JP2012000619A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ光が照射された時の加工点からの光強度のモニタリング精度を向上させること。
【解決手段】レーザ光線2を生成するレーザ発振器1と、加工レンズ4にて集光されたレーザ光線2を加工ノズル11を介して被加工物12に照射するとともに、加工ノズル11を介してアシストガスを供給する加工ヘッド5と、レーザ光線2が照射された時の加工部分からの光を検出する光センサ6a、6bと、レーザ光線2の照射開始時から被加工物12の溶融開始時までを処理区間として設定し、処理区間内における光センサ6a、6bによる検出結果に基づいてレーザ光線2の位置を推定する信号処理装置9とを設ける。
【選択図】 図1
【解決手段】レーザ光線2を生成するレーザ発振器1と、加工レンズ4にて集光されたレーザ光線2を加工ノズル11を介して被加工物12に照射するとともに、加工ノズル11を介してアシストガスを供給する加工ヘッド5と、レーザ光線2が照射された時の加工部分からの光を検出する光センサ6a、6bと、レーザ光線2の照射開始時から被加工物12の溶融開始時までを処理区間として設定し、処理区間内における光センサ6a、6bによる検出結果に基づいてレーザ光線2の位置を推定する信号処理装置9とを設ける。
【選択図】 図1
Description
本発明はレーザ加工装置に関する。
レーザ加工装置では、加工の準備工程として芯出しが行われることがある。この芯出しでは、レーザ光線が加工ノズルの中心を通るように加工レンズの位置や加工ノズルの位置が調整される。その際には、薄いアクリル板やテープにレーザ光線で穴を開け、加工穴の形状やガスの流れを作業者が目視で判断しながら加工レンズや加工ノズルの位置が調整される。
また、レーザ光線の照射による被加工物の加工部分から生じた光を検出する光センサをレーザ加工装置に設け、その光センサによって検出した信号強度によって被加工物の加工状況をモニタリングできるようにしたものがある(特許文献1)。
しかしながら、上記従来の技術によれば、目視による判断は熟練者でなければ難しい上、どの程度ノズルの中心に調整に持っていけば良いかなどは経験による部分が大きく、作業に時間がかかるという問題があった。
目視による判断を避けるために、自動芯出し機能を搭載したものもある。この自動芯出し機能では、レーザの位置を直接測定することは困難なため、加工点からの光がモニタリングされることが多い。
しかしながら、加工点はレーザ光線が照射されると溶融し、加工ガス等の影響により加工面が荒れるようになる。このため、加工点からの光をモニタリングする方法では、光センサからの信号強度のばらつきが大きくなり、芯出し精度の低下を招くという問題があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、レーザ光が照射された時の加工点からの光強度のモニタリング精度を向上させることが可能なレーザ加工装置を得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のレーザ加工装置は、レーザ光線を生成するレーザ発振器と、加工レンズにて集光された前記レーザ光線を加工ノズルを介して被加工物に照射するとともに、前記加工ノズルを介してアシストガスを供給する加工ヘッドと、前記レーザ光が照射された時の加工部分からの光を検出する光センサと、前記レーザ光の照射開始時から前記被加工物の溶融開始時までを処理区間として設定し、前記処理区間内における前記光センサによる検出結果に基づいて前記レーザ光線の位置を推定する信号処理装置とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、レーザ光が照射された時の加工点からの光強度のモニタリング精度を向上させることが可能という効果を奏する。
以下に、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態1.
図1は、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態1の概略構成を示すブロック図である。図1において、このレーザ加工装置には、レーザ光線2を生成するレーザ発振器1と、レーザ光線2を所定方向へ反射して偏向させる反射ミラー3と、反射ミラー3により反射されたレーザ光線2を集光する加工レンズ4と、加工レンズ4により集光されたレーザ光線2に対しアシストガスを供給する加工ヘッド5と、加工部分からの光を検出する複数の光センサ6a、6bと、光センサ6a、6bからの信号を増幅するアンプ7と、加工条件等を設定する数値制御装置8と、アンプ7からの信号を処理し、レーザ光線2の位置を推定する信号処理装置9と、加工レンズ4を駆動するアクチュエータ10が設けられている。
図1は、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態1の概略構成を示すブロック図である。図1において、このレーザ加工装置には、レーザ光線2を生成するレーザ発振器1と、レーザ光線2を所定方向へ反射して偏向させる反射ミラー3と、反射ミラー3により反射されたレーザ光線2を集光する加工レンズ4と、加工レンズ4により集光されたレーザ光線2に対しアシストガスを供給する加工ヘッド5と、加工部分からの光を検出する複数の光センサ6a、6bと、光センサ6a、6bからの信号を増幅するアンプ7と、加工条件等を設定する数値制御装置8と、アンプ7からの信号を処理し、レーザ光線2の位置を推定する信号処理装置9と、加工レンズ4を駆動するアクチュエータ10が設けられている。
ここで、レーザ発振器1は、被加工物12の材料や加工条件などによって、発振タイミング、デューティ比および繰り返し周波数などを変更できるようにしてもよい。
また、加工ヘッド5には、加工レンズ4にて集光されたレーザ光線2を被加工物12に照射する加工ノズル11が設けられ、この加工ノズル11を通してアシストガスを供給することができる。また、この加工ノズル11は、着脱できるように構成してもよく、加工ノズル11のノズル径を変更することで、加工ヘッド5に流れるアシストガスの流量を調整できるようにしてもよい。
また、加工ヘッド5は、昇降機構を介して昇降できるように構成してもよいし、ボールネジやリニアモータなどの駆動機構を介して被加工物12に対して水平方向に移動できるようにしてもよい。あるいは、被加工物12を設置する加工テーブルを加工ヘッド5に対して水平方向に移動できるようにしてもよい。
また、信号処理装置9は、レーザ光線2の照射開始時から被加工物12の溶融開始時までを処理区間として設定し、処理区間内における光センサ6a、6bによる検出結果に基づいてレーザ光線2の位置を推定することができる。
具体的には、信号処理装置9には、レーザ光線2の照射開始時から被加工物12の溶融開始時までを処理区間として設定する処理区間設定部21と、光センサ6a、6bによる信号強度と、レーザ光線2が加工ヘッド5の中心を通る時の信号強度とを比較する信号比較部22と、信号比較部22による比較結果に基づいて、レーザ光線2の位置を推定するレーザ光線位置推定部23が設けられている。また、信号処理装置9には、レーザ光線位置推定部23による推定結果に基づいてアクチュエータ10を駆動制御するアクチュエータ制御部24が設けられている。
次に、上記レーザ加工装置の動作について説明する。
レーザ発振器1から出力されたレーザ光線2を反射ミラー3により反射させ、加工ヘッド5内の加工レンズ4で集光し、加工ノズル11を介して出射させることにより、被加工物12の加工部分に照射する。この時、加工ノズル11を通してレーザ光線2に対してアシストガスを供給する。なお、このアシストガスとしては、例えば、酸素ガス、窒素ガス、ヘリウムガスまたはアルゴンガスを用いることができる。レーザ切断の場合は、このアシストガスを被加工物12に高速に吹き付けて溶融金属などを吹き飛ばしたりすることができる。レーザ溶接の場合は、このアシストガスを被加工物12に緩やかに吹き付けて溶融金属などの飛散や酸化などを防止したりすることができる。
そして、光センサ6a、6bを用いて、被加工物12の加工部分からの光の強度を検出し、光センサ6a、6bからの信号をアンプ7により増幅した後、信号処理装置9に入力する。
信号処理装置9は、加工ノズル11の中心をレーザ光線2が通った場合における各光センサ6a、6bの信号強度の比よりレーザ光線2の加工ノズル11の中心からの距離を求めることができる。
また、信号処理装置9は、その計算結果を用いてアクチュエータ10を介して加工レンズ4の位置を動かすことで、自動的に加工ノズル11の中心をレーザ光線2が通るようにすることができる。
ここで、レーザ光線2の照射開始時から被加工物12の溶融開始時までを処理区間として設定し、処理区間内における光センサ6a、6bによる検出結果に基づいてレーザ光線2の位置を推定することにより、光センサ6a、6bからの信号強度のばらつきを小さくすることができ、レーザ光線2の位置の推定精度を向上させることができる。
また、加工レンズ4をアクチュエータ10により駆動することで、芯出し工程を自動で行うことができ、熟練者の経験に頼ることなく芯出し精度を向上させることが可能となるとともに、作業にかかる時間を短くすることができる。
また、複数の光センサ6a、6bを用いて、被加工物12の加工部分からの光の強度を検出することにより、加工方向による光の偏りが発生した場合においても、その影響を低減することができる。
図2は、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態1の光センサによって検出した信号強度波形を示す図である。なお、L1は、レーザ光線2の位置が加工ノズル11の中心と一致している場合、L2は、レーザ光線2の位置が加工ノズル11の中心とずれている場合を示す。
図2において、レーザ光線2の照射開始時から被加工物12の溶融開始時までは、信号強度が単調に増加していくが、被加工物12の溶融が始まると、信号強度にばらつきが生じる。信号強度のばらつきは、加工点の溶融による加工面の変化により生じる。このため、レーザ光線2の照射開始時から被加工物12の溶融開始時までを処理区間PT1として設定し、処理区間PT1の信号を用いてレーザ光線2の位置を推定することにより、レーザ光線2の位置の推定精度を高めることができる。
実施の形態2.
図3は、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態2の光センサによって検出した信号強度波形を示す図である。なお、L11は、レーザ光線2の位置が加工ノズル11aの中心と一致している場合、L12は、レーザ光線2の位置が加工ノズル11aの中心とずれている場合を示す。
図3は、本発明に係るレーザ加工装置の実施の形態2の光センサによって検出した信号強度波形を示す図である。なお、L11は、レーザ光線2の位置が加工ノズル11aの中心と一致している場合、L12は、レーザ光線2の位置が加工ノズル11aの中心とずれている場合を示す。
図3において、被加工物12の材料や加工条件により、レーザ光線2の照射開始時から被加工物12の溶融開始時までの時間が異なる。このため、被加工物12の材料や加工条件に応じて処理区間PT2を変えてもよい。
被加工物12の材料や加工条件に応じて処理区間PT2を変更する方法としては、例えば、被加工物12の材料や加工条件に応じて処理区間PT2を登録したテーブルを保持し、被加工物12の材料や加工条件の指定に応じてテーブルから処理区間PT2を検索するようにしてもよい。あるいは、処理区間PT2をレーザ加工装置に直接入力できるようにして、レーザ加工装置は、その処理区間PT2に従ってレーザ光線2の位置を推定できるようにしてもよい。
なお、被加工物12の材料としては、例えば、鉄や銅やステンレスなどの金属であってもよいし、ガラスやセラミックなどの絶縁体であってもよいし、アクリルやエポキシなどの樹脂であってもよいし、SiやGaAsなどの半導体であってもよい。あるいは、ガラスエポキシ基板などの複合材であってもよい。
また、被加工物12の加工条件としては、例えば、加工エネルギー、加工速度、アシストガスの流量およびアシストガスの種類などを挙げることができる。
以上のように本発明に係るレーザ加工装置は、加工ヘッドの中心からのレーザ光線の位置の推定精度を向上させることができ、レーザ光線が加工ノズルの中心を通るようにする芯出し工程を自動で行う方法に適している。
1 レーザ発振器
2 レーザ光線
3 反射ミラー
4 加工レンズ
5 加工ヘッド
6a、6b 光センサ
7 アンプ
8 数値制御装置
9 信号処理装置
10 アクチュエータ
11 加工ノズル
12 被加工物
21 処理区間設定部
22 信号比較部
23 レーザ光線位置推定部
24 アクチュエータ制御部
2 レーザ光線
3 反射ミラー
4 加工レンズ
5 加工ヘッド
6a、6b 光センサ
7 アンプ
8 数値制御装置
9 信号処理装置
10 アクチュエータ
11 加工ノズル
12 被加工物
21 処理区間設定部
22 信号比較部
23 レーザ光線位置推定部
24 アクチュエータ制御部
Claims (7)
- レーザ光線を生成するレーザ発振器と、
加工レンズにて集光された前記レーザ光線を加工ノズルを介して被加工物に照射するとともに、前記加工ノズルを介してアシストガスを供給する加工ヘッドと、
前記レーザ光線が照射された時の加工部分からの光を検出する光センサと、
前記レーザ光線の照射開始時から前記被加工物の溶融開始時までを処理区間として設定し、前記処理区間内における前記光センサによる検出結果に基づいて前記レーザ光線の位置を推定する信号処理装置とを備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記信号処理装置は、
前記レーザ光線の照射開始時から前記被加工物の溶融開始時までを処理区間として設定する処理区間設定部と、
前記光センサによる信号強度と、前記レーザ光線が前記加工ヘッドの中心を通る時の信号強度とを比較する信号比較部と、
前記信号比較部による比較結果に基づいて、前記レーザ光線の位置を推定するレーザ光線位置推定部とを備えることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記レーザ光線位置推定部は、前記光センサによる信号強度と、前記レーザ光線が前記加工ヘッドの中心を通る時の信号強度との比に基づいて、前記レーザ光線の位置を推定することを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工装置。
- 前記加工レンズの位置を制御するアクチュエータと、
前記レーザ光線位置推定部による推定結果に基づいて前記アクチュエータを駆動制御するアクチュエータ制御部とをさらに備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。 - 前記アクチュエータ制御部は、前記レーザ光線が前記加工ヘッドの中心を通るように前記アクチュエータを駆動制御することを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工装置。
- 前記被加工物の材料および加工条件の少なくともひとつに基づいて、前記処理区間を変更する処理区間変更部をさらに備えることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- 前記光センサは複数設けられ、
前記信号処理装置は、各光センサによる検出結果に基づいて前記レーザ光線の位置を推定することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02217188A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工ヘッド |
JPH0417991A (ja) * | 1990-05-11 | 1992-01-22 | Amada Co Ltd | レーザ加工機のノズル芯出し装置 |
JPH10249566A (ja) * | 1997-03-10 | 1998-09-22 | Amada Co Ltd | レーザ加工方法および装置 |
JP2010094693A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Panasonic Corp | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
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2010
- 2010-06-14 JP JP2010135131A patent/JP2012000619A/ja active Pending
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