种粉体溅射镀膜装置
JP4725589B2 (ja) 複合微粒子の製造装置及び製造方法
JP2013006258A5 (enExample)
KR20080084140A (ko) 진공 처리 장치 및 이를 이용한 분체의 진공 처리 방법
JP2008527177A (ja) メンテナンスの手間の軽減されたスパッタリングチャンバ
US9187648B2 (en) Hard coating layer and method for forming the same
JP2010149108A (ja) 付着物分離装置
JP2007204784A (ja) 粒子コーティング方法及び粒子コーティング装置
JP2001336533A (ja) 被膜を有する転動基材及びその成膜方法
TW201326441A (zh) 殼體及其製作方法